KR20230083375A - 이송 차량 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비 - Google Patents

이송 차량 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비 Download PDF

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KR20230083375A
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 이송 차량 세정 장치는 하우징 내부에 하강 기류를 형성하고, 이중 커버 구조를 적용함으로써 이송 차량 상부에서 비산된 파티클이 이송 차량의 하부에 재부착되는 것을 방지할 수 있다.

Description

이송 차량 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비{TRANSPORT VEHICLE CLEANING DEVICE AND TRANSPORT EQUIPMENT INCLUDING THE SAME}
본 발명은 물품을 이송하는 이송 차량의 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있다.
예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 이송 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 이송 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량은, 이송 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈(예: 비히클)과, 상기 주행 모듈의 아래에 연결되며 자재의 이송을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은, 내부 공간을 제공하는 프레임과 상기 자재를 파지하기 위한 그리퍼들을 구비하는 핸드 유닛과, 상기 핸드 유닛을 수직 방향으로 이동시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다. 상기 핸드 유닛과 상기 호이스트 유닛은 상기 내부 공간에 배치될 수 있다.
상기 이송 차량들은 주행 과정에서 구동 휠 등에 의해 파티클과 같은 이물질을 발생시킬 수 있으며, 이러한 이물질은 이송 차량의 표면에 부착될 수 있다. 특히, 상기 프레임 내부 또는 외부로 상기 이물질이 부착될 수 있다. 이송 차량의 표면에 이물질이 부착된 상태로 주행할 경우, 주행 과정에서 이물질이 비산되어 제조 라인을 오염시킬 수 있다.
따라서 본 발명은 이송 차량의 상부에서 비산된 이물질이 하부에 재부착되는 것을 방지할 수 있는 이송 차량 세정 장치 및 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 주행 모듈과 상기 주행 모듈 하부에 연결되고 상기 물품의 수용 공간을 갖는 프레임을 포함하는 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치가 제공될 수 있다. 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 세정 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징의 상부에 제공되고, 상기 세정 공간에 하강 기류를 형성하기 위한 팬 유닛; 상기 하우징의 천장에 제공되고, 상기 이송 차량을 향하여 공기를 분사하기 위한 가스 분사 유닛; 상기 하우징의 하부에 제공되고, 상기 세정 공간으로 공급된 공기 및 상기 이송 차량으로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하고 상기 세정 공간을 배기하는 배기 유닛; 및 상기 하우징 내부에 상기 프레임을 감싸도록 구성되며, 상기 이송 차량의 상부로부터 비산된 파티클이 상기 이송 차량의 하부에 부착되는 것을 방지하기 위한 프레임 커버를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 프레임 커버는 상기 프레임의 개방된 면을 감싸도록 구성되며, 상기 프레임의 내부 공간을 상기 세정 공간과 차단 가능하도록 제작될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 차량은 상기 프레임 커버 내에 진입한 후 기 설정된 위치에서 정차할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하우징은 상기 이송 차량이 진입하는 입구 도어와 상기 이송 차량이 진출하는 출구 도어를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 입구 도어에는 상기 이송 차량의 진입을 감지하는 제1 센서가 설치되고, 상기 출구 도어에는 상기 이송 차량의 진출을 감지하기 위한 제2 센서가 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 가스 분사 유닛은 복수의 노즐을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 상기 노즐은 상기 이송 차량이 상기 하우징 내부에서 정차한 후 상기 주행 모듈의 표면을 향하여 공기를 분사할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 팬 유닛은 상기 세정 공간으로 하방 기류를 공급하는 복수의 팬을 포함하고, 상기 복수의 팬들은 상시 작동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 물건 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 방법이 제공될 수 있다. 상기 이송 차량 세정 방법은, 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치 내부에 하강 기류를 공급하는 단계; 상기 이송 차량 세정 장치 내부로 이송 차량을 진입시키는 단계; 상기 이송 차량을 세정하는 단계; 및 상기 이송 차량 세정 장치 외부로 상기 이송 차량을 진출시키는 단계를 포함하고, 상기 이송 차량 세정 단계는, 상기 이송 차량의 하부에 포함된 프레임을 파티클로부터 보호하기 위한 과정을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 차량 세정 방법은, 상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로 접근한 것을 감지하는 단계와, 상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로부터 진출한 것을 감지하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하강 기류 공급 단계는, 상기 이송 차량 세정 방법의 전체 과정에 걸쳐 지속적으로 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 차량 세정 단계는, 상기 이송 차량 세정 장치의 내부를 배기하는 배기 단계와; 상기 이송 차량을 프레임 커버 내부에 위치시키는 단계와; 상기 프레임 커버 내부에 위치된 이송 차량으로 가스를 분사하는 가스 분사 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 배기 단계는, 상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로 진입한 후부터 상기 이송 차량의 상기 이송 차량 세정 장치로부터 진출하기 전까지 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 천장 측에 설치되고 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 주행 레일; 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 모듈 및 상기 주행 모듈의 하부에 결합되며 상기 물품을 수용하기 위한 프레임이 제공되는 호이스트 모듈을 포함하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량; 상기 물품 이송 차량에 대한 세정을 수행하기 위해 상기 이송 레일에 인접하게 배치되며, 상기 주행 모듈로부터 비산된 파티클이 상기 호이스트 모듈에 재부착되는 것을 방지 가능한 이송 차량 세정 장치를 포함하는 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 차량 세정 장치는, 상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 세정 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징의 상부에 구비되고, 상기 세정 공간에 하강 기류를 형성하기 위한 팬 유닛; 상기 하우징의 천장에 설치되고, 상기 이송 차량을 향하여 공기를 분사하기 위한 가스 분사 유닛; 상기 하우징의 하부에 구비되고, 상기 세정 공간으로 공급된 공기 및 상기 이송 차량으로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하고 상기 세정 공간을 배기하는 배기 유닛; 및 상기 하우징 내부에 상기 프레임의 개방된 면을 감싸도록 구성되며, 상기 프레임 내부 공간을 상기 세정 공간과 차단 가능한 프레임 커버를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이송 차량은 상기 프레임 커버 내에 진입한 후 기 설정된 위치에서 정차할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 하우징은 상기 이송 차량이 진입하는 입구 도어와 상기 이송 차량이 진출하는 출구 도어를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 입구 도어에는 상기 이송 차량의 진입을 감지하는 제1 센서가 설치되고, 상기 출구 도어에는 상기 이송 차량의 진출을 감지하기 위한 진출 센서가 설치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 가스 분사 유닛은 복수의 노즐을 포함하고,
각각의 상기 노즐들은 상기 이송 차량이 정차한 후 상기 주행 모듈의 표면을 향하여 공기를 분사할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 팬 유닛은 상기 세정 공간으로 하방 기류를 공급하는 복수의 팬을 포함하고, 상기 복수의 팬들은 상시 작동할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 이송 차량 세정 장치는 세정 공간을 제공하는 하우징 내부에 이송 차량의 프레임을 감싸는 프레임 커버를 구비한다. 프레임 커버는 프레임 표면 및 내부 공간을 세정 공간으로부터 차단함으로써 이송 차량 상부의 주행 모듈로부터 비산된 파티클 등의 이물질들이 이송 차량 하부의 프레임에 재부착되는 재오염을 방지할 수 있다.
또한, 세정 공간 내부에는 하강 기류가 형성되고 세정 공간 하부의 배기 유닛에 의해 세정 공간이 배기됨에 따라 이송 차량 표면으로부터 비산된 파티클 등의 이물질이 세정 공간으로부터 더욱 효율적으로 제거될 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 물품 이송 차량의 구성을 나타내는 정면도 및 좌측면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 이송 차량 세정 장치의 구성을 나타내는 정면도 및 좌측면도이다.
도 6 및 도 7은 도 4 및 도 5에 도시된 이송 차량 세정 장치의 변형예를 나타내는 좌측면도 및 사시도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 차량의 세정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명은 반도체 또는 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)를 제조하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치에서 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체(또는, 평판 디스플레이) 제조 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 기판(웨이퍼 등)을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 기판들이 수납되는 컨테이너일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 그리고, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명은 다양한 기술 분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이지만, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 내부 공간에 웨이퍼들이 수납되는 전면 개방 통합 포드(이하, FOUP이라고도 칭하기로 한다.)를 반도체 제조 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.
반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 제조 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 반도체 제조 설비에서 공정 수행이 완료된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 반도체 제조 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이송될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 반도체 제조 설비를 나타내고, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송하기 위한 이송 경로(11)를 제공하는 주행 레일을 나타낸다. 또, 도면 부호 20은 이송 경로(11)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량을 나타내고, 도면 부호 30은 물품에 대한 임시 보관 공간을 제공하는 단수 또는 복수의 버퍼(buffer)를 나타낸다. 주행 레일(10)은 반도체 제조 공장의 천장 측에 배치된다. 물품 이송 차량(20)들은 물품을 반도체 제조 설비(1)들 중 특정 설비에서 다른 설비로 곧바로 이송할 수도 있고 버퍼(30)에 일시적으로 보관한 후 다른 설비로 이송할 수도 있다. 버퍼(30)는 이송 경로(11)의 측방에 설치된 레일 측면 버퍼이거나 이송 경로(11)의 하방에 설치된 레일 하부 버퍼일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 복수의 물품 이송 차량(20)을 포함한다. 이 같은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛과 수전 유닛을 통하여 전원 공급 장치로부터 구동 전력을 제공받아 작동하도록 구성되고, 통합 제어 장치를 더 포함하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영할 수 있다. 도시하지는 않았지만, 물품 이송 설비는 물품 이송 차량(20)의 유지 및 보수를 위한 유지 보수용 리프터, 주행 모듈 리프터, 테스트 벤치 등과 같은 설비들을 더 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 이송 경로(11)는, 직선 형상인 적어도 하나 이상의 직선 구간(12), 곡선 형상인 적어도 하나 이상의 곡선 구간(13) 및 경로의 분기 및/또는 합류를 위한 적어도 하나 이상의 접속 구간(14)을 포함할 수 있다.
도 2 및 도 3은 OHT의 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 주행 레일(10)은, 좌우 방향으로 서로 이격되고 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일 부재를 포함하고, 레일 서포트(rail support, 15) 들에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치된다. 레일 서포트(15) 각각은, 하단 부분이 한 쌍의 레일 부재를 지지하고, 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다. 한 쌍의 레일 부재는 상측에 주행 면을 제공하도록 형성될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 주행 모듈(100), 그리고 주행 모듈(100)의 하부에서 물품인 FOUP을 지지하는 호이스트 모듈(200)를 포함한다. 호이스트 모듈(200)는 주행 모듈(100)과 함께 이동되고 물품을 지지한다.
주행 모듈(100)은 차체(110)와 휠(wheel, 120)들을 포함한다. 차체(110)에는 좌우 방향으로 연장된 차축이 장착된다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일(11)의 주행 면에 각각 접촉되어 구름 운동을 할 수 있다. 주행 모듈(100)은 휠(120)들을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 휠 구동 유닛(130)을 더 포함한다. 일례로, 휠 구동 유닛(130)은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.
호이스트 모듈(200)은 프레임(210)을 포함한다. 프레임(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 주행 모듈(100)과 서로 연결된다. 프레임(210)은 상부가 차체(110)의 하부에 단수 또는 복수의 연결기에 의하여 연결될 수 있다. 프레임(210)은 호이스트 모듈(200)의 외관을 형성하고 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공한다. 프레임(210)은 물품을 수용 공간(212)에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 좌우 양 옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성된다.
게다가, 호이스트 모듈(200)은, 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛(220), 그리고 핸드 유닛(220)을 제1 위치와 제2 위치 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함한다. 제1 위치는 핸드 유닛(220)이 그립한 물품이 프레임(210)의 수용 공간(212)에 수용되는 위치이고, 제2 위치는 이러한 제1 위치로부터 벗어난 위치에 해당하는 프레임(210)의 외부이다. 호이스트 모듈(200)은 핸드 이동 유닛으로서 상하 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함한다.
핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 상하 구동 유닛(230)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킨다. 상하 구동 유닛(230)은 적어도 하나 이상의 벨트(belt)를 드럼(drum)에 대하여 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키고, 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 일례로, 핸드 유닛(220)을 상하 구동 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 상하 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 장치(40)를 설명하기 위한 개략도 및 확대 개략도이다. 설명의 편의를 위하여, 이송 차량(20)의 일부 구성 요소들을 개략적으로 표현하였다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 장치(40)는 주행 레일(10)에 인접하게 배치되며 앞서 설명한 이송 차량(20)을 세정하기 위해 사용될 수 있다.
이송 차량 세정 장치(40)는 하우징(41), 팬 유닛(42), 가스 분사 유닛(43), 이송 배기 유닛(44), 프레임 커버(45)를 포함할 수 있다.
하우징(41)은 이송 차량(20)의 세정이 수행되는 세정 공간을 제공할 수 있다. 하우징(41)은 클린룸의 천장에 고정될 수 있고 주행 레일(10)과 이송 차량(20)의 이동 경로를 감싸도록 배치될 수 있다. 즉, 주행 레일(10)을 따라 이동하는 이송 차량(20)이 세정을 위해 진입하고 진출할 수 있도록 구성될 수 있다. 하우징(41)은 이송 차량(20)이 진입하는 입구와 이송 차량(20)이 진출하는 출구를 포함하고, 입구를 개폐하는 입구 도어(411)와 출구를 개폐하는 출구 도어(412)가 설치된다.
주행 레일(10)을 따라 이동하던 이송 차량(20)은 입구 도어(411)가 개방된 후에 하우징(41) 내부로 진입하게 된다. 이송 차량(20)의 진입이 완료되면 입구 도어(411)가 폐쇄되고, 세정 공간 내 기 설정된 위치에 이송 차량(20)이 정차하면 이송 차량에 대한 세정 공정이 수행된다. 이송 차량(20)에 대한 세정 공정이 완료되면 이송 차량(20)은 주행을 재개하고 출구 도어(412)가 개방된 후 하우징(41) 외부로 진출하게 된다. 이송 차량(20)의 진출이 완료되면 출구 도어(412)가 폐쇄된다.
입구 도어(411)에는 이송 차량(20)의 진입을 감지하기 위한 제1 센서(413)가 설치되고, 출구 도어(412)에는 이송 차량(20)의 진출을 감지하기 위한 제2 센서(414)가 설치될 수 있다. 제1 센서(413)는 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)로 접근하는 것을 감지할 수 있다. 제2 센서(414)는 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)로부터 진출 완료한 것을 감지할 수 있다. 입구 도어(411)는 제1 센서(413)로부터 이송 차량(20) 감지 신호를 전달 받아 입구 도어(411)를 개방하고, 출구 도어(412)는 제2 센서(414)로부터 이송 차량(20) 감지 신호를 전달 받아 출구 도어(412)를 폐쇄할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 입구 도어(411) 및 출구 도어(412)를 개방 및 폐쇄시키기 위한 별도의 구동부가 구비될 수 있다.
한편, 입구 도어(411) 및 출구 도어(412)의 개방 시간은 미리 설정될 수 있다. 도어의 개방 시간은 이송 차량(20)의 이송 속도에 기반하여 설정될 수 있다. 또한, 출구 도어(412)는 입구 도어(411)가 폐쇄된 이후 일정 시간이 지나면 개방되도록 설정될 수 있다. 여기서, 일정 시간은 입구 도어(411) 폐쇄 직후부터 수행되는 세정 공정의 소요 시간으로 장치 사용자에 의하여 설정될 수 있다. 이때, 소요 시간의 기준이 되는 시작 지점 역시 장치 사용자에 의하여 설정될 수 있다. 예를 들어, 소요 시간의 시작 지점은 입구 도어(411)가 개방된 직후일 수도 있다. 또는, 소요 시간의 시작 지점은 제1 센서(413)가 이송 차량(20)을 감지한 순간일 수도 있다.
팬 유닛(42)은 세정 공간에 하강 기류를 형성하기 위해 하우징(41) 상부에 제공될 수 있다. 팬 유닛(42)은 세정 공간으로 하방 기류를 공급하는 복수의 팬을 포함할 수 있다. 팬 유닛(42)은 팬들의 동작에 의하여 하우징(41) 내부로 공기를 유입시킬 수 있다. 복수의 팬은 공기의 유동을 일으키는 날개차와 날개차로 유입되는 공기의 유동을 안내하기 위한 케이싱을 포함할 수 있다. 날개차는 원주 상에 등간격으로 배치되는 다수의 날개를 가지고 회전하는 원통일 수 있다. 팬 유닛(42)은 공기와 함께 유입될 수 있는 오염 물질을 제거하기 위한 필터를 더 포함할 수 있다. 일 예로, 필터는 헤파(High Efficiency Particulate Air, HEPA) 필터 또는 울파(Ultra-Low Penetration Air, ULPA) 필터를 포함할 수 있다. 필터는 각각의 팬의 상부 또는 하부에 제공될 수 있다. 또는, 각 팬의 상하부에 모두 제공될 수 있다. 팬 유닛(42)은 상시 작동함으로써 세정 공간 내의 하방 기류를 유지할 수 있다.
가스 분사 유닛(43)은 하우징(41)의 천장에 제공되고 이송 차량(20)을 향해 공기를 분사할 수 있다. 가스 분사 유닛(43)은 복수의 노즐을 포함할 수 있다. 또는, 에어 나이프 형태를 가질 수 있다. 가스 분사 유닛(43)의 가스 분사 시간과 가스 분사량은 미리 설정될 수 있고, 조정될 수 있다. 가스 분사 유닛(43)은 하우징(41) 내부로 진입한 이송 차량(20)이 정차하는 영역에 설치될 수 있다.
일 예로, 가스 분사 유닛(43)은 하우징(41) 내부의 천장에 주행 레일(10)의 배열 방향을 따라 복수 열로 배치된 가스 유로가 설치되고, 각 가스 유로에는 일정 간격으로 복수의 노즐이 배치될 수 있다. 이때, 복수의 노즐은 이송 차량(20)의 상부 영역인 주행 모듈(100)을 향하도록 배치되고, 최대한 주행 모듈(100)의 전체 표면에 가스가 분사되도록 배열될 수 있다. 예를 들어, 복수의 노즐은 지그재그로 배열될 수 있다.
일 예로, 가스 분사 유닛(43)은 하우징(41)의 천장에 주행 레일(10)의 배열 방향을 따라 길게 형성된 에어 나이프가 복수 개 설치될 수 있다. 이때, 각 에어 나이프의 가스 분사 방향은 이송 차량(20)의 상부 영역인 주행 모듈(100)을 향하도록 배치될 수 있다.
가스 분사 유닛(43)에 의하여 분사되는 가스는 건조 가스(Clean Dry Air, CDA)일 수 있다.
한편, 상세히 도시되지는 않았지만, 가스 분사 유닛(43)은 세정 효율의 향상을 위하여 하우징(41)의 천장으로부터 승하강 가능하도록 설치될 수 있다.
배기 유닛(44)은 하우징(41)의 하부에 제공되고 세정 공간을 배기할 수 있다. 자세히 도시되지는 않았지만, 배기 유닛(44)은 배기구 및 배기관을 포함하고 진공 펌프와 연결될 수 있다. 배기 유닛(44)은 하우징(41)의 바닥면에 설치될 수 있고, 배기 유닛(44)에 의하여 하우징(41) 내부에 형성된 하강 기류와 가스 분사 유닛(43)으로부터 공급된 가스 및 이송 차량(20)으로부터 제거된 이물질이 흡입되어 제거될 수 있다. 배기 유닛(44)은 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)로 진입 완료한 시점부터 이송 차량 세정 장치(40)로부터 진출 완료한 시점까지 작동될 수 있다. 상시 작동하는 팬 유닛(42)과 배기 유닛(44)이 동시에 작동됨에 따라 형성되는 강력한 하강 기류에 의하면, 이송 차량(20)으로부터 제거된 파티클 등의 이물질들이 바로 배기 유닛(44)을 통해 제거됨으로써 파티클 등의 이물질들이 비산되는 것이 방지될 수 있다.
프레임 커버(45)는 하우징(41)의 내부에 구비되고 주행 모듈(100)로부터 비산된 파티클이 호이스트 모듈(200)의 프레임(210)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 프레임 커버(45)는 프레임(210)의 개방된 면을 감싸도록 구성될 수 있다. 프레임 커버(45)는 프레임(210)의 개방된 면을 밀폐함으로써 프레임(210)의 내부 공간을 하우징(41)의 내부 공간으로부터 차단할 수 있다. 즉, 프레임(210)의 내부 공간을 세정 공간과 차단할 수 있다. 프레임 커버(45)의 사이즈는 프레임(210)의 사이즈보다 미세하게 크게 형성될 수 있다. 구체적으로, 프레임 커버(45)의 사이즈는 이송 차량(20)이 완전히 프레임 커버(45) 내부에 진입했을 때 프레임(210)이 프레임 커버(45)의 내측벽에 접촉되지 않는 최소한의 사이즈로 구비될 수 있다.
하우징(41) 내부로 진입한 이송 차량(20)은 하우징(41) 내의 기 설정된 위치에서 정차할 수 있고, 이송 차량(20)이 정차하는 위치는 프레임 커버(45)가 프레임(210)의 개방된 면을 완전히 밀폐할 수 있는 위치이다. 즉, 이송 차량(20)은 프레임 커버(45) 내부로 완전히 진입한 후 미리 설정된 위치에서 정차할 수 있다.
프레임 커버(45)에 의하여, 가스 분사 유닛(43)에 의해 주행 모듈(100)로부터 분리된 파티클 등의 이물질이 호이스트 모듈(200)에 재부착되는 것이 방지될 수 있다.
본 발명에서는 프레임 커버(45)가 프레임(210)의 개방된 영역만을 감싸는 것을 예로 들어 설명하였지만, 프레임 커버(45)는 프레임(210) 전체 면을 감싸도록 제작될 수도 있다.
도 6 및 도 7은 도 4 및 도 5에 도시된 이송 차량 세정 장치의 변형예를 도시한 것이다. 도 6은 변형예에 따른 이송 차량 세정 장치의 측면도를 도시한 것이고, 도 7은 도 6의 이송 차량 세정 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 것이다. 설명의 편의를 위하여 일부 구성 요소를 생략하거나 왜곡하였다.
도 6 및 도 7에 도시된 이송 차량 세정 장치(40')와 도 4 및 도 5에 도시된 이송 차량 세정 장치(40)의 차이점은, 수용할 수 있는 이송 차량(20)의 개수이다. 즉, 이송 차량 세정 장치(40')는 복수의 이송 차량(20)을 동시에 세정할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 이송 차량 세정 장치(40')는 두 개의 이송 차량(20)을 동시에 세정 가능하도록 형성될 수 있다. 이를 제외한 다른 구성 요소들은 이송 차량 세정 장치(40)와 동일하므로 설명을 생략하기로 한다.
이송 차량 세정 장치(40')은 앞서 설명한 이송 차량 세정 장치(40)를 두 개 이어 붙인 모양과 같을 수 있다. 이송 차량 세정 장치(40')는 제1 프레임 커버(451)와 제2 프레임 커버(452)를 포함할 수 있다. 이송 차량 세정 장치(40')는 두 개의 이송 차량(20)을 한번에 세정함으로써 공정 효율을 높일 수 있다.
한편, 도 6 및 도 7에서 이송 차량 세정 장치(40')의 배기 유닛이 두 개의 배기구를 갖는 것으로 예를 들었지만, 하나의 배기구로 합쳐진 형태로 제공될 수도 있다.
이송 차량 세정 장치가 수용할 수 있는 이송 차량의 수는 조절되어 제작될 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 방법을 나타낸 흐름도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 방법은 앞서 설명한 이송 차량 세정 장치에 의하여 수행될 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 방법은, 이송 차량 세정 장치 내부로 하강 기류를 공급하는 단계(S10), 이송 차량 세정 장치 내부로 이송 차량을 진입시키는 단계(S20), 이송 차량을 세정하는 단계(S30), 이송 차량을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출시키는 단계(S40)를 포함할 수 있다.
세정 장치 내부로 하강 기류를 공급하는 단계(S10)는, 세정 공간으로 하강 기류를 공급하는 단계로 세정 장치(40) 상부에 제공된 팬 유닛(42)에 의하여 수행될 수 있다. S10 단계는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 차량 세정 방법의 전체 과정에 걸쳐 유지되는 단계이다. 즉, S10 단계는 이송 차량 세정 방법의 전체 단계에 걸쳐 지속적으로(항상) 수행된다.
세정 장치 내부로 이송 차량을 진입시키는 단계(S20)는, 차량 진입 감지 단계(S21)와, 입구 도어 개방 단계(S22), 차량 진입 단계(S23), 입구 도어 폐쇄 단계(S24)를 포함할 수 있다.
차량 진입 감지 단계(S21)는 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)로 진입하기 위해 이송 차량 세정 장치(40)로 접근한 것을 감지하는 단계이다.
입구 도어 개방 단계(S22)는 이송 차량 세정 장치(40)의 입구 도어를 개방하는 단계이다.
차량 진입 단계(S23)는 이송 차량 세정 장치(40)의 세정 공간으로 이송 차량(20)이 진입하는 단계이다.
입구 도어 폐쇄 단계(S24)는 이송 차량(20)이 세정 공간에 완전히 진입하면 이송 차량 세정 장치(40)의 입구 도어를 폐쇄하는 단계이다.
입구 도어의 개방이 유지되는 시간은 이송 차량(20)의 이송 속도에 기반하여 조절될 수 있다.
이송 차량을 세정하는 단계(S30)는 이송 차량(S20)이 입구 도어가 폐쇄된 순간부터 시작되고, 배기 유닛 ON 단계(S31), 차량 정위치 정차 단계(S32), 가스 분사 유닛 ON 단계(S33), 가스 분사 유닛 OFF 단계(S34), 차량 대기 단계(S35), 차량 주행 재개 단계(S36), 배기 유닛 OFF 단계(S37)를 포함할 수 있다.
배기 유닛 ON 단계(S31)는 배기 유닛(44)을 ON시켜 세정 공간의 배기를 시작하는 단계이다. 배기 유닛 ON 단계(S31)에 의하면, 이송 차량(20)의 세정 공간 진입이 완료된 순간부터 배기 유닛(44)의 작동과 팬 유닛(42)의 작동이 동시에 수행됨으로써 세정 공간 내부에 하강 기류가 형성될 수 있다.
차량 정위치 정차 단계(S32)는 이송 차량(20)을 기 설정된 위치에 정차시키는 단계이다. 차량 정위치 정차 단계(S32)는 이송 차량(20)을 프레임 커버 내부에 위치시킴으로써 프레임 내부를 세정 공간으로부터 차단할 수 있다. 이에 따라 이송 차량(20)의 하부 영역인 호이스트 모듈(200)을 주행 모듈(100)로부터 비산된 파티클 등의 이물질로부터 보호할 수 있다.
가스 분사 유닛 ON 단계(S32)는 가스 분사 유닛을 작동시켜 이송 차량(20)를 향한 가스 분사를 수행하는 단계이다. 가스 분사 유닛이 이송 차량(20)의 주행 모듈(100)의 표면을 향해 가스를 분사함으로써 주행 모듈(100)에 부착된 파티클 등의 이물질들이 제거될 수 있다.
가스 분사가 일정 시간동안 수행되고 난 후 가스 분사 유닛의 작동을 중단하는 가스 분사 유닛 OFF 단계(S33)가 수행될 수 있다.
차량 대기 단계(S35)는 가스 분사 유닛의 작동이 중단된 후 배기 유닛(44)에 의해 세정 공간 내부의 이물질들이 완전히 제거되는 때까지 차량을 대기시키는 단계이다.
차량 주행 재개 단계(S36)는 세정 공간 내부의 이물질들이 완전히 제거되면 수행되는 단계로, 정차된 이송 차량을 다시 주행시키는 단계이다.
배기 유닛 OFF 단계(S37)는 이송 차량 세정 단계(S30) 동안 계속 작동하는 배기 유닛(44)을 OFF시키는 단계이다.
이송 차량을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출시키는 단계(S40)는 세정 공정이 완료된 이송 차량을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출시키기 위한 단계이다. 이송 차량을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출시키는 단계(S40)는 출구 도어 개방 단계(S41), 차량 진출 단계(S42), 차량 진출 감지 단계(S43), 출구 도어 폐쇄 단계(S44)를 포함할 수 있다.
출구 도어 개방 단계(S41)는, 세정 공정이 완료된 이송 차량(20)을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출시키기 위하여 이송 차량 세정 장치(40)의 출구 도어를 개방시키는 단계이다.
차량 진출 단계(S42)는 개방된 출구 도어를 통해 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)의 출구 도어를 통해 이송 차량(20)을 이송 차량 세정 장치 외부로 진출하는 단계이다.
차량 진출 감지 단계(S43)는 이송 차량(20)의 진출 과정이 완료됨을 감지하는 단계이다. 이송 차량(20)이 이송 차량 세정 장치(40)로부터 완전히 진출된 것을 감지할 수 있다.
출구 도어 폐쇄 단계(S44)는 개방되었던 이송 차량 세정 장치의 출구 도어를 폐쇄하는 단계이다. 출구 도어의 개방이 유지되는 시간은 이송 차량(20)의 이송 속도에 기반하여 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 차량(20)의 세정은 주기 별로 수행될 수 있고, 세정 주기는 설정될 수 있다. 또한, 이송 차량(20)의 세정을 위한 이송 차량 세정 장치(40)의 세부 동작(세정 시간, 도어 개방 시간, 각 구성 요소들의 동작 시점 및 시간 등)은 사용자에 의하여 설정되거나 조정될 수 있다.
또한, 상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 이송 차량(20)에 대한 세정이 이송 레일(10)에 인접하게 배치된 이송 차량 세정 장치(40)에 의해 수행될 수 있으므로, 별도의 리프트를 이용하는 종래 기술의 경우와 비교하여 세정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 특히, 이송 차량(20)에 대한 세정이 세정 공간을 제공하는 하우징(41) 내에서 수행될 수 있고, 하우징(41) 내부에는 호이스트 모듈(200)을 보호하기 위한 프레임 커버(45)가 구비됨으로써 상부의 주행 모듈(100)로부터 비산되는 파티클 등의 이물질이 하부의 호이스트 모듈(200)에 재부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 하우징(41)의 상부에 제공된 팬 유닛(42)과 배기 유닛(44)에 의해 세정 공간 내부에 하강 기류를 형성함으로써 파티클 등의 이물질의 비산을 억제할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 주행 레일
20: 이송 차량
100: 주행 모듈
200: 호이스트 모듈
210: 프레임
40: 이송 차량 세정 장치
41: 하우징
42: 팬 유닛
43: 가스 분사 유닛
44: 배기 유닛
45: 프레임 커버

Claims (20)

  1. 물품 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되고 주행 모듈과 상기 주행 모듈 하부에 연결되고 상기 물품의 수용 공간을 갖는 프레임을 포함하는 이송 차량을 세정하기 위한 세정 장치에 있어서,
    상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 세정 공간을 제공하는 하우징;
    상기 하우징의 상부에 제공되고, 상기 세정 공간에 하강 기류를 형성하기 위한 팬 유닛;
    상기 하우징 내부의 천장에 제공되고, 상기 이송 차량을 향하여 공기를 분사하기 위한 가스 분사 유닛;
    상기 하우징의 하부에 제공되고, 상기 세정 공간으로 공급된 공기 및 상기 이송 차량으로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하고 상기 세정 공간을 배기하는 배기 유닛; 및
    상기 하우징 내부에 상기 프레임을 감싸도록 구성되며, 상기 이송 차량의 상부로부터 비산된 파티클이 상기 이송 차량의 하부에 부착되는 것을 방지하기 위한 프레임 커버를 포함하는 이송 차량 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임 커버는 상기 프레임의 개방된 면을 감싸도록 구성되며, 상기 프레임의 내부 공간을 상기 세정 공간과 차단 가능하도록 제작된 이송 차량 세정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이송 차량은 상기 프레임 커버 내에 진입한 후 기 설정된 위치에서 정차하는 이송 차량 세정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 이송 차량이 진입하는 입구 도어와 상기 이송 차량이 진출하는 출구 도어를 포함하는 이송 차량 세정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 입구 도어에는 상기 이송 차량의 진입을 감지하는 제1 센서가 설치되고, 상기 출구 도어에는 상기 이송 차량의 진출을 감지하기 위한 제2 센서가 설치되는 이송 차량 세정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가스 분사 유닛은 복수의 노즐을 포함하는 이송 차량 세정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    각각의 상기 노즐은
    상기 이송 차량이 상기 하우징 내부에서 정차한 후 상기 주행 모듈의 표면을 향하여 공기를 분사하는 이송 차량 세정 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 팬 유닛은 상기 세정 공간으로 하방 기류를 공급하는 복수의 팬을 포함하고, 상기 복수의 팬들은 상시 작동하는 세정 장치.
  9. 물건 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 방법에 있어서,
    이송 차량을 세정하기 위한 이송 차량 세정 장치 내부에 하강 기류를 공급하는 단계;
    상기 이송 차량 세정 장치 내부로 이송 차량을 진입시키는 단계;
    상기 이송 차량을 세정하는 단계; 및
    상기 이송 차량 세정 장치 외부로 상기 이송 차량을 진출시키는 단계를 포함하고,
    상기 이송 차량 세정 단계는, 상기 이송 차량의 하부에 포함된 프레임을 파티클로부터 보호하기 위한 과정을 포함하는 이송 차량 세정 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로 접근한 것을 감지하는 단계와,
    상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로부터 진출한 것을 감지하는 단계를 더 포함하는 이송 차량 세정 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 하강 기류 공급 단계는,
    상기 이송 차량 세정 방법의 전체 과정에 걸쳐 지속적으로 수행되는 이송 차량 세정 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이송 차량 세정 단계는,
    상기 이송 차량 세정 장치의 내부를 배기하는 배기 단계와;
    상기 이송 차량을 프레임 커버 내부에 위치시키는 단계와;
    상기 프레임 커버 내부에 위치된 이송 차량으로 가스를 분사하는 가스 분사 단계를 포함하는 이송 차량 세정 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 배기 단계는,
    상기 이송 차량이 상기 이송 차량 세정 장치로 진입한 후부터 상기 이송 차량의 상기 이송 차량 세정 장치로부터 진출하기 전까지 수행되는 이송 차량 세정 방법.
  14. 천장 측에 설치되고 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 주행 레일;
    상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 모듈 및 상기 주행 모듈의 하부에 결합되며 상기 물품을 수용하기 위한 프레임이 제공되는 호이스트 모듈을 포함하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량;
    상기 물품 이송 차량에 대한 세정을 수행하기 위해 상기 이송 레일에 인접하게 배치되며, 상기 주행 모듈로부터 비산된 파티클이 상기 호이스트 모듈에 재부착되는 것을 방지 가능한 이송 차량 세정 장치를 포함하는 물품 이송 설비.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 이송 차량 세정 장치는,
    상기 이송 레일 및 상기 이송 차량의 이동 경로를 감싸도록 구성되며 상기 이송 차량의 세정이 수행되는 세정 공간을 제공하는 하우징;
    상기 하우징의 상부에 구비되고, 상기 세정 공간에 하강 기류를 형성하기 위한 팬 유닛;
    상기 하우징의 천장에 설치되고, 상기 이송 차량을 향하여 공기를 분사하기 위한 가스 분사 유닛;
    상기 하우징의 하부에 구비되고, 상기 세정 공간으로 공급된 공기 및 상기 이송 차량으로부터 제거된 이물질을 흡입하여 제거하고 상기 세정 공간을 배기하는 배기 유닛; 및
    상기 하우징 내부에 상기 프레임의 개방된 면을 감싸도록 구성되며, 상기 프레임 내부 공간을 상기 세정 공간과 차단 가능한 프레임 커버를 포함하는 물품 이송 설비.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 이송 차량은 상기 프레임 커버 내에 진입한 후 기 설정된 위치에서 정차하는 물품 이송 설비.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 이송 차량이 진입하는 입구 도어와 상기 이송 차량이 진출하는 출구 도어를 포함하는 물품 이송 설비.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 입구 도어에는 상기 이송 차량의 진입을 감지하는 제1 센서가 설치되고, 상기 출구 도어에는 상기 이송 차량의 진출을 감지하기 위한 진출 센서가 설치되는 물품 이송 설비.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 가스 분사 유닛은 복수의 노즐을 포함하고,
    각각의 상기 노즐들은 상기 이송 차량이 정차한 후 상기 주행 모듈의 표면을 향하여 공기를 분사하는 물품 이송 설비.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 팬 유닛은 상기 세정 공간으로 하방 기류를 공급하는 복수의 팬을 포함하고, 상기 복수의 팬들은 상시 작동하는 물품 이송 설비.
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