TW202104062A

TW202104062A - 搬送用台車及自動搬送系統

Info

Publication number: TW202104062A
Application number: TW109100923A
Authority: TW
Inventors: 野口明之; 古村直規
Original assignee: 日商大陽日酸股份有限公司
Priority date: 2019-07-30
Filing date: 2020-01-10
Publication date: 2021-02-01
Also published as: CN112298894B; JP6745957B1; CN112298894A; JP2021020611A; TWI729669B

Abstract

本發明之目的為提供一種搬送用台車，係可易於進行重量物的搬送、搬出、搬入。本發明之搬送用台車係具備：車體12，係設有載置重量物B之載置部11；車輪13，係以行進自如的方式支撐車體12；滑動支撐機構15，係滑動自如地支撐重量物B；以及搬出搬入用機器人20，係藉由滑動支撐機構15，一面使重量物B滑動，一面在載置部11與重量物B的搬出搬入目的地3之間自動地進行重量物B的搬出及搬入。

Description

搬送用台車及自動搬送系統

本發明係關於一種搬送用台車及自動搬送系統。

例如，氣瓶櫃(cylinder cabinet)係作為用以供給各種氣體的設備被廣泛地使用(例如參照下述專利文獻1)。在氣瓶櫃中，係開閉門扇，並在其內側的存放空間以並列的狀態下存放著一對儲氣瓶(如裝液體煤氣用的高氣瓶)。在氣瓶櫃中，係在從任一個儲氣瓶供給氣體的期間，更換任另一個儲氣瓶，從而可不中斷地進行氣體的供給。

然而，在上述之儲氣瓶的更換作業中，係使用儲氣瓶搬送用台車而進行儲氣瓶的搬送，並且在儲氣瓶搬送用台車與氣瓶櫃之間，進行儲氣瓶的搬出及搬入(替換)。

然而，此種儲氣瓶的更換作業，必須由作業者抱起屬於重量物的儲氣瓶來進行，極為危險而且是重體力勞動。再者，儲氣瓶的更換作業，必須要對於氣瓶櫃的狹窄存放空間進行儲氣瓶的搬出及搬入，故作業性亦不佳。

因此，在下述專利文獻1所記載的發明中，為了使儲氣瓶的更換作業易於進行，乃提出下列方案：將搬送用轉接器(adapter)裝設於儲氣瓶，以易於經由此搬送用轉接器，而在儲氣瓶搬送用台車與氣瓶櫃之間進行儲氣瓶的搬出及搬入。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本特開2001-106086號公報

然而，在將上述之搬送用轉接器裝設於儲氣瓶時，必須在所有的儲氣瓶裝設搬送用轉接器。在此情形下，成本會變得極高。此外，即使在將上述之搬送用轉接器裝設於儲氣瓶時，在儲氣瓶搬送用台車與氣瓶櫃之間進行之儲氣瓶的搬出及搬入作業上，也會需要人力。

本發明係鑑於如上述之以往之情事而研創者，其目的在於提供一種能夠易於進行重量物的搬送、搬出、搬入的搬送用台車，及可適當地使用在搬送用台車之自動搬送系統。

為了達成上述目的，本發明係提供以下手段。

〔1〕一種搬送用台車，係搬送重量物者，具備：

車體，係設置有供前述重量物載置之載置部；

車輪，係以行進自如之方式支撐前述車體；

滑動支撐機構，係設置在前述載置部且以滑動自如之方式支撐前述重量物；以及

搬出搬入用機器人，係藉由前述滑動支撐機構，一面使前述重量物滑動，一面在前述載置部與前述重量物之搬出搬入目的地之間自動地進行前述重量物之搬出及搬入。

〔2〕前述搬出搬入用機器人係具有：保持機構，係保持前述重量物；以及滑動驅動機構，係使由前述保持機構所保持之前述重量物朝前述車體之前後方向滑動驅動。

〔3〕如前述〔1〕或〔2〕所述之搬送用台車，前述載置部係設置在以使前述車體之側面之一部分凹陷之方式設置之凹部的內側。

〔4〕如前述〔1〕或〔2〕所述之搬送用台車，前述載置部係位在前述車體之背面側。

〔5〕如前述〔1〕或〔2〕所述之搬送用台車，前述滑動機構係由排列設置在前述載置部之前後方向之複數個滾輪所構成。

〔6〕如前述〔1〕或〔2〕所述之搬送用台車，具備調整載置於前述載置部之前述重量物之高度的高度調整機構。

〔7〕如前述〔1〕或〔2〕所述之搬送用台車，其中，具備使前述車輪旋轉驅動之旋轉驅動機構，

且以自己行進之方式進行前述重量物之搬送。

〔8〕一種自動搬送系統，係以自動方式進行重量物之搬送，

且具備前述〔7〕所述之搬送用台車。

〔9〕如前述〔8〕所述之自動搬送系統，搬送儲氣瓶作為前述重量物。

〔10〕如前述〔9〕所述之自動搬送系統，具備收納前述儲氣瓶之氣瓶櫃，

前述搬送用台車係在與前述氣瓶櫃之間進行前述儲氣瓶之搬出及搬入。

如以上所述，可提供一種能夠易於進行重量物的搬送、搬出、搬入的搬送用台車，及可適當地使用該種搬送用台車之自動搬送系統。

1:自動搬送系統

2:儲氣瓶搬送用台車

3:氣瓶櫃

3a:門扇

4:自由輥

4a、15a:輥

4b、15b:框架

10、10A:搬送車輛

11:載置部

12:車體

13、13a:車輪

13b:驅動車輪

14:凹部

15:滑動支撐機構

16a:緊急停止按鍵

16b:顯示機器

16c:操作開關

16d:天線

17:把手部

20:搬出搬入用機器人

21:保持機構

21a:臂部

22:滑動驅動機構

22a:滑動軸

B:儲氣瓶(重量物)

第1圖係顯示本發明之一實施型態之自動搬送系統之構成的側視圖。

第2圖係顯示在第1圖所示之自動搬送系統所具備之儲氣瓶搬送用台車與氣瓶櫃之間搬出或搬入儲氣瓶之狀態的俯視圖。

第3圖係顯示儲氣瓶搬送用台車之外觀的立體圖。

第4圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的透視立體圖。

第5圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的側視圖。

第6圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的俯視圖。

第7圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的底視圖。

第8圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的前視圖。

第9圖係第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車的後視圖。

第10圖係說明第3圖所示之儲氣瓶搬送用台車所具備之搬出搬入用機械人(robot)之動作的立體圖。

第11圖係顯示應用本發明之另一儲氣瓶搬送用台車之外觀的立體圖。

以下參照圖式詳細地說明本發明之實施型態。

(自動搬送系統)

首先說明例如第1圖及第2圖所示的自動搬送系統1作為本發明的一實施型態。

另外，第1圖係顯示自動搬送系統1之構成的側視圖。第2圖係顯示在自動搬送系統1所具備之儲氣瓶搬送用台車2與氣瓶櫃3之間搬出或搬入儲氣瓶B之狀態的俯視圖。

本發明之實施型態的自動搬送系統1係如第1圖及第2圖所示，作為自動地進行搬運屬於重量物之儲氣瓶B的系統，而應用於將已充填於儲氣瓶B內之氣體供給至半導體製造裝置的設備者。

具體而言，此自動搬送系統1係具備：儲氣瓶搬送用台車2，係以自行行進之方式搬送儲氣瓶B；及氣瓶櫃3，係成為儲氣瓶B的搬出搬入目的地。

氣瓶櫃3係設置於地板(floor)F之上，以作為將已充填於儲氣瓶B內之氣體供給至半導體製造裝置的設備。氣瓶櫃3係整體形成為大致長方體狀，並且在正面側具有左右一對的門扇3a。

在氣瓶櫃3中，係開閉門扇3a並在其內側的存放空間S中以在寬度方向並列的狀態存放著一對儲氣瓶B。此外，在氣瓶櫃3中，係在從任一個儲氣瓶B供給氣體的期間，更換任另一個儲氣瓶B，從而可不中斷地進行氣體的供給。

此外，在存放空間S的底部，係設有分別載置一對儲氣瓶B的一對自由輥(free roller)4。自由輥4係具有：複數個輥4a，在存放空間S的前後方向上並列地設置；及框架(frame)4b，係旋轉自如地支撐複數個輥4a。藉此，即可在將載置於自由輥4之上之儲氣瓶B立起的狀態下，使之經由複數個輥4a朝存放空間S的前後方向滑動。

另外，在氣瓶櫃3中，另外還例如設有與儲氣瓶B連接的配管，或收納有用以進行閥的開閉或壓力的監視、漏氣之監視等之機器的控制盒(box)，收納有用以連接於半導體製造裝置等之配管的配管用盒(均未圖示)等。

(儲氣瓶搬送用台車)

接著參照第3圖至第10圖來說明上述儲氣瓶搬送用台車2。

另外，第3圖係顯示儲氣瓶搬送用台車2之外觀的立體圖。第4圖係儲氣瓶搬送用台車2的透視立體圖。第5圖係儲氣瓶搬送用台車2的側視圖。第6圖係儲氣瓶搬送用台車2的俯視圖。第7圖係儲氣瓶搬送用台車2的底視圖。第8圖係儲氣瓶搬送用台車2的前視圖。第9圖係儲氣瓶搬送用台車2的後視圖。第10圖係說明儲氣瓶搬送用台車2所具備之搬出搬入用機器人20之動作的立體圖。

如第3圖至第9圖所示，本實施型態之儲氣瓶搬送用台車2係具備：搬送車輛10，係以自行行進方式進行儲氣瓶B的搬送；及搬出搬入用機器人20，係自動地進行儲氣瓶B的搬出及搬入。

搬送車輛10係一種被稱為AGV(Automated Guided Vehicle，自動導引車)的無人搬送車，係藉由自動運轉來進行儲氣瓶B的搬送者。具體而言，此搬送車輛10係具有：車體12，係設有載置儲氣瓶B的載置部11；及複數個(在本實施型態中係6個)車輪13，係行進自如地支撐車體12。

車體12係較儲氣瓶B更寬廣，前後方向較寬度方向為長，高度為儲氣瓶B的1/2左右，整體形成為大致長方體狀。載置部11係位於車體12的背面側。在車體12的背面係以將車體12之側面的一部分朝上下方向作出缺口之方式設有凹部14。載置部11係設於該凹部14的內側。

在載置部11中，係設有滑動支撐機構15，該滑動支撐機構15係以朝前後方向滑動自如之方式支撐儲氣瓶B。滑動支撐機構15係具有：複數個輥15a，係由自由輥所構成，且在載置部11的前後方向上並列地設置：及框架15b，係旋轉自如地支撐複數個輥15a。藉此，即可在將載置於滑動支撐機構15之上之儲氣瓶B立起的狀態下，使之經由複數個輥15a朝載置部11的前後方向滑動。

另外，關於滑動支撐機構15，未必要限定於由此種自由輥所構成者，例如亦可使用帶式運輸機(belt conveyor)等。

此外，搬送車輛10亦可為具備有高度調整機構的構成，該高度調整機構係配合上述之設於氣瓶櫃3側之自由輥4的高度，而調整設於載置部11側之自由輥(滑動支撐機構15)的高度。

再者，在搬送車輛10，除此種高度調整機構之外，還可設為設置有調整設於載置部11側之自由輥(滑動支撐機構15)之前後方向的位置及前後左右之傾斜度等之機構的構成。

另外，在車體12中，另外還可設置有緊急時使搬送車輛10停止的緊急停止按鍵16a、進行各種顯示的顯示機器16b、進行各種操作的操作開關16c，及與外部進行通信的天線16d等。

複數個車輪13係旋轉自如地安裝於車體12的下面。其中，在車體12的四個角落，係設有迴旋自如地安裝的四個腳輪(caster)車輪13a。另一方面，在車體12的中央，係在寬度方向上並列地設有經由馬達等旋轉驅動機構(未圖示)而被旋轉驅動的二個驅動車輪13b。

在搬送車輛10中係形成為可藉由切換傳遞至該等二個驅動車輪13b之驅動力的分配，以控制該搬送車輛10的行進及操舵。另外，在搬送車輛10中，並未特別限定於用以藉由自動運轉進行儲氣瓶B之搬送的導引方式，亦可採用以往即已公知的導引方式。

此外，在搬送車輛10中，例如可設置光電感測器(sensor)或磁性感測器、極限開關(limit switch)等位置檢測器，或設置進行搬送用台車2與外部之通信的通信器等。

搬出搬入用機器人20為設置於搬送車輛10的上部，自動地對於載置部11進行儲氣瓶B的搬出及搬入者。具體而言，該搬出搬入用機器人20係具有：保持機構21，係保持儲氣瓶B；及滑動驅動機構22，係將被保持機構21所保持的儲氣瓶B朝車體12的前後方向滑動驅動。

保持機構21係具有把持儲氣瓶B之胴部的一對臂(arm)部21a。一對臂部21a係具有彼此彎曲成圓弧狀的形狀，且其基端側經由鉸鏈(hinge)被轉動自如地支撐著。

在保持機構21中，係一面將該等一對臂部21a朝彼此相反方向轉動操作，一面在一對臂部21a之間將儲氣瓶B的胴部從兩側把持。此外，在保持機構21中，為了把持儲氣瓶B的上部側與下部側，而在上下方向並列地設有二對的一對臂部21a。藉此，即可在穩定的狀態下保持立起之狀態的儲氣瓶B。

另外，關於保持機構21，未必要限定於此種藉由一對臂部21a把持儲氣瓶B之胴部的構成，亦可為例如一面吸附儲氣瓶B一面保持的構成。

滑動驅動機構22係為將與保持機構21連結的滑動軸22a朝前後方向滑動驅動者。關於滑動軸22a的驅動，可為藉由馬達等的驅動，亦可為藉由汽缸(air cylinder)或油壓缸等的驅動。

如第10圖所示，在搬出搬入用機器人20中，一面藉由保持機構21保持立起之狀態的儲氣瓶B，並一面藉由滑動驅動機構22朝車體12的前後方向滑動驅動。藉此，即可經由設於載置部11的滑動支撐機構15而一面使儲氣瓶B進行滑動，並一面在該載置部11與氣瓶櫃3側之自由輥4之間，自動地進行儲氣瓶B的搬出及搬入。

在具有以上之構成的本實施形態之自動搬送系統1中，如第1圖及第2圖所示，儲氣瓶搬送用台車2係一面在地板F之上自己行進，一面在保管有使用前或使用後之儲氣瓶B之儲氣瓶存放器(未圖示)與儲氣瓶B之搬出搬入目的地的氣瓶櫃3之間，可自動地進行由儲氣瓶搬送用台車2施行之儲氣瓶B的搬送及儲氣瓶B之搬出及搬入。

因此，在本實施形態之自動搬送系統1中，藉由採用上述之儲氣瓶搬送用台車2，即可容易地進行儲氣瓶B相對於氣瓶櫃3之搬送、搬出、搬入，且大幅地使其作業性提升。

此外，本發明並不一定限定在上述實施形態者，在不脫離本發明之主旨的範圍內可施行各種之變更。

例如，就應用本發明之儲氣瓶搬送用台車而言，未必限定在具備以自己行進之方式進行上述儲氣瓶B之搬送之搬送車輛10的構成，亦可為例如以手動方式進行第11圖所示之儲氣瓶B之搬送之搬送車輛10A的構成。

具體而言，該第11圖所示之搬送車輛10A係成為省略上述之二個驅動車輪12b且在車體12之正面側設置有把手部17之構成。在此構成時，可藉由操作者進行搬送車輛10A之行進及操舵。

並且，在應用本發明之搬送用台車中，雖適當地使用在搬送上述儲氣瓶B之儲氣瓶搬送用台車2，但未必限定在搬送儲氣瓶B者，亦可將本發明廣泛地應用在難以用人工方式進行搬出及搬入之搬送重量物的搬送用台車。