KR102418305B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

물품 반송 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR102418305B1
KR102418305B1 KR1020170129755A KR20170129755A KR102418305B1 KR 102418305 B1 KR102418305 B1 KR 102418305B1 KR 1020170129755 A KR1020170129755 A KR 1020170129755A KR 20170129755 A KR20170129755 A KR 20170129755A KR 102418305 B1 KR102418305 B1 KR 102418305B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
traveling
running
rail
wheel
width direction
Prior art date
Application number
KR1020170129755A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180040490A (ko
Inventor
류야 무라카미
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20180040490A publication Critical patent/KR20180040490A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102418305B1 publication Critical patent/KR102418305B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L5/00—Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles
    • B60L5/005—Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles without mechanical contact between the collector and the power supply line
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L5/00—Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/04—Monorail systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/12—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems
    • B61B13/127—Systems with propulsion devices between or alongside the rails, e.g. pneumatic systems the propulsion device consisting of stationary driving wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D27/00—Heating, cooling, ventilating, or air-conditioning
    • B61D27/009—Means for ventilating only
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00—Type of vehicles
    • B60L2200/26—Rail vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60M—POWER SUPPLY LINES, AND DEVICES ALONG RAILS, FOR ELECTRICALLY- PROPELLED VEHICLES
    • B60M7/00—Power lines or rails specially adapted for electrically-propelled vehicles of special types, e.g. suspension tramway, ropeway, underground railway
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T90/00—Enabling technologies or technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02T90/10—Technologies relating to charging of electric vehicles
    • Y02T90/16—Information or communication technologies improving the operation of electric vehicles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 물품 반송차의 차륜이 전동하여 주행하는 경우에, 주행에 의해 생기는 먼지를 적절히 제거한다. 물품 반송차는, 차륜(15)이 주행 레일(2)의 상면에 설치된 주행면(21)을 전동함으로써 주행한다. 주행 레일(2)은, 주행면(21)이 형성되는 면을 포함하는 주위벽(24)과, 주위벽(24)에 에워싸인 내측에 형성되어 주행 경로를 따라 연장되는 내부 공간(28)을 가진다. 주행면(21)은, 주위벽(24)을 관통하여 내부 공간(28)과 외부 공간을 연통시키는 관통공(30)을 가진다. 주행 레일(2)에는, 내부 공간(28)과 연통되어, 내부 공간(28)의 공기를 흡인하는 흡인 장치(50)가 구비된다. 내부 공간(28)은, 흡인 장치(50)의 접속부(29)와 관통공(30)을 제외하고 폐색되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 물품 반송차(article transport vehicle)의 차륜이 전동(轉動)하여 주행하는 물품 반송 설비에 관한 것이다.
궤도를 사용하는 물품 반송차를 이용한 각종 물품 반송 설비가 실용화되어 있다. 궤도를 사용하는 물품 반송 설비에서는, 레일과 물품 반송차의 차륜이 접촉함으로써 먼지가 발생하고, 물품 반송 설비의 청정함을 손상시키는 경우가 있다. 이것을 정기적으로 수작업으로 청소하기 위해서는 수고 및 시간을 요한다. 일본 공개특허 제2001―128303호 공보에는, 그와 같은 먼지를 제거하는 기능을 구비한 물품 반송 설비가 개시되어 있다(이하, 배경 기술에 있어서 괄호 내의 부호는 참조하는 문헌의 것이다). 이 물품 반송 설비에서는, 단면(斷面)이 U자형의 레일(2)의 바닥부에 대차(臺車; truck)(12)의 주행 차륜(25)이 접촉하고, U자형의 레일(2)의 내측 측면에 가이드 롤러(26)가 접촉하여, 대차(12)가 레일(2)을 따라 주행한다. 레일(2)의 바닥부에는, 구멍이 형성되어 있고, 레일(2)의 바닥부의 외측에는, 필터 팬 유닛(filter fan unit)(10)이 설치되어 있다. 대차(12)의 주행에 의해 생긴 먼지는, 필터 팬 유닛(10)이 바닥부의 구멍으로부터 공기를 흡인하는 것에 의해 제거된다(특허문헌 1: 도 1, [0011] 등)
U자형의 레일의 바닥부를 주행면으로 하여 물품 반송차가 주행하는 것과 같은 경우에는, 주행에 의해 생긴 먼지가 레일의 내부에 퇴적되므로, 바닥부에 형성한 구멍을 통하여 먼지를 빨아낼 수가 있다. 그러나, 물품 반송 설비에는, 레일의 상면을 주행면으로 하여 물품 반송차가 주행하는 형태의 것도 있다. 이 경우에는, 주행에 의해 생긴 먼지가 비교적 폐쇄된 공간(예를 들면, U자형의 레일의 내부 등, 일부가 개방되어 있어도 주위가 에워싸인 공간)에 퇴적되지 않으므로, 자동적으로 먼지를 회수하는 것은 더욱 곤란하게 된다. 따라서, 주행면이 개방 공간에 설치되어 있는 경우라도, 물품 반송차의 주행에 의해 생기는 먼지를 적절히 제거하는 것이 요구되고 있다.
일본 공개특허 제2001―128303호 공보
상기 문제점을 해결하기 위해, 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 물품 반송차의 차륜이 전동하여 주행하는 경우에, 주행에 의해 생기는 먼지를 적절히 제거하는 기술의 제공이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송차의 주행 경로를 따라 주행 레일이 배치되고, 상기 물품 반송차의 차륜이 상기 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 전동하여 상기 물품 반송차가 주행하는 물품 반송 설비는, 일 태양(態樣)으로서,
상기 주행 레일이, 상기 주행면이 형성되는 면을 포함하는 주위벽과, 상기 주위벽에 에워싸인 내측에 형성되어 상기 주행 경로를 따라 연장되는 내부 공간을 가지고,
상기 주행면이, 상기 주위벽을 관통하여 상기 내부 공간과 외부 공간을 연통시키는 관통공을 가지고,
또한, 상기 내부 공간과 연통되어, 상기 내부 공간의 공기를 흡인하는 흡인 장치를 구비하고,
상기 내부 공간이, 상기 흡인 장치의 접속부와 상기 관통공을 제외하고 폐색(閉塞)되어 있다.
이 구성에 의하면, 개방된 공간에 존재하는 주행 레일의 상면(주행면)으로의 차륜의 접촉에 의해 생긴 먼지가, 개방된 공간으로 비산되지 않는다. 즉, 주행면에는 중공(中空) 구조의 주행 레일의 내부 공간과 연통되는 관통공이 개구되어 있고, 관통공에는, 내부 공간의 공기가 흡인 장치에 흡인되는 것에 의해 부압(負壓)이 걸려 있다. 따라서, 주행면에 있어서 생긴 먼지는, 관통공을 통하여 내부 공간으로 흡입되고, 외부 공간으로 비산되지 않는다. 또한, 내부 공간은, 흡인 장치와의 접속부와 관통공을 제외하고 폐색되어 있으므로, 관통공에 충분한 부압이 생기게 할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 물품 반송차의 차륜이 전동하여 주행하는 경우에, 주행에 의해 생기는 먼지를 적절히 제거하는 것이 가능해진다.
물품 반송 설비의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 물품 반송차의 배면도
도 3은 주행 레일 쌍의 사시도
도 4는 팬 필터 유닛을 장착한 위치에서의 주행 레일의 단면도(斷面圖)
도 5는 레일 부재의 결합부의 투시 사시도
이하, 물품 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 주행 경로(1)를 따라 설치된 주행 레일(2)과, 주행 레일(2) 상을 주행 경로(1)를 따라 주행하는 물품 반송차(3)를 구비하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 물품 반송차(3)는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 물품(F)으로서 반송한다.
주행 경로(1)는, 1개의 환형(環形)의 주경로(main path)(4)와, 복수의 환형의 부경로(sub paths)(5)와, 주경로(4)와 부경로(5)를 접속하는 복수의 접속 경로(6)를 구비하고 있다. 부경로(5)는, 주경로(4)보다도 작은 환형이며, 복수의 물품 처리부(P)를 경유하는 경로이다. 물품 반송차(3)는, 주경로(4) 및 복수의 부경로(5)에 있어서는, 모두 같은 주회(周回) 방향(도 1에서는 화살표로 나타낸 바와 같이, 시계 회전 방향)으로 주행한다. 주행 경로(1)는, 직선형으로 설정된 직선 부분(1a)과 곡선형으로 설정된 곡선 부분(1b)을 가지고 있다. 접속 경로(6)에는, 주경로(4)로부터 부경로(5)로 분기되는 분기용의 접속 경로(6)와, 부경로(5)로부터 주경로(4)로 합류하는 합류용의 접속 경로(6)가 있다.
이하의 설명에 있어서는, 상하 방향에서 볼 때, 물품 반송차(3)의 전후 방향(주행하는 방향)에 대하여 직교하는 방향을 차체 가로 폭 방향이라고 하여 설명한다. 도 2는, 물품 반송차(3)를 후방으로부터 본 상태를 나타내고 있다[배면 뷰(rear view)]. 차체 가로 폭 방향에 있어서 좌우 방향을 나타내어 설명하는 경우에는, 배면 뷰에 의해 좌우를 특정한다. 또한, 주행 경로(1)(주행 레일(2)에 대해서는, 주행 경로(1)에 따른 방향을 경로 길이 방향[또는 주행 레일(2)의 연장 방향]으로 하고, 상하 방향에서 볼 때 경로 길이 방향에 대하여 직교하는 방향[수평면에 있어서 주행 경로(1)와 직교하는 방향]을 폭 방향 W라고 하여 설명한다. 예를 들면, 물품 반송차(3)가 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)을 주행하고 있을 때는, 주행 방향과 경로 길이 방향과는 같은 방향으로 되고, 차체 가로 폭 방향과 폭 방향 W와는 같은 방향으로 된다. 그리고, 후술하는 바와 같이, 수평면에 있어서 2개의 주행 레일(2)이 평행하게 배치되어 주행 레일 쌍(2P)이 구성된다. 즉, 주행 레일 쌍(2P)은, 폭 방향 W로 일정 간격으로 서로 평행하게 배치되어 있다(도 3 등 참조). 폭 방향 W에 있어서 주행 레일(2)이 대향하는 각각의 측을 폭 방향 내측(W1), 폭 방향 W에 있어서 폭 방향 내측(W1)과는 반대측의 방향을 각각 폭 방향 외측(W2)이라고 하여 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)는, 천정(C)으로부터 현수(懸垂) 지지된 주행 레일(2)의 상면에 설치된 주행면(21)을 차륜(15)이 전동함으로써 주행하는 주행부(9)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하여 주행부(9)에 현수 지지된 반송차 본체(10)와, 주행 경로(1)를 따라 설치된 급전선(11)으로부터 비접촉으로 구동용 전력을 수전(受電)하는 수전부(12)를 구비하고 있다.
반송차 본체(10)에는, 반송차 본체(10)에 승강하도록 구비되어 물품(F)을 현수한 상태로 지지하는 지지부(13)가 구비되어 있다. 그리고, 전후 방향으로 배열되는 상태로 복수의 주행부(9)(예를 들면, 전방측의 제1 주행부와 후방측의 제2 주행부와의 2개의 주행부)가 구비되어 있어도 되지만, 본 실시형태에서는, 이들을 구별하지 않고 단지 주행부(9)라고 한다.
주행부(9)[각각의 주행부(9)]에는, 도시하지 않은 모터에 의해 구동되는 좌우 한 쌍의 차륜(15)[차륜 쌍(15P)]이 구비되어 있다. 이 차륜 쌍(wheel pair)(15P)은, 주행 레일(2)을 구성하는 좌우 한 쌍의 주행 레일(2)[주행 레일 쌍(2P)]의 각각의 상면[주행면(21)]을 주행하도록, 주행부(9)에 구비되어 있다. 또한, 주행부(9)에는, 차체 상하 방향을 따르는 축심(軸心) 주위(상하 축심 주위)에서 자유 회전하는 좌우 한 쌍의 안내륜(guiding wheel)(16)[안내륜 쌍(16P)]이 구비되어 있다. 이 좌우 한 쌍의 안내륜(16)은, 각각의 주행 레일(2)에서의 내측면(27)(도 4 등 참조)에 맞닿도록, 주행부(9)에 설치되어 있다.
주행부(9)[각각의 주행부(9)]에는, 차륜 쌍(15P)의 하단(下端)보다 아래쪽으로 돌출하는 상태로 연결축(17)이 구비되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(9)의 연결축(17)과 반송차 본체(10)는, 상하 방향을 따르는 세로 축심 주위에 상대 회전 가능하게 연결되어 있다. 예를 들면, 주행부(9)가 전방측의 제1 주행부와 후방측의 제2 주행부와의 2개의 주행부를 가지고 있는 경우, 제1 주행부 및 제2 주행부의 각각에 연결축(17)이 설치되어 있다. 제1 주행부 및 제2 주행부는, 각각 반송차 본체(10)와 상대 회전할 수 있는 상태로 연결되어 있다. 즉, 제1 주행부 및 제2 주행부는, 반송차 본체(10)에 대하여 세로 축심 주위로 요동(搖動) 가능하다. 이로써, 물품 반송차(3)가 복수의 주행부(9)를 구비하여 구성되어 있어도, 물품 반송차(3)는, 주행 경로(1)의 곡선 부분(1b)을 따라 주행할 수 있다. 물품 반송차(3)는, 안내륜(16)이 주행 레일 쌍(2P)에 접촉하여 안내되는 것에 의해 주행부(9)가 주행 경로(1)를 따른 자세를 유지하면서 주행 경로(1)를 따라 주행한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(9)에는, 차륜(15)보다도 상방측 개소(箇所)에, 상하 축심(차체 상하 폭 방향을 따른 축심) 주위에서 회전하는 안내 보조륜(19)이 설치되어 있다. 바람직하게는, 안내 보조륜(19)은, 1개의 주행부(9)에 있어서 차륜(15)의 회전축을 협지하여 전후 한 쌍 설치되어 있다. 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)을 총칭하는 경우에는 안내 보조륜 쌍(19P)이라고 한다. 안내 보조륜 쌍(19P)은, 모터에 의해 일체로 차체 가로 폭 방향으로 이동된다.
주행부(9)는, 안내 보조륜 쌍(19P)을 차체 가로 폭 방향으로 이동시킴으로써, 안내 보조륜(19)의 위치를 우측 안내 위치와 좌측 안내 위치로 이동시키도록 구성되어 있다. 우측 안내 위치는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 안내 보조륜 쌍(19P)이 주행부(9)의 차체 가로 폭 방향의 중앙보다 우측에 위치하여, 안내 레일(41)에 대하여 우측으로부터 맞닿는 위치이다. 좌측 안내 위치는, 안내 보조륜 쌍(19P)이 주행부(9)의 차체 가로 폭 방향의 중앙보다 좌측에 위치하여, 안내 레일(41)에 대하여 좌측으로부터 맞닿는 위치이다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 수평면에 있어서 2개의 주행 레일(2)이 평행하게 배치되어 주행 레일 쌍(2P)을 구성하고 있다. 즉, 주행 레일 쌍(2P)은, 폭 방향 W로 일정 간격으로 서로 평행하게 배치되어 있다. 각각의 주행 레일(2)에는, 지지 부재(43) 및 현수 부재(44)가 장착되는 장착홈(22)이 주행 경로(1)를 따라[주행 레일(2)의 연장 방향을 따라] 형성되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 장착홈(22)에는, 현수 부재(44)의 한쪽의 단부(端部)가 장착되어 있다. 현수 부재(44)의 다른 쪽의 단부는, 천정(C)에 고정되어 있다. 주행 레일 쌍(2P)을 구성하는 2개의 주행 레일(2)은, 현수 부재(44)에 의해 천정에 매달려 지지되어 있다.
또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(1)를 따라[주행 레일(2)의 연장 방향을 따라] 복수 설치된 현수 부재(44)의 사이에서는, 주행 레일 쌍(2P)을 구성하는 2개의 주행 레일(2)은, 경로 길이 방향을 따른 방향에서 볼 때(폭 방향 단면에 있어서) 역 U자형으로 형성된 지지 부재(43)에 의해 연결되어 있다. 그리고, 전술한 안내 레일(41)은, 지지 부재(43)에 연결되어 지지 부재(43)에 의해 지지되어 있다. 또한, 주행 레일(2)은, 주행면(21)이 형성되는 면을 포함하는 주위벽(24)과, 주위벽(24)에 에워싸인 내측에 형성되어 주행 경로(1)를 따라 연장되는 내부 공간(28)을 가진다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행면(21)은, 주위벽(24)을 관통하여 내부 공간(28)과 외부 공간을 연통시키는 관통공(30)을 가진다. 즉, 주행면(21)에는, 관통공(30)의 개구부(31)(도 4 참조)가 형성되어 있다. 또한, 주행 레일(2)에는, 내부 공간(28)과 연통되어, 내부 공간(28)의 공기를 흡인하는 흡인 장치(50)가 장착되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 주행 경로(1)는 환형이므로, 내부 공간(28)은, 흡인 장치(50)의 접속부[도 4의 흡인공(29) 참조]와 관통공(30)을 제외하고 폐색되어 있다. 주행 경로(1)가 환형이 아니고, 단부를 가지는 경우에는 상기 단부를 막는 것에 의해 내부 공간(28)을 폐색 공간으로 할 수 있다.
전술한 바와 같이, 주행면(21)에는 중공 구조의 주행 레일(2)의 내부 공간(28)에 연통되는 관통공(30)이 개구되어 있다. 관통공(30)에는, 내부 공간(28)의 공기가 흡인 장치(50)에 흡인되는 것에 의해 부압이 걸린다. 전술한 바와 같이, 내부 공간(28)은, 흡인 장치(50)와의 접속부[흡인공(29)]과, 관통공(30)을 제외하고 폐색되어 있으므로, 관통공(30)에 충분한 부압이 생기게 할 수 있다. 따라서, 주행면(21)에 있어서 생긴 먼지(D)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 관통공(30)을 통하여 내부 공간(28)에 흡입되고, 외부 공간으로 비산되지 않는다.
본 실시형태에 있어서, 흡인 장치(50)는, 흡인용의 팬(51)과, 먼지(D)를 포획하는 필터(53)가 일체화된 팬 필터 유닛이다. 흡인 장치(50)를 팬 필터 유닛으로 함으로써, 관통공(30)에 부압이 생기게 하는 동시에, 흡인한 먼지(D)를 필터(53)로 포획할 수가 있어, 먼지(D)를 적절히 제거할 수 있다. 또한, 팬(51)과 필터(53)가 일체로 되어 있으므로, 물품 반송 설비(100)에 대한 흡인 장치(50)의 설치나 유지보수 시의 교환 등도 용이하다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 흡인 장치(50)는, 주위벽(24) 중, 주행면(21)이 형성되지 않은 벽면[본 실시형태에서는 외측면(23)]에 설치되어 있다. 이 벽면[외측면(23)]에는, 흡인 장치(50)와 내부 공간(28)을 연통시키는 흡인공(29)이 형성되어 있다. 주행면(21)에는 관통공(30)이 개구되어 있고, 주행면(21) 이외의 면에 흡인공(29)을 형성함으로써, 도 4에 파선(破線)으로 나타낸 바와 같이, 내부 공간(28)을 통하여 관통공(30)에 부압이 생기게 하는 경우의 공기의 흐름을 원활하게 할 수 있다. 또한, 주행면(21)은 차륜(15)이 전동하므로, 주행면(21)에 흡인공(29)을 형성하기 위해서는 주행 레일(2)의 폭을 넓게 하거나, 주행 범위 밖(예를 들면, 후술하는 주행 영역 R1 밖)의 장소에 흡인공(29)을 형성하거나 할 필요가 생기는 경우가 있다. 그러나, 주행면(21)이 형성되지 않은 벽면[외측면(23), 하면(25), 내측면(27) 등]에 흡인공(29)을 형성함으로써 그와 같은 제약을 받지 않는다.
본 실시형태에서는, 흡인 장치(50)로서의 팬 필터 유닛이, 주위벽(24)의 폭 방향 외측(W2)의 외측면(23)(측벽면)에 설치되어 있다. 따라서, 주행 경로(1) 상에서 흡인 장치(50)가 설치되어 있는 위치에 물품 반송차(3)가 존재하고 있어도, 작업자가 흡인 장치(50)의 점검이나 필터(53)의 교환 등의 유지보수를 용이하게 행할 수 있다.
그런데, 주행 경로(1)는 장거리이며, 대부분의 경우, 주행 레일(2)은, 주행 경로(1)에 따른 방향에 있어서 복수의 레일 부재(2a)가 결합되어 형성되어 있다(도 5 참조). 복수의 레일 부재(2a)가 결합되는 것에 의해, 내부 공간(28)도 접속되어 1개의 연속된 내부 공간(28)으로 된다. 그러나, 주행 경로(1)를 따라 인접하는 2개의 레일 부재(2a)가 결합되는 결합부(20)(도 5 참조)에서는, 내부 공간(28)의 기밀성이 손상될 염려가 있다.
그러므로, 본 실시형태에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 결합부(20)에는, 내부 공간(28)과 외부 공간과의 연통을 봉지하는 봉지 부재(sealing member)(2b)가 구비되어 있다. 그리고, 레일 부재(2a)가 금속의 경우, 온도에 따라 주행 경로(1)에 따른 방향으로 신축될 가능성이 있다. 레일 부재(2a)가 수축된 경우에는, 주행 경로(1)를 따라 인접하는 2개의 레일 부재(2a)의 간격이 비어 있게 되므로, 봉지 부재(2b)의 주행 경로(1)를 따른 방향의 길이 L1은, 레일 부재(2a)가 수축된 것에 의해 생기는 간극 L2보다도 길게 설정되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 주행면(21)에서의 관통공(30)의 개구부(31)의 직경 φ1이, 차륜(15)이 주행면(21)과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭 H1보다도 짧다(도 4 참조). 관통공(30)의 직경 φ1이 클수록 먼지(D)가 내부 공간(28)에 들어가기 쉽고, 먼지(D)를 제거하기 용이해진다. 그러나, 관통공(30)은 주행면(21)에 개구부(31)를 가지므로, 개구부(31)의 직경 φ1이 크면 차륜(15)이 관통공에 떨어져 들어가(fall into), 소음(騷音)이나 물품 반송차(3)의 진동이 증가할 우려가 있다. 또한, 개구부(31)의 에지와 차륜(15)과의 접촉에 의해 에지에 결함이나 마모가 생기기 쉬워, 먼지(D)가 쉽게 생기게 될 염려도 있다. 따라서, 관통공(30)의 개구부(31)의 직경 φ1은 차륜 폭 H1보다도 짧은 것이 바람직하다.
또한, 본 실시형태에서는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 차륜(15)이 주행하는 주행 영역 R1이, 주행면(21)에 있어서 폭 방향 내측(W1)에 설치되고, 관통공(30)의 개구부(31)가, 주행면(21)에 있어서 주행 영역 R1보다도 폭 방향 외측(W2)에 형성되어 있다. 개구부(31)의 직경 φ1이 차륜 폭 H1보다 짧아도, 관통공(30)의 개구부(31) 상을 차륜(15)이 전동하면, 소음이나 물품 반송차(3)의 진동이 증가할 우려가 있다. 또한, 개구부(31)의 에지와 차륜(15)과의 접촉에 의해 에지가 결함이나 마모가 생겨, 먼지(D)를 발생시킬 염려도 있다. 따라서, 바람직하게는 주행면(21)에 있어서 차륜(15)이 주행하는 경로(주행 영역 R1)와 관통공(30)이 개구되는 영역이 나누어져 있게 된다. 이들 영역은 완전히 나뉘어져 있을 필요는 없지만, 중복되는 영역이 작아지도록, 어느 하나의 방향으로 치우쳐 각각의 영역이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 본 실시형태와 같이, 주행 영역 R1이, 폭 방향 내측(W1)에 설치되고, 관통공(30)의 개구부(31)가, 주행 영역 R1보다도 폭 방향 외측(W2)에 설치되어 있으면 양 영역이 중복되지 않게 된다.
[그 외의 실시형태]
이하, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하에 설명하는 각각의 실시형태의 구성은, 각각 단독으로 적용되는 것에 한정되지 않고, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태의 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다.
(1) 상기에 있어서는, 주행 레일(2)이 쌍으로 된 주행 레일 쌍(2P)에 의해 형성되는 주행 경로(1)를 물품 반송차(3)가 주행하는 형태를 예시하였다. 그러나, 1개의 주행 레일(2)에 의해 형성되는 주행 경로(1)를 물품 반송차(3)가 주행하는, 이른바 모노 레일 형식의 물품 반송 설비(100)라도 된다.
(2) 상기에 있어서는, 레일 부재(2a)의 결합부(20)에 봉지 부재(2b)를 구비하여 내부 공간(28)의 기밀성을 높이는 형태를 예시하였다. 그러나, 봉지 부재(2b)보다도 기밀성이 낮은 접속 부재에 의해 레일 부재(2a)가 결합되어도 된다. 레일 부재(2a)는 일반적으로 장척이며, 내부 공간(28)의 내벽에서의 유체 저항에 의해 어느 정도의 폐색성(閉塞性)을 얻을 수 있다. 흡인 장치(50)의 흡인력이나, 설치 개소, 설치수 등을 연구함으로써, 기밀성이 높은 봉지 부재(sealing member)(2b)를 사용하지 않고, 관통공(30)에 적절한 부압을 발생시키는 것도 가능하다.
(3) 상기에 있어서는, 주행면(21)에 있어서 차륜(15)이 주행하는 주행 영역 R1이, 폭 방향 내측(W1)에 설치되고, 관통공(30)의 개구부(31)가 주행 영역 R1보다도 폭 방향 외측(W2)에 설치되어 있는 형태를 예시하였다. 그러나, 물품 반송차(3)의 구조 등에 따라 주행 영역 R1이, 폭 방향 외측(W2)에 설치되고, 관통공(30)의 개구부(31)가 주행 영역 R1보다도 폭 방향 내측(W1)에 설치되어 있는 형태를 방해하는 것은 아니다.
(4) 상기에 있어서는, 흡인 장치(50)가, 주위벽(24)의 폭 방향 외측(W2)의 측벽면[외측면(23)]에 설치되어 있는 형태를 예시하였다. 그러나, 물품 반송차(3)의 형태에 따라 주행 레일(2)의 폭 방향 내측(W1)에 흡인 장치(50)의 설치 스페이스를 가지는 경우에는, 흡인 장치(50)를 폭 방향 내측(W1)[예를 들면, 내측면(27)]에 설치해도 된다. 또한, 주행 레일(2)의 아래쪽에 설치 스페이스를 가지는 경우에는, 흡인 장치(50)를 아래쪽[예를 들면, 하면(25)]에 설치해도 된다.
(5) 상기에 있어서는, 주행면(21)에서의 관통공(30)의 개구부(31)의 직경 φ1이, 차륜(15)이 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭 H1보다도 짧은 형태를 예시하였다. 그러나, 차륜(15)이 주행하는 주행 영역 R1과는 중복되지 않도록, 개구부(31)를 형성할 수 있으면, 직경 φ1이 차륜 폭 H1 이상이라도 된다.
[실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 간단하게 설명한다.
물품 반송차의 주행 경로를 따라 주행 레일이 배치되고, 상기 물품 반송차의 차륜이 상기 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 전동하여 상기 물품 반송차가 주행하는 물품 반송 설비는, 일 태양으로서,
상기 주행 레일이, 상기 주행면이 형성되는 면을 포함하는 주위벽과, 상기 주위벽에 에워싸인 내측에 형성되어 상기 주행 경로를 따라 연장되는 내부 공간을 가지고,
상기 주행면이, 상기 주위벽을 관통하여 상기 내부 공간과 외부 공간을 연통시키는 관통공을 가지고,
또한, 상기 내부 공간과 연통되어, 상기 내부 공간의 공기를 흡인하는 흡인 장치를 구비하고,
상기 내부 공간이, 상기 흡인 장치의 접속부와 상기 관통공을 제외하고 폐색되어 있다.
이 구성에 의하면, 개방된 공간에 존재하는 주행 레일의 상면(주행면)으로의 차륜의 접촉에 의해 생긴 먼지가, 개방된 공간으로 비산되지 않는다. 즉, 주행면에는 중공 구조의 주행 레일의 내부 공간과 연통되는 관통공이 개구되어 있고, 관통공에는, 내부 공간의 공기가 흡인 장치에 흡인되는 것에 의해 부압이 걸려 있다. 따라서, 주행면에 있어서 생긴 먼지는, 관통공을 통하여 내부 공간으로 흡입되고, 외부 공간으로 비산되지 않는다. 또한, 내부 공간은, 흡인 장치와의 접속부와 관통공을 제외하고 폐색되어 있으므로, 관통공에 충분한 부압이 생기게 할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 물품 반송차의 차륜이 전동하여 주행하는 경우에, 주행에 의해 생기는 먼지를 적절히 제거하는 것이 가능해진다.
여기서, 상기 흡인 장치가, 상기 주위벽 중, 상기 주행면이 형성되지 않은 벽면에 설치되고, 상기 벽면이, 상기 흡인 장치와 상기 내부 공간을 연통시키는 흡인공을 가지면 바람직하다.
주행면에는 관통공이 개구되어 있고, 주행면 이외의 면에 흡인공을 형성함으로써, 내부 공간을 통하여 관통공에 부압이 생기게 하는 경우의 공기의 흐름을 원활하게 할 수 있다. 또한, 주행면은 차륜이 전동하므로, 주행면에 흡인공을 형성하기 위해서는 주행 레일의 폭을 넓게 하거나, 주행 범위 밖의 장소에 흡인공을 형성하거나 할 필요가 생기는 경우가 있다. 그러나, 주행면이 형성되지 않은 벽면에 흡인공을 형성함으로써 그와 같은 제약을 받지 않는다.
여기서, 상기 주행 레일이, 상기 주행 경로를 따른 방향에 있어서 복수의 레일 부재가 결합되어 형성되고, 상기 주행 경로를 따라 인접하는 2개의 상기 레일 부재가 결합되는 결합부에는, 상기 내부 공간과 상기 외부 공간과의 연통을 봉지하는 봉지 부재를 구비하는 것이 바람직하다.
대부분의 경우, 주행 레일은, 복수의 레일 부재를 연결하여 구성된다. 레일 부재가 결합되는 결합부에서 공기가 누출되면 관통공에 걸리는 부압이 약해지기 때문에, 먼지를 흡인하는 힘이 약해진다. 흡인력을 확보하기 위해 흡인 장치의 흡인력을 강하게 하면 흡인 장치의 비용이 높아지거나, 소비 전력이 커지거나, 흡인 장치의 체격이 대형화되거나 하는 경우가 있다. 따라서, 내부 공간의 폐색성을 유지하기 위해, 결합부에 봉지 부재를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 주행면에서의 상기 관통공의 개구부의 직경은, 상기 차륜이 상기 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭보다 짧은 것이 바람직하다.
관통공의 직경이 클수록 먼지는 내부 공간에 들어가기 용이해진다. 그러나, 관통공은 주행면으로 개구되므로, 개구부의 직경이 크면 차륜이 관통공에 떨어져 들어가, 소음이나 물품 반송차의 진동이 증가하여 버린다. 또한, 개구부의 에지와 차륜과의 접촉에 의해 에지가 결함이나 마모가 생기기 쉬워, 먼지를 많이 발생시켜 버릴 염려도 있다. 따라서, 관통공의 개구부의 직경은 차륜 폭보다 짧은 것이 바람직하다.
또한, 일 태양으로서, 물품 반송 설비는, 2개의 상기 주행 레일이 평행하게 배치된 주행 레일 쌍을 포함하고, 상기 주행 경로에 직교하는 방향을 폭 방향, 상기 폭 방향에 있어서 상기 주행 레일이 대향하는 각각의 측을 폭 방향 내측, 상기 폭 방향에 있어서 상기 폭 방향 내측과는 반대측의 방향을 각각 폭 방향 외측으로 하여, 상기 차륜이 주행하는 주행 영역이, 상기 주행면에 있어서 상기 폭 방향 내측에 설치되고, 상기 관통공의 개구부가, 상기 주행면에 있어서 상기 주행 영역보다 상기 폭 방향 외측에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
관통공의 개구부 상을 차륜이 전동하면, 소음이나 물품 반송차의 진동이 증가할 우려가 있다. 또한, 개구부의 에지와 차륜과의 접촉에 의해 에지가 결함이나 마모가 생기기 쉬워, 먼지를 많이 발생시켜 버릴 염려도 있다. 따라서, 바람직하게는 주행면에 있어서 차륜이 주행하는 경로(주행 영역)와, 관통공이 개구되는 영역이 나누어져 있게 된다. 이들 영역은 완전히 나뉘어져 있을 필요는 없지만, 중복되는 영역이 작아지도록, 어느 하나의 방향으로 치우쳐 각각의 영역이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 본 구성과 같이, 주행 영역이, 폭 방향 내측에 설치되고, 관통공의 개구부가, 주행 영역보다 폭 방향 외측에 형성되어 있으면 양 영역이 중복되지 않아, 바람직하다.
상기 흡인 장치는, 흡인용의 팬과 먼지를 포획하는 필터가 일체화된 팬 필터 유닛이며, 상기 팬 필터 유닛은, 상기 주위벽의 상기 폭 방향 외측의 측벽면에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
흡인 장치를 팬 필터 유닛으로 함으로써, 관통공에 부압이 생기게 하는 동시에, 흡인한 먼지를 필터로 포획할 수가 있어 먼지를 적절히 제거할 수 있다. 또한, 팬과 필터가 일체로 되어 있으므로, 물품 반송 설비에 대한 흡인 장치의 설치나 유지보수 시의 교환 등도 용이하다.
1: 주행 경로
2: 주행 레일
2P: 주행 레일 쌍
2a: 레일 부재
2b: 봉지 부재
3: 물품 반송차
15: 차륜
20: 결합부
21: 주행면
23: 외측면(폭 방향 외측의 측벽면)
24: 주위벽
28: 내부 공간
29: 흡인공(접속부)
30: 관통공
31: 개구부
50: 흡인 장치, 팬 필터 유닛
51: 팬
53: 필터
100: 물품 반송 설비
H1: 차륜 폭
R1: 주행 영역
W: 폭 방향
W1: 폭 방향 내측
W2: 폭 방향 외측
φ1: 직경

Claims (10)

  1. 물품 반송차(article transport vehicle)의 주행 경로를 따라 주행 레일이 배치되고, 상기 물품 반송차의 차륜이 상기 주행 레일의 상면에 설치된 주행면을 전동(轉動)하여 상기 물품 반송차가 주행하는 물품 반송 설비로서,
    상기 주행 레일은, 상기 주행면이 형성되는 면을 포함하는 주위벽과, 상기 주위벽에 에워싸인 내측에 형성되어 상기 주행 경로를 따라 연장되는 내부 공간을 구비한 중공(中空) 구조이며,
    상기 주행면은, 상기 주위벽을 관통하여 상기 주행면에 개구부가 형성되고, 상기 내부 공간과 외부 공간을 연통시키는 복수의 관통공을 구비하고,
    상기 물품 반송 설비는, 상기 내부 공간과 연통되어, 상기 내부 공간의 공기를 흡인하는 흡인 장치를 포함하고,
    상기 내부 공간은, 상기 흡인 장치의 접속부와 상기 관통공을 제외하고 폐색(閉塞)되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡인 장치는, 상기 주위벽 중, 상기 주행면이 형성되지 않은 벽면에 설치되고, 상기 벽면은, 상기 흡인 장치와 상기 내부 공간을 연통시키는 흡인공을 구비하는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 상기 주행 경로를 따른 방향에 있어서 복수의 레일 부재가 결합되어 형성되고, 상기 주행 경로를 따라 인접하는 2개의 상기 레일 부재가 결합되는 결합부에는, 상기 내부 공간과 상기 외부 공간과의 연통을 봉지하는 봉지 부재(sealing member)를 구비하는, 물품 반송 설비.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 상기 주행 경로를 따른 방향에 있어서 복수의 레일 부재가 결합되어 형성되고, 상기 주행 경로를 따라 인접하는 2개의 상기 레일 부재가 결합되는 결합부에는, 상기 내부 공간과 상기 외부 공간과의 연통을 봉지하는 봉지 부재를 구비하는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 주행면에서의 상기 개구부의 직경은, 상기 차륜이 상기 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭보다 짧은, 물품 반송 설비.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 주행면에서의 상기 개구부의 직경은, 상기 차륜이 상기 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭보다 짧은, 물품 반송 설비.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 주행면에서의 상기 개구부의 직경은, 상기 차륜이 상기 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭보다 짧은, 물품 반송 설비.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 주행면에서의 상기 개구부의 직경은, 상기 차륜이 상기 주행면과 접하는 접촉면의 회전축 방향의 길이인 차륜 폭보다 짧은, 물품 반송 설비.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개의 상기 주행 레일이 평행하게 배치된 주행 레일 쌍을 더 포함하고,
    상기 주행 경로에 직교하는 방향을 폭 방향, 상기 폭 방향에 있어서 상기 주행 레일이 대향하는 각각의 측을 폭 방향 내측, 상기 폭 방향에 있어서 상기 폭 방향 내측과는 반대측의 방향을 각각 폭 방향 외측으로 하여,
    상기 차륜이 주행하는 주행 영역은, 상기 주행면에 있어서 상기 폭 방향 내측에 설치되고, 상기 개구부는, 상기 주행면에 있어서 상기 주행 영역보다 상기 폭 방향 외측에 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 흡인 장치는, 흡인용의 팬(fan)과, 먼지를 포획하는 필터가 일체화된 팬 필터 유닛이며, 상기 팬 필터 유닛은, 상기 주위벽의 상기 폭 방향 외측의 측벽면에 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
KR1020170129755A 2016-10-12 2017-10-11 물품 반송 설비 KR102418305B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016201210A JP6686834B2 (ja) 2016-10-12 2016-10-12 物品搬送設備
JPJP-P-2016-201210 2016-10-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180040490A KR20180040490A (ko) 2018-04-20
KR102418305B1 true KR102418305B1 (ko) 2022-07-06

Family

ID=61830587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170129755A KR102418305B1 (ko) 2016-10-12 2017-10-11 물품 반송 설비

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10640132B2 (ko)
JP (1) JP6686834B2 (ko)
KR (1) KR102418305B1 (ko)
CN (1) CN107934416B (ko)
TW (1) TWI736674B (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015111124A1 (de) * 2015-05-08 2016-11-10 AFT Automatisierungs- und Fördertechnik GmbH & Co. KG Mechanisch-elektrischer Antrieb
KR102406665B1 (ko) * 2015-11-11 2022-06-08 삼성전자주식회사 기판 이송 장치
JP6677187B2 (ja) * 2017-01-31 2020-04-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
IT201800005990A1 (it) * 2018-06-04 2019-12-04 Dispositivo di trasporto per il trasporto di carichi sospesi su rotaie sopraelevate rispetto al suolo
CN113165671B (zh) * 2018-11-28 2024-02-02 村田机械株式会社 行驶车系统
KR102238974B1 (ko) * 2019-04-08 2021-04-13 현대중공업지주 주식회사 석션부를 구비한 기판 이송장치
KR102280034B1 (ko) * 2019-07-22 2021-07-21 세메스 주식회사 반송 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치
KR102344111B1 (ko) * 2020-01-02 2021-12-29 세메스 주식회사 천장 이송 장치
JP7491093B2 (ja) * 2020-07-02 2024-05-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び輪重測定装置
CN212798644U (zh) * 2020-07-31 2021-03-26 苏州康贝尔电子设备有限公司 一种无尘输送装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008308267A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Hitachi Plant Technologies Ltd 気流制御方法および保管倉庫設備

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0541553Y2 (ko) * 1986-11-04 1993-10-20
JPH07107914B2 (ja) 1987-06-04 1995-11-15 三菱電機株式会社 クリ−ンル−ム内搬送装置
WO2000041923A1 (en) * 1999-01-14 2000-07-20 Three One Systems, Llc Load bearing material handling system having pneumatic and electrical delivery capabilities
JP2001128303A (ja) 1999-10-28 2001-05-11 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
TWM329039U (en) * 2007-09-26 2008-03-21 Tera Autotech Corp Assembled track structure for clean room delivery cart
JP5585236B2 (ja) * 2010-06-23 2014-09-10 村田機械株式会社 有軌道台車システム
JP5495070B2 (ja) * 2011-06-10 2014-05-21 株式会社ダイフク 天井搬送設備の清掃装置
KR102279408B1 (ko) * 2015-04-06 2021-07-20 현대중공업지주 주식회사 멀티 암 반송 로봇

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008308267A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Hitachi Plant Technologies Ltd 気流制御方法および保管倉庫設備

Also Published As

Publication number Publication date
CN107934416B (zh) 2021-04-20
JP6686834B2 (ja) 2020-04-22
KR20180040490A (ko) 2018-04-20
TW201816923A (zh) 2018-05-01
JP2018064024A (ja) 2018-04-19
CN107934416A (zh) 2018-04-20
US10640132B2 (en) 2020-05-05
TWI736674B (zh) 2021-08-21
US20180099680A1 (en) 2018-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102418305B1 (ko) 물품 반송 설비
KR101901029B1 (ko) Oht 장치
KR101912213B1 (ko) 천정 반송 설비의 청소 장치와 그 작동 방법
KR100654838B1 (ko) 이송장치
TWI728223B (zh) 物品搬送設備
KR101521498B1 (ko) 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템
KR102462886B1 (ko) 물품 반송차
KR20110139642A (ko) 궤도식 대차 시스템
KR101833310B1 (ko) 곡선 주행 시스템
KR101407417B1 (ko) 반송 시스템
JP2018149967A (ja) 物品搬送設備
JP2009206245A (ja) 走行輪発塵防止装置及び走行輪発塵防止方法
JP2008114969A (ja) スタッカクレーンのマスト内浄化装置
JP3219047B2 (ja) 有軌道台車システム
JP2000271552A (ja) 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置
KR102596509B1 (ko) 물류 반송 장치
KR101114014B1 (ko) 분진 유출 차단 기능이 구비된 ｌｃｄ 반송 로봇 승강 조립체
KR102300633B1 (ko) 레일 청소 장치
JP2006052063A (ja) 搬送台車システム
JP4067703B2 (ja) 搬送台車
KR20230129776A (ko) 반도체 장치용 운반 장치 및 반도체 장치용 운반 장치의 설계 방법
JP6683140B2 (ja) 搬送設備
TW202405993A (zh) 高架搬送車
JP2001110869A (ja) 集塵機構を備えた軌道走行台車
JP2001031211A (ja) 搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant