JP4368169B2 - クリーン室間における物体移送用通路 - Google Patents

Description

本発明は、例えばクリーン度が異なるクリーン室同士間に亘って設けられて一方から他方に物体を移送する際に、各クリーン室におけるクリーン度が低下するの防止するための物体移送用通路に関する。

通常、半導体基板（例えば、ウエハ）などの製造工程はクリーン室内で行われており、またクリーン室内は、その製造工程に応じて適正なクリーン度に維持されている。
ところで、このような製品（以下、物品という）をそのクリーン室同士間に亘って搬送するのに、例えば自動搬送手段（搬送台車または搬送用コンベヤ）が用いられており、したがってクリーン度が異なるクリーン室間には、製品の移送用通路が設けられるとともに、この移送用通路における各クリーン室との接続用開口部には、それぞれ開閉扉が設けられている（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１に開示された構成によると、この移送用通路（パスボックス装置である）における各クリーン室（一方が非クリーン室で、他方がクリーン室である）との接続用開口部にはそれぞれ開閉扉が設けられており、一方のクリーン室（非クリーン室）から当該移送用通路に入る場合には、その開閉扉が開かれて、一方のクリーン室および移送用通路に設けられた両搬送用コンベヤにより、物品が当該移送用通路内に移送された後、開閉扉が閉められ、次に他のクリーン室（クリーン室）との接続用開口部に設けられた開閉扉が開かれて、移送用通路に設けられた搬送用コンベヤから、物品が他方のクリーン室に設けられた搬送用コンベヤ上に移送される。他方のクリーン室への物品の移送が終了すると、その開閉扉が閉じられる。
実公平３−３４５８１号公報

特許文献１に開示された移送用通路（パスボックス装置）の構成によると、両側の接続用開口部には開閉扉がそれぞれ設けられており、すなわち物品の移送に応じて開閉扉の開閉動作が行われることになり、どうしても、構成自体が複雑になり設備コストが高くつくという問題があった。

そこで、本発明は、クリーン度が異なるクリーン室間にて物体などを移送する際に、その構成が簡単な移送用通路を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るクリーン室間における物体移送用通路は、クリーン度が異なるクリーン室同士間に亘って設けられた物体移送用通路であって、
一端側が一方のクリーン室に開口されるとともに他端側が他方のクリーン室に開口された通路本体に、空気排出機を設けるとともに所定のクリーン度にされた空気を供給する空気供給機を設け、
上記一方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍に物体の進入用検出器を設け、
上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ通路本体側に物体の通路内退出用検出器を設けるとともに上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ他方のクリーン室側に物体の通路外退出用検出器を設け、
さらに上記進入用検出器から検出信号を入力すると空気排出機を低速運転から通常運転に切り替えるとともに、上記通路内退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機の運転を開始し、且つ上記通路外退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機を停止させるとともに空気排出機を低速運転に切り替える制御装置を具備したものである。

また、請求項２に係るクリーン室間における物体移送用通路は、クリーン度が異なるクリーン室同士間に亘って設けられた物体移送用通路であって、
一端側が一方のクリーン室に開口されるとともに他端側が他方のクリーン室に開口された通路本体に、空気排出機を設けるとともに所定のクリーン度にされた空気を供給する空気供給機を設け、
上記一方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍に物体の進入用検出器を設け、
上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ通路本体側に物体の通路内退出用検出器を設けるとともに上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ他方のクリーン室側に物体の通路外退出用検出器を設け、
さらに上記進入用検出器から検出信号を入力すると空気排出機を低速運転から通常運転に切り替えるとともに、上記通路内退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機の運転を開始し、且つ上記通路外退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機を停止させるとともに空気排出機を低速運転に切り替える制御装置を具備したものである。

上記物体移送用通路の構成によると、両クリーン室同士に亘って接続されて物体を通過させる通路本体内の空気を、空気排出機にて排出することにより、当該通路本体と各クリーン室との接続開口部に開閉扉を設けることなく、通路本体から各クリーン室への空気の流入を防止することができ、さらに通路本体内に物体が進入する際に、空気排出機により通路本体内の空気を排出するとともに、物体が退出する際に、空気供給機により通路本体内に空気を供給するようにしたので、例えば空気を排出するだけの構成に比べて、各クリーン室に与える空気変動を、より抑制することができる。

以下、本発明の実施の形態に係るクリーン室間における物体移送用通路を図面に基づき説明する。
［実施の形態１］
実施の形態１に係るクリーン室間における物体移送用通路を、図１〜図３に基づき説明する。

ウエハなどの半導体基板（以下、物品という）の製造工程はクリーン室（クリーンルーム）内で行われるとともに、これら物品の製造工程間における搬送は例えば天井走行式搬送車両により行われており、また各クリーン室内は、その製造工程に応じて適正なクリーン度に維持されているため、各クリーン室はそれぞれ仕切り壁により囲まれている（仕切られている）。

本実施の形態１に係る物体移送用通路は、これら各クリーン室同士間に亘って設けられて、各クリーン室内のクリーン度を維持した状態で搬送車両（物体の一例である）を通過させて物品を各クリーン室間に亘って移送するためのものである。

図１および図２に示すように、この物体移送用通路１は、隣接する２つのクリーン室２，３の仕切り壁４，５同士間に亘って設けられた断面が矩形状のトンネルで、その通路本体１１は、上壁板１１ａと、左右の側壁板１１ｂと、下壁板１１ｃとにより構成されるとともに、その上壁板１１ａに接続された複数の吊持具１２を介して天井部材６に吊持されている。

この物体移送用通路１内には、やはり、天井部材６から吊持された吊持具７を介して、物品を搬送するための天井走行式の搬送車両８の走行用レール９が吊持されている。
なお、この搬送車両８は、上部に物品を収納し得る収納スペース２１ａが設けられた車両本体２１と、この車両本体２１の下部に設けられて溝型の走行用レール９内を走行自在な走行用車輪２２ａを有する走行駆動部２２とが具備され、またこの走行用レール９の底面に配置された磁極片と車両本体２１の底部に配置されたコイルとの協働により、推力を発生させるリニア駆動方式（リニアモータである）が採用されたものである。

そして、通路本体１１における各クリーン室２，３との接続開口部２，３ａには、開閉扉が設けられておらず、このため、各クリーン室２，３側への空気の流入を阻止するために、当該通路本体１１内の空気を吸引して外部に排出するための空気排出機（例えば、排風ファンが用いられる）１３が、例えば通路本体１１の下壁板１１ｃの中間位置に取り付けられている。

さらに、通路本体１１内への搬送車両８の進入および通路本体１１からの退出を検出するために、各クリーン室２，３内で且つ接続開口部２ａ，３ａ近傍位置には、例えば光電管方式の進入用検出器１４および退出用検出器１５が設けられ、またこれら両検出器１４，１５からの検出信号を入力して通路本体１１内での搬送車両８の有無に応じて、上記空気排出機１３を制御する制御装置（図示せず）が具備されている。

この制御装置においては、通路本体１１内に搬送車両８が存在しない場合、空気排出機１３に、排出空気量が少ない低速運転の指令が出力されるとともに、通路本体１１内に搬送車両８が存在する場合には、空気排出機１３に、排出空気量が多い通常運転（高速運転と称してもよい）の指令が出力される。

上記構成において、製造ラインが稼動している場合には、両クリーン室２，３内はそれぞれ所定のクリーン度に維持されるとともに、通路本体１１内は、空気排出機１３の低速運転により、緩やかに、その空気が排出されている。

この状態では、両クリーン室２，３から通路本体１１内に空気が吸引されて、通路本体１１から両クリーン室２，３内に空気が流入するのが防止されており、したがって両クリーン室２，３内は所定のクリーン度に維持されている。

そして、搬送車両８が一方のクリーン室２から他方のクリーン室３に走行する場合、まず、一方のクリーン室２の接続開口部２ａ近傍に設置された進入用検出器１４により、搬送車両８が検出される。

この進入用検出器１４により搬送車両８が検出されると、その検出信号が制御装置に送られ、当該制御装置から空気排出機１３に、低速運転から通常運転への切替指令（制御指令）が出力されて、排出空気量が増加される。

この排出空気量の増加により、搬送車両８が通路本体１１内に進入してきた際の当該搬送車両８の大きさ（容積）および進入速度に応じて、一方のクリーン室２から流入する空気を、他方のクリーン室３に追い出すことなく、通路本体１１外に排出することができる。

そして、搬送車両８が他方のクリーン室３に入り、当該クリーン室３側に設けられた退出用検出器１５により検出されると、その検出信号が制御装置に送られ、当該制御装置から空気排出機１３に低速運転の指令が出力される。

このように、両クリーン室２，３同士に亘って接続されて搬送車両８を通過させ得る通路本体１１に空気排出機１３を設けたので、当該通路本体１１と各クリーン室２，３との接続開口部２ａ，３ａに開閉扉を設けることなく、通路本体１１から各クリーン室２，３への空気の流入を防止することができ、したがって開閉扉を設置した場合に比べて、その構成が簡単となり、設備コストの低減化を図ることができる。

さらに、進入用および退出用検出器１４，１５により搬送車両８の通路本体１１内への進入および退出を検出するとともに、当該搬送車両８の通路本体１１内での有無に応じて、空気排出機１３を制御するようにしたので、すなわち通路本体１１内を走行している場合には、排出空気量を増やし、走行していない場合には、排出空気量を減らすようにしているので、クリーン度の高い空気の消費量を極力少なくして経済性が考慮されている。

なお、上記実施の形態１においては、進入用検出器１４および退出用検出器１５をクリーン室２，３側に配置したが、接続開口部２ａ，３ａに近い通路本体１１側に配置してもよい。

上記実施の形態１に係る物体移送用通路においては、通路本体に空気排出機だけを設けたのに対し、本実施の形態２に係る物体移送用通路にあっては、空気排出機に加えて空気供給機を設けることにより、両クリーン室に対し、搬送車両の通過による空気変動の影響を与えないように考慮したものである。

以下、実施の形態２に係る物体移送用通路について説明するが、実施の形態１と異なる箇所は、空気供給機、制御装置などに関する部分であるため、この部分に着目して説明するとともに、実施の形態１と同様の構成部材については、同一番号を付してその説明を省略する。

すなわち、図４に示すように、実施の形態１にて説明したと同じ通路本体１１の上壁板１１ａに、所定のクリーン度が得られる清浄機能が具備された空気供給機（例えば、フィルタ付き吸引ファンが用いられる）３１を設けるとともに、この空気供給機３１についても、制御装置により制御が行われる。

ところで、本実施の形態２においては、空気供給機３１を設けて通路本体１１内に積極的に空気を供給するようにしているが、この空気の供給は、通路本体１１から搬送車両８が退出する際に行われるものである。

したがって、搬送車両８の通路本体１１への進入を検出する進入用検出器１４は、実施の形態１と同様に、一方のクリーン室２内の接続開口部２ａ近傍に設けられるが、通路本体１１からの退出を検出する退出用検出器１５（１５Ａ，１５Ｂ）は、他方のクリーン室３の接続開口部３ａ近傍の通路本体１１側と他方のクリーン室３側との２箇所に設けられる。

そして、制御装置においては、進入用検出器１４から検出信号を入力すると、空気排出機１３が通常運転に切り替えられ、さらに通路本体１１内に設けられた退出用検出器（通路内退出用検出器という）１５Ａからの検出信号を入力すると、空気供給機３１の運転が開始され、また他方のクリーン室３内に設けられた退出用検出器（以下、通路外退出用検出器という）１５Ｂからの検出信号を入力すると、空気供給機３１が停止されるとともに空気排出機１３が低速運転に切り替えられる。

ここで、搬送車両８が通過する際の概略的な動作について説明する。
搬送車両８が一方のクリーン室２から他方のクリーン室３に向って走行してきた場合、まず、一方側のクリーン室２の接続開口部２ａ近傍に設置された進入用検出器１４により、搬送車両８が検出される。

この進入用検出器１４により搬送車両８が検出されると、制御装置から、空気排出機１３に対して低速運転から通常運転への切替指令（制御指令）が出力されて、排出空気量が増加される。

この排出空気量の増加により、搬送車両８が通路本体１１内に進入してきた場合、その容積が大きい搬送車両８の走行により一方のクリーン室２から流入する空気を、他方のクリーン室３内に追い出すことなく、通路本体１１外に排出することができる。

そして、搬送車両８が、当該通路本体１１から他方のクリーン室３に退出する際に、通路側退出用検出器１５Ａからの検出信号が制御装置に入力されると、制御装置から空気供給機３１に運転開始の指令が出力される。したがって、当該搬送車両８の通路本体１１からの退出に伴う空気変動が抑制される。

搬送車両８が通路本体１１から完全に退出すると、通路外退出用検出器１５Ｂからの検出信号が制御装置に入力され、当該制御装置により、空気供給機３１の運転が停止されるとともに、空気排出機１３が低速運転に切り替えられて、元の状態に戻る。

この構成によると、通路本体１１から搬送車両８が退出する際に、通路本体１１内に空気を強制的に供給するようにしているので、実施の形態１のように、空気を排出するだけの場合に比べて、各クリーン室２，３に与える空気変動を、より抑制することができる。

ところで、クリーン室同士間を搬送車両にて自動で搬送する際の通路は、通常、一方通行にされているため、上記各実施の形態においは、物体移送用通路として、一方のクリーン室から他方のクリーン室に物体を移送する場合について説明したが、勿論、他方のクリーン室から一方のクリーン室に物体を移送させる物体移送用通路も設けられており、したがってこの場合の物体移送用通路においては、進入用検出器および退出用検出器の配置は逆になる。

なお、上記各実施の形態においては、搬送車両を物体として説明したが、必ずしも、搬送車両に限定されるものではなく、単に、製品（部品も含み、この場合、当該製品自体が物体とみなされる）を移送させ得るような通路にも適用し得るものである。

本発明の実施の形態１に係る物体移送用通路の断面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 図１のＢ−Ｂ断面図である。 本発明の実施の形態２に係る物体移送用通路の断面図である。

符号の説明

１ 物体移送用通路
２ クリーン室
２ａ 接続開口部
３ クリーン室
３ａ 接続開口部
８ 搬送車両
１１ 通路本体
１３ 空気排出機
１４ 進入用検出器
１５ 退出用検出器
１５Ａ 通路内退出用検出器
１５Ｂ 通路外退出用検出器
２１ 車両本体
３１ 空気供給機

Claims (1)

1. クリーン度が異なるクリーン室同士間に亘って設けられた物体移送用通路であって、
   一端側が一方のクリーン室に開口されるとともに他端側が他方のクリーン室に開口された通路本体に、空気排出機を設けるとともに所定のクリーン度にされた空気を供給する空気供給機を設け、
   上記一方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍に物体の進入用検出器を設け、
   上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ通路本体側に物体の通路内退出用検出器を設けるとともに上記他方のクリーン室と通路本体との接続開口部近傍で且つ他方のクリーン室側に物体の通路外退出用検出器を設け、
   さらに上記進入用検出器から検出信号を入力すると空気排出機を低速運転から通常運転に切り替えるとともに、上記通路内退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機の運転を開始し、且つ上記通路外退出用検出器からの検出信号を入力すると空気供給機を停止させるとともに空気排出機を低速運転に切り替える制御装置を具備したことを特徴とするクリーン室間における物体移送用通路。

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