KR20110115520A

KR20110115520A - 판형체 반송 장치

Info

Publication number: KR20110115520A
Application number: KR1020110030115A
Authority: KR
Inventors: 다쓰오 나카오; 다쓰히사 쓰지
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2010-04-15
Filing date: 2011-04-01
Publication date: 2011-10-21
Also published as: TWI465381B; CN102219118B; JP2011225300A; JP5088591B2; CN102219118A; TW201200448A; KR101317731B1

Abstract

본 발명은, 판형체(板形體)의 오염을 억제할 수 있는 판형체 반송(搬送) 장치를 제공한다. 판형체(1)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 판형체(1)를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(2)과, 판형체(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 단부(端部)를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러(10)를 구동 수단(11)에 의해 회전 구동시켜 판형체(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(3)과, 가로 폭 방향에서의 내측으로 복수 개의 회전 롤러(10)가 위치하도록 복수 개의 회전 롤러(10)를 회전 가능하게 지지하는 지지체(18)를 설치하고, 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측과 외측을 연통(連通)시켜, 반송되는 판형체(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동(流動)한 공기를 복수 개의 회전 롤러(10) 사이이면서 또한 반송되는 판형체(1)의 하면과 같은 높이에 있어서 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측으로부터 외측으로 통류(通流)시키는 도입부(導入部)(23)를 형성한다.

Description

판형체 반송 장치{TRANSPORT DEVICE FOR PLATE-SHAPED OBJECTS}

본 발명은, 판형체(板形體)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판형체의 하면에서의 반송(搬送) 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부(端部)를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러를 상기 반송 방향으로 배열하여 구비하고, 상기 복수 개의 회전 롤러를 구동 수단에 의해 회전 구동시켜 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 판형체에 대하여 상기 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단과, 상기 가로 폭 방향에서의 상기 송풍식 지지 수단이 존재하는 내측에 상기 복수 개의 회전 롤러가 위치하도록 상기 복수 개의 회전 롤러를 회전 가능하게 지지하는 지지체가 설치되어 있는 판형체 반송 장치에 관한 것이다.

이러한 판형체 반송 장치는, 송풍식 지지 수단에 의해 판형체를 비접촉 상태로 지지하고, 추진력 부여 수단에 의해 판형체를 접촉 지지하여, 이 추진력 부여 수단에 의해 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여함으로써 판형체를 반송 방향을 따라 반송하는 것이다. 즉, 예를 들면, 판형체로서 액정용의 유리 기판을 반송하는 경우에는, 유리 기판에서의 제품화되는 부분을 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지하고, 유리 기판에서의 제품화할 때 커팅되는 부분을 추진력 부여 수단에 의해 접촉 지지하여 추진력을 부여하도록, 반송물에 있어서, 접촉 지지를 행하는 것이 바람직하지 않은 부분을 비접촉 지지하면서 추진력을 부여하도록 구성되어 있다.

그리고, 종래에는, 추진력 부여 수단은, 판형체의 하면에서의 가로 폭 방향의 단부를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러를 반송 방향으로 배열하여 구비하고, 복수 개의 회전 롤러를 구동 수단에 의해 회전 구동시켜 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 판형체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성되어 있고, 복수 개의 회전 롤러를 지지하는 지지체가, 가로 폭 방향에서의 송풍식 지지 수단이 존재하는 내측에 복수 개의 회전 롤러를 회전 가능하게 지지하도록 형성되어 있고, 이 지지체는, 반송되는 판형체의 하면과 같은 높이에 위치하고 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

일본공개특허 제2005-29360호 공보

송풍식 지지 수단에 의해 판형체의 하면에 공급된 공기는 그 판형체의 하면을 따라 유동(流動)하고, 그 일부는, 판형체의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한다. 그리고, 반송되는 판형체의 하면과 같은 높이에 지지체가 설치되어 있으므로, 판형체의 하면을 가로 폭 방향을 따라 유동한 공기는, 지지체에 충돌하여, 반송 방향으로 배열된 회전 롤러의 사이로부터 지지체와 판형체와의 간극을 통하여 판형체 상에 말려올라간다. 이와 같이, 공기가 판형체 상에 말려올라감으로써 회전 롤러 등에 의해 발생한 먼지도 함께 말려올라가고, 그 말려올라간 먼지가 판형체의 상면에 부착되어 판형체가 오염되어 버릴 가능성이 있었다.

본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 판형체의 오염을 억제할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치는, 판형체의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판형체의 하면에서의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러를 상기 반송 방향으로 배열하여 구비하고, 상기 복수 개의 회전 롤러를 구동 수단에 의해 회전 구동시켜 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 판형체에 대하여 상기 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단과, 상기 가로 폭 방향에서의 상기 송풍식 지지 수단이 존재하는 내측에 상기 복수 개의 회전 롤러가 위치하도록 상기 복수 개의 회전 롤러를 회전 가능하게 지지하는 지지체가 설치되어 있는 것으로서,

상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 내측과 그 반대측의 외측을 연통(連通)시켜, 반송되는 판형체의 하면을 따라 상기 가로 폭 방향으로 유동한 공기를 상기 복수 개의 회전 롤러의 사이이면서 또한 반송되는 판형체의 하면과 같은 높이에 있어서 상기 지지체의 가로 폭 방향의 내측으로부터 외측으로 통류(通流)시키는 도입부(導入部)가 형성되어 있다.

즉, 지지체의 가로 폭 방향의 내측과 외측을 연통시켜, 복수 개의 회전 롤러의 사이이면서 또한 반송되는 판형체의 하면과 같은 높이에 있어서, 반송되는 판형체의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한 공기를 지지체의 가로 폭 방향의 내측으로부터 외측으로 통류시키는 도입부가 형성되어 있으므로, 판형체의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한 공기를, 도입부에 의해 지지체의 내측으로부터 외측으로 유동시킬 수 있다.

그리고, 지지체의 가로 폭 방향의 내측에서 판형체의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한 공기를, 그 유동의 하류측에 위치하는 도입부로부터 도입하여 지지체의 가로 폭 방향의 외측으로 통류시킴으로써, 판형체의 하면의 단부까지 가로 폭 방향을 따라 유동한 공기가 지지체에 충돌하여, 지지체와 판형체와의 간극으로부터 공기가 말려올라가는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 공기가 말려올라가는 동시에 먼지가 판형체 상에 말려올라가 판형체를 오염시키는 것을 억제할 수 있다. 이와 같이, 판형체의 오염을 억제할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 제1 특징적 구성에 있어서, 상기 송풍식 지지 수단 및 상기 추진력 부여 수단을 설치하는 설치 공간의 가로측과 상기 설치 공간의 위쪽에 위치하는 판형체의 반송 경로의 가로측을 덮는 커버체가, 상기 지지체보다 상기 가로 폭 방향의 외측에 위치하도록 설치되고, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공기를 흡인하여 상기 송풍식 지지 수단의 위쪽을 향해 청정 공기를 분출하도록 구성되며, 상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 내측과 외측을 연통시켜, 상기 도입부보다 아래쪽에 있어서, 공기를 상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 외측으로부터 내측으로 통류시키는 도출부(導出部)가 형성되고, 상기 송풍식 지지 수단의 위쪽의 공간과 상기 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공간을 상기 지지체의 가로 폭 방향의 내측에서 연통시키는 내측 유로가, 상기 지지체와 상기 송풍식 지지 수단과의 사이에 형성되는 공간에 의해 형성되고, 상기 도입부 및 상기 도출부를 구비하여 상기 송풍식 지지 수단의 위쪽의 공간과 상기 내측 유로를 상기 지지체의 가로 폭 방향의 외측으로 연통시키는 외측 유로가, 상기 지지체와 상기 커버체와의 사이에 형성되는 공간에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 송풍식 지지 수단은, 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공기를 흡인하여 송풍식 지지 수단의 위쪽을 향해 분출하도록 구성되어 있다. 그리고, 도입부로부터 도입된 공기는, 외측 유로를 유동한 후에 도출부로부터 내측 유로로 도출하고, 이 내측 유로를 유동하는 공기와 함께 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공간으로 유동한다. 즉, 예를 들면, 도출구로부터 커버체의 가로 방향으로 도출한 경우에는, 그 도출한 공기가 주위의 기류의 흐름에 의해 유리 기판 상에 말려올라갈 우려가 있지만, 전술한 바와 같은 도입부로부터 도입한 공기를 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공간으로 유동하도록 구성되어 있으므로, 도입부로부터 도입한 공기를 송풍식 지지 수단의 아래쪽으로 유동시킴으로써 도출부로부터 도출한 공기가 판형체 상에 쉽게 유동하지 않아, 판형체의 오염을 효과적으로 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 상기 구동 수단이, 상기 복수 개의 회전 롤러에 대하여 별개로 설치된 복수 개의 전동 모터에 의해 구성되며, 상기 복수 개의 전동 모터가, 상기 지지체에 의해 그 상기 가로 폭 방향의 외측에 위치하도록 지지되어 상기 외측 유로 내에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 구동 수단을, 복수 개의 회전 롤러에 대하여 별개로 설치된 복수 개의 전동 모터에 의해 구성함으로써, 예를 들면, 구동 수단을, 단일의 전동 모터와, 이 단일의 전동 모터를 복수 개의 회전 롤러와 연동(連動) 연결되는 기어식의 연동 기구를 구비하여 구성한 경우와 비교하여, 구동 수단으로부터 먼지가 쉽게 발생하지 않아, 이와 같이 복수 개의 전동 모터에 의해 구성된 구동 수단을 외측 유로 내에 배치했다고 해도, 순환하는 공기가 쉽게 오염되지 않게 된다. 따라서, 구동 수단을 설치하고 있는 공간에 의해 외부 유로를 형성할 수 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 제2 또는 제3 특징적 구성에 있어서, 상기 지지체의 상측 에지부와 상기 커버체와의 간격에 의해 상기 도입부가 형성되고, 상기 지지체의 하측 에지부와 상기 커버체와의 간격에 의해 상기 도출부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 지지체의 상측 에지부와 커버체와의 사이나 지지체의 하측 에지부와 커버체와의 사이에 간극이 형성되도록 지지체를 설치하는 것만으로 도입부나 도출부를 형성할 수 있고, 예를 들면, 도입부나 도출부를 형성하기 위해 지지체에 내측과 외측에 연통되는 부재를 별도로 설치할 필요가 없기 때문에, 도입부나 도출부를 형성하기 쉬운 것으로 된다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 제4 특징적 구성에 있어서, 상기 지지체의 상측 에지부와 상기 커버체와의 간격과 상기 지지체의 하측 에지부와 상기 커버체와의 간격이, 상기 반송 방향에서 같은 위치에 위치하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 지지체의 상측 에지부와 커버체와의 간격과 지지체의 하측 에지부와 커버체와의 간격이, 반송 방향에서 같은 위치에 위치하도록 형성되어 있고, 도입부와 그보다 아래쪽에 형성되는 도출부가 반송 방향에서 같은 위치에 위치하고 있으므로, 도입부로부터 도입한 공기를 도출부로부터 쉽게 도출할 수 있으므로, 도입부로부터 도입한 공기를 원활하게 도출부로부터 도출시킬 수 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 제4 또는 제5 특징적 구성에 있어서, 상기 지지체가, 그 하단부가 상기 커버체에 연결되어 상기 커버체에 의해 편(片) 지지, 즉 한쪽 지지 상태로 지지되고, 상기 지지체의 상부와 상기 커버체와의 간격이, 상기 반송 방향을 따라 연속되도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 지지체를, 그 하단부를 커버체에 연결함으로써 커버체에 지지하게 할 수 있으므로, 지지체를 커버체에 쉽게 연결시킬 수 있게 된다. 또한, 지지체의 상부와 커버체와의 간격이, 반송 방향을 따라 연속되도록 형성되어 있으므로, 도입부를 반송 방향으로 광폭(廣幅)으로 형성할 수 있어, 도입부로부터 공기를 쉽게 도입시킬 수 있으므로, 지지체에 충돌하는 것에 기인하는 공기의 말려올라감을 효과적으로 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 제4 또는 제5 특징적 구성에 있어서, 상기 지지체가, 그 상단부 및 하단부가 상기 커버체에 연결되어 상기 커버체에 의해 양쪽 지지 상태로 지지되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 지지체를, 그 상단부와 하단부와의 각각을 커버체에 연결함으로써, 커버체에 의해 지지체를 견고하게 지지할 수 있고, 이와 같이 견고하게 지지된 지지체에 의해 회전 가능하게 지지된 회전 롤러에 의해, 판형체에 대하여 안정적으로 추진력을 부여할 수 있다.

본 발명에 관한 판형체 반송 장치의 실시예에서는, 상기 도입부의 하단은, 상기 회전 롤러의, 판형체에 대한 접촉점의 높이보다 낮은 위치에 있고, 상기 도출부의 상단은, 상기 회전 롤러의 회전 중심보다 낮은 위치에 있는 것이 바람직하다.

도 1은 제1 실시예에 있어서의 판형체 반송 장치의 평면도이다.
도 2는 제1 실시예에 있어서의 판형체 반송 장치의 정면도이다.
도 3은 제1 실시예에 있어서의 구동 수단 및 지지체를 나타낸 정면도이다.
도 4는 제1 실시예에 있어서의 구동 수단 및 지지체를 나타낸 사시도이다.
도 5는 제1 실시예에 있어서의 공기의 흐름을 나타낸 도면이다.
도 6은 제2 실시예에 있어서의 구동 수단 및 지지체를 나타낸 정면도이다.
도 7은 제2 실시예에 있어서의 구동 수단 및 지지체를 나타낸 사시도이다.
도 8은 제2 실시예에 있어서의 공기의 흐름을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명에 관한 판형체 반송 장치를 도면을 참조하여 설명한다. 여기서는 복수 개의 실시예가 설명되지만, 본 발명의 일 실시예의 특징과 다른 실시예의 특징의 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

[제1 실시예]

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)는, 판형체로서의 액정용의 유리 기판(1)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(2)과, 유리 기판(1)의 하면을 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(3)과, 송풍식 지지 수단(2)이나 추진력 부여 수단(3)이나 반송되는 유리 기판(1)을 덮는 커버체(4)를 설치하여 구성되어 있다. 그리고, 판형체 반송 장치(H)는, 복수대의 판형체 반송 장치(H)에 걸쳐 유리 기판(1)이 반송되도록, 반송 방향으로 복수대 병설되어 있다.

그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)는, 송풍식 지지 수단(2)에 의해 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하고, 또한 추진력 부여 수단(3)에 의해 유리 기판(1)을 접촉 상태로 지지하면서, 추진력 부여 수단(3)에 의해 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여함으로써, 유리 기판(1)을 반송 방향을 따라 반송하도록 구성되어 있다.

송풍식 지지 수단(2)에는, 먼지를 제거하는 제진(除塵) 필터(6)와, 그 제진 필터(6)를 통해 유리 기판(1)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단으로서의 송풍팬(7)이 구비되어 있다. 설명을 추가하면, 세로 축심(軸芯) 주위로 회전하는 1개의 송풍팬(7)과, 그 1개의 송풍팬(7)의 위쪽을 덮는 판형의 제진 필터(6)를 일체로 조립하여 구성된 팬필터 유닛(8)이, 가로 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 2대, 반송 방향으로 간격을 두지 않은 상태로 2대 병설되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)은, 가로 폭 방향 및 반송 방향으로 병설된 복수대의 팬필터 유닛(8)에 의해 구성되어 있다.

그리고, 송풍식 지지 수단(2)은, 송풍팬(7)의 송풍 작용에 의해, 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공기를 흡인하여 제진 필터(6)를 통한 공기를 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽을 향해 청정 공기로서 분출하도록 구성되어 있고, 이와 같이 청정 공기를 분출함으로써, 반송되는 유리 기판(1)의 하면에 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(1)을 수평 또는 거의 수평 자세로 지지하도록 구성되어 있다. 그리고, 송풍식 지지 수단(2)의 공기의 흡인에 의해 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽이 감압(減壓)되어 송풍식 지지 수단(2)의 공기의 분출에 의해 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽 공간이 가압된다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 추진력 부여 수단(3)은, 유리 기판(1)의 하면에서의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러(10)를 반송 방향으로 배열하여 구비하고, 복수 개의 회전 롤러(10)를 구동 수단(11)에 의해 회전 구동시켜 송풍식 지지 수단(2)에 의해 지지되는 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성되어 있다. 그리고, 구동 수단(11)은, 복수 개의 회전 롤러(10)에 대하여 별개로 설치된 복수 개의 전동 모터(12)에 의해 구성되어 있다.

또한, 추진력 부여 수단(3)은, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 지지하기 위해, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하는 일단측의 추진력 부여 수단(3)과, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하는 타단측의 추진력 부여 수단(3)과의 한쌍의 추진력 부여 수단(3)이 설치되어 있다. 또한, 송풍식 지지 수단(2)은, 한쌍의 추진력 부여 수단(3) 사이에 위치하여, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 중간부에 청정 공기를 공급하여 비접촉 상태로 지지하도록 설치되어 있다.

커버체(4)는, 송풍식 지지 수단(2) 및 추진력 부여 수단(3)을 설치하는 설치 공간의 가로측과 이 설치 공간의 위쪽에 위치하는 유리 기판(1)의 반송 경로와의 가로측, 및 이들 설치 공간 및 그 위쪽에 위치하는 유리 기판(1)의 반송 경로의 위쪽을 덮도록 구성되어 있다. 설명을 추가하면, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 커버체(4)는, 복수 개의 프레임재가 서로 상하 방향과 수평 방향으로 간극을 두고 배치되는 골격 프레임(14)에, 설치 공간의 가로측 및 유리 기판(1)의 반송 경로의 가로측을 덮는 한쌍의 판형의 측벽 부재(15)와, 설치 공간 및 유리 기판(1)의 반송 경로의 위쪽을 덮는 판형의 상벽(上壁) 부재(16)를 조립하여 구성되어 있고, 좌우의 가로측과 위쪽이 폐색(閉塞)되고, 전방, 후방 및 아래쪽이 폐색되어 있다.

그리고, 골격 프레임(14)의 프레임재로서, 반송 방향에서 볼 때 4코너에 반송 방향을 따라 설치된 메인 프레임재(14a) 등이 형성되어 있고, 측벽 부재(15)는, 좌측 위의 메인 프레임재(14a)와 좌측 아래의 메인 프레임재(14a)와의 사이, 및 우측 위의 메인 프레임재(14a)와 좌측 아래의 메인 프레임재(14a)와의 사이에 위치하여 이들 사이를 폐색하도록 설치되고, 상벽 부재(16)는, 좌측 위의 메인 프레임재(14a)와 우측 위의 메인 프레임재(14a)와의 사이에 위치하여 이 사이를 폐색하도록 설치되어 있다. 그리고, 좌측 위의 메인 프레임재(14a) 및 우측 위의 메인 프레임재(14a)를 위쪽의 메인 프레임재(14a)라고 하고, 좌측 아래의 메인 프레임재(14a) 및 우측 아래의 메인 프레임재(14a)를 아래쪽의 메인 프레임재(14a)라고 하는 경우가 있다.

그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 추진력 부여 수단(3)을 지지하는 지지체(18)가, 커버체(4)에서의 측벽 부재(15)와 송풍식 지지 수단(2)과의 사이에 위치하도록, 커버체(4)에서의 골격 프레임(14)에 지지되어 있다. 이 지지체(18)는, 가로 폭 방향에서의 송풍식 지지 수단(2)이 존재하는 내측에 복수 개의 회전 롤러(10)가 위치하도록 복수 개의 회전 롤러(10)를 회전 가능하게 지지하고, 또한 가로 폭 방향에서의 송풍식 지지 수단(2)이 존재하지 않는 외측에 복수 개의 전동 모터(12)가 위치하도록, 또한 전동 모터(12)를 지지하도록 구성되어 있다.

설명을 추가하면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 지지체(18)에는 복수 개의 전동 모터(12)의 출력축을 삽통(揷通)시키는 구멍이 형성되어 있고, 복수 개의 전동 모터(12)의 각각은, 구멍에 출력축을 삽통시킨 상태로 지지체(18)에서의 외측에 지지되어 있다. 그리고, 지지체(18)의 구멍으로부터 내측으로 돌출된 전동 모터(12)의 출력축에, 일체로 회전하도록 회전 롤러(10)가 고착되어 있고, 회전 롤러(10)도 전동 모터(12)를 통하여 지지체(18)에 지지되어 있다.

또한, 지지체(18)의 형상에 대하여 설명을 추가하면, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수 개의 전동 모터(12)를 지지하여 출력축을 삽통시키는 구멍이 형성되어 수직 방향으로 연장되는 지지 부분(18a)과, 커버체(4)에 연결하는 연결 부분(18b)과, 지지 부분(18a)과 연결 부분(18b)을 접속하는 제1 접속 부분(18c)과, 인접하는 지지 부분(18a)끼리를 접속하는 제2 접속 부분(18d)을 구비하여 구성되어 있고, 지지체(18)의 하부에는 지지 부분(18a)과 제2 접속 부분(18d)으로 에워싸인 통기공이 형성되어 있다. 그리고, 이들 지지 부분(18a), 연결 부분(18b), 제1 접속 부분(18c) 및 제2 접속 부분(18d)의 각각은 판형으로 형성되어 있다.

그리고, 연결 부분(18b)은, 아래쪽의 메인 프레임재(14a)로부터 가로 폭 방향의 내측으로 돌출하는 상태로 골격 프레임(14)에 형성되어 있고, 지지 부분(18a) 및 제2 연결 부분(18d)은, 커버체(4)의 측벽 부재(15), 아래쪽의 메인 프레임재(14a) 및 위쪽의 메인 프레임재(14a)로부터 가로 폭 방향의 내측으로 이격(離隔)되고, 커버체(4) 상벽 부재(16)나 위쪽의 메인 프레임재(14a)로부터 아래쪽으로 이격되고, 아래쪽의 메인 프레임재(14a)로부터 상방측으로 이격되도록 설치되어 있다. 이와 같이, 지지체(18)는, 그 하단부가 커버체(4)에 연결되어 커버체(4)에 의해 한쪽 지지형으로 형성되어 있고, 지지체(18)의 상부는, 그 전체가 커버체(4)와 상하 방향 및 가로 폭 방향으로 이격되어 있다.

그리고, 회전 롤러(10)는, 0링이 장착된 풀리에 의해 구성되어 있고, O링이 장착되어 유리 기판(1)을 탑재 지지하는 소경부(小徑部)(10a)와, 그 가로 폭 방향에서 외측에 위치하여 유리 기판(1)의 측면에 맞닿는 것에 의해 유리 기판(1)의 가로 폭 방향에 대한 이동을 규제하는 대경부(大徑部)(10b)가 구비되어 있다. 또한, O링을 NBR(니트릴 고무)에 의해 구성하고, 풀리를 나일론에 의해 구성하는 것이나, O 링을 우레탄고무에 의해 구성하고, 풀리를 ABS 수지에 의해 구성하는 것을 생각할 수 있다.

판형체 반송 장치(H)에는, 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측과 그 반대측의 외측을 연통시켜, 복수 개의 회전 롤러(10) 사이이면서 또한 반송되는 유리 기판(1)의 하면과 같은 높이에 있어서, 반송되는 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한 공기를 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측으로부터 외측으로 통류시키는 도입부(23)와, 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측과 외측을 연통시켜, 도입부(23)보다 아래쪽에 있어서, 도입부(23)로부터 도입한 공기를 지지체(18)의 가로 폭 방향의 외측으로부터 내측으로 통류시키는 도출부(24)가 형성되어 있다.

또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)에는, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간을 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측에서 연통시킨 내측 유로(21)와, 도입부(23)와 도출부(24)를 구비하여 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 내측 유로(21)를 지지체(18)의 가로 폭 방향의 외측으로 연통시킨 외측 유로(22)가 형성되어 있다.

먼저, 도입부(23) 및 도출부(24)에 대하여 설명하면, 지지체(18)의 상측 에지부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도입부(23)가 형성되고, 지지체(18)의 하측 에지부에 형성된 통기공에 의해 도출부(24)가 형성되어 있다. 즉, 지지체(18)의 상부는, 그 전체가 커버체(4)와 상하 방향 및 가로 폭 방향으로 이격되어 있고, 이 이격에 의해 형성되는 반송 방향을 따라 일렬로(즉, 연속하여) 형성되는 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도입부(23)가 형성되어 있다. 또한, 지지체(18)의 하부는, 지지체(18)의 하부에 통기공이 반송 방향을 따라 복수 개 형성되어 있고, 이 반송 방향을 따라 복수 개 형성되는 지지체(18)의 통기공에 의해 도출부(24)가 형성되어 있다. 또한, 도입부(23)의 하단은, 상기 회전 롤러(10)의, 판형체에 대한 접촉점의 높이보다 낮은 위치에 있고, 도출부(24)의 상단은, 상기 회전 롤러(10)의 회전 중심보다 낮은 위치에 있다.

그리고, 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 사이에 반송 방향을 따라 일렬로 형성되는 간극의 일부와, 지지체(1)의 하부에 반송 방향을 따라 복수 개 형성되는 통기공은, 가로 폭 방향에서 볼 때 상하 방향으로 배열된 상태로 형성되어 있고, 이들의 간극이나 통기공에 의해 형성되는 도입부(23)와 도출부(24)도, 가로 폭 방향에서 볼 때 상하 방향으로 배열된 상태로 형성되어 있다.

다음에, 내측 유로(21) 및 외측 유로(22)에 대하여 설명하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 지지체(18)는, 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 가로 폭 방향의 외측으로 이격시킨 상태로 형성되어 있고, 이 송풍식 지지 수단(2)과 지지체(18)와의 사이의 공간에 의해 내측 유로(21)가 형성되어 있다. 또한, 지지체(18)는, 측벽 부분(15)으로부터 가로 폭 방향의 내측으로 이격시킨 상태로 형성되어 있고, 이 지지체(18)와 측벽 부분(15)과의 사이의 공간에 의해 외측 유로(22)가 형성되어 있다. 또한, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽에서는 송풍식 지지 수단(2)의 분출에 의해 가압되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽에서는 송풍식 지지 수단(2)의 흡인에 의해 감압되어 있고, 이와 같은 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간을 연통시키는 내측 유로(21)에서는, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간 측으로부터 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간 측으로의 기류가 발생한다. 또한, 외측 유로(22)에서도 마찬가지로, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간 측으로부터 내측 유로(21) 측으로의 기류가 발생한다.

그리고, 지지체(18)의 가로 폭 방향의 내측에 위치하는 복수 개의 회전 롤러(10)는, 내측 유로(21) 내에 설치되고, 지지체(18)의 가로 폭 방향의 외측에 위치하는 복수 개의 전동 모터(12)는, 외측 유로(22) 내에 설치되어 있다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 가로 폭 방향으로 배열된 팬필터 유닛(8) 사이의 공간에 의해, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간을 송풍식 지지 수단(2)의 가로 폭 방향의 중앙부에서 연통시킨 내부 유로(20)가 형성되어 있다.

따라서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)에 의해 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급된 공기가, 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향을 따라 유동한 후, 화살표 a로 나타낸 바와 같이 내측 유로(21)를 통류하는 것이나, 화살표 b로 나타낸 바와 같이 외측 유로(22)를 통류하여 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간에 통류함으로써, 공기가 순환하고 있다. 특히, 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향의 외측으로 유동한 공기 중, 반송 방향으로 배열된 회전 롤러(10) 사이를 통과하는 공기는, 화살표 b로 나타낸 바와 같이, 도입부(23)로부터 지지체(18)의 외측에 도입된 후, 외측 유로(22)를 통하여 도출부(24)로부터 내측 유로(21)로 도출시킬 수 있다. 즉, 복수 개의 회전 롤러(10)의 사이이면서 또한 반송되는 유리 기판(1)의 하면과 같은 높이에 도입부(23)를 형성함으로써, 반송 방향으로 배열된 회전 롤러(10) 사이를 통과하는 공기가 지지체(18)에 쉽게 충돌하지 않으므로, 공기가 유리 기판(1)의 위쪽으로 말려올라가는 것이 억제되어 있다.

[제2 실시예]

다음에, 판형체 반송 장치의 제2 실시예에 대하여 설명한다. 그리고, 제2 실시예는, 제1 실시예와 커버체나 지지체의 형상이 상이하고, 이에 따라 내측 유로, 외측 유로, 도입부 및 도출부의 형성의 방법이 상이한 점 이외에는 상기한 제1 실시예와 마찬가지로 구성되어 있으므로, 제1 실시예와 같은 구성 요소나 같은 작용을 가지는 구성 요소에 대해서는, 같은 부호를 부여함으로써 설명을 생략하고, 주로, 제1 실시예와 상이한 구성을 설명한다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 커버체(4)는, 송풍식 지지 수단(2) 및 추진력 부여 수단(3)을 설치하는 설치 공간의 가로측, 및 유리 기판(1)의 반송 경로의 가로측을 덮는 측벽용 프레임(26)에, 설치 공간 및 유리 기판(1)의 반송 경로의 위쪽을 덮는 판형의 상벽 부재(도시하지 않음)을 조립하여 구성되어 있고, 제1 실시예와 마찬가지로, 좌우의 가로측과 위쪽이 밀폐되어 전방, 후방 및 아래쪽이 개방되어 있다.

그리고, 측벽용 프레임(26)의 상부는, 세로벽부(26a)와 상벽부(26b)와 하벽부(26c)에 의해 반송 방향에서 볼 때 내측이 개방된 ㄷ자형으로 형성되어 있고, 그 측벽용 프레임(26)의 상벽부(26b)와 하벽부(26c)에 걸쳐 지지체(18)를 설치함으로써, 세로벽부(26a)와 상벽부(26b)와 하벽부(26c)와 지지체(18)로 에워싸인 공간이 형성되어 있다. 즉, 추진력 부여 수단(3)을 지지하는 판형의 지지체(18)는, 커버체(4)에서의 측벽용 프레임(26)의 세로벽부(26a)와 송풍식 지지 수단(2)과의 사이에 위치하도록, 커버체(4)에서의 측벽용 프레임(26)에 지지되어 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 지지체(18)는, 복수 개의 전동 모터(12)를 지지하여 출력축을 삽통시키는 구멍이 형성된 지지 부분(18e)과, 상벽부(26b)에 연결되는 상부 연결 부분(18f)과, 하벽부(26c)에 연결되는 하부 연결 부분(18g)과, 인접하는 지지 부분(18e)끼리를 접속하는 접속 부분(18h)을 구비하여 구성되어 있고, 지지체(18)의 하부 및 상부의 각각에 절결(切缺)이 복수 개 형성되어 있다. 그리고, 지지체(18)는 평판형으로 형성되어 있고, 지지 부분(18e) 및 접속 부분(18h)은, 커버체(4)에서의 측벽용 프레임(26)의 세로벽부(26a)로부터 가로 폭 방향의 내측으로 이격되고, 상벽부(26b)로부터 아래쪽으로 이격되고, 하벽부(26c)로부터 위쪽으로 이격되도록 설치되어 있다. 이와 같이, 지지체(18)는, 그 상단부 및 하단부가 커버체(4)에 연결되어 커버체(4)에 의해 양쪽 지지 상태로 형성되어 있고, 지지체(18)의 상부 및 하부의 각각은, 절결이 형성되므로 부분적으로 커버체(4)와 상하 방향 및 가로 폭 방향으로 이격되어 있다.

도입부(23) 및 도출부(24)에 대하여 설명하면, 지지체(18)의 상측 에지부는, 부분적으로 커버체(4)의 상벽부(26b)와 상하 방향으로 이격되고 또한 부분적으로 커버체(4)의 세로벽부(26a)와 가로 폭 방향으로 이격되어 있고, 이 이격에 의해 형성되는 반송 방향을 따라 분산되어 형성되는 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도입부(23)가 형성되어 있다. 또한, 지지체(18)의 하부는, 부분적으로 커버체(4)의 하벽부(26c)와 상하 방향으로 이격되고 또한 부분적으로 커버체(4)의 세로벽부(26a)와 가로 폭 방향으로 이격되어 있고, 이 이격에 의해 형성되는 반송 방향을 따라 분산되어 형성되는 지지체(18)의 하부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도출부(24)가 형성되어 있다.

그리고, 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 사이에 반송 방향을 따라 분산되어 형성되는 간극과, 지지체(18)의 하부와 커버체(4)와의 사이에 반송 방향을 따라 분산되어 형성되는 간극은, 반송 방향에서 같은 위치에 위치하도록 형성되어 있고, 이들 간극에 의해 형성되는 도입부(23)와 도출부(24)도, 반송 방향에서 같은 위치에 위치하도록 형성되어 있다.

다음에, 내측 유로(21) 및 외측 유로(22)에 대하여 설명하면, 지지체(18)는, 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 가로 폭 방향의 외측으로 이격시킨 상태로 형성되어 있고, 이 송풍식 지지 수단(2)과 지지체(18)와의 사이의 공간에 의해 내측 유로(21)가 형성되어 있다. 또한, 지지체(18)는, 세로벽부(26a)로부터 가로 폭 방향의 내측으로 이격시킨 상태로 형성되어 있고, 이 지지체(18)와 세로벽부(26a)와의 사이의 공간에 의해 외측 유로(22)가 형성되어 있다.

그리고, 제1 실시예와 마찬가지이지만, 도 8에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)에 의해 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급된 공기를, 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향을 따라 유동시킨 후, 화살표 a로 나타낸 바와 같이, 내측 유로(21)를 통류시키는 것이나, 화살표 b로 나타낸 바와 같이 외측 유로(22)를 통류하여 송풍식 지지 수단(2)의 아래쪽의 공간으로 유동시킴으로써, 공기를 순환시킬 수 있다. 특히, 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향의 외측으로 유동한 공기 중, 반송 방향으로 배열된 회전 롤러(10) 사이를 통과하는 공기는, 화살표 b로 나타낸 바와 같이, 도입부(23)로부터 지지체(18)의 외측으로 도입된 후, 외측 유로(22)를 통하여 도출부(24)로부터 내측 유로(21)로 도출시킬 수 있다. 즉, 복수 개의 회전 롤러(10) 사이이면서 또한 반송되는 유리 기판(1)의 하면과 같은 높이에 도입부(23)를 형성함으로써, 반송 방향으로 배열된 회전 롤러(10) 사이를 통과하는 공기가 지지체(18)에 쉽게 충돌하지 않으므로, 공기가 유리 기판(1)의 위쪽으로 말려올라가는 것이 억제되어 있다.

[다른 실시예]

(1) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 외측 유로(22)에 의해, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 내측 유로(21)를 연통시켰으나, 외측 유로(22)에 의해, 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 커버체(4)의 가로 폭 방향의 외측을 연통시키거나, 또는 송풍식 지지 수단(2)의 위쪽의 공간과 커버체(4)의 아래쪽의 공간을 연통시킴으로써, 외측 유로(22)를, 내측 유로(21)와 연통시키지 않아도 된다. 또한, 도출부(24)에, 도출부(24)로부터 공기를 도출할 때 먼지를 제거하는 필터나, 도입부(23)로부터 공기를 흡인하기 위한 흡인용 팬을 설치해도 된다.

(2) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 구동 수단(11)을, 복수 개의 회전 롤러(10)에 대하여 별개로 설치된 복수 개의 전동 모터(12)에 의해 구성하였지만, 구동 수단(11)을, 단일의 전동 모터(12)와, 이 전동 모터(12)로 복수 개의 회전 롤러(10)를 연동 연결하는 연동 기구로 구성해도 된다. 또한, 구동 수단(11)을 외측 유로(22) 내에 배치하였으나, 구동 수단(11) 설치용의 공간을 별도 설치하여, 구동 수단(11)을 외측 유로(22) 밖에 설치해도 된다.

(3) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극과 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극을, 가로 폭 방향에서 볼 때 상하 방향으로 배열된 상태로 형성하였으나, 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극과 지지체(18)의 상부와 커버체(4)와의 간극을, 반송 방향으로 지그재그형으로 형성하여, 가로 폭 방향에서 볼 때 상하 방향으로 배열되지 않은 상태로 형성해도 된다.

(4) 상기 제1 실시예에서는, 지지체(18)를, 그 하단부가 커버체(4)에 연결되어 커버체(4)에 의해 한쪽 지지 상태로 지지하고, 상기 제2 실시예에서는, 지지체(18)를, 그 상단부 및 하단부가 커버체(4)에 연결되어 커버체(4)에 의해 양쪽 지지 상태로 지지하였으나, 지지체(18)를, 그 상단부가 커버체(4)에 연결되어 커버체(4)에 의해 한쪽 지지 상태로 지지해도 된다. 또한, 이 경우, 지지체(18)의 하부와 커버체(4)와의 간극이, 반송 방향을 따라 일렬로 형성된다.

(5) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 지지체(18)의 상단부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도입부(23)를 형성하였으나, 지지체(18)의 도입부 형성용의 통기공을 형성하고, 이 통기공에 의해 도입부(23)를 형성해도 된다.

또한, 상기 제1 실시예에서는, 지지체(18)의 하부에 도출부 형성용의 통기공을 형성하여, 이 통기공에 의해 도출부(24)를 형성하였으나, 지지체(18)의 하부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도출부(24)를 형성해도 된다.

또한, 상기 제2 실시예에서는, 지지체(18)의 하부와 커버체(4)와의 간극에 의해 도출부(24)를 형성하였으나, 지지체(18)에 도출부 형성용의 통기공을 형성하고, 이 통기공에 의해 도출부(24)를 형성해도 된다.

(6) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 판형체로서 직사각형의 유리 기판(1)을 예시했지만, 반도체 웨이퍼 등의 다른 판형체라도 되고, 또한 원형상 등의 다른 형상의 판형체라도 된다.

(7) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 커버체(4)를, 송풍식 지지 수단(2) 및 추진력 부여 수단(3)을 설치하는 설치 공간과 이 설치 공간의 위쪽에 위치하는 유리 기판(1)의 반송 경로와의 가로측, 및 위쪽을 덮도록 구성하였지만, 예를 들면, 제1 실시예에 있어서 상벽 부재(15)를 설치하지 않는 등의 방법에 따라, 커버체(4)를, 설치 공간의 가로측과 유리 기판(1)의 반송 경로와의 가로측만을 덮도록 구성해도 되고, 또한 예를 들면, 제1 실시예에 있어서 아래쪽의 메인 프레임(14a)끼리의 사이에 하벽 부재를 설치하는 등의 방법에 따라, 커버체(4)를, 설치 공간의 가로측과 이 설치 공간의 위쪽에 위치하는 유리 기판(1)의 반송 경로와의 가로측, 위쪽 및 아래쪽을 덮도록 구성해도 된다.

(8) 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 송풍식 지지 수단(2)에 의해, 유리 기판(1)을 수평 또는 거의 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하도록 구성하였지만, 송풍식 지지 수단(2)을 가로 폭 방향으로 경사진 자세로 설치하여, 송풍식 지지 수단(2)에 의해, 유리 기판(1)을 가로 폭 방향으로 경사지는 경사 자세로 지지하도록 구성해도 된다. 또한, 이 경우, 송풍식 지지 수단(2)의 경사를 따라 추진력 부여 수단(3)[복수 개의 회전 롤러(10)]을 경사지게 하기 위해, 지지체(18)를 가로 폭 방향으로 경사진 자세로 설치해도 된다.

1: 판형체
2: 송풍식 지지 수단
3: 추진력 부여 수단
4; 커버체
10: 회전 롤러
11: 구동 수단
12: 전동 모터
18: 지지체
21: 내측 유로
22: 외측 유로
23: 도입부
24: 도출부

Claims

판형체(板形體)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과,
상기 판형체의 하면에서의 반송(搬送) 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부(端部)를 접촉 지지하는 복수 개의 회전 롤러를 상기 반송 방향으로 배열하여 구비하고, 상기 복수 개의 회전 롤러를 구동 수단에 의해 회전 구동시켜 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 상기 판형체에 대하여 상기 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단과,
상기 가로 폭 방향에서의 상기 송풍식 지지 수단이 존재하는 내측에 상기 복수 개의 회전 롤러가 위치하도록 상기 복수 개의 회전 롤러를 회전 가능하게 지지하는 지지체가 설치되어 있는 판형체 반송 장치로서,
상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 내측과 그 반대측의 외측을 연통(連通)시켜, 반송되는 상기 판형체의 하면을 따라 상기 가로 폭 방향으로 유동(流動)한 공기를 상기 복수 개의 회전 롤러의 사이이면서 또한 반송되는 상기 판형체의 하면과 같은 높이에 있어서 상기 지지체의 가로 폭 방향의 내측으로부터 외측으로 통류(通流)시키는 도입부(導入部)가 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 송풍식 지지 수단 및 상기 추진력 부여 수단을 설치하는 설치 공간의 가로측과 상기 설치 공간의 위쪽에 위치하는 상기 판형체의 반송 경로의 가로측을 덮는 커버체가, 상기 지지체보다 상기 가로 폭 방향의 외측에 위치하도록 설치되고,
상기 송풍식 지지 수단은, 상기 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공기를 흡인하여 상기 송풍식 지지 수단의 위쪽을 향해 청정 공기를 분출하도록 구성되며,
상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 내측과 외측을 연통시켜, 상기 도입부 보다 아래쪽에 있어서, 공기를 상기 지지체의 상기 가로 폭 방향의 외측으로부터 내측으로 통류시키는 도출부(導出部)가 형성되고,
상기 송풍식 지지 수단의 위쪽의 공간과 상기 송풍식 지지 수단의 아래쪽의 공간을 상기 지지체의 가로 폭 방향의 내측에서 연통시키는 내측 유로는, 상기 지지체와 상기 송풍식 지지 수단과의 사이에 형성되는 공간에 의해 형성되고,
상기 도입부 및 상기 도출부를 구비하여 상기 송풍식 지지 수단의 위쪽의 공간과 상기 내측 유로를 상기 지지체의 가로 폭 방향의 외측으로 연통시키는 외측 유로는, 상기 지지체와 상기 커버체와의 사이에 형성되는 공간에 의해 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
제2항에 있어서,
상기 구동 수단은, 상기 복수 개의 회전 롤러에 대하여 별개로 설치된 복수 개의 전동 모터에 의해 구성되며,
상기 복수 개의 전동 모터는, 상기 지지체에 의해 상기 가로 폭 방향의 외측에 위치하도록 지지되어 상기 외측 유로 내에 설치되어 있는, 판형체 반송 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 지지체의 상측 에지부와 상기 커버체와의 간격에 의해 상기 도입부가 형성되고, 상기 지지체의 하측 에지부와 상기 커버체와의 간격에 의해 상기 도출부가 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
제4항에 있어서,
상기 지지체의 상부와 상기 커버체와의 간격과 상기 지지체의 하부와 상기 커버체와의 간격은, 상기 반송 방향에서 같은 위치에 위치하도록 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
제4항에 있어서,
상기 지지체는, 상기 지지체의 하단부가 상기 커버체에 연결되어 상기 커버체에 의해 한쪽 지지 상태로 지지되고,
상기 지지체의 상부와 상기 커버체와의 간격은, 상기 반송 방향을 따라 연속되도록 형성되어 있는, 판형체 반송 장치.
제4항에 있어서,
상기 지지체는, 상기 지지체 상단부 및 하단부가 상기 커버체에 연결되어 상기 커버체에 의해 양쪽 지지 상태로 지지되어 있는, 판형체 반송 장치.
제2항에 있어서,
상기 도입부의 하단은, 상기 회전 롤러의, 판형체에 대한 접촉점의 높이보다 낮은 위치에 있고,
상기 도출부의 상단은, 상기 회전 롤러의 회전 중심보다 낮은 위치에 있는, 판형체 반송 장치.