KR20230097932A - 물품 이송 차량 및 물품 이송 설비 - Google Patents

물품 이송 차량 및 물품 이송 설비 Download PDF

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이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 물품 이송 차량 및 이를 포함하는 물품 이송 설비를 제공한다. 물품 이송 차량은 비히클 및 호이스트 장치를 포함한다. 호이스트 장치는 내장 부품을 수용하는 내부 공간 및 내부 공간과 연통하는 점검 개구가 마련된 호이스트 하우징을 포함한다. 호이스트 하우징에는 점검 개구에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 점검 개구를 개폐하는 하우징 커버가 설치된다. 이러한 본 발명은 내장 부품에 대한 유지, 보수 작업을 보다 효율적으로 수행할 수 있다.

Description

물품 이송 차량 및 물품 이송 설비 {ARTICLE TRANSPORT VEHICLE AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명의 실시예는, 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 물품 이송 차량, 그리고 이 물품 이송 차량을 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.
반도체 제조 효율 향상을 위하여, 반도체 제조 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 반도체를 제조하는 데 사용되는 물품을 반도체 제조 설비들 간에 보다 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장의 천장 측에 제공된 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 공정에 요구되는 물품을 이송하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 설비가 그 중 하나이다.
오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 한다.)는 주행 레일 및 복수의 물품 이송 차량을 포함한다. 주행 레일은 물품 이송 경로를 제공한다. 물품 이송 차량들은 물품 이송을 위하여 각각 물품 이송 경로를 따라 이동한다. 물품 이송 차량 각각은 비히클(vehicle) 및 호이스트 장치를 포함한다. 비히클은 주행 레일을 따라 주행한다. 호이스트 장치는, 비히클의 하부에 제공되며, 물품을 지지한다. 호이스트 장치는 지지한 물품이 출입하는 수용 공간 및 내장 부품이 수용되는 내부 공간을 가지도록 구성된 호이스트 하우징(hoist housing)을 포함한다.
호이스트 하우징의 내부 공간에 수용된 내장 부품에 대한 유지, 보수가 요구될 수 있다. 내장 부품에 대한 유지, 보수를 수행하려면, 여러 개소의 볼트들을 풀고 호이스트 하우징의 일부를 해체하여 내장 부품을 노출시켜야 하고, 유지, 보수 작업의 완료 후, 호이스트 하우징에서 해체된 부분의 조립을 위하여 볼트들을 다시 조여야 한다. 이에 따라, 내장 부품에 대한 유지, 보수 작업이 번거로울 수밖에 없는 한편, 작업 과정에서 볼트 분실의 문제가 발생할 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2238169호(2021.04.07) 대한민국 등록특허공보 제10-2289021호(2021.08.11)
본 발명의 실시예는 호이스트 하우징의 내장 부품에 대한 유지, 보수 면에서 보다 유리한 물품 이송 차량 및 이를 포함하는 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 주행 레일을 따라 주행하는 비히클과; 상기 비히클의 하부에서 이송할 물품을 지지하며, 지지한 상기 물품을 수용하는 수용 공간을 제공하는 호이스트 하우징이 구비된 호이스트 장치를 포함하고, 상기 호이스트 하우징에는, 내장 부품을 수용하는 내부 공간 및 상기 내부 공간과 연통하는 점검 개구가 마련되고, 상기 점검 개구에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 점검 개구를 개폐하는 하우징 커버가 설치된 것을 특징으로 하는, 물품 이송 차량이 제공될 수 있다.
상기 하우징 커버는 상기 호이스트 하우징에 힌지 모듈에 의하여 회전 가능하게 제공되어 회전 방향에 따라 상기 점검 개구에 대하여 이격되거나 접근되어 상기 점검 개구를 개폐할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 차량은, 상기 하우징 커버가 상기 점검 개구에 대하여 접근되어 상기 점검 개구를 폐쇄하도록 닫힌 때, 상기 하우징 커버를 상기 호이스트 하우징에 대하여 구속하여 상기 하우징 커버가 열리는 것을 방지하는 로크 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 차량은, 상기 로크 모듈에 의한 상기 하우징 커버의 구속이 해제되면 상기 하우징 커버가 열리도록 작동시키는 팝업 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 팝업 유닛은 양단 부분이 상기 호이스트 하우징과 상기 하우징 커버에 각각 연결된 가스 실린더를 포함하고, 상기 가스 실린더는 수축 시 내부 가스가 압축되고 상기 내부 가스가 팽창되면 신장될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 차량에서, 상기 하우징 커버는 상기 호이스트 하우징에 상기 힌지 모듈이 아닌 슬라이딩 모듈에 의하여 슬라이딩 이동 가능하게 제공되어 슬라이딩 이동 방향에 따라 상기 점검 개구에 대하여 이격되거나 접근되어 상기 점검 개구를 개폐할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 천장 측에 물품을 이송하기 위한 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클 및 상기 비히클의 하부에서 상기 물품을 지지하는 호이스트 장치가 구비된 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량을 포함하고, 상기 호이스트 장치는 지지한 상기 물품을 수용하는 수용 공간을 제공하는 호이스트 하우징을 포함하며, 상기 호이스트 하우징에는, 내장 부품을 수용하는 내부 공간 및 상기 내부 공간과 연통하는 점검 개구가 마련되고, 상기 점검 개구에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 점검 개구를 개폐하는 하우징 커버가 설치된 것을 특징으로 하는, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에서, 상기 물품 이송 차량은 앞서 설명한 물품 이송 차량과 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명의 실시예는, 하우징 커버가 호이스트 하우징의 점검 개구에 대하여 이격되면, 하우징 커버가 열리면서 점검 개구가 개방되기 때문에, 점검 개구를 보다 신속히 개폐할 수 있고, 호이스트 하우징의 내부 공간에 수용된 내장 부품을 개방된 점검 개구를 통하여 유지, 보수할 수 있다. 이에, 내장 부품에 대한 유지, 보수 작업의 효율성을 크게 증가시킬 수 있다.
본 발명의 실시예는, 하우징 커버가 로크 모듈에 의하여 닫힌 상태로 유지되기 때문에, 하우징 커버가 의도하지 않게 열리는 문제를 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예는, 로크 모듈의 구속 작용이 해제되면, 하우징 커버가 팝업 유닛에 의하여 자동으로 열리기 때문에, 점검 개구를 별도의 조작 없이 편리하게 개방시킬 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 OHT의 구성 및 작동을 나타내는 정면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 물품 이송 차량을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 로크 모듈을 나타내는 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명은 반도체, 디스플레이(display) 등을 제조하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치에서 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체, 디스플레이 등의 제조 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 기판(웨이퍼 등)을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 기판들이 수납되는 컨테이너일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 그리고, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명은 다양한 기술 분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이지만, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 내부 공간에 웨이퍼들이 수납되는 전면 개방 통합 포드(이하, FOUP이라고도 칭하기로 한다.)를 반도체 제조 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.
반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 제조 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 반도체 제조 설비에서 공정 수행이 완료된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 반도체 제조 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이송될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 반도체 제조 설비를 나타낸다. 또, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송하기 위한 물품 이송 경로(11)를 제공하는 주행 레일을 나타내고, 도면 부호 20은 물품 이송 경로(11)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량을 나타낸다. 또한, 도면 부호 30은 물품에 대한 임시 보관 공간을 제공하는 버퍼(buffer)를 나타내고, 도면 부호 35는 물품을 보관하는 스토커(stocker)를 나타낸다. 주행 레일(10)은 반도체 제조 공장의 천장 측에 배치된다. 물품 이송 차량(20) 각각은, 물품을 반도체 제조 설비(1)들 중 특정 설비로부터 다른 설비로 이송할 수도 있고, 물품의 보관을 위하여 물품을 버퍼(30) 또는 스토커(35)로 이송할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 복수의 물품 이송 차량(20)을 포함한다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛과 수전 유닛을 통하여 전원 공급 장치로부터 구동 전력을 제공받아 작동하도록 구성되고, OCS(OHT control system)라고도 칭하는 통합 제어 장치를 더 포함하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영할 수 있다.
OHT가 도 2에 도시되어 있고, OHT의 물품 이송 차량(20)이 도 3 및 도 4에 도시되어 있다.
도 2를 참조하면, 주행 레일(10)은, 좌우 방향으로 서로 이격되고 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일 부재를 포함하고, 레일 서포트(rail support, 15)들에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치된다. 레일 서포트(15) 각각은, 하단 부분이 한 쌍의 레일 부재를 지지하고, 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다. 한 쌍의 레일 부재는 상측에 주행 면을 제공하도록 형성될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 비히클(100), 그리고 비히클(100)의 하부에서 이송할 물품으로서 FOUP을 지지하는 호이스트 장치(200)를 포함한다. 호이스트 장치(200)는 비히클(100)과 함게 이동되고 FOUP을 지지한다.
비히클(100)은 차체(110) 및 휠(wheel, 120)들을 포함한다. 좌우 방향으로 연장된 차축이 차체(110)에 장착된다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일(11)의 상측에 제공된 주행 면에 각각 접촉되어 구름 운동을 할 수 있다. 비히클(100)은 휠(120)들을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 휠 구동 유닛(130)을 더 포함한다. 일례로, 휠 구동 유닛(130)은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.
호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(210)을 포함한다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 비히클(100)과 서로 연결된다. 호이스트 하우징(210)은 상부가 차체(110)의 하부에 단수 또는 복수의 연결기에 의하여 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공한다. 호이스트 하우징(210)은 물품을 수용 공간(212)으로부터 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성되어, 지지된 물품은 수용 공간(212)에 대하여 출입할 수 있다.
호이스트 장치(200)는, 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛(220), 그리고 핸드 유닛(220)을 제1 위치와 제2 위치 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함한다. 제1 위치는 핸드 유닛(220)의 그립 작용에 의하여 지지된 물품이 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)에 수용되는 위치이고, 제2 위치는 이러한 제1 위치로부터 벗어난 위치에 해당하는 호이스트 하우징(210)의 외부이다. 호이스트 장치(200)는 핸드 이동 유닛으로서 상하 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함한다.
핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 상하 구동 유닛(230)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킨다. 상하 구동 유닛(230)은 적어도 하나 이상의 벨트(belt)를 드럼(drum)에 대하여 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키고, 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 일례로, 핸드 유닛(220)을 상하 구동 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 상하 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 호이스트 하우징(210)은, 호이스트 장치(200) 등을 위한 구동 전원이 저장되는 배터리, 호이스트 장치(200) 등을 제어하기 위한 제어 요소와 같은 각종의 내장 부품이 수용되는 내부 공간(214)을 가지고, 내부 공간(214)과 연통된 점검 개구(216)를 가진다. 작업자는 점검 개구(216)를 통하여 내장 부품에 대한 유지, 보수를 수행할 수 있다. 점검 개구(216)는 복수로 구비될 수 있다. 일례로, 점검 개구(216)는, 호이스트 하우징(210)의 전방과 후방 중 적어도 어느 하나 이상에 배치될 수 있다. 점검 개구(216)는 내장 부품에 대한 유지, 보수의 용이성 등을 고려한 위치, 사이즈 등으로 제공될 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 점검 개구(216)는 하우징 커버(310)에 의하여 개폐된다. 하우징 커버(310)는 호이스트 하우징(210)에 점검 개구(216)에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 이동 방향에 따라 점검 개구(216)를 개폐한다.
도 4를 참조하면, 하우징 커버(310)는 호이스트 하우징(210)에 힌지를 가진 힌지 모듈(320)에 의하여 회전 가능하도록 제공되어 회전 방향에 따라 점검 개구(216)에 대하여 이격되거나 접근되어 점검 개구(216)를 개폐한다. 일례로, 하우징 커버(310)는 좌우 방향으로 회전되면서 점검 개구(216)를 개폐하도록 양옆 부분 중 어느 하나가 호이스트 하우징(210)에 힌지 모듈(320)을 통하여 연결될 수 있다. 다른 예로, 하우징 커버(310)는 상하 방향으로 회전되면서 점검 개구(216)를 개폐하도록 상단 부분 또는 하단 부분이 호이스트 하우징(210)에 힌지 모듈(320)을 통하여 연결될 수 있다.
도시된 바와는 달리, 하우징 커버(310)는 호이스트 하우징(210)에 힌지 모듈(320) 대신 슬라이딩 모듈에 의하여 좌우 방향 또는 상하 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 제공되어 슬라이딩 이동 방향에 따라 따라 점검 개구(216)에 대하여 이격되거나 접근되어 점검 개구(216)를 개폐할 수도 있다.
하우징 커버(310)는 닫혀서 점검 개구(216)를 폐쇄한 때에 로크 모듈(330)에 의하여 열림이 제한된다. 로크 모듈(330)은 닫힌 상태의 하우징 커버(310)를 호이스트 하우징(210)에 대하여 구속하여 하우징 커버(310)가 열리는 것을 방지한다. 도 5에 예시된 바와 같이, 로크 모듈(330)은 소위 매미 고리라 칭하는 후크 클램프(hook clamp)를 포함할 수 있다. 로크 모듈(330)은 이에 제한되지 않으며 하우징 커버(310)의 구속 및 그 해제를 신속하고 용이하게 행할 수 있는 것이라면 어떠한 타입이라도 적용될 수 있다.
도시된 바는 없으나, 하우징 커버(310)는 로크 모듈(330)에 의한 구속이 해제되면 팝업 유닛에 의하여 자동으로 열릴 수 있다. 팝업 유닛은 적어도 하나 이상의 가스 실린더를 포함할 수 있다. 가스 실린더는 양단 부분이 호이스트 하우징(210)과 하우징 커버(310)에 각각 회전 가능하게 연결된다. 가스 실린더는 내부 가스의 압력을 이용하는 것이며 하우징 커버(310)의 여닫힘을 위한 길이 방향으로 수축되거나 신장된다. 가스 실린더는, 하우징 커버(310)가 닫히는 때에는 길이가 수축되고 내부 가스가 압축되는 반면, 로크 모듈(330)에 의한 하우징 커버(310)의 구속이 해제된 때에는 내부 가스가 팽창되고 길이가 신장되어 하우징 커버(310)를 열리도록 회전시킨다.
하우징 커버(310)는 호이스트 하우징(210)의 내장 부품에 대한 유지, 보수를 수행하는 때를 제외한 평상시에는 로크 모듈(330)에 의하여 닫힌 상태로 유지된다. 이에, 물품 이송 차량(20)이 물품을 이송하는 과정에서 하우징 커버(310)가 의도하지 않게 열리는 문제를 방지할 수 있다.
호이스트 하우징(210)의 내장 부품에 대한 유지, 보수가 요구되는 경우, 로크 모듈(330)에 의한 하우징 커버(310)의 구속을 해제한다. 그러면, 하우징 커버(310)는 가스 실린더의 내부 가스가 팽창되어 가스 실린더의 길이가 신장되는 것에 의하여 자동으로 열린다. 이때, 점검 개구(216)는 개방되고, 작업자는 호이스트 하우징(210)의 내부 공간(214)에 수용된 내장 부품을 개방된 점검 개구(216)를 통하여 유지, 보수할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
10: 주행 레일
20: 물품 이송 차량
100: 비히클
200: 호이스트 장치
210: 호이스트 하우징
212: 수용 공간
214: 내부 공간
216: 점검 개구
220: 핸드 유닛
310: 하우징 커버
320: 힌지 모듈
330: 로크 모듈

Claims (6)

  1. 주행 레일을 따라 주행하는 비히클과; 상기 비히클의 하부에서 이송할 물품을 지지하며, 지지한 상기 물품을 수용하는 수용 공간을 제공하는 호이스트 하우징이 구비된 호이스트 장치를 포함하고,
    상기 호이스트 하우징에는, 내장 부품을 수용하는 내부 공간 및 상기 내부 공간과 연통하는 점검 개구가 마련되고, 상기 점검 개구에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 점검 개구를 개폐하는 하우징 커버가 설치된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 차량.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 하우징 커버는 상기 호이스트 하우징에 힌지 모듈에 의하여 회전 가능하게 제공되어 회전 방향에 따라 상기 점검 개구에 대하여 이격되거나 접근되어 상기 점검 개구를 개폐하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 차량.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 하우징 커버가 상기 점검 개구에 대하여 접근되어 상기 점검 개구를 폐쇄하도록 닫힌 때, 상기 하우징 커버를 상기 호이스트 하우징에 대하여 구속하여 상기 하우징 커버가 열리는 것을 방지하는 로크 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 차량.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 로크 모듈에 의한 상기 하우징 커버의 구속이 해제되면 상기 하우징 커버가 열리도록 작동시키는 팝업 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 차량.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 팝업 유닛은 양단 부분이 상기 호이스트 하우징과 상기 하우징 커버에 각각 연결된 가스 실린더를 포함하고,
    상기 가스 실린더는 수축 시 내부 가스가 압축되고 상기 내부 가스가 팽창되면 신장되는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 차량.
  6. 천장 측에 물품을 이송하기 위한 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과;
    상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클 및 상기 비히클의 하부에서 상기 물품을 지지하는 호이스트 장치가 구비된 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량을 포함하고,
    상기 호이스트 장치는 지지한 상기 물품을 수용하는 수용 공간을 제공하는 호이스트 하우징을 포함하며,
    상기 호이스트 하우징에는, 내장 부품을 수용하는 내부 공간 및 상기 내부 공간과 연통하는 점검 개구가 마련되고, 상기 점검 개구에 대하여 이격되고 접근되는 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 점검 개구를 개폐하는 하우징 커버가 설치된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102238169B1 (ko) 2020-01-07 2021-04-07 세메스 주식회사 비히클 및 오버헤드 호이스트 트랜스포트
KR102289021B1 (ko) 2017-11-30 2021-08-11 세메스 주식회사 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102289021B1 (ko) 2017-11-30 2021-08-11 세메스 주식회사 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR102238169B1 (ko) 2020-01-07 2021-04-07 세메스 주식회사 비히클 및 오버헤드 호이스트 트랜스포트

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