KR20110139642A - 궤도식 대차 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 궤도식 대차 시스템에 따르면, 다운 플로우식의 공기를 분출하는 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기가 천정의 분출포트(7)로부터 분출되는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 궤도(2)는, 클린룸 내에서 천정(13)으로부터 매달려 있다. 반송 대차(4)는, 궤도(2)를 따라 주행하여 물품(S)을 반송할 수 있다. 바닥 커버(5)는 궤도(2)의 바닥부를 덮는다. 측방 커버(6)는 궤도(2) 및 반송 대차(4)의 측방을 덮는다. 배출포트(8)는 바닥 커버(5) 및 측방 커버(6) 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 배출한다.

Description

궤도식 대차 시스템{TRACK CARRIAGE SYSTEM}
본 발명은, 대차(臺車) 시스템, 특히, 다운 플로우식의 공기가 천정으로부터 분출되는 클린룸 내에 배치되는 궤도식 대차 시스템에 관한 것이다.
종래, 다운 플로우식의 공기가 천정으로부터 분출되는 클린룸 내에서 유리기판 등의 물품을 반송하는 반송 대차가 궤도를 주행하는 궤도식 대차 시스템이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1참조). 클린룸 내에서는, 천정으로부터 분출되는 다운 플로우식의 공기에 의해 물품의 오염을 방지한다. 종래의 클린룸 내에 배치된 궤도식 대차 시스템에서는, 궤도의 주위를 커버로 둘러싸고, 여기에 팬 필터 유닛을 설치하여 궤도에서 발생될 우려가 있는 먼지를 제거한다.
[특허문헌 1] 일본특허공개공보 제2000-269296호
상기 종래의 구성에 의해 궤도에서 발생되는 먼지를 제거하는 것은 가능하다. 최근, 액정유리기판 등의 대형 기판에서는, 카세트 내에 기판 등의 물품을 밀봉하여 반송하지 않고, 개방된 카세트에 의해 기판을 반송하고 있다. 이와 같이, 개방된 카세트에 의해 물품을 반송할 경우, 궤도 주위의 먼지를 제거하는 것만으로는, 주위의 환경에 따라서는 반송중에 물품이 오염될 우려가 있다.
본 발명의 과제는, 궤도식 대차 시스템에 있어서, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지하는 데에 있다.
이하에서는 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는, 필요에 따라 임의로 조합시킬 수 있다.
본 발명에 관한 궤도식 대차 시스템은, 다운 플로우식의 청정한 공기가 천정으로부터 분출되는 분출포트를 갖는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템은, 궤도와, 반송 대차와, 바닥 커버와, 측방 커버와, 배출포트를 구비하고 있다. 궤도는, 클린룸 내에서 천정으로부터 매달려 있다. 반송 대차는 궤도를 따라 주행하여 물품을 반송할 수 있다. 바닥 커버는 궤도의 바닥부를 덮는다. 측방 커버는 궤도 및 반송 대차의 측방을 덮는다. 바닥 커버와 측방 커버와 천정에 의해 둘러싸인 공간으로 분출포트를 통해 다운 플로우식의 공기가 분출된다. 배출포트는, 바닥 커버 및 측방 커버 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 분출포트로부터 도입된 다운 플로우식의 공기를 배출한다.
이러한 궤도식 대차 시스템에 있어서 반송 대차는, 천정과 바닥 커버와 측방 커버에 의해 둘러싸인 공간을 주행하여 물품을 반송한다. 이 공간으로 분출포트로부터 다운 플로우식의 공기가 분출된다. 분출된 다운 플로우식의 공기는, 배출포트로부터 배출된다.
여기에서는, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차에 대하여 천정으로부터 다운 플로우식의 공기가 닿기 때문에, 물품을 반송 대차상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수가 있다.
측방 커버의 내측에서 궤도의 주위를 덮는 내측 커버와, 내측 커버 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛을 더 구비하여도 무방하다. 이로써, 가장 먼지가 발생될 우려가 있는 차륜과 궤도간의 접촉부분을 내측 커버에 의해 덮고, 덮인 공간의 공기를 팬 필터 유닛으로 흡인하여 발생된 먼지를 제거할 수 있다. 이 때문에, 차륜과 궤도의 사이에서 발생된 먼지가 물품측으로 분출되기 어려워져, 물품의 오염을 더욱 방지할 수가 있다.
내측 커버는, 궤도의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버 및 제 2 커버를 가지며, 반송 대차는, 제 1 커버와 제 2 커버의 간격보다 큰 폭을 갖는 격벽부를 구비하여도 무방하다. 이로써, 격벽부와 내측 커버에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛에 의한 흡인을 도움에 따라 먼지의 유출을 감소시킬 수가 있다.
배출포트는, 측방 커버의 하부에 형성되어 있어도 무방하다. 이로써, 공간 내에서의 물건의 낙하를 방지하기가 용이해진다.
본 발명에 따르면, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차에 대하여 천정으로부터 다운 플로우식의 공기가 닿기 때문에, 물품을 대차상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시형태에 의한 궤도식 대차 시스템의 평면도이다.
도 2는 궤도 주위의 단면도이다.
도 3은 반송 대차의 측면도이다.
도 4는 궤도 주위의 확대 단면도이다.
도 5는 측방 커버의 측면도.
도 6은 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 도 2에 상당하는 단면도이다.
도 7은 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 도 4에 상당하는 단면도이다.
도 8은 그 밖의 실시형태의 측방 커버의 도 5에 상당하는 측면도이다.
(1) 궤도식 대차 시스템
<제 1 실시형태>
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 궤도식 대차 시스템(1)은, 예컨대, 카세트(C, 도 2)에 노출되어 수납된 대형 유리기판 등의 물품(S)을 반송하는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우식의 공기를 분출하는 분출포트(7)를 갖는 클린룸 내에 배치된다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 또한, 궤도식 대차 시스템(1)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 내측 커버(9)와, 내측 커버(9) 내에 설치된 팬 필터 유닛(10)을 더 구비하고 있다.
궤도(2)는 천정(13)으로부터 매달려 있다. 구체적으로는, 궤도(2)를 매달기 위하여 천정(13)으로부터 연장되는 매달기 부재(30)에 의해 매달린 궤도 지지 프레임(31) 상에 궤도(2)가 배치되어 있다. 궤도(2)는 주행 공간(14)에 배치되어 있다. 궤도(2)는 예컨대 타원형의 루프 형상이다. 반송 대차(4)는, 궤도(2) 상을, 예컨대 흰색 화살표로 나타낸 시계방향으로 주행하여 궤도(2)를 따라 배치된 도시되지 않은 처리 장치로 물품(S)을 반송한다.
클린룸의 천정(13)에는, 다운 플로우(DF)식의 공기를 분출하는 분출포트(7)가 형성되어 있다. 따라서, 반송 대차(4)가 주행하는 주행 공간(14)에는, 천정(13)으로부터의 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 분출포트(7)에는 도 2에 나타내는 바와 같이, 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)이 설치되어 있다. 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)은, 천정(13) 내의 청정한 공기를 주행 공간(14)으로 분출하는 동시에, 공기 내의 먼지를 제거한다.
궤도(2)는 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 주행 레일(11)과 주행 가이드(12)를 갖는다. 주행 레일(11)은, 좌우 한 쌍의 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)로 구성되어 있다. 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)은 평탄한 주행면을 갖는다.
주행 가이드(12)는, 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)를 갖는다. 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)는, 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)의 외측단에 각각 설치되어 있다. 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)는 외측단으로부터 상방으로 연장되어 있다.
궤도(2)의 한쪽에는, 비접촉 급전선(給電線 : 17)이 배치되어 있다. 본 실시형태에서는 궤도(2)의 좌측에 배치되어 있다. 비접촉 급전선(17)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하로 간격을 두고 배치된 2개의 리츠선(Litz wire : 17a,17b)을 갖는다.
(2) 반송 대차
반송 대차(4)는 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 궤도(2)를 따라 주행하여 카세트(C)를 반송할 수 있는 것이다. 카세트(C)가 재치(載置)가능한 재치부(15)와, 궤도(2)를 주행할 수 있는 주행부(16)를 갖는다. 재치부(15)는 직사각형의 프레임형상의 부재이다. 재치부(15)의 하면에는, 주행부(16)를 부착하기 위한 제 1 부착부(15a) 및 제 2 부착부(15b)가 설치되어 있다. 제 1 부착부(15a)는 주행 방향 앞쪽에 배치되어 있다. 제 2 부착부(15b)는 주행방향 뒤쪽에 배치되어 있다. 재치부(15)의 상면에는, 주행부(16)로부터의 공기의 흐름을 차단하기 위해 직사각형의 전면(全面)에 격벽부(15c)가 형성되어 있다.
주행부(16)는, 제 1 부착부(15a)에 회동(回動)가능하게 부착된 구동 주행부(16a)와, 제 2 부착부(15b)에 회동가능하게 부착된 종동(從動) 주행부(16b)를 갖는다. 구동 주행부(16a) 및 종동 주행부(16b)는 보기 대차(bogie truck)이다. 구동 주행부(16a)는, 구동 프레임(20a)과, 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)을 갖는다. 또한, 종동 주행부(16b)는, 종동 프레임(20b)과, 좌측 종동륜(21c)과, 우측 종동륜(21d)을 갖는다. 좌측 구동륜(21a) 및 좌측 종동륜(21c)의 진행방향 양측에는, 좌측 고정 가이드 롤러(22a) 및 좌측 분기 가이드 롤러(23a)가 각각 개별 설치되어 있다. 우측 구동륜(21b) 및 우측 종동륜(21d)의 진행방향 양측에는, 우측 고정 가이드 롤러(22b)와 우측 분기 가이드 롤러(23b)가 각각 개별 설치되어 있다. 좌측 고정 가이드 롤러(22a) 및 좌측 분기 가이드 롤러(23a)는, 제 1 주행 가이드(12a)에 의해 안내된다. 우측 고정 가이드 롤러(22b) 및 우측 분기 가이드 롤러(23b)는, 제 2 주행 가이드(12b)에 의해 안내된다.
구동 프레임(20a)은, 제 1 부착부(15a)에 수직축 둘레로 회동가능하게 연결되어 있다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 구동 프레임(20a)에 좌우방향의 축둘레로 회전가능하게 지지되어 있다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 제 1 주행레일(11a) 및 제 2 주행레일(11b) 위를 각각 개별 주행한다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 구동 프레임(20a)에 설치된 좌측 구동모터(24a) 및 우측 구동모터(24b)에 의해 각각 개별 구동된다.
종동 프레임(20b)은, 제 2 부착부(15b)에 수직축 둘레로 회동가능하게 연결되어 있다. 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)은, 종동 프레임(20b)에 좌우방향의 축둘레로 회전가능하게 지지되어 있다. 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)은, 제 1 주행레일(11a) 및 제 2 주행레일(11b) 위를 각각 개별 주행한다.
구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에는, 비접촉 급전선(17)으로부터의 전력을 받는 좌측 픽업 유닛(28a) 및 우측 픽업 유닛(28b)이 부착되어 있다. 좌측 픽업 유닛(28a)은, 좌측 구동륜(21a) 및 좌측 종동륜(21c)을 각각 개별로 둘러싸도록 부착된 좌측 부착 브래킷(29a)을 통해 구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에 부착되어 있다. 우측 픽업 유닛(28b)은, 우측 구동륜(21b) 및 우측 종동륜(21d)을 각각 개별로 둘러싸도록 부착된 우측 부착 브래킷(29b)을 통해 구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에 부착되어 있다.
(3) 바닥 커버
바닥 커버(5)는, 궤도(2)의 바닥부를 덮도록 수평방향을 따라 배치되어 있다. 바닥 커버(5)는, 예컨대, 스테인리스 강판제(製)이며, 천정(13)으로부터 궤도(2)를 매달기 위해 연장되는 매달기 부재(30)에 의해 매달린 궤도 지지 프레임(31) 상에 형성되어 있다.
(4) 측방 커버
측방 커버(6)는, 반송 대차(4) 및 궤도(2)의 측방을 덮도록 수직으로 기립하여 배치되어 있다. 측방 커버(6)는, 예컨대, 클린룸용의 벽 패널을 이용하며, 매달기 부재(30)의 외측에서 궤도(2)의 양 측방을 덮도록 좌우 한 쌍으로 배치되어 있다. 측방 커버(6)는 천정(13)까지 연장되어 있다. 주행 공간(14)은 측방 커버(6)와, 천정(13)과, 바닥 커버(5)에 의해 반송 대차(4) 및 궤도(2)를 둘러싸도록 형성되어 있다.
(5) 배출포트
배출포트(8)는, 측방 커버(6)에 형성되어 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 주행 공간(14)으로부터 배출하는 것이다. 배출포트(8)는 바닥 커버(5)보다 상방에 배치되어 있다. 배출포트(8)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 주행 방향으로 간격을 두고 배치되어 있으며, 예컨대 측방 커버(6)의 벽 패널 1장마다 배치되어 있다. 도 2 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 배출포트(8)에는, 루버(louver ; 8a)가 설치되어 있다. 루버(8a)는, 주행 공간(14)으로부터 외부를 향해 비스듬하게 상방으로 경사져 형성되어 있다. 이로써, 주행 공간(14)으로부터 외부로 작은 물체가 낙하하기 어려워진다.
예컨대, 유지관리(maintenance)를 위해 주행 공간(14)에 사람이 출입하여 공구 등을 떨어뜨려도 공구가 외부로 낙하하기 어렵다. 또한, 물품(S)이 반송중에 깨져도 그 파편이 외부로 낙하하기 어렵다.
(6) 내측 커버
내측 커버(9)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 측방 커버(6)의 내측에서 궤도(2)의 주위를 덮도록 배치되어 있다. 내측 커버(9)는, 궤도(2)의 양 측방에 배치된 구부러져 형성된 뒤집힌 L자 형상(inverted L-shaped)의 단면을 갖는 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)를 갖는다. 제 1 실시형태에서는, 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)의 구부러진 선단은, 반송 대차(4)의 좌측 픽업 유닛(28a) 및 우측 픽업 유닛(28b)의 상방까지 내측으로 각각 연장되어 있다. 또한, 반송 대차(4)의 재치부(15)의 상면 전면(全面)에는, 상기한 바와 같이 격벽부(15c)가 설치되어 있다. 격벽부(15c)의 폭(W)은, 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)의 구부러진 선단의 간격(D)보다 크다. 이 때문에, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 상하방향에서 서로 겹치는 부분이 형성된다. 이로써, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛(10)에 의한 흡인을 도움에 따라 먼지가 내측 커버(9) 외부로 유출되는 것을 감소시킬 수 있다. 이 때문에, 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c), 우측 종동륜(21d)과 주행 레일(11)간의 접촉에 의해 내측 커버(9) 내에서 발생될 우려가 있는 먼지가 재치부(15)상에 재치(載置)된 카세트(C)내의 물품(S)으로 유출되기 어려워진다.
(7) 팬 필터 유닛
팬 필터 유닛(10)은, 내측 커버(9) 내의 공기를 흡인하고, 먼지를 제거하여 청정한 공기를 외부로 배출한다. 따라서, 팬 필터 유닛(10)은, 상술한 바와 같이 내측 커버(9) 내에서 발생될 우려가 있는 먼지를 제거할 수 있다.
(8) 궤도식 대차 시스템의 동작
이러한 구성의 제 1 실시형태에 관한 궤도식 대차 시스템(1)에서는, 반송 대차(4)가 궤도(2) 위를 주행할 때, 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 반송 대차(4)상으로 분출되어, 그것이 배출포트(8)로부터 배출된다. 이로써, 물품(S)에 먼지가 부착되기 어려워진다. 더욱이, 궤도(2)를 둘러싸도록 내측 커버(9)를 설치했기 때문에, 내측 커버(9) 내의 공기가 재치부(15)쪽으로 흐르기 어려워진다. 또한, 내측 커버(9) 내에 팬 필터 유닛(10)을 설치하였기 때문에, 반송 대차(4)의 하부에서 차륜과 궤도(2)간의 접촉으로 인해 발생될 우려가 있는 먼지가 제거되어, 물품(S)이 오염되기가 더욱 어려워진다.
<제 2 실시형태>
제 2 실시형태에서는, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 분출포트(107), 반송 대차(104)의 격벽부(115c), 내측 커버(109) 및 배출포트(108)의 구성이 제 1 실시형태와 다르다.
분출포트(107)는 제 1 실시형태보다 작고 그 수가 많다. 또한, 분출포트(107)에 다운 플로우용 팬 필터 유닛은 설치되지 않았다.
반송 대차(104)의 격벽부(115c)는, 재치부(115) 상면의 전면이 아닌 부분적으로 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이 재치부(115) 상면 중 좌우방향의 중심부에만 형성되어 있다.
내측 커버(109)의 좌측 커버(109a) 및 우측 커버(109b)의 구부러진 선단은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 구동 주행부(16a)의 구동 프레임(20a) 및 종동 주행부(16b)의 종동 프레임(20b)의 양측부까지 연장되어 있다. 따라서, 제 1 실시형태보다 구부러진 부분의 길이가 길다.
한편, 반송 대차(104)의 격벽부(115c)는, 재치부(115) 상면의 전면이 아닌 부분적으로 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 내측 커버(109)로 덮인 부분을 제외한, 재치부(115) 상면 중 좌우방향의 중심부에만 형성되어 있다. 제 2 실시형태에 있어서도 격벽부(115c)의 폭(W)은, 좌측 커버(109a) 및 우측 커버(109b)의 구부러진 선단의 간격(D)보다 크다. 이로써, 제 1 실시형태와 같은 작용효과를 거둔다.
또한, 배출포트(108)는, 측방커버(106)가 아닌, 바닥 커버(105)의 내측 커버(109)의 외측에, 예컨대, 그레이팅(grating) 또는 펀칭 메탈(punching metal)의 형태로 형성되어 있다. 배출포트(108)는, 제 1 실시형태와 같이 주행 방향으로 간격을 두고 형성되어 있지는 않고, 주행 방향의 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다.
그 밖의 구성은, 제 1 실시형태와 같으므로, 설명을 생략한다.
이러한 구성의 제 2 실시형태에서는, 반송 대차(104)의 경량화를 꾀할 수 있다. 그러나, 내측 커버(109)는, 제 1 실시형태의 내측 커버(9)보다 구부러진 부분의 길이가 길어지는 만큼 중량이 증가한다.
(10) 기류해석
제 1 실시형태에 의한 반송 대차(4) 및 내측 커버(9)와 제 2 실시형태에 의한 반송 대차(104) 및 내측 커버(109)에서 기류가 어떻게 움직이는지를 시뮬레이션하였다.
제 1 실시형태 및 제 2 실시형태 모두, 반송 대차의 기동 직후에는 그 후방의 350mm 정도의 범위에서 기류가 내측 커버(9,109) 내부로부터 분출된다. 그러나, 0.8초 후에는 분출된 기류가, 하향 기류가 되어 내측 커버(9,109) 내부로 되돌아와, 기류가 반송 대차(4,104)의 재치부(15,115)까지는 상승하지 않는 것을 확인하였다.
(11) 특징
(A) 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기가 천정(13)으로부터 분출되는 분출포트(7)를 갖는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 궤도는, 클린룸 내에서 천정으로부터 매달려 있다. 반송 대차(4)는, 궤도(2)를 따라 주행하며 물품(S)을 반송할 수 있다. 바닥 커버(5)는 궤도(2)의 바닥부를 덮는다. 측방 커버(6)는 궤도(2) 및 반송 대차(4)의 측방을 덮는다. 바닥 커버(5)와 측방 커버(6)와 천정(13)으로 둘러싸인 주행 공간(14)으로 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 배출포트(8)는, 바닥 커버(5) 및 측방 커버(6) 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 배출한다.
이러한 궤도식 대차 시스템(1)에서 반송 대차(4)는, 천정(13)과 바닥 커버(5)와 측방 커버(6)로 둘러싸인 주행 공간(14)을 주행하며 물품(S)을 반송한다. 상기 주행 공간(14)에 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기는 배출포트(8)로부터 배출된다.
여기서는, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차(4)에 대하여 천정(13)으로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 닿기 때문에, 물품(S)을 반송 대차(4) 상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품(S) 및 카세트(C)의 오염을 가급적 방지할 수가 있다.
(B) 측방 커버(6)의 내측에서 궤도의 주위를 덮는 내측 커버(9)와, 내측 커버(9) 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛(10)을 더 구비하고 있다. 이로써, 가장 먼지를 발생시킬 우려가 있는 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)과 궤도(2)간의 접촉부분을 내측 커버(9)로 덮고, 덮인 공간의 공기를 팬 필터 유닛(10)으로 흡인하여 발생된 먼지를 제거할 수 있다. 이 때문에, 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)과 궤도(2)의 사이에서 발생된 먼지가 물품(S)측으로 분출되기 어려워져, 물품(S)의 오염을 더욱 방지할 수가 있다.
(C) 내측 커버(9(또는 109))는, 궤도(2)의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버로서의 좌측 커버(9a) 및 제 2 커버로서의 우측 커버(9b)를 갖는다. 그리고, 반송 대차(4)는, 제 1 커버(9a)와 제 2 커버(9b)의 간격(D)보다 큰 폭(W)을 갖는 격벽부(15c)를 갖는다. 이로써, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛(10)에 의한 흡인을 도움에 따라, 먼지가 내측 커버(9) 밖으로 유출되는 것을 감소시킬 수가 있다.
(D) 배출포트(8)는, 측방 커버(6)의 하부에 형성되어 있다. 이로써, 주행 공간(14) 내로부터의 물건의 낙하를 방지하기 쉬워진다.
(12) 기타 실시형태
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였는데, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합가능하다.
(a) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)가 궤도(2)의 양 측방에 배치되어 있지만, 측방 커버의 배치는 상기 실시형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 상기한 루프 궤도와 같은 무단(endless) 순환 형상으로 이동하는 경우, 궤도의 외측(예컨대, 도 2의 좌측)에만 측방 커버를 설치하여도 무방하다. 이 경우, 궤도의 내주(內周)측을 포함하는 타원형의 공간이 형성된다.
(b) 상기 실시형태에서는, 카세트(C) 내에 물품(S)이 노출되어 수납되어 있지만, 노출되지 않고 물품(S)이 카세트(C)에 밀폐되어 수납되는 형태여도 본 발명을 적용할 수 있다. 이 경우, 카세트(C)의 오염을 방지할 수 있다.
(c) 상기 실시형태에서는, 분출포트(7)에 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)을 배치하였다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않으며, 분출포트는, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기를 주행 공간(14) 내에 도입할 수 있으면 되고, 팬 필터 유닛을 설치하지 않아도 무방하다.
(d) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)의 바닥 커버(5)보다 상방에 배출포트(8)를 형성하였으나, 도 8에 나타낸 실시형태에서는, 배출포트(208)를 바닥 커버(5)와의 경계부분에 형성하였다. 도 8에서 측방 커버(206)는, 받침대(pedestal)(240)상에 놓아 높이를 높였고, 그 높인 부분의 틈새가 배출포트(208)로 되어 있다. 이와 같이 배출포트(208)를 측방 커버(206)의 바닥 커버(5)와의 경계부분에 배치하여도 무방하다.
(e) 상기 실시형태에서는, 배출포트를 측방 커버 또는 바닥 커버에 형성하였지만, 양쪽 모두에 형성하여도 무방하다.
(f) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)를 천정(13)까지 연장시켰지만, 천정(13)과 틈새를 벌려도 무방하다.
본 발명은, 클린룸 내에서 궤도를 주행하는 반송 대차에 의해 물품을 반송하는 궤도식 반송 시스템에 적용가능하다.
1 : 궤도식 대차 시스템
2 : 궤도
4 : 반송 대차
5 : 바닥 커버
6 : 측방 커버
7 : 분출포트
8 : 배출포트
9 : 내측 커버
10 : 팬 필터 유닛
11 : 주행 레일
11a : 제 1 주행 레일
11b : 제 2 주행 레일
12 : 주행 가이드
12a : 제 1 주행 가이드
12b : 제 2 주행 가이드
13 : 천정
14 : 주행 공간
15 : 재치(載置)부
15a : 제 1 부착부
15b : 제 2 부착부
15c : 격벽부
16 : 주행부
16a : 구동 주행부
16b : 종동(從動) 주행부
17 : 비접촉 급전선(給電線)
17a : 리츠선(Litz wire)
17b : 리츠선
20a : 구동 프레임
20b : 종동 프레임
21a : 좌측 구동륜
21b : 우측 구동륜
21c : 좌측 종동륜
21d : 우측 종동륜
22a : 좌측 고정 가이드 롤러
22b : 우측 고정 가이드 롤러
23a : 좌측 분기 가이드 롤러
23b : 우측 분기 가이드 롤러
24a : 좌측 구동모터
24b : 우측 구동모터
28a : 좌측 픽업 유닛
28b : 우측 픽업 유닛
29a : 좌측 부착 브래킷
29b : 우측 부착 브래킷
30 : 매달기 부재
31 : 궤도 지지 프레임
32 : 다운 플로우용 팬 필터 유닛
104 : 반송 대차
105 : 바닥 커버
106 : 측방 커버
108 : 배출포트
109 : 내측 커버
115 : 재치부
115c : 격벽부
206 : 측방 커버
208 : 배출포트
240 : 받침대

Claims (4)

  1. 다운 플로우식의 청정한 공기가 천정으로부터 분출되는 분출포트를 갖는 클린룸 내에 배치되는 궤도식 대차 시스템으로서,
    상기 클린룸 내에서 천정으로부터 매달린 궤도와,
    상기 궤도를 따라 주행하며 물품을 반송할 수 있는 반송 대차와,
    상기 궤도의 바닥부를 덮는 바닥 커버와,
    상기 궤도 및 반송 대차의 측방을 덮는 측방 커버와,
    상기 바닥 커버 및 측방 커버 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 상기 분출포트로부터 도입된 상기 다운 플로우식의 공기를 배출하는 배출포트를 구비한 궤도식 대차 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 측방 커버의 내측에서 상기 궤도의 주위를 덮는 내측 커버와,
    상기 내측 커버 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛을 더 구비한 궤도식 대차 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 내측 커버는, 상기 궤도의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버 및 제 2 커버를 가지며,
    상기 반송 대차는, 상기 제 1 커버와 제 2 커버의 간격보다 큰 폭을 갖는 격벽부를 구비한 궤도식 대차 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 배출포트는, 상기 측방 커버의 하부에 형성되어 있는 궤도식 대차 시스템.
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