TWI488794B - There are rail trolley systems - Google Patents

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Michinobu Wakizaka
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Description

有軌道台車系統
本發明，係關於一種有軌道台車系統，尤其，其係配置於下向流自天花板吹出之無塵室內。
習知有一種在下向流自天花板吹出之無塵室內搬送玻璃基板等物品之搬送台車行走於軌道之有軌道台車系統(例如，參照專利文獻1)。於無塵室內，藉由自天花板吹出之下向流防止物品之污染。於先前之配置於無塵室內之有軌道台車系統中，以蓋體包圍軌道之周圍，於該處，設置風扇過濾單元，用以去除有可能於軌道產生之塵埃。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2000-269296號公報
於上述習知之構成中，可去除於軌道產生之塵埃。最近，於液晶玻璃基板等大型之基板中，並非將基板等物品密封於卡匣內進行搬送，而是以開放之卡匣搬送基板。如此，於以開放之卡匣搬送物品時，若僅去除軌道之周圍之塵埃，則依照周圍之環境，將有使物品於搬送中被污染之虞。
本發明之課題，在於在有軌道台車系統中，儘可能地防止於無塵室內被搬送之物品之污染。
以下，說明作為解決問題之技術手段之複數個態樣。此等態樣，可視需要任意組合。
關於本發明之有軌道台車系統，係配置於無塵室內之具有將潔淨之空氣之下向流自天花板吹出之吹出口的系統。有軌道台車系統具備有軌道、搬送台車、底蓋、側蓋、及排出口。軌道，係於無塵室內自天花板被懸垂。搬送台車，係可沿軌道行走並搬送物品。底蓋，係覆蓋軌道之底部。側蓋，係覆蓋軌道及搬送台車之側方。於以底蓋與側蓋及天花板所包圍之空間自吹出口吹出下向流。排出口，係被設置於底蓋及側蓋之至少任一方，並排出自吹出口所導入之下向流。
於此有軌道台車系統中，搬送台車，係行走於以天花板與底蓋及側蓋所包圍之空間搬送物品。於此空間自吹出口吹出下向流。所吹出之下向流自排出口被排出。
於此，由於對成為塵埃產生原因之行走之搬送台車自天花板吹著下向流，因此即便於搬送台車上露出地配置物品塵埃亦難以附著於物品。因此，可儘可能地防止於無塵室內被搬送之物品之污染。
亦可更進一步具備，於側蓋之內側覆蓋軌道之周圍之內蓋、及抽吸內蓋內之空氣之風扇過濾單元。藉此，以內蓋覆蓋最有可能產生塵埃之車輪與軌道之接觸部分，可用風扇過濾單元抽吸所覆蓋之空間之空氣以去除產生之塵埃。因此，於車輪與軌道之間產生之塵埃難以吹出至物品側，進而可防止物品之污染。
內蓋，亦可包含被配置於軌道之兩側方之一對之第1蓋體及第2蓋體，搬送台車，亦可包含具有較第1蓋體與第2蓋體之間隔更大之寬度之隔間壁部。藉此，由隔間壁部與內蓋形成被限定之空間，有助於風扇過濾單元之抽吸，可減少塵埃之流出。
排出口，亦可設置於側蓋之下部。藉此，變得容易防止自空間內之物品之落下。
根據本發明，由於對成為塵埃產生原因之行走之搬送台車自天花板吹著下向流，因此即便於台車上露出地配置物品塵埃亦難以附著於物品。因此，可儘可能地防止於無塵室內被搬送之物品之污染。
 (1)有軌道台車系統 ＜第1實施形態＞
如圖1及圖2所示，關於本發明之第1實施形態之有軌道台車系統1，係例如，搬送露出地被收納於卡匣C(圖2)之大型玻璃基板等物品S之系統。有軌道台車系統1，係配置於具有吹出下向流之吹出口7之無塵室內。有軌道台車系統1，係具備軌道2、搬送台車4、底蓋5、側蓋6、及排出口8。又，有軌道台車系統1，如圖2所示，進一步具備內蓋9、及被設置於內蓋9內之風扇過濾單元10。
軌道2，係自天花板13被懸垂。具體而言，為了懸掛軌道2而藉由自天花板13延伸之懸掛構件30使軌道2被配置於被懸垂之軌道支持架31上。軌道2，係配置於行走空間14。軌道2，例如為橢圓形之環形狀。搬送台車4，係朝例如以白底黑框箭頭所示之順時針方向行走在軌道2上，將物品S搬送至沿軌道2所配置之未圖示之處理裝置。
於無塵室之天花板13設置有吹出下向流DF之吹出口7。因此，於搬送台車4行走之行走空間14，被導入來自天花板13之下向流DF。於吹出口7，如圖2所示，設置有下向流用風扇過濾單元32。下向流用風扇過濾單元32，係將天花板13內之潔淨之空氣吹出至行走空間14，同時去除空氣內之塵埃。
軌道2，係如圖1及圖3所示，具有行走軌道11與行走導件12。行走軌道11之構成，包含左右一對之第1行走軌道11a及第2行走軌道11b。第1行走軌道11a及第2行走軌道11b，具有平坦之行走面。
行走導件12，係具有第1行走導件12a及第2行走導件12b。第1行走導件12a及第2行走導件12b，係分別被設置於第1行走軌道11a及第2行走軌道11b之外側端。第1行走導件12a及第2行走導件12b係自外側端向上方延伸。
於軌道2之一側，係配置有非接觸饋電線17。於本實施形態中，係配置於軌道2之左側。非接觸饋電線17，如圖3所示，具有於上下隔著間隔所配置之兩條絞合線17a、17b。
(2)搬送台車
搬送台車4，係如圖3及圖4所示，可沿軌道2行走並搬送卡匣C。具有可載置卡匣C之載置部15、及可行走於軌道2之行走部16。載置部15為矩形框形狀之構件。於載置部15之下表面，設置有用以安裝行走部16之第1安裝部15a及第2安裝部15b。第1安裝部15a係配置於行走方向之前側。第2安裝部15b，係配置於行走方向之後側。於載置部15之上表面，為了遮斷來自行走部16之空氣之流動而於矩形之整個面形成隔間壁部15c。
行走部16，係具有自由轉動地安裝於第1安裝部15a之驅動行走部16a、與自由轉動地安裝於第2安裝部15b之從動行走部16b。驅動行走部16a及從動行走部16b，係為轉向台車。驅動行走部16a，係具有驅動架20a、左驅動輪21a及右驅動輪21b。又，從動行走部16b，係具有從動架20b、左從動輪21c、及右從動輪21d。於左驅動輪21a及左從動輪21c之行進方向兩側，分別設置有左固定導引滾輪22a及左分支導引滾輪23a。於右驅動輪21b及右從動輪21d之行進方向兩側，分別設置有固定導引滾輪22b及右分支導引滾 輪23b。左固定導引滾輪22a及左分支導引滾輪23a，係由第1行走導件12a所導引。右固定導引滾輪22b及右分支導引滾輪23b，係由第2行走導件12b所導引。
驅動架20a，係繞著垂直軸自由轉動地連結於第1安裝部15a。左驅動輪21a及右驅動輪21b，係繞著左右方向之軸自由旋轉地支持於驅動架20a。左驅動輪21a及右驅動輪21b，係分別於行走第1行走軌道11a及第2行走軌道11b上。左驅動輪21a及右驅動輪21b，係分別被設置於驅動架20a之左驅動馬達24a及右驅動馬達24b所驅動。
從動架20b，係繞著垂直軸自由轉動地連結於第2安裝部15b。左從動輪21c及右從動輪21d，係繞著左右方向之軸自由旋轉地支持於從動架20b。左從動輪21c及右從動輪21d，係分別行走於第1行走軌道11a及第2行走軌道11b上。
於驅動架20a及從動架20b之外側面，係安裝有接受來自非接觸饋電線17之電力之左裝卸單元28a及右裝卸單元28b。左裝卸單元28a，係經由將左驅動輪21a及左從動輪21c以分別包圍之方式所安裝之左安裝支架29a安裝於驅動架20a及從動架20b之外側面。右裝卸單元28b，係經由將右驅動輪21b及右從動輪21d以分別包圍之方式所安裝之右安裝支架29b安裝於驅動架20a及從動架20b之外側面。
(3)底蓋
底蓋5，係以覆蓋軌道2之底部之方式沿水平方向配置。底蓋5，例如，為不鏽鋼板製，且為了自天花板13懸掛軌道2而形成於藉由延伸之懸掛構件30被懸垂之軌道支持架31上。
(4)側蓋
側蓋6，係以覆蓋搬送台車4及軌道2之側方之方式被垂直豎立地配置。側蓋6，例如，使用無塵室用之壁板，以懸掛構件30之外側覆蓋軌道2之兩側方之方式配置為左右一對。側蓋6，係延伸至天花板13。行走空間14，係由側蓋6、天花板13、及底蓋5，以包圍搬送台車4及軌道2之方式所形成。
(5)排出口
排出口8，被設置於側蓋6，係將自吹出口7所導入之下向流DF自行走空間14排出者。排出口8，係配置於底蓋5的更上方。排出口8，係如圖1所示，隔著間隔被配置於行走方向，例如配置於側蓋6之每一片壁板上。如圖2及圖5所示，於排出口8，設置有百葉窗式氣縫(louver)8a。百葉窗8a，係自行走空間14朝向外部且朝斜上方傾斜所形成。藉此，使小物體難以自行走空間14向外部落下。
例如，人員為了維修進入行走空間14而即便掉落工具等工具亦難落下至外部。又，即便物品S於搬送中破碎，其碎片亦難落下至外部。
(6)內蓋
內蓋9，係如圖4所示，以側蓋6之內側覆蓋軌道2周圍之方式配置。內蓋9，係包含配置於軌道2之兩側方具有彎折之倒立L字形之剖面的左蓋9a及右蓋9b。於第1實施形態中，左蓋9a及右蓋9b彎折之前端，係向內側分別延伸至搬送台車4之左裝卸單元28a及右裝卸單元28b之上方為止。又，於搬送台車4之載置部15之上表面之整個面，如上述設置有隔間壁部15c。隔間壁部15c之寬度W，係較左蓋9a及右蓋9b彎折之前端之間隔D大。因此，以隔間壁部15c與內蓋9形成於上下方向重疊之部分。藉此，形成藉由隔間壁部15c與內蓋9所限定之空間，有助於風扇過濾單元10之抽吸，可減少塵埃向內蓋9外之流出。因此，將使藉由左驅動輪21a、右驅動輪21b、左從動輪21c、右從動輪21d與行走軌道11之接觸而有可能於內蓋9內產生之塵埃難以流至載置於載置部15上之卡匣C內之物品S。
(7)風扇過濾單元
風扇過濾單元10，係抽吸內蓋9內之空氣，將塵埃去除且將潔淨之空氣排出至外部。因此，風扇過濾單元10，係如上述可將有可能於內蓋9內產生之塵埃去除。
(8)有軌道台車系統之動作
有關於如此構成之第1實施形態之有軌道台車系統1中，當搬送台車4行走於軌道2上時，自吹出口7下向流DF被吹到搬送台車4上，並使其自排出口8排出。藉此，塵埃難以附著於物品S。而且，因為以包圍軌道2之方式設置內蓋9，所以內蓋9內之空氣難以流至載置部15側。再者，因為於內蓋9內設置風扇過濾單元10，所以於搬送台車4之下部藉由車輪與軌道2之接觸而有可能產生之塵埃被去除，進而使物品S難以被污染。
(9) <第2實施形態>
於第2實施形態中，如圖6及圖7所示吹出口107、搬送台車104之隔間壁部115c、內蓋109、及排出口108之構成與第1實施形態不同。
吹出口107，係較第1實施形態小，且個數多。又，於吹出口107並未設置下向流用風扇過濾單元。
搬送台車104之隔間壁部115c，並非配置於載置部115之上表面之整個面而是局部地配置。具體而言，如圖7所示，僅形成於載置部115之上表面中之左右方向之中心部。
內蓋109之左蓋109a及右蓋109b彎折之前端，如圖7所示，延伸至驅動行走部16a之驅動架20a及從動行走部16b之從動架20b之兩側部為止。因此，相較於第1實施形態之彎折部分之長度更長。
另一方面，搬送台車104之隔間壁部115c，並非配置於載置部115之上表面之整個面而是局部地配置。具體而言， 如圖7所示，除了由內蓋109所覆蓋的部分以外，僅形成於載置部115之上表面中之左右方向之中心部。於第2實施形態中，隔間壁部115c之寬度W，亦較左蓋109a及右蓋109b彎折之前端之間隔D更大。藉此，可發揮與第1實施形態相同之作用效果。
又，排出口108，並非於側蓋106，而是於底蓋105之內蓋109之外側，例如，以格柵或衝孔金屬網板之形態設置。且排出口108，並非如第1實施形態，於行走方向隔著間隔設置，而是於跨越行走方向之全長度設置。
其他構成，因為與第1實施形態相同，故省略說明。
在如此構成之第2實施形態中，可實現搬送台車104之輕量化。然而，內蓋109，相較於第1實施形態之內蓋9會增加彎折部分之長度變長部分的重量。
(10)氣流分析
透過第1實施形態針對在搬送台車4及內蓋9與透過第2實施形態針對在搬送台車104及內蓋109模擬氣流如何流動。
第1實施形態及第2實施形態，均於搬送台車啟動後立刻，於其後方之350mm左右之範圍內氣流自內蓋9、109內吹出。然而，已確認到所吹出之氣流，在0.8秒後變為朝下方流動，返回內蓋9、109內，且氣流並不會上升至搬送台車4、104之載置部15、115。
(11)特徵
(A)有軌道台車系統1，係配置於具有將潔淨之空氣之下向流DF自天花板13吹出之吹出口7之無塵室內的系統。有軌道台車系統1，具備有軌道2、搬送台車4、底蓋5、側蓋6、及排出口8。軌道，係於無塵室內自天花板被懸垂。搬送台車4，係可沿軌道2行走並搬送物品S。底蓋5，係覆蓋軌道2之底部。側蓋6，係覆蓋軌道2及搬送台車4之側方。自吹出口7向以底蓋5與側蓋6及天花板13所包圍之行走空間14導入有下向流DF。排出口8，係設置於底蓋5及側蓋6之至少任一方，並將自吹出口7所導入之下向流DF排出。
於此有軌道台車系統1中，搬送台車4，係行走於以天花板13與底蓋5及側蓋6所包圍之行走空間14並搬送物品S。自吹出口7對該行走空間14導入有下向流DF。被導入之下向流DF，係自排出口8被排出。
於此處，因為對成為塵埃產生原因之行走之搬送台車4自天花板13吹著下向流DF，因此即便於搬送台車4上露出地配置物品S塵埃亦難以附著於物品。因此，可儘可能地防止於無塵室內被搬送之物品S及卡匣C之污染。
(B)更進一步具備於側蓋6之內側覆蓋軌道周圍之內蓋9、及抽吸內蓋9內空氣之風扇過濾單元10。藉此，將最有可能產生塵埃之左驅動輪21a、右驅動輪21b、左從動輪21c、及右從動輪21d與軌道2之接觸部分以內蓋9覆蓋，可利用風扇過濾單元10抽吸所覆蓋之空間之空氣用以去除所產生之塵埃。因此，可使於左驅動輪21a、右驅動輪21b、左從動輪21c、及右從動輪21d與軌道2之間所產生之塵埃難以吹出至物品S側，進而防止物品S之污染。
(C)內蓋9(或109)，係具有配置於軌道2之兩側方之一對作為第1蓋體之左蓋9a及作為第2蓋體之右蓋9b。而且，搬送台車4，係包含具有較第1蓋體與第2蓋體之間隔D更大之寬度W的隔間壁部15c。藉此，形成利用隔間壁部15c與內蓋9所限定之空間，有助於風扇過濾單元10之抽吸，可減少塵埃向內蓋9外流出。
(D)排出口8，係設置於側蓋6之下部。藉此，變得容易防止自行走空間14內之物品之落下。
(12)其他實施形態
以上，已對本發明之一實施形態進行說明，但本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離發明主旨之範圍內進行各種變更。尤其，本說明書所記載之複數個實施形態及變形例可視需要任意組合。
(a)於上述實施形態中，雖然側蓋6被配置於軌道2之兩側方，但側蓋之配置並不限定於上述實施形態。例如，在如上所述之環狀軌道之無終點循環形狀移動時，亦可僅於軌道之外側(例如圖2之左側)設置側蓋。此時，形成包含軌道之內周側之橢圓形之空間。
(b)於上述實施形態中，雖然將物品S露出地收納於卡匣C內，但即便物品S未露出為密封收納於卡匣C之形態亦可應用於本發明。此時，可防止卡匣C之污染。
(c)於上述實施形態中，係於吹出口7配置下向流用風扇過濾單元32。然而本發明並不限定於此，吹出口，係只要可將潔淨之下向流DF導入行走空間14內即可，亦可不設置風扇過濾單元。
(d)於上述實施形態中，雖然將排出口8設置於較側蓋6之底蓋5之上方，但於圖8所示之實施形態中，係將排出口208設置於與底蓋5之邊界部分。於圖8中，側蓋206，亦可載置於台座240上墊高，墊高部分之間隙成為排出口208。亦可如此將排出口208配置於與側蓋206之底蓋5之邊界部分。
(e)於上述實施形態中，雖然將排出口設置於側蓋或底蓋，但亦可設置於雙方。
(f)於上述實施形態中，雖然將側蓋6延伸至天花板13，但亦可與天花板13隔著間隙。
(產業上之可利用性)
本發明，係可應用於在無塵室內藉由行走於軌道之搬送台車搬送物品之有軌道搬送系統。
1．．．有軌道台車系統
2．．．軌道
4、104．．．搬送台車
5、105．．．底蓋
6、106、206．．．側蓋
7、107．．．吹出口
8、108、208．．．排出口
8a．．．百葉窗式氣縫
9、109．．．內蓋
9a、109a．．．左蓋
9b、109b．．．右蓋
10．．．風扇過濾單元
11．．．行走軌道
11a．．．第1行走軌道
11b．．．第2行走軌道
12．．．行走導件
12a．．．第1行走導件
12b．．．第2行走導件
13．．．天花板
14．．．行走空間
15、115．．．載置部
15a．．．第1安裝部
15b．．．第2安裝部
15c、115c．．．隔間壁部
16．．．行走部
16a．．．驅動行走部
16b．．．從動行走部
17．．．非接觸饋電線
17a、17b．．．絞合線
20a．．．驅動架
20b．．．從動架
21a．．．左驅動輪
21b．．．右驅動輪
21c．．．左從動輪
21d．．．右從動輪
22a．．．左固定導引滾輪
22b．．．右固定導引滾輪
23a．．．左分支導引滾輪
23b．．．右分支導引滾輪
24a．．．左驅動馬達
24b．．．右驅動馬達
28a．．．左裝卸單元
28b．．．右裝卸單元
29a．．．左安裝支架
29b．．．右安裝支架
30．．．懸掛構件
31．．．軌道支持架
32．．．下向流用風扇過濾單元
240．．．台座
C．．．卡匣
D．．．間隔
DF．．．下向流
S．．．物品
W．．．寬度
圖1係本發明之第1實施形態之有軌道台車系統之俯視圖。
圖2係軌道之周圍之剖面圖。
圖3係搬送台車之側面圖。
圖4係軌道之周圍之放大剖面圖。
圖5係側蓋之側面圖。
圖6係於第2實施形態中，相當於第1實施形態之圖2之剖面圖。
圖7係於第2實施形態中，相當於第1實施形態之圖4之剖面圖。
圖8係相當於其他之實施形態之側蓋之圖5之側面圖。
4．．．搬送台車
5．．．底蓋
6．．．側蓋
7．．．吹出口
8．．．排出口
8a．．．百葉窗
9．．．內蓋
9a．．．左蓋
9b．．．右蓋
10．．．風扇過濾單元
13．．．天花板
14．．．行走空間
30．．．懸掛構件
31．．．軌道支持架
32．．．下向流用風扇過濾單元
C．．．卡匣
DF．．．下向流
S．．．物品

Claims (3)

  1. 一種有軌道台車系統，係配置於具有將潔淨之空氣之下向流自天花板吹出之吹出口之無塵室內者，其具備：軌道，其於上述無塵室內自天花板被懸垂；搬送台車，其沿上述軌道行走而可搬送物品；底蓋，其覆蓋上述軌道之底部；側蓋，其覆蓋上述軌道及搬送台車之側方；排出口，其設置於上述底蓋及側蓋之至少任一方，並將自上述吹出口導入之上述下向流排出；內蓋，其於上述側蓋之內側覆蓋上述軌道之周圍；及風扇過濾單元，其抽吸上述內蓋內之空氣。
  2. 如申請專利範圍第1項之有軌道台車系統，其中，上述內蓋係具有配置於上述軌道兩側方之一對之第1蓋體及第2蓋體；上述搬送台車係包含具有較上述第1蓋體與第2蓋體之間隔更大之寬度之隔間壁部。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之有軌道台車系統，其中，上述排出口係設置於上述側蓋之下部。
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