JP5088591B2

JP5088591B2 - 板状体搬送装置

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Publication number: JP5088591B2
Application number: JP2010094375A
Authority: JP
Inventors: 多通夫中尾; 起久辻
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2010-04-15
Filing date: 2010-04-15
Publication date: 2012-12-05
Anticipated expiration: 2030-04-15
Also published as: CN102219118B; TWI465381B; TW201200448A; KR20110115520A; JP2011225300A; KR101317731B1; CN102219118A

Description

本発明は、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、板状体の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラを前記搬送方向に並べて備え、前記複数の回転ローラを駆動手段にて回転駆動させて前記送風式支持手段にて支持される板状体に対して前記搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と、前記横幅方向における前記送風式支持手段が存在する内方側に前記複数の回転ローラが位置するように前記複数の回転ローラを回転自在に支持する支持体が設けられている板状体搬送装置に関する。

かかる板状体搬送装置は、送風式支持手段にて板状体を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて板状体を接触支持して、この推進力付与手段にて板状体に対して搬送方向での推進力を付与することで板状体を搬送方向に沿って搬送するものである。つまり、例えば、板状体として液晶用のガラス基板を搬送する場合では、ガラス基板における製品化される部分を送風式支持手段にて非接触状態に支持し、ガラス基板における製品化する際にカットされる部分を推進力付与手段にて接触支持して推進力を付与するというように、搬送物における接触支持が好ましくない部分を非接触支持しながら推進力を付与するように構成されている。

そして、従来では、推進力付与手段は、板状体の下面における横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラを搬送方向に並べて備え、複数の回転ローラを駆動手段にて回転駆動させて送風式支持手段にて支持される板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されており、複数の回転ローラを支持する支持体が、横幅方向における送風式支持手段が存在する内方側に複数の回転ローラを回転自在に支持するように設けられており、この支持体は、搬送される板状体の下面と同高さに位置していた（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００５−２９３６０号公報

送風式支持手段にて板状体の下面に供給された空気はその板状体の下面に沿って流動し、その一部は、板状体の下面に沿って横幅方向に流動する。そして、搬送される板状体の下面と同高さに支持体が設けられているため、板状体の下面を横幅方向に沿って流動した空気は、支持体に衝突し、回転ローラの間から支持体と板状体との隙間を通って板状体上に巻き上がる。このように空気が板状体上に巻き上がることで回転ローラ等にて発生した塵埃も共に巻き上がり、その巻き上がった塵埃が板状体の上面に付着して板状体が汚染されてしまう可能性があった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、板状体の汚染を抑制できる板状体搬送装置を提供する点にある。

本発明にかかる板状体搬送装置は、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、板状体の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラを前記搬送方向に並べて備え、前記複数の回転ローラを駆動手段にて回転駆動させて前記送風式支持手段にて支持される板状体に対して前記搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と、前記横幅方向における前記送風式支持手段が存在する内方側に前記複数の回転ローラが位置するように前記複数の回転ローラを回転自在に支持する支持体が設けられているものであって、
その第１特徴構成は、前記支持体の前記横幅方向の内方側とその反対側の外方側とを連通させて、搬送される板状体の下面に沿って前記横幅方向に流動した空気を前記複数の回転ローラの間で且つ搬送される板状体の下面と同高さにおいて前記支持体の横幅方向の内方側から外方側に通流させる導入部が形成されている点にある。

すなわち、支持体の横幅方向の内方側と外方側とを連通させて、複数の回転ローラの間で且つ搬送される板状体の下面と同高さにおいて、搬送される板状体の下面に沿って横幅方向に流動した空気を支持体の横幅方向の内方側から外方側に通流させる導入部が形成されているため、板状体の下面に沿って横幅方向に流動した空気を、導入部にて支持体の内方側から外方側に流動させることができる。

そして、支持体の横幅方向の内方側で板状体の下面に沿って横幅方向に流動した空気を、その流動の下流側に位置する導入部から導入して支持体の横幅方向の外方側に通流させることにより、板状体の下面の端部まで横幅方向に沿って流動した空気が支持体に衝突して、支持体と板状体との隙間から空気が巻き上がることを抑えることができる。従って、空気の巻き上がりと共に塵埃が板状体上に巻き上がって板状体を汚染することを抑制することができる。このように、板状体の汚染を抑制できる板状体搬送装置を提供することができるに至った。

本発明にかかる板状体搬送装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記送風式支持手段及び前記推進力付与手段を設置する設置空間の横側方と前記設置空間の上方に位置する板状体の搬送経路の横側方とを覆うカバー体が、前記支持体よりも前記横幅方向の外方側に位置するように設けられ、前記送風式支持手段が、当該送風式支持手段の下方の空気を吸引して当該送風式支持手段の上方に向けて清浄空気を噴出するように構成され、前記支持体の前記横幅方向の内方側と外方側とを連通させて、前記導入部より下方において、空気を前記支持体の前記横幅方向の外方側から内方側に通流させる導出部が形成され、前記送風式支持手段の上方の空間と前記送風式支持手段の下方の空間とを前記支持体の横幅方向の内方側で連通させる内方側流路が、前記支持体と前記送風式支持手段との間に形成される空間にて形成され、前記導入部及び前記導出部を備えて前記送風式支持手段の上方の空間と前記内方側流路とを前記支持体の横幅方向の外方側で連通させる外方側流路が、前記支持体と前記カバー体との間に形成される空間にて形成されている点にある。

すなわち、送風式支持手段は、送風式支持手段の下方の空気を吸引して送風式支持手段の上方に向けて噴出するように構成されている。そして、導入部から導入された空気は、外方側流路を流動した後に導出部から内方側流路に導出し、この内方側流路を流動する空気とともに送風式支持手段の下方の空間に流動する。つまり、例えば、導出口からカバー体の横側方に導出した場合では、その導出した空気が周囲の気流の流れによってガラス基板上に巻き上がる虞があるが、上述の如く導入部から導入した空気を送風式支持手段の下方の空間に流動するように構成されているため、導入部から導入した空気を送風式支持手段の下方に流動させることで導出部から導出した空気が板状体上に流動し難く、板状体の汚染を効果的に抑制できる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記駆動手段が、前記複数の回転ローラに対して各別に設けられた複数の電動モータにて構成され、前記複数の電動モータが、前記支持体にてその前記横幅方向の外方側に位置するように支持されて前記外方側流路内に配設されている点にある。

すなわち、駆動手段を、複数の回転ローラに対して各別に設けられた複数の電動モータにて構成することで、例えば、駆動手段を、単一の電動モータと、この単一の電動モータを複数の回転ローラに連動連結されるギア式の連動機構とを備えて構成した場合に比べて、駆動手段から塵埃が発生し難く、このように複数の電動モータにて構成された駆動手段を外方側流路内に配設したとしても、循環する空気が汚染され難いものとなる。よって、駆動手段を配設している空間にて外部流路を形成することができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第４特徴構成は、第２又は第３特徴構成において、前記支持体の上縁部と前記カバー体との間隙により前記導入部が形成され、前記支持体の下縁部と前記カバー体との間隙により前記導出部が形成されている点にある。

すなわち、支持体の上縁部とカバー体との間や支持体の下縁部とカバー体との間に間隙が形成されるように支持体を設けるだけで導入部や導出部を形成することができ、例えば、導入部や導出部を形成するために支持体に内方側と外方側とに連通する部材を別途設ける必要がないため、導入部や導出部を形成し易いものとなる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第５特徴構成は、第４特徴構成において、前記支持体の上縁部と前記カバー体との間隙と前記支持体の下縁部と前記カバー体との間隙とが、前記搬送方向で同じ位置に位置するように形成されている点にある。

すなわち、支持体の上縁部とカバー体との間隙と支持体の下縁部とカバー体との間隙とが、搬送方向で同じ位置に位置するように形成されており、導入部とそれより下方に形成される導出部とが搬送方向で同じ位置に位置しているため、導入部から導入した空気を導出部から導出させ易く、導入部から導入した空気を円滑に導出部から導出させることができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第６特徴構成は、第４又は第５特徴構成において、前記支持体が、その下端部が前記カバー体に連結されて前記カバー体にて片持ち状に支持され、前記支持体の上部と前記カバー体との間隙が、前記搬送方向に沿って一連に形成されている点にある。

すなわち、支持体を、その下端部をカバー体に連結することでカバー体に支持させることができるので、支持体をカバー体に連結させ易いものとなる。また、支持体の上部とカバー体との間隙が、搬送方向に沿って一連に形成されているため、導入部を搬送方向に幅広に形成することができ、導入部から空気を導入させ易くなるため、支持体に衝突することに起因する空気の巻き上がりを効果的に抑えることができる。

本発明にかかる板状体搬送装置の第７特徴構成は、第４又は第５特徴構成において、前記支持体が、その上端部及び下端部が前記カバー体に連結されて前記カバー体にて両持ち状に支持されている点にある。

すなわち、支持体を、その上端部と下端部との夫々をカバー体に連結することで、カバー体にて支持体を強固に支持でき、このように強固に支持された支持体にて回転自在に支持された回転ローラにて、板状体に対して安定よく推進力を付与することができる。

第１実施形態における板状体搬送装置の平面図第１実施形態における板状体搬送装置の正面図第１実施形態における駆動手段及び支持体を示す正面図第１実施形態における駆動手段及び支持体を示す斜視図第１実施形態における空気の流れを示す図第２実施形態における駆動手段及び支持体を示す正面図第２実施形態における駆動手段及び支持体を示す斜視図第２実施形態における空気の流れを示す図

以下、本発明に係る板状体搬送装置を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕

図１及び図２に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体としての液晶用のガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給してガラス基板１を非接触状態で支持する送風式支持手段２と、ガラス基板１の下面を接触支持してガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段３と、送風式支持手段２や推進力付与手段３や搬送されるガラス基板１を覆うカバー体４とを設けて構成されている。尚、板状体搬送装置Ｈは、複数台の板状体搬送装置Ｈに亘ってガラス基板１が搬送されるように、搬送方向に複数台並設されている。

そして、図２に示すように、板状体搬送装置Ｈは、送風式支持手段２にてガラス基板１を非接触状態で支持し且つ推進力付与手段３にてガラス基板１を接触状態で支持しながら、推進力付与手段３にてガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与することで、ガラス基板１を搬送方向に沿って搬送するように構成されている。

送風式支持手段２には、塵埃を除去する除塵フィルタ６と、その除塵フィルタ６を通してガラス基板１の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン７とが備えられている。説明を加えると、縦軸芯周りに回転する１つの送風ファン７と、その１つの送風ファン７の上方を覆う板状の除塵フィルタ６とを一体的に組み付けて構成されたファンフィルタユニット８が、横幅方向に間隔を隔てた状態で２台、搬送方向に間隔を隔てない状態で２台並設されており、送風式支持手段２は、横幅方向及び搬送方向に並設された複数台のファンフィルタユニット８にて構成されている。

そして、送風式支持手段２は、送風ファン７の送風作用により、送風式支持手段２の下方の空気を吸引して除塵フィルタ６を通した空気を送風式支持手段２の上方に向けて清浄空気として噴出するように構成されており、このように清浄空気を噴出することにより、搬送されるガラス基板１の下面に清浄空気を供給して、ガラス基板１を水平又は略水平姿勢で支持するように構成されている。尚、送風式支持手段２の空気の吸引により送風式支持手段２の下方が減圧され、送風式支持手段２の空気の噴出により送風式支持手段２の上方の空間が加圧される。

図１及び図２に示すように、推進力付与手段３は、ガラス基板１の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラ１０を並べて備え、複数の回転ローラ１０を駆動手段１１にて回転駆動させて送風式支持手段２にて支持されるガラス基板１に対して搬送方向での推進力を付与するように構成されている。そして、駆動手段１１は、複数の回転ローラ１０に対して各別に設けられた複数の電動モータ１２にて構成されている。

また、推進力付与手段３は、ガラス基板１の下面における横幅方向の両端部を支持するべく、ガラス基板１の下面における横幅方向の一端部を接触支持する一端側の推進力付与手段３と、ガラス基板１の下面における横幅方向の他端部を接触支持する他端側の推進力付与手段３との一対の推進力付与手段３が設けられている。ちなみに、送風式支持手段２は、一対の推進力付与手段３の間に位置して、ガラス基板１の下面における横幅方向の中間部に清浄空気を供給して非接触状態で支持するように配設されている。

カバー体４は、送風式支持手段２及び推進力付与手段３を設置する設置空間の横側方とこの設置空間の上方に位置するガラス基板１の搬送経路との横側方、並びに、これら設置空間及びその上方に位置するガラス基板１の搬送経路の上方を覆うように構成されている。説明を加えると、図３及び図４に示すように、カバー体４は、フレーム材を縦横に枠組みされた枠組みフレーム１４に、設置空間の横側方及びガラス基板１の搬送経路の横側方を覆う一対の板状の側壁部材１５と、設置空間及びガラス基板１の搬送経路の上方を覆う板状の上壁部材１６とを組み付けて構成されており、左右の横側方と上方が閉塞され、前方、後方及び下方が閉塞されている。

そして、枠組みフレーム１４のフレーム材として、搬送方向視における４隅に搬送方向に沿って配設されたメインフレーム材１４ａ等が設けられており、側壁部材１５は、左上のメインフレーム材１４ａと左下のメインフレーム材１４ａとの間、及び、右上のメインフレーム材１４ａと左下のメインフレーム材１４ａとの間に位置してこれらの間を閉塞するように設けられ、上壁部材１６は、左上のメインフレーム材１４ａと右上のメインフレーム材１４ａとの間に位置してこの間を閉塞するように設けられている。尚、左上のメインフレーム材１４ａ及び右上のメインフレーム材１４ａを上側のメインフレーム材１４ａと称し、左下のメインフレーム材１４ａ及び右下のメインフレーム材１４ａを下側のメインフレーム材１４ａと称する場合がある。

そして、図３に示すように、推進力付与手段３を支持する支持体１８が、カバー体４における側壁部材１５と送風式支持手段２との間に位置するように、カバー体４における枠組みフレーム１４に支持されている。この支持体１８は、横幅方向における送風式支持手段２が存在する内方側に複数の回転ローラ１０が位置するように複数の回転ローラ１０を回転自在に支持し、且つ、横幅方向における送風式支持手段２が存在しない外方側に複数の電動モータ１２が位置するように電動モータ１２を支持するように構成されている。

説明を加えると、図４に示すように、支持体１８には複数の電動モータ１２の出力軸を挿通させる孔が形成されており、複数の電動モータ１２の夫々は、孔に出力軸を挿通させた状態で支持体１８における外方側に支持されている。そして、支持体１８の孔から内方側に突出した電動モータ１２の出力軸に、一体回転するように回転ローラ１０が固着されており、回転ローラ１０も電動モータ１２を介して支持体１８に支持されている。

また、支持体１８の形状について説明を加えると、図３及び図４に示すように、複数の電動モータ１２を支持して出力軸を挿通させる孔が形成された支持部分１８ａと、カバー体４に連結する連結部分１８ｂと、支持部分１８ａと連結部分１８ｂとを接続する第１接続部分１８ｃと、隣接する支持部分１８ａ同士を接続する第２接続部分１８ｄとを備えて構成されており、支持体１８の下部には支持部分１８ａと第２接続部分とで囲まれる通気孔が形成されている。尚、これら支持部分１８ａ、連結部分１８ｂ、第１接続部分１８ｃ及び第２接続部分１８ｄの夫々は板状に形成されている。

そして、連結部分１８ｂは、下側のメインフレーム材１４ａから横幅方向の内方側に突出する状態で枠組みフレーム１４に設けられており、支持部分１８ａ及び第２連結部分１８ｄは、カバー体４の側壁部材１５、下側のメインフレーム材１４ａ及び上側のメインフレーム材１４ａから横幅方向の内方側に離間し、カバー体４の上壁部材１６や上側のメインフレーム材１４ａから下方側に離間し、下側のメインフレーム材１４ａから上方側に離間するように設けられている。このように、支持体１８は、その下端部がカバー体４に連結されてカバー体４にて片持ち状に形成されており、支持体１８の上部は、その全体がカバー体４と上下方向及び横幅方向に離間している。

そして、回転ローラ１０は、Ｏリングが取り付けられたプーリにて構成されており、Ｏリングが取り付けられてガラス基板１を載置支持する小径部１０ａと、その外方側に位置してガラス基板１の側面に当接することによりガラス基板１の横幅方向への移動を規制する大径部１０ｂとが備えられている。ちなみに、ＯリングをＮＢＲ（ニトリルゴム）にて構成し、プーリをナイロンにて構成することや、Ｏリングをウレタンゴムにて構成し、プーリをＡＢＳ樹脂にて構成することが考えられる。

板状体搬送装置Ｈには、支持体１８の横幅方向の内方側とその反対側の外方側とを連通させて、複数の回転ローラ１０の間で且つ搬送されるガラス基板１の下面と同高さにおいて、搬送されるガラス基板１の下面に沿って横幅方向に流動した空気を支持体１８の横幅方向の内方側から外方側に通流させる導入部２３と、支持体１８の横幅方向の内方側と外方側とを連通させて、導入部２３より下方において、導入部２３から導入した空気を支持体１８の横幅方向の外方側から内方側に通流させる導出部２４が形成されている。

また、板状体搬送装置Ｈには、送風式支持手段２の上方の空間と送風式支持手段２の下方の空間とを支持体１８の横幅方向の内方側で連通させた内方側流路２１と、導入部２３と導出部２４とを備えて送風式支持手段２の上方の空間と内方側流路２１とを支持体１８の横幅方向の外方側で連通させた外方側流路２２とが形成されている。

まず、導入部２３及び導出部２４について説明すると、支持体１８の上縁部とカバー体４との間隙により導入部２３が形成され、支持体１８の下縁部に形成された通気孔により導出部２４が形成されている。つまり、支持体１８の上部は、その全体がカバー体４と上下方向及び横幅方向に離間しており、この離間により形成される搬送方向に沿って一連に形成される支持体１８の上部とカバー体４との間隙によって導入部２３が形成されている。また、支持体１８の下部は、支持体１８の下部に通気孔が搬送方向に沿って複数形成されており、この搬送方向に沿って複数形成される支持体１８の通気孔により導出部２４が形成されている。

そして、支持体１８の上部とカバー体４との間に搬送方向に沿って一連に形成される間隙の一部と、支持体１の下部に搬送方向に沿って複数形成される通気孔とは、横幅方向視で上下方向に並ぶ状態で形成されており、これらの間隙や通気孔により形成される導入部２３と導出部２４とも、横幅方向視で上下方向に並ぶ状態で形成されている。

次に、内方側流路２１及び外方側流路２２について説明すると、図５に示すように、支持体１８は、送風式支持手段２に対して横幅方向の外方側に離間させた状態で設けられており、この送風式支持手段２と支持体１８との間の空間により内方側流路２１が形成されている。また、支持体１８は、側壁部分１５から横幅方向の内方側に離間させた状態で設けられており、この支持体１８と側壁部分１５との間の空間により外方側流路２２が形成されている。ちなみに、送風式支持手段２の上方では送風式支持手段２の噴出により加圧されており、送風式支持手段２の下方では送風式支持手段２の吸引により減圧されており、このような送風式支持手段２の上方の空間と送風式支持手段２の下方の空間とを連通する内方側流路２１では、送風式支持手段２の上方の空間側から送風式支持手段２の下方の空間側への気流が発生する。また、外方側流路２２でも同様に、送風式支持手段２の上方の空間側から内方側流路２１側への気流が発生する。

そして、支持体１８の横幅方向の内方側に位置する複数の回転ローラ１０は、内方側流路２１内に配設され、支持体１８の横幅方向の外方側に位置する複数の電動モータ１２は、外方側流路２２内に配設されている。尚、図２に示すように、横幅方向に並ぶファンフィルタユニット８の間の空間により、送風式支持手段２の上方の空間と送風式支持手段２の下方の空間とを送風式支持手段２の横幅方向の中央部で連通させた内部流路２０が形成されている。

よって、図５に示すように、送風式支持手段２にてガラス基板１の下面に向けて供給された空気が、ガラス基板１の下面に沿って横幅方向に沿って流動した後、矢印ａで示すように内方側流路２１を通流することや、矢印ｂで示すように外方側流路２２を通流して送風式支持手段２の下方の空間に通流することにより、空気が循環している。特に、ガラス基板１の下面に沿って横幅方向の外方側に流動した空気のうち、搬送方向に並ぶ回転ローラ１０の間を通過する空気は、矢印ｂで示すように、導入部２３から支持体１８の外方側に導入された後、外方側流路２２を通って導出部２４から内方側流路２１に導出させることができる。つまり、複数の回転ローラ１０の間で且つ搬送されるガラス基板１の下面と同高さに導入部２３を形成することにより、搬送方向に並ぶ回転ローラ１０の間を通過する空気が支持体１８に衝突し難くして、空気がガラス基板１の上方に巻き上がることが抑制されている。

〔第２実施形態〕
次に、板状体搬送装置の第２実施形態について説明する。尚、第２実施形態は、第１実施形態とカバー体や支持体の形状が異なり、これに伴って内方側流路、外方側流路、導入部及び導出部の形成の仕方が異なる以外は上記の第１実施形態と同様に構成されているので、第１実施形態と同じ構成要素や同じ作用を有する構成要素については、同じ符号を付すことにより説明を省略し、主として、第１実施形態と異なる構成を説明する。

図６に示すように、カバー体４は、送風式支持手段２及び推進力付与手段３を設置する設置空間の横側方、及び、ガラス基板１の搬送経路の横側方を覆う側壁用フレーム２６に、設置空間及びガラス基板１の搬送経路の上方を覆う板状の上壁部材（図示せず）を組み付けて構成されており、第１実施形態と同様に、左右の横側方と上方が密閉され、前方、後方及び下方が開放されている。

そして、側壁用フレーム２６の上部は、縦壁部２６ａと上壁部２６ｂと下壁部２６ｃとで搬送方向視で内方側が開放するコ字状に形成されており、その側壁用フレーム２６の上壁部２６ｂと下壁部２６ｃとに亘って支持体１８を設けることで、縦壁部２６ａと上壁部２６ｂと下壁部２６ｃと支持体１８とで囲まれる空間が形成されている。つまり、推進力付与手段３を支持する板状の支持体１８は、カバー体４における側壁用フレーム２６の縦壁部２６ａと送風式支持手段２との間に位置するように、カバー体４における側壁用フレーム２６に支持されている。

図７に示すように、支持体１８は、複数の電動モータ１２を支持して出力軸を挿通させる孔が形成された支持部分１８ｅと、上壁部２６ｂに連結する上連結部分１８ｆと、下壁部２６ｃに連結する下連結部分１８ｇと、隣接する支持部分１８ｅ同士を接続する接続部分１８ｈとを備えて構成されており、支持体１８の下部及び上部の夫々に切欠きが複数形成されている。そして、支持体１８は平板状に形成されており、支持部分１８ｅ及び接続部分１８ｈは、カバー体４における側壁用フレーム２６の縦壁部２６ａから横幅方向の内方側に離間し、上壁部２６ｂから下方に離間し、下壁部２６ｃから上方に離間するように設けられている。このように、支持体１８は、その上端部並びに下端部がカバー体４に連結されてカバー体４にて両持ち状に形成されており、支持体１８の上部及び下部の夫々は、切欠きが形成されることにより部分的にカバー体４と上下方向及び横幅方向に離間している。

導入部２３及び導出部２４について説明すると、支持体１８の上縁部は、部分的にカバー体４の上壁部２６ｂと上下方向に離間し且つ部分的にカバー体４の縦壁部２６ａと横幅方向に離間しており、この離間により形成される搬送方向に沿って分散されて形成される支持体１８の上部とカバー体４との間隙により導入部２３が形成されている。また、支持体１８の下部は、部分的にカバー体４の下壁部２６ｃと上下方向に離間し且つ部分的にカバー体４の縦壁部２６ａと横幅方向に離間しており、この離間により形成される搬送方向に沿って分散されて形成される支持体１８の下部とカバー体４との間隙により導出部２４が形成されている。

そして、支持体１８の上部とカバー体４との間に搬送方向に沿って分散されて形成される間隙と、支持体１８の下部とカバー体４との間に搬送方向に沿って分散されて形成される間隙とは、搬送方向で同じ位置に位置するように形成されており、これらの間隙により形成される導入部２３と導出部２４とも、搬送方向で同じ位置に位置するように形成されている。

次に、内方側流路２１及び外方側流路２２について説明すると、支持体１８は、送風式支持手段２に対して横幅方向の外方側に離間させた状態で設けられており、この送風式支持手段２と支持体１８との間の空間により内方側流路２１が形成されている。また、支持体１８は、縦壁部２６ａから横幅方向の内方側に離間させた状態で設けられており、この支持体１８と縦壁部２６ａとの間の空間により外方側流路２２が形成されている。

そして、第１実施形態と同様であるが、図８に示すように、送風式支持手段２にてガラス基板１の下面に向けて供給された空気を、ガラス基板１の下面に沿って横幅方向に沿って流動させた後、矢印ａで示すように内方側流路２１を通流させることや、矢印ｂで示すように外方側流路２２を通流して送風式支持手段２の下方の空間に流動させることにより、空気を循環させることができる。特に、ガラス基板１の下面に沿って横幅方向の外方側に流動した空気のうち、搬送方向に並ぶ回転ローラ１０の間を通過する空気は、矢印ｂで示すように、導入部２３から支持体１８の外方側に導入された後、外方側流路２２を通って導出部２４から内方側流路２１に導出させることができる。つまり、複数の回転ローラ１０の間で且つ搬送されるガラス基板１の下面と同高さに導入部２３を形成することにより、搬送方向に並ぶ回転ローラ１０の間を通過する空気が支持体１８に衝突し難くして、空気がガラス基板１の上方に巻き上がることが抑制されている。

〔別実施形態〕
（１）上記第１及び第２実施形態では、外方側流路２２にて、送風式支持手段２の上方の空間と内方側流路２１とを連通させたが、外方側流路２２にて、送風式支持手段２の上方の空間とカバー体４の横幅方向の外方側とを連通させる、又は、送風式支持手段２の上方の空間とカバー体４の下方の空間とを連通させることにより、外方側流路２２を、内方側流路２１に連通させなくてもよい。また、導出部２４に、導出部２４から空気を導出するときに塵埃を除去するフィルタや、導入部２３から空気を吸引するための吸引用ファンを設けてもよい。

（２）上記第１及び第２実施形態では、駆動手段１１を、複数の回転ローラ１０に対して各別に設けられた複数の電動モータ１２にて構成したが、駆動手段１１を、単一の電動モータ１２と、この電動モータ１２と複数の回転ローラ１０とを連動連結する連動機構とで構成してもよい。また、駆動手段１１を外方側流路２２内に配設したが、駆動手段１１配設用の空間を別途設けて、駆動手段１１を外方側流路２２外に配設してもよい。

（３）上記第１及び第２実施形態では、支持体１８の上部とカバー体４との間隙と支持体１８の上部とカバー体４との間隙とを、横幅方向視で上下方向に並ぶ状態で形成したが、支持体１８の上部とカバー体４との間隙と支持体１８の上部とカバー体４との間隙とを、搬送方向に千鳥状に形成して、横幅方向視で上下方向に並ばない状態で形成してもよい。

（４）上記第１実施形態では、支持体１８を、その下端部がカバー体４に連結されてカバー体４にて片持ち状に支持し、上記第２実施形態では、支持体１８を、その上端部及び下端部がカバー体４に連結されてカバー体４にて両持ち状に支持したが、支持体１８を、その上端部がカバー体４に連結されてカバー体４にて片持ち状に支持してもよい。ちなみに、この場合、支持体１８の下部とカバー体４との間隙が、搬送方向に沿って一連に形成される。

（５）上記第１及び第２実施形態では、支持体１８の上端部とカバー体４との間隙により導入部２３を形成したが、支持体１８の導入部形成用の通気孔を形成して、この通気孔により導入部２３を形成してもよい。
また、上記第１実施形態では、支持体１８の下部に導出部形成用の通気孔を形成して、この通気孔により導出部２４を形成したが、支持体１８の下部とカバー体４との間隙により導出部２４を形成してもよい。
また、上記第２実施形態では、支持体１８の下部とカバー体４との間隙により導出部２４を形成したが、支持体１８に導出部形成用の通気孔を形成して、この通気孔により導出部２４を形成してもよい。

（６）上記第１及び第２実施形態では、板状体として矩形状のガラス基板１を例示したが、半導体ウェハ等の他の板状体でもよく、また、円形状等の他の形状の板状体でもよい。

（７）上記第１及び第２実施形態では、カバー体４を、送風式支持手段２及び推進力付与手段３を設置する設置空間とこの設置空間の上方に位置するガラス基板１の搬送経路との横側方、及び、上方を覆うように構成したが、例えば、第１実施形態において上壁部材１５を設けない等により、カバー体４を、設置空間の横側方とガラス基板１の搬送経路との横側方のみを覆うように構成してもよく、また、例えば、第１実施形態において下側のメインフレーム１４ａ同士の間に下壁部材を設ける等により、カバー体４を、設置空間の横側方とこの設置空間の上方に位置するガラス基板１の搬送経路との横側方、上方及び下方を覆うように構成してもよい。

（８）上記第１及び第２実施形態では、送風式支持手段２にて、ガラス基板１を水平又は略水平姿勢で非接触状態で支持するように構成したが、送風式支持手段２を横幅方向に傾けた姿勢で設けて、送風式支持手段２にて、ガラス基板１を横幅方向に傾く傾斜姿勢で支持するように構成してもよい。ちなみに、この場合、送風式支持手段２の傾きに応じて推進力付与手段３（複数の回転ローラ１０）を傾けるべく、支持体１８を横幅方向に傾けた姿勢で設けてもよい。

１板状体
２送風式支持手段
３推進力付与手段
４カバー体
１０回転ローラ
１１駆動手段
１２電動モータ
１８支持体
２１内方側流路
２２外方側流路
２３導入部
２４導出部

Claims

板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段と、
板状体の下面における搬送方向と直交する横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラを前記搬送方向に並べて備え、前記複数の回転ローラを駆動手段にて回転駆動させて前記送風式支持手段にて支持される板状体に対して前記搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段と、
前記横幅方向における前記送風式支持手段が存在する内方側に前記複数の回転ローラが位置するように前記複数の回転ローラを回転自在に支持する支持体が設けられている板状体搬送装置であって、
前記支持体の前記横幅方向の内方側とその反対側の外方側とを連通させて、搬送される板状体の下面に沿って前記横幅方向に流動した空気を前記複数の回転ローラの間で且つ搬送される板状体の下面と同高さにおいて前記支持体の横幅方向の内方側から外方側に通流させる導入部が形成されている板状体搬送装置。
前記送風式支持手段及び前記推進力付与手段を設置する設置空間の横側方と前記設置空間の上方に位置する板状体の搬送経路の横側方とを覆うカバー体が、前記支持体よりも前記横幅方向の外方側に位置するように設けられ、
前記送風式支持手段が、当該送風式支持手段の下方の空気を吸引して当該送風式支持手段の上方に向けて清浄空気を噴出するように構成され、
前記支持体の前記横幅方向の内方側と外方側とを連通させて、前記導入部より下方において、空気を前記支持体の前記横幅方向の外方側から内方側に通流させる導出部が形成され、
前記送風式支持手段の上方の空間と前記送風式支持手段の下方の空間とを前記支持体の横幅方向の内方側で連通させる内方側流路が、前記支持体と前記送風式支持手段との間に形成される空間にて形成され、
前記導入部及び前記導出部を備えて前記送風式支持手段の上方の空間と前記内方側流路とを前記支持体の横幅方向の外方側で連通させる外方側流路が、前記支持体と前記カバー体との間に形成される空間にて形成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
前記駆動手段が、前記複数の回転ローラに対して各別に設けられた複数の電動モータにて構成され、
前記複数の電動モータが、前記支持体にてその前記横幅方向の外方側に位置するように支持されて前記外方側流路内に配設されている請求項２記載の板状体搬送装置。
前記支持体の上縁部と前記カバー体との間隙により前記導入部が形成され、
前記支持体の下縁部と前記カバー体との間隙により前記導出部が形成されている請求項２又は３記載の板状体搬送装置。
前記支持体の上部と前記カバー体との間隙と前記支持体の下部と前記カバー体との間隙とが、前記搬送方向で同じ位置に位置するように形成されている請求項４記載の板状体搬送装置。
前記支持体が、その下端部が前記カバー体に連結されて前記カバー体にて片持ち状に支持され、
前記支持体の上部と前記カバー体との間隙が、前記搬送方向に沿って一連に形成されている請求項４又は５記載の板状体搬送装置。
前記支持体が、その上端部及び下端部が前記カバー体に連結されて前記カバー体にて両持ち状に支持されている請求項４又は５記載の板状体搬送装置。