CN102219118B - 板状体搬送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制板状体的污染的板状体搬送装置。该板状体搬送装置设置有：送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；推进力赋予机构，利用驱动机构旋转驱动对板状体的下表面的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，对板状体赋予搬送方向上的推进力；以及支撑体，以多个旋转辊位于横宽方向的内侧的方式，旋转自如地支撑多个旋转辊，该板状体搬送装置中，形成有导入部，该导入部使支撑体的横宽方向的内侧和外侧连通，使沿着被搬送的板状体的下表面并沿横宽方向流动的空气在多个旋转辊之间且与被搬送的板状体的下表面相同的高度从支撑体的横宽方向的内侧向外侧流通。

Description

板状体搬送装置

技术领域

本发明涉及板状体搬送装置(Transport Device For Plated-ShapedObjects)，该板状体搬送装置设置有：送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；推进力赋予机构，沿上述搬送方向排列并配备对板状体的下表面的与搬送方向正交的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，利用驱动机构旋转驱动上述多个旋转辊，对由上述送风式支撑机构支撑的板状体赋予上述搬送方向上的推进力；以及支撑体，以上述多个旋转辊位于上述横宽方向的上述送风式支撑机构所存在的内侧的方式，将上述多个旋转辊旋转自如地支撑。

背景技术

该板状体搬送装置利用送风式支撑机构以非接触状态支撑板状体，利用推进力赋予机构对板状体进行接触支撑，利用该推进力赋予机构对板状体赋予搬送方向上的推进力，由此沿着搬送方向搬送板状体。即，构成为，例如在搬送作为板状体的液晶用的玻璃基板的情况下，按照利用送风式支撑机构以非接触状态支撑玻璃基板的产品化的部分，利用推进力赋予机构对玻璃基板的产品化时被切割的部分进行接触支撑并赋予推进力的方式，一边对搬送物中的不优选进行接触支撑的部分进行非接触支撑，一边赋予推进力。

而且，在现有技术中，推进力赋予机构构成为，沿搬送方向排列并配备对板状体的下表面的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，利用驱动机构旋转驱动多个旋转辊，对由送风式支撑机构支撑的板状体赋予搬送方向上的推进力，支撑多个旋转辊的支撑体以在横宽方向的送风式支撑机构所存在的内侧将多个旋转辊旋转自如地支撑的方式设置，该支撑体位于与被搬送的板状体的下表面相同的高度(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2005-29360号公报

发明内容

由送风式支撑机构供给至板状体的下表面的空气沿着该板状体的下表面流动，其一部分沿着板状体的下表面并沿横宽方向流动。而且，支撑体设置在与被搬送的板状体的下表面相同的高度，因而沿着横宽方向在板状体的下表面流动的空气碰撞支撑体，从沿搬送方向排列的旋转辊之间通过支撑体和板状体的间隙而卷起至板状体上。像这样空气卷起至板状体上，由此由旋转辊等产生的尘埃也一同卷起，存在着该卷起的尘埃附着于板状体的上表面，板状体被污染的可能性。

本发明是鉴于上述现状而提出的，其目的在于，提供一种能够抑制板状体的污染的板状体搬送装置。

本发明的板状体搬送装置，设置有：送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；推进力赋予机构，沿上述搬送方向排列并配备对板状体的下表面的与搬送方向正交的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，利用驱动机构旋转驱动上述多个旋转辊，对由上述送风式支撑机构支撑的板状体赋予上述搬送方向上的推进力；以及支撑体，以上述多个旋转辊位于上述横宽方向的上述送风式支撑机构所存在的内侧的方式，将上述多个旋转辊旋转自如地支撑，其中，形成有导入部，该导入部使上述支撑体的上述横宽方向的内侧和其相反侧的外侧连通，使沿着被搬送的板状体的下表面并沿所述横宽方向流动的空气在上述多个旋转辊之间且与被搬送的板状体的下表面相同的高度，从上述支撑体的横宽方向的内侧向外侧流通。

即，形成有导入部，该导入部使支撑体的横宽方向的内侧和外侧连通，在多个旋转辊之间且与被搬送的板状体的下表面相同的高度，使沿着被搬送的板状体的下表面并沿横宽方向流动的空气从支撑体的横宽方向的内侧向外侧流通，因而，能够利用导入部使沿着板状体的下表面并沿横宽方向流动的空气从支撑体的内侧向外侧流动。

于是，通过将在支撑体的横宽方向的内侧沿着板状体的下表面并沿横宽方向流动的空气从位于该流动的下游侧的导入部导入，并向支撑体的横宽方向的外侧流通，从而能够抑制沿着横宽方向流动至板状体的下表面的端面的空气碰撞支撑体且空气从支撑体和板状体的间隙卷起。所以，能够抑制伴随着空气的卷起，尘埃卷起至板状体上而污染板状体。这样，可以提供一种能够抑制板状体的污染的板状体搬送装置。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，在第1特征结构中，优选的是，罩体覆盖设置上述送风式支撑机构和上述推进力赋予机构的设置空间的横侧方与位于上述设置空间的上方的板状体的搬送路径的横侧方，该罩体以比上述支撑体更位于上述横宽方向的外侧的方式设置，上述送风式支撑机构构成为，抽吸上述送风式支撑机构的下方的空气，向上述送风式支撑机构的上方喷出清洁空气，形成有导出部，该导出部使上述支撑体的上述横宽方向的内侧和外侧连通，在上述导入部的下方，使空气从上述支撑体的上述横宽方向的外侧向内侧流通，使上述送风式支撑机构的上方的空间和上述送风式支撑机构的下方的空间在上述支撑体的横宽方向的内侧连通的内侧流路，由在上述支撑体和上述送风式支撑机构之间形成的空间形成，具备上述导入部和上述导出部并使上述送风式支撑机构的上方的空间和上述内侧流路在上述支撑体的横宽方向的外侧连通的外侧流路，由在上述支撑体和上述罩体之间形成的空间形成。

即，送风式支撑机构构成为，抽吸送风式支撑机构的下方的空气并向送风式支撑机构的上方喷出。于是，从导入部导入的空气在外侧流路流动之后，从导出部向内侧流路导出，与在该内侧流路流动的空气一起向送风式支撑机构的下方的空间流动。即，例如，在从导出口向罩体的横侧方导出的情况下，该导出的空气有可能由于周围气流的流动而卷起至玻璃基板上，但如上所述地构成为使从导入部导入的空气向送风式支撑机构的下方的空间流动，因而，通过使从导入部导入的空气向送风式支撑机构的下方流动，从而使从导出部导出的空气难以向板状体上流动，能够有效地抑制板状体的污染。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，优选的是，上述驱动机构由相对于上述多个旋转辊分别设置的多个电动机构成，上述多个电动机以位于上述支撑体的上述横宽方向的外侧的方式由上述支撑体支撑，配置在上述外侧流路内。

即，通过由相对于多个旋转辊分别设置的多个电动机构成驱动机构，例如，与具备单一的电动机以及将该单一的电动机与多个旋转辊联动地连接的齿轮式联动机构而构成驱动机构的情况相比，难以从驱动机构产生尘埃，即使像这样将由多个电动机构成的驱动机构配置在外侧流路内，循环的空气也难以被污染。由此，能够在配置有驱动机构的空间形成外部流路。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，在第2和第3特征结构中，优选的是，由上述支撑体的上缘部和上述罩体的间隙形成上述导入部，由上述支撑体的下缘部和上述罩体的间隙形成上述导出部。

即，仅通过以在支撑体的上缘部和罩体之间以及支撑体的下缘部和罩体之间形成有间隙的方式设置支撑体，就能够形成导入部和导出部，例如，没有必要为了形成导入部和导出部而在支撑体另外设置连通于内侧和外侧的部件，因而，容易形成导入部和导出部。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，在第4特征结构中，优选的是，上述支撑体的上缘部和上述罩体的间隙以及上述支撑体的下缘部和上述罩体的间隙，以在上述搬送方向上位于相同的位置的方式形成。

即，支撑体的上缘部和罩体的间隙以及支撑体的下缘部和罩体的间隙，以在搬送方向上位于相同位置的方式形成，导入部和形成在其下方的导出部在搬送方向上位于相同位置，因而，容易将从导入部导入的空气从导出部导出，能够使从导入部导入的空气平滑地从导出部导出。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，在第4或第5特征结构中，优选的是，上述支撑体的下端部与上述罩体连接，该支撑体被上述罩体悬臂状地支撑，上述支撑体的上部和上述罩体的间隙以沿着上述搬送方向连续的方式形成。

即，通过使支撑体的下端部与罩体连接，从而能够使支撑体被支撑在罩体，因而容易使支撑体与罩体连接。另外，支撑体的上部和罩体的间隙以沿着搬送方向连续的方式形成，因而，能够使导入部在搬送方向上宽幅地形成，容易从导入部导入空气，因而，能够有效地抑制由于与支撑体碰撞而引起的空气的卷起。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，在第4和第5特征结构中，优选的是，上述支撑体的上端部和下端部与上述罩体连接，该支撑体被上述罩体双臂状地支撑。

即，通过使支撑体的上端部和下端部分别与罩体连接，能够牢固地由罩体支撑支撑体，利用由这样牢固地被支撑的支撑体旋转自如地支撑的旋转辊，能够对板状体稳定性好地赋予推进力。

在本发明的该板状体搬送装置的实施方式中，优选的是，上述导入部的下端位于比上述旋转辊的相对于板状体的抵接点的高度更低的位置，上述导出部的上端位于比上述旋转辊的旋转中心更低的位置。

附图说明

图1是第1实施方式的板状体搬送装置的平面图。

图2是第1实施方式的板状体搬送装置的正面图。

图3是显示第1实施方式的驱动机构和支撑体的正面图。

图4是显示第1实施方式的驱动机构和支撑体的立体图。

图5是显示第1实施方式的空气的流动的图。

图6是显示第2实施方式的驱动机构和支撑体的正面图。

图7是显示第2实施方式的驱动机构和支撑体的立体图。

图8是显示第2实施方式的空气的流动的图。

符号说明

1板状体

2送风式支撑机构

3推进力赋予机构

4罩体

10旋转辊

11驱动机构

12电动机

18支撑体

21内侧流路

22外侧流路

23导入部

24导出部

具体实施方式

以下，基于附图，说明本发明的板状体搬送装置。在此，说明多个实施方式，但一个实施方式的特征和其它实施方式的特征的组合也包含于本发明的范围。

(第1实施方式)

如图1和图2所示，板状体搬送装置H，设置有：送风式支撑机构2，向作为板状体的液晶用的玻璃基板1的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑玻璃基板1；推进力赋予机构3，对玻璃基板1的下表面进行接触支撑，对玻璃基板1赋予搬送方向上的推进力；以及罩体4，覆盖送风式支撑机构2、推进力赋予机构3以及被搬送的玻璃基板1。此外，以跨置于多台板状体搬送装置H而搬送玻璃基板1的方式沿搬送方向排列设置有多台板状体搬送装置H。

而且，如图2所示，板状体搬送装置H构成为，一边由送风式支撑机构2以非接触状态支撑玻璃基板1且由推进力赋予机构3以接触状态支撑玻璃基板1，一边利用推进力赋予机构3对玻璃基板1赋予搬送方向上的推进力，由此沿着搬送方向搬送玻璃基板1。

在送风式支撑机构2，具备除去尘埃的除尘过滤器6和通过该除尘过滤器6向玻璃基板1的下表面供给清洁空气的作为送风机构的送风风扇7。进一步进行说明，一体地组装围绕纵轴芯旋转的1个送风风扇7和覆盖该1个送风风扇7的上方的板状的除尘过滤器6而构成的风扇过滤器单元8，沿横宽方向以隔开间隔的状态排列设置有2台，沿搬送方向以不隔开间隔的状态排列设置有2台，送风式支撑机构2由沿横宽方向和搬送方向排列设置的多台风扇过滤器单元8构成。

于是，送风式支撑机构2构成为，利用送风风扇7的送风作用，抽吸送风式支撑机构2的下方的空气，将通过除尘过滤器6的空气作为清洁空气而向送风式支撑机构2的上方喷出，通过这样地喷出清洁空气，构成为向被搬送的玻璃基板1的下表面供给清洁空气，以水平或大致水平的姿势支撑玻璃基板1。此外，通过送风式支撑机构2的空气的抽吸，从而将送风式支撑机构2的下方减压，通过送风式支撑机构2的空气的喷出，从而将送风式支撑机构2的上方的空间加压。

如图1和图2所示，推进力赋予机构3构成为，沿搬送方向排列配备有多个旋转辊10，该多个旋转辊10对玻璃基板1的下表面的与搬送方向正交的横宽方向的端部进行接触支撑，利用驱动机构11旋转驱动多个旋转辊10，对由送风式支撑机构2支撑的玻璃基板1赋予搬送方向上的推进力。而且，驱动机构11由相对于多个旋转辊10分别设置的多个电动机12构成。

另外，推进力赋予机构3为了支撑玻璃基板1的下表面的横宽方向的两端部而设置有一对推进力赋予机构3，该一对推进力赋予机构3包括对玻璃基板1的下表面的横宽方向的一端部进行接触支撑的一端侧的推进力赋予机构3和对玻璃基板1的下表面的横宽方向的另一端部进行接触支撑的另一端侧的推进力赋予机构3。而且，送风式支撑机构2位于一对推进力赋予机构3之间，以对玻璃基板1的下表面的横宽方向的中间部供给清洁空气并以非接触状态进行支撑的方式配置。

罩体4构成为，覆盖设置送风式支撑机构2和推进力赋予机构3的设置空间的横侧方和位于该设置空间的上方的玻璃基板1的搬送路径的横侧方，以及这些设置空间和位于其上方的玻璃基板1的搬送路径的上方。进一步进行说明，如图3和图4所示，罩体4构成为，在多个框部件相互沿上下方向和水平方向空开间隔而配置的框架14，组装有覆盖设置空间的横侧方和玻璃基板1的搬送路径的横侧方的一对板状的侧壁部件15以及覆盖设置空间和玻璃基板1的搬送路径的上方的板状的上壁部件16，左右的横侧方和上方被堵塞，前方、后方以及下方被堵塞。

而且，作为框架14的框部件，在搬送方向视图中的4角，设置有沿着搬送方向配置的主框部件14a等，侧壁部件15设置为，位于左上的主框部件14a和左下的主框部件14a之间以及右上的主框部件14a和右下的主框部件14a之间，并堵塞它们之间，上壁部件16设置为，位于左上的主框部件14a和右上的主框部件14a之间，并堵塞其间。此外，有时候将左上的主框部件14a和右上的主框部件14a称为上侧的主框部件14a，将左下的主框部件14a和右下的主框部件14a称为下侧的主框部件14a。

而且，如图3所示，支撑推进力赋予机构3的支撑体18，以位于罩体4的侧壁部件15和送风式支撑机构2之间的方式，被罩体4的框架14支撑。该支撑体18构成为，以多个旋转辊10位于横宽方向的送风式支撑机构2所存在的内侧的方式将多个旋转辊10旋转自如地支撑，而且，以多个电动机12位于横宽方向的送风式支撑机构2不存在的外侧的方式支撑电动机12。

进一步进行说明，如图4所示，在支撑体18形成有使多个电动机12的输出轴插入贯通的孔，多个电动机12分别以输出轴插入贯通于孔的状态被支撑在支撑体18的外侧。而且，在从支撑体18的孔突出至内侧的电动机12的输出轴，以一体旋转的方式固定有旋转辊10，旋转辊10也经由电动机12而被支撑体18支撑。

另外，进一步说明支撑体18的形状，如图3和图4所示，构成为具备：支撑部分18a，支撑多个电动机12，形成有使输出轴插入贯通的孔，沿垂直方向延伸；与罩体4连接的连接部分18b；连接支撑部分18a和连接部分18b的第1连接部分18c；以及连接邻接的支撑部分18a彼此的第2连接部分18d，在支撑体18的下部形成有被支撑部分18a和第2连接部分包围的通气孔。此外，这些支撑部分18a、连接部分18b、第1连接部分18c以及第2连接部分18d分别形成为板状。

而且，连接部分18b以从下侧的主框部件14a突出至横宽方向的内侧的状态设置于框架14，支撑部分18a和第2连接部分18d以从罩体4的侧壁部件15、下侧的主框部件14a以及上侧的主框部件14a向横宽方向的内侧离开，从罩体4的上壁部件16和上侧的主框部件14a向下方侧离开，从下侧的主框部件14a向上方侧离开的方式设置。这样，支撑体18的下端部与罩体4连接，利用罩体4形成为悬臂状，支撑体18的上部整体上在上下方向和横宽方向上离开罩体4。

而且，旋转辊10由安装有O形圈的滑轮构成，具备：小径部10a，安装有O形圈，并载置支撑玻璃基板1；以及大径部10b，在其横宽方向上位于外侧，通过与玻璃基板1的侧面抵接而限制玻璃基板1向横宽方向的移动。而且，可以考虑由NBR(丁腈橡胶)构成O形圈，由尼龙构成滑轮，或者由聚氨酯橡胶构成O形圈，由ABS树脂构成滑轮。

在板状体搬送装置H形成有：导入部23，使支撑体18的横宽方向的内侧和其相反侧的外侧连通，在多个旋转辊10之间且与被搬送的玻璃基板1的下表面相同的高度，使沿着被搬送的玻璃基板1的下表面并沿横宽方向流动的空气从支撑体18的横宽方向的内侧流通至外侧；以及导出部24，使支撑体18的横宽方向的内侧和外侧连通，在导入部23的下方，使从导入部23导入的空气从支撑体18的横宽方向的外侧流通至内侧。

另外，如图5所示，在板状体搬送装置H形成有：内侧流路21，使送风式支撑机构2的上方的空间和送风式支撑机构2的下方的空间在支撑体18的横宽方向的内侧连通；以及外侧流路22，具备导入部23和导出部24，使送风式支撑机构2的上方的空间和内侧流路21在支撑体18的横宽方向的外侧连通。

首先，说明导入部23和导出部24，由支撑体18的上缘部和罩体4的间隙形成导入部23，由形成在支撑体18的下缘部的通气孔形成导出部24。即，支撑体18的上部整体上在上下方向和横宽方向上离开罩体4，由利用该离开而形成的且沿着搬送方向一系列地(即连续地)形成的、支撑体18的上部和罩体4的间隙形成导入部23。另外，在支撑体18的下部，沿着搬送方向形成有多个通气孔，由该沿着搬送方向形成有多个的支撑体18的通气孔形成导出部24。另外，导入部23的下端位于比上述旋转辊10的相对于板状体的抵接点的高度更低的位置，导出部24的上端位于比上述旋转辊10的旋转中心更低的位置。

而且，在支撑体18的上部和罩体4之间沿着搬送方向一系列地形成的间隙的一部分和在支撑体1的下部沿着搬送方向形成多个的通气孔，在横宽方向视图中形成为沿上下方向排列的状态，由这些间隙和通气孔形成的导入部23和导出部24，也在横宽方向视图中形成为沿上下方向排列的状态。

接着，说明内侧流路21和外侧流路22，如图5所示，支撑体18设置为相对于送风式支撑机构2而向横宽方向的外侧离开的状态，由该送风式支撑机构2和支撑体18之间的空间形成内侧流路21。另外，支撑体18设置为从侧壁部分15向横宽方向的内侧离开的状态，由该支撑体18和侧壁部分15之间的空间形成外侧流路22。而且，在送风式支撑机构2的上方，由于送风式支撑机构2的喷出而被加压，在送风式支撑机构2的下方，由于送风式支撑机构2的抽吸而被减压，在这样的连通送风式支撑机构2的上方的空间和送风式支撑机构2的下方的空间的内侧流路21中，产生从送风式支撑机构2的上方的空间侧向送风式支撑机构2的下方的空间侧的气流。另外，在外侧流路22中，也同样地产生从送风式支撑机构2的上方的空间侧向内侧流路21侧的气流。

而且，位于支撑体18的横宽方向的内侧的多个旋转辊10配置在内侧流路21内，位于支撑体18的横宽方向的外侧的多个电动机12配置在外侧流路22内。此外，如图2所示，由沿横宽方向排列的风扇过滤器单元8之间的空间形成内部流路20，该内部流路20使送风式支撑机构2的上方的空间和送风式支撑机构2的下方的空间在送风式支撑机构2的横宽方向的中央部连通。

由此，如图5所示，由送风式支撑机构2向玻璃基板1的下表面供给的空气，沿着玻璃基板1的下表面并沿着横宽方向流动，然后，如箭头a所示地在内侧流路21流通，或者如箭头b所示地在外侧流路22流通，流通至送风式支撑机构2的下方的空间，由此空气进行循环。尤其是，沿着玻璃基板1的下表面而流动至横宽方向的外侧的空气中的通过沿搬送方向排列的旋转辊10之间的空气，如箭头b所示，能够在从导入部23被导入至支撑体18的外侧之后，通过外侧流路22而从导出部24被导出至内侧流路21。即，通过在多个旋转辊10之间且与被搬送的玻璃基板1的下表面相同的高度形成导入部23，使得通过沿搬送方向排列的旋转辊10之间的空气难以与支撑体18碰撞，抑制了空气被卷起至玻璃基板1的上方。

(第2实施方式)

接着，说明板状体搬送装置的第2实施方式。此外，第2实施方式与第1实施方式的罩体和支撑体的形状不同，与此相伴的是，内侧流路、外侧流路、导入部以及导出部的形成方式不同，除此之外，与上述第1实施方式同样地构成，因而，对于与第1实施方式相同的构成要素和具有相同的作用的构成要素，标注相同的符号，由此省略说明，主要说明与第1实施方式不同的结构。

如图6所示，罩4构成为，在覆盖设置送风式支撑机构2和推进力赋予机构3的设置空间的横侧方和玻璃基板1的搬送路径的横侧方的侧壁用框26，组装有覆盖设置空间和玻璃基板1的搬送路径的上方的板状的上壁部件(图中未显示)，与第1实施方式同样，左右的横侧方和上方密闭，前方、后方以及下方开放。

而且，侧壁用框26的上部由纵壁部26a、上壁部26b以及下壁部26c形成为在搬送方向视图中内侧开放的コ字状，跨置于该侧壁用框26的上壁部26b和下壁部26c而设置支撑体18，由此形成被纵壁部26a、上壁部26b、下壁部26c以及支撑体18包围的空间。即，支撑推进力赋予机构3的板状的支撑体18，以位于罩体4的侧壁用框26的纵壁部26a和送风式支撑机构2之间的方式，被支撑在罩体4的侧壁用框26。

如图7所示，支撑体18构成为，具备：支撑部分18e，支撑多个电动机12，形成有使输出轴插入贯通的孔；与上壁部26b连接的上连接部分18f；与下壁部26c连接的下连接部分18g；以及连接邻接的支撑部分18e彼此的连接部分18h，在支撑体18的下部和上部，分别形成有多个切口。而且，支撑体18形成为平板状，支撑部分18e和连接部分18h以从罩体4的侧壁用框26的纵壁部26a向横宽方向的内侧离开，从上壁部26b向下方离开，从下壁部26c向上方离开的方式设置。这样，支撑体18的上端部和下端部与罩体4连接，利用罩体4形成为双臂状，支撑体18的上部和下部分别形成有切口，由此在上下方向和横宽方向上部分地离开罩体4。

说明导入部23和导出部24，支撑体18的上缘部沿上下方向部分地离开罩体4的上壁部26b且沿横宽方向部分地离开罩体4的纵壁部26a，由利用该离开而形成且沿着搬送方向分散地形成的、支撑体18的上部和罩体4的间隙形成导入部23。另外，支撑体18的下部沿上下方向部分地离开罩4的下壁部26c且沿横宽方向部分地离开罩体4的纵壁部26a，由利用该离开而形成且沿着搬送方向分散地形成的、支撑体18的下部和罩体4的间隙形成导出部24。

而且，在支撑体18的上部和罩体4之间沿着搬送方向分散地形成的间隙和在支撑体18的下部和罩体4之间沿着搬送方向分散地形成的间隙，以在搬送方向上位于相同的位置的方式形成，由这些间隙而形成的导入部23和导出部24也以在搬送方向上位于相同的位置的方式形成。

接着，说明内侧流路21和外侧流路22，支撑体18设置为相对于送风式支撑机构2而向横宽方向的外侧离开的状态，由该送风式支撑机构2和支撑体18之间的空间形成内侧流路21。另外，支撑体18设置为从纵壁部26a向横宽方向的内侧离开的状态，由该支撑体18和纵壁部26a之间的空间形成外侧流路22。

而且，与第1实施方式同样，如图8所示，由送风式支撑机构2向玻璃基板1的下表面供给的空气沿着玻璃基板1的下表面并沿着横宽方向流动，然后如箭头a所示地在内侧流路21流通，或者如箭头b所示地在外侧流路22流通，流通至送风式支撑机构2的下方的空间，由此能够使空气循环。尤其是，沿着玻璃基板1的下表面而流动至横宽方向的外侧的空气中的通过沿搬送方向排列的旋转辊10之间的空气，如箭头b所示，能够在从导入部23被导入至支撑体18的外侧之后，通过外侧流路22而从导出部24被导出至内侧流路21。即，通过在多个旋转辊10之间且与被搬送的玻璃基板1的下表面相同的高度形成导入部23，使得通过沿搬送方向排列的旋转辊10之间的空气难以与支撑体18碰撞，抑制了空气被卷起至玻璃基板1的上方。

(其它实施方式)

(1)在上述第1和第2实施方式中，利用外侧流路22使送风式支撑机构2的上方的空间和内侧流路21连通，但也可以利用外侧流路22使送风式支撑机构2的上方的空间和罩体4的横宽方向的外侧连通，或者使送风式支撑机构2的上方的空间和罩体4的下方的空间连通，由此也可以不使外侧流路22与内侧流路21连通。另外，也可以在导出部24设置从导出部24导出空气时除去尘埃的过滤器，或用于从导入部23抽吸空气的抽吸用风扇。

(2)在上述第1和第2实施方式中，由相对于多个旋转辊10而分别设置的多个电动机12构成驱动机构11，但也可以由单一的电动机12以及将该电动机12和多个旋转辊10联动连接的联动机构构成驱动机构11。另外，将驱动机构11配置在外侧流路22内，但也可以另外设置驱动机构11配置用的空间，将驱动机构11配置在外侧流路22之外。

(3)在上述第1和第2实施方式中，以在横宽方向视图中沿上下方向排列的状态形成支撑体18的上部和罩体4的间隙以及支撑体18的下部和罩体4的间隙，但也可以将支撑体18的上部和罩体4的间隙以及支撑体18的下部和罩体4的间隙沿搬送方向形成为交错状，形成为在横宽方向视图中不沿上下方向排列的状态。

(4)在上述第1实施方式中，支撑体18的下端部与罩体4连接，支撑体18被罩体4悬臂状地支撑，在上述第2实施方式中，支撑体18的上端部和下端部与罩体4连接，支撑体18被罩体4双臂状地支撑，但也可以是支撑体18的上端部与罩体4连接，支撑体18被罩体4悬臂状地支撑。而且，在该情况下，支撑体18的下部和罩体4的间隙沿着搬送方向一系列地形成。

(5)在上述第1和第2实施方式中，由支撑体18的上端部和罩体4的间隙形成导入部23，但也可以形成支撑体18的导入部形成用的通气孔，由该通气孔形成导入部23。

另外，在上述第1实施方式中，在支撑体18的下部形成导出部形成用的通气孔，由该通气孔形成导出部24，但也可以由支撑体18的下部和罩体4的间隙形成导出部24。

另外，在上述第2实施方式中，由支撑体18的下部和罩体4的间隙形成导出部24，但也可以在支撑体18形成导出部形成用的通气孔，由该通气孔形成导出部24。

(6)在上述第1和第2实施方式中，作为板状体，列举了矩形状的玻璃基板1，但也可以是半导体晶片等的其它板状体，另外，也可以是圆形状等的其它形状的板状体。

(7)在上述第1和第2实施方式中，将罩体4构成为，覆盖设置送风式支撑机构2和推进力赋予机构3的设置空间与位于该设置空间的上方的玻璃基板1的搬送路径的横侧方以及上方，但也可以是，例如，通过在第1实施方式中不设置上壁部件15等，从而将罩体4构成为仅覆盖设置空间的横侧方和玻璃基板1的搬送路径的横侧方，另外，也可以是，例如，通过在第1实施方式中在下侧的主框部件14a彼此之间设置下壁部件等，从而将罩体4构成为，覆盖设置空间的横侧方和位于该设置空间的上方的玻璃基板1的搬送路径的横侧方、上方以及下方。

(8)在上述第1和第2实施方式中构成为，由送风式支撑机构2以水平或大致水平的姿势并以非接触状态支撑玻璃基板1，但也可以构成为，将送风式支撑机构2设置为沿横宽方向倾斜的姿势，由送风式支撑机构2以沿横宽方向倾斜的倾斜姿势支撑玻璃基板1。而且，在该情况下，也可以为了根据送风式支撑机构2的倾斜而使推进力赋予机构3(多个旋转辊10)倾斜，将支撑体18以沿横宽方向倾斜的姿势设置。

Claims (7)

1.一种板状体搬送装置，具备：

送风式支撑机构，向板状体的下表面供给清洁空气，以非接触状态支撑板状体；

推进力赋予机构，沿搬送方向排列并配备对板状体的下表面的与所述搬送方向正交的横宽方向的端部进行接触支撑的多个旋转辊，利用驱动机构旋转驱动所述多个旋转辊，对由所述送风式支撑机构支撑的板状体赋予所述搬送方向上的推进力；以及

支撑体，以所述多个旋转辊位于所述横宽方向的存在着所述送风式支撑机构的内侧的方式，将所述多个旋转辊旋转自如地支撑，

其中，

罩体将设置有所述送风式支撑机构和所述推进力赋予机构的设置空间的横侧方与位于所述设置空间的上方的板状体的搬送路径的横侧方覆盖，该罩体以比所述支撑体更位于所述横宽方向的外侧的方式设置，

形成有导入部，该导入部使所述支撑体的在所述横宽方向上的内侧和其相反侧的外侧连通，使空气在所述多个旋转辊之间且在与被搬送的板状体的下表面相同的高度从所述支撑体的在所述横宽方向上的内侧向外侧流通，所述空气沿着被搬送的板状体的下表面并沿所述横宽方向流动，

所述导入部，由所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙形成，或者，由形成于所述支撑体的通气孔形成。

2.根据权利要求1所述的板状体搬送装置，其特征在于，

所述送风式支撑机构构成为，抽吸所述送风式支撑机构的下方的空气，向所述送风式支撑机构的上方喷出清洁空气，

形成有导出部，该导出部使所述支撑体的在所述横宽方向上的内侧和外侧连通，在所述导入部的下方，使空气从所述支撑体的在所述横宽方向上的外侧向内侧流通，

所述导出部，由所述支撑体的下缘部和所述罩体的间隙形成，或者，由形成于所述支撑体的通气孔形成，

内侧流路，由形成在所述支撑体和所述送风式支撑机构之间的空间形成，该内侧流路使所述送风式支撑机构的上方的空间和所述送风式支撑机构的下方的空间在所述支撑体的在所述横宽方向上的内侧连通，

外侧流路，由形成在所述支撑体和所述罩体之间的空间形成，该外侧流路具备所述导入部和所述导出部，并使所述送风式支撑机构的上方的空间和所述内侧流路在所述支撑体的在所述横宽方向上的外侧连通。

3.根据权利要求2所述的板状体搬送装置，其特征在于，

所述驱动机构由相对于所述多个旋转辊分别设置的多个电动机构成，

所述多个电动机以位于所述支撑体的在所述横宽方向上的外侧的方式由所述支撑体支撑，配置在所述外侧流路内。

4.根据权利要求2或3所述的板状体搬送装置，其特征在于，

由所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙形成所述导入部，

由所述支撑体的下缘部和所述罩体的间隙形成所述导出部，

所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙以及所述支撑体的下缘部和所述罩体的间隙，以在所述搬送方向上位于相同的位置的方式形成。

5.根据权利要求2或3所述的板状体搬送装置，其特征在于，

由所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙形成所述导入部，

由所述支撑体的下缘部和所述罩体的间隙形成所述导出部，

所述支撑体的下端部与所述罩体连接，该支撑体被所述罩体悬臂状地支撑，

所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙以沿着所述搬送方向连续的方式形成。

6.根据权利要求2或3所述的板状体搬送装置，其特征在于，

由所述支撑体的上缘部和所述罩体的间隙形成所述导入部，

由所述支撑体的下缘部和所述罩体的间隙形成所述导出部，

所述支撑体的上端部和下端部与所述罩体连接，该支撑体被所述罩体双臂状地支撑。

7.根据权利要求2所述的板状体搬送装置，其特征在于，

所述导入部的下端位于比所述多个旋转辊的相对于板状体的抵接点的高度更低的位置，

所述导出部的上端位于比所述多个旋转辊的旋转中心更低的位置。