JP2012009520A - 有軌道台車システム - Google Patents
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Abstract
【課題】有軌道台車システムにおいて、ダウンフローを吹き出すクリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止する
【解決手段】有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井の吹き出し口７から吹き出すクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道２は、クリーンルーム内で天井１３から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入したダウンフローＤＦを排出する。
【選択図】図２
【解決手段】有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井の吹き出し口７から吹き出すクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道２は、クリーンルーム内で天井１３から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入したダウンフローＤＦを排出する。
【選択図】図２
Description
本発明は、台車システム、特に、ダウンフローが天井から吹き出すクリーンルーム内に配置される有軌道台車システムに関する。
ダウンフローが天井から吹き出すクリーンルーム内でガラス基板等の物品を搬送する搬送台車が軌道を走行する有軌道台車システムが従来知られている（たとえば、特許文献１参照）。クリーンルーム内では、天井から吹き出すダウンフローにより物品の汚染を防止している。従来のクリーンルーム内に配置された有軌道台車システムでは、軌道の周囲をカバーで囲み、そこに、ファンフィルタユニットを設け、軌道で発生するおそれがある塵埃を除去している。
前記従来の構成では、軌道で発生する塵埃を除去することはできる。最近、液晶ガラス基板等の大型の基板では、カセット内に基板等の物品を密封して搬送するのではなく、開放されたカセットで基板を搬送している。このように、開放されたカセットで物品を搬送する場合、軌道の周囲の塵埃を除去するだけでは、周囲の環境によっては、搬送中に物品が汚染されるおそれがある。
本発明の課題は、有軌道台車システムにおいて、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止することにある。
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明に係る有軌道台車システムは、清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システムは、軌道と、搬送台車と、底カバーと、側方カバーと、排出口と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車は、軌道に沿って走行して物品を搬送可能である。底カバーは、軌道の底部を覆う。側方カバーは、軌道および搬送台車の側方を覆う。底カバーと側方カバーと天井とで囲まれた空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。排出口は、底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口から導入されたダウンフローを排出する。
この有軌道台車システムでは、搬送台車は、天井と底カバーと側方カバーとで囲まれた空間を走行して物品を搬送する。この空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。吹き出したダウンフローは、排出口から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車に対して天井からダウンフローがあたるため、搬送台車上に露出して物品を配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止できる。
本発明に係る有軌道台車システムは、清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システムは、軌道と、搬送台車と、底カバーと、側方カバーと、排出口と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車は、軌道に沿って走行して物品を搬送可能である。底カバーは、軌道の底部を覆う。側方カバーは、軌道および搬送台車の側方を覆う。底カバーと側方カバーと天井とで囲まれた空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。排出口は、底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口から導入されたダウンフローを排出する。
この有軌道台車システムでは、搬送台車は、天井と底カバーと側方カバーとで囲まれた空間を走行して物品を搬送する。この空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。吹き出したダウンフローは、排出口から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車に対して天井からダウンフローがあたるため、搬送台車上に露出して物品を配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止できる。
側方カバーの内側で軌道の周囲を覆う内側カバーと、内側カバー内の空気を吸引するファンフィルタユニットと、をさらに備えてもよい。これにより、最も発塵するおそれがある車輪と軌道との接触部分を内側カバーで覆い、覆われた空間の空気をファンフィルタユニットで吸引して発生した塵埃を除去できる。このため、車輪と軌道との間で発生した塵埃が物品側に吹き出しにくくなり、さらに物品の汚染を防止できる。
内側カバーは、軌道の両側方に一対配置された第１カバーおよび第２カバーを有し、搬送台車は、第１カバーと第２カバーとの間隔より大きい幅を有する隔壁部を有してもよい。これにより、隔壁部と内側カバーとにより限定された空間が形成され、ファンフィルタユニットによる吸引を助けて、塵埃の流出を減少させることができる。
内側カバーは、軌道の両側方に一対配置された第１カバーおよび第２カバーを有し、搬送台車は、第１カバーと第２カバーとの間隔より大きい幅を有する隔壁部を有してもよい。これにより、隔壁部と内側カバーとにより限定された空間が形成され、ファンフィルタユニットによる吸引を助けて、塵埃の流出を減少させることができる。
排出口は、側方カバーの下部に設けられていてもよい。これにより、空間内からの物の落下を防止しやすくなる。
本発明によれば、塵埃発生原因となる走行する搬送台車に対して天井からダウンフローがあたるため、台車上に露出して物品を配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止できる。
（１）有軌道台車システム
＜第１実施形態＞
図１および図２に示すように、本発明の第１実施形態に係る有軌道台車システム１は、例えば、カセットＣ（図２）に露出して収納された大型のガラス基板等の物品Ｓを搬送するシステムである。有軌道台車システム１は、ダウンフローを吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置される。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。また、有軌道台車システム１は、図２に示すように、内側カバー９と、内側カバー９内に設けられたファンフィルタユニット１０と、をさらに備えている。
＜第１実施形態＞
図１および図２に示すように、本発明の第１実施形態に係る有軌道台車システム１は、例えば、カセットＣ（図２）に露出して収納された大型のガラス基板等の物品Ｓを搬送するシステムである。有軌道台車システム１は、ダウンフローを吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置される。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。また、有軌道台車システム１は、図２に示すように、内側カバー９と、内側カバー９内に設けられたファンフィルタユニット１０と、をさらに備えている。
軌道２は、天井１３から吊り下げられている。具体的には、軌道２を吊るために天井１３から延びる吊り部材３０により吊り下げられた軌道支持フレーム３１上に軌道２が配置されている。軌道２は、走行空間１４に配置されている。軌道２は、例えば長円形のループ形状である。搬送台車４は、軌道２上を、例えば白抜き矢印で示す時計回りに走行して物品Ｓを軌道２に沿って配置された図示しない処理装置に搬送する。
クリーンルームの天井１３には、ダウンフローＤＦを吹き出す吹き出し口７が設けられている。したがって、搬送台車４が走行する走行空間１４には、天井１３からのダウンフローＤＦが導入される。吹き出し口７には、図２に示すように、ダウンフロー用ファンフィルタユニット３２が設けられている。ダウンフロー用ファンフィルタユニット３２は、天井１３内の清浄な空気を走行空間１４に吹き出すとともに、空気内の塵埃を除去する。
軌道２は、図１および図３に示すように、走行レール１１と走行ガイド１２とを有している。走行レール１１は、左右一対の第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂから構成されている。第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂは、平坦な走行面を有している。
走行ガイド１２は、第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂを有している。第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂの外側端にそれぞれ設けられている。第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂは外側端から上方に延びている。
軌道２の一方の側には、非接触給電線１７が配置されている。この実施形態では、軌道２の左側に配置されている。非接触給電線１７は、図３に示すように、上下に間隔を隔てて配置された２本のリッツ線１７ａ，１７ｂを有している。
（２）搬送台車
搬送台車４は、図３および図４に示すように、軌道２に沿って走行してカセットＣを搬送可能である。カセットＣを載置可能な載置部１５と、軌道２を走行可能な走行部１６とを有している。載置部１５は矩形枠形状の部材である。載置部１５の下面には、走行部１６を取り付けるための第１取付部１５ａおよび第２取付部１５ｂが設けられている。第１取付部１５ａは走行方向の前側に配置されている。第２取付部１５ｂは、走行方向の後側に配置されている。載置部１５の上面には、走行部１６からの空気の流れを遮断するために矩形の全面に隔壁部１５ｃが形成されている。
搬送台車４は、図３および図４に示すように、軌道２に沿って走行してカセットＣを搬送可能である。カセットＣを載置可能な載置部１５と、軌道２を走行可能な走行部１６とを有している。載置部１５は矩形枠形状の部材である。載置部１５の下面には、走行部１６を取り付けるための第１取付部１５ａおよび第２取付部１５ｂが設けられている。第１取付部１５ａは走行方向の前側に配置されている。第２取付部１５ｂは、走行方向の後側に配置されている。載置部１５の上面には、走行部１６からの空気の流れを遮断するために矩形の全面に隔壁部１５ｃが形成されている。
走行部１６は、第１取付部１５ａに回動自在に取り付けられた駆動走行部１６ａと、第２取付部１５ｂに回動自在に取り付けられた従動走行部１６ｂとを有している。駆動走行部１６ａおよび従動走行部１６ｂは、ボギー台車である。駆動走行部１６ａは、駆動フレーム２０ａと、左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂと、を有している。また、従動走行部１６ｂは、従動フレーム２０ｂと、左従動輪２１ｃと、右従動輪２１ｄと、を有している。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂと、左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄの進行方向両側には、左固定ガイドローラ２２ａおよび右固定ガイドローラ２２ｂと、左分岐ガイドローラ２３ａおよび右分岐ガイドローラ２３ｂと、が各別に設けられている。左固定ガイドローラ２２ａおよび左分岐ガイドローラ２３ａは、第１走行ガイド１２ａに案内される。右固定ガイドローラ２２ｂおよび右分岐ガイドローラ２３ｂは、第２走行ガイド１２ｂに案内される。
駆動フレーム２０ａは、第１取付部１５ａに垂直軸回りに回動自在に連結されている。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、駆動フレーム２０ａに左右方向の軸回りに回転自在に支持されている。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂ上を各別に走行する。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、駆動フレーム２０ａに設けられた左駆動モータ２４ａおよび右駆動モータ２４ｂにより各別に駆動される。
従動フレーム２０ｂは、第２取付部１５ｂに垂直軸回りに回動自在に連結されている。左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄは、従動フレーム２０ｂに左右方向の軸回りに回転自在に支持されている。左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂ上を各別に走行する。
駆動フレーム２０ａおよび従動フレーム２０ｂの外側面には、非接触給電線１７からの電力を受ける左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂが取り付けられている。左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂは、左駆動輪２１ａと右駆動輪２１ｂおよび左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄを各別に囲むように取り付けられた左取付ブラケット２９ａおよび右取付ブラケット２９ｂを介して駆動フレーム２０ａおよび従動フレーム２０ｂの外側面に取り付けられている。
（３）底カバー
底カバー５は、軌道２の底部を覆うように水平方向に沿って配置されている。底カバー５は、たとえば、ステンレス鋼板製であり、天井１３から軌道２を吊るために延びる吊り部材３０により吊り下げられた軌道支持フレーム３１上に形成されている。
底カバー５は、軌道２の底部を覆うように水平方向に沿って配置されている。底カバー５は、たとえば、ステンレス鋼板製であり、天井１３から軌道２を吊るために延びる吊り部材３０により吊り下げられた軌道支持フレーム３１上に形成されている。
（４）側方カバー
側方カバー６は、搬送台車４および軌道２の側方を覆うように垂直に立って配置されている。側方カバー６は、たとえば、クリーンルーム用の壁パネルを用いており、吊り部材３０の外側で軌道２の両側方を覆うように左右一対配置されている。側方カバー６は、天井１３まで延びている。走行空間１４は、側方カバー６と、天井１３と、底カバー５とで、搬送台車４および軌道２を囲むように形成されている。
側方カバー６は、搬送台車４および軌道２の側方を覆うように垂直に立って配置されている。側方カバー６は、たとえば、クリーンルーム用の壁パネルを用いており、吊り部材３０の外側で軌道２の両側方を覆うように左右一対配置されている。側方カバー６は、天井１３まで延びている。走行空間１４は、側方カバー６と、天井１３と、底カバー５とで、搬送台車４および軌道２を囲むように形成されている。
（５）排出口
排出口８は、側方カバー６に設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを走行空間１４から排出するものである。排出口８は、底カバー５より上方に配置されている。排出口８は、図１に示すように、走行方向に間隔を隔てて配置されており、たとえば導側方カバー６の壁パネル１枚ごとに配置されている。図２および図５に示すように、排出口８には、ガラリ８ａが設置されている。ガラリ８ａは、走行空間１４から外部に向かって斜め上方に傾斜して形成されている。これにより、走行空間１４から外部に小さい物体が落下しにくくなる。
排出口８は、側方カバー６に設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを走行空間１４から排出するものである。排出口８は、底カバー５より上方に配置されている。排出口８は、図１に示すように、走行方向に間隔を隔てて配置されており、たとえば導側方カバー６の壁パネル１枚ごとに配置されている。図２および図５に示すように、排出口８には、ガラリ８ａが設置されている。ガラリ８ａは、走行空間１４から外部に向かって斜め上方に傾斜して形成されている。これにより、走行空間１４から外部に小さい物体が落下しにくくなる。
たとえば、メンテナンスのために走行空間１４に人が立ち入って工具等を落としても工具が外部に落下しにくい。また、物品Ｓが搬送中に割れてもその破片が外部に落下しにくい。
（６）内側カバー
内側カバー９は、図４に示すように、側方カバー６の内側で軌道２の周囲を覆うように配置されている。内側カバー９は、軌道２の両側方に配置された折れ曲がった倒立Ｌ字状の断面を有する左カバー９ａおよび右カバー９ｂを有している。第１実施形態では、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端は、搬送台車４の左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂの上方まで内側にそれぞれ延びている。また、搬送台車４の載置部１５の上面の全面には、前述したように隔壁部１５ｃが設けられている。隔壁部１５ｃの幅Ｗは、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端の間隔Ｄより大きい。このため、隔壁部１５ｃと内側カバー９とで上下方向において重なり合う部分が形成される。これにより、隔壁部１５ｃと、内側カバー９により限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット１０による吸引を助けて、塵埃の内側カバー９外への流出を減少させることができる。このため、左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、右従動輪２１ｄと走行レール１１との接触により内側カバー９内で生じるおそれがある塵埃が載置部１５上に載置されたカセットＣ内の物品Ｓに流れにくくなる。
内側カバー９は、図４に示すように、側方カバー６の内側で軌道２の周囲を覆うように配置されている。内側カバー９は、軌道２の両側方に配置された折れ曲がった倒立Ｌ字状の断面を有する左カバー９ａおよび右カバー９ｂを有している。第１実施形態では、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端は、搬送台車４の左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂの上方まで内側にそれぞれ延びている。また、搬送台車４の載置部１５の上面の全面には、前述したように隔壁部１５ｃが設けられている。隔壁部１５ｃの幅Ｗは、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端の間隔Ｄより大きい。このため、隔壁部１５ｃと内側カバー９とで上下方向において重なり合う部分が形成される。これにより、隔壁部１５ｃと、内側カバー９により限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット１０による吸引を助けて、塵埃の内側カバー９外への流出を減少させることができる。このため、左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、右従動輪２１ｄと走行レール１１との接触により内側カバー９内で生じるおそれがある塵埃が載置部１５上に載置されたカセットＣ内の物品Ｓに流れにくくなる。
（７）ファンフィルタユニット
ファンフィルタユニット１０は、内側カバー９内の空気を吸引し、塵埃を除去して清浄な空気を外部に排出する。したがって、ファンフィルタユニット１０は、前述したように内側カバー９内で発生するおそれがある塵埃を除去できる。
ファンフィルタユニット１０は、内側カバー９内の空気を吸引し、塵埃を除去して清浄な空気を外部に排出する。したがって、ファンフィルタユニット１０は、前述したように内側カバー９内で発生するおそれがある塵埃を除去できる。
（８）有軌道台車システムの動作
このような構成の第１実施形態に係る有軌道台車システム１では、搬送台車４が軌道２上を走行するとき、吹き出し口７からダウンフローＤＦが搬送台車４上に吹き付けられ、それが排出口８から排出される。これにより、物品Ｓに塵埃が付着しにくくなる。しかも、軌道２の囲むように内側カバー９を設けたため、内側カバー９内の空気が載置部１５側に空気が流れにくくなる。さらに、内側カバー９内にファンフィルタユニット１０を設けたので、搬送台車４の下部で車輪と軌道２との接触により生じるおそれがある塵埃が除去され、さらに物品Ｓが汚染されにくくなる。
このような構成の第１実施形態に係る有軌道台車システム１では、搬送台車４が軌道２上を走行するとき、吹き出し口７からダウンフローＤＦが搬送台車４上に吹き付けられ、それが排出口８から排出される。これにより、物品Ｓに塵埃が付着しにくくなる。しかも、軌道２の囲むように内側カバー９を設けたため、内側カバー９内の空気が載置部１５側に空気が流れにくくなる。さらに、内側カバー９内にファンフィルタユニット１０を設けたので、搬送台車４の下部で車輪と軌道２との接触により生じるおそれがある塵埃が除去され、さらに物品Ｓが汚染されにくくなる。
（９）
＜第２実施形態＞
第２実施形態では、図６および図７に示すように、吹き出し口１０７、搬送台車１０４の隔壁部１１５ｃ、内側カバー１０９、および排出口１０８の構成が第１実施形態と異なる。
＜第２実施形態＞
第２実施形態では、図６および図７に示すように、吹き出し口１０７、搬送台車１０４の隔壁部１１５ｃ、内側カバー１０９、および排出口１０８の構成が第１実施形態と異なる。
吹き出し口１０７は、第１実施形態より小さく、かつ数が多い。また、吹き出し口１０７にダウンフロー用ファンフィルタユニットは設けられていない。
搬送台車４の隔壁部１１５ｃは、載置部１１５の上面の全面ではなく部分的に配置されている。具体的に、図７に示すように、載置部１１５の上面のうち左右方向の中心部にだけ形成されている。
搬送台車４の隔壁部１１５ｃは、載置部１１５の上面の全面ではなく部分的に配置されている。具体的に、図７に示すように、載置部１１５の上面のうち左右方向の中心部にだけ形成されている。
内側カバー１０９の左カバー１０９ａおよび右カバー１０９ｂの折れ曲がった先端は、図７に示すように、駆動走行部１６ａの駆動フレーム２０ａおよび従動走行部１６ｂの従動フレーム２０ｂの両側部まで延びている。したがって、第１実施形態より折れ曲がり部分の長さが長い。
一方、搬送台車４の隔壁部１１５ｃは、載置部１１５の上面の全面ではなく部分的に配置されている。具体的に、図７に示すように、内側カバー１０９で覆われた部分を除く、載置部１５の上面のうち左右方向の中心部にだけ形成されている。第２実施形態においても、載置部１１５ｃの幅Ｗは、左カバー１０９ａおよび右カバー１０９ｂの折れ曲がった先端の間隔Ｄより大きい。これにより、第１実施形態と同様な作用効果を奏する。
また、排出口１０８は、側方カバー１０６ではなく、底カバー１０５の内側カバー１０９の外側に、たとえば、グレーチングまたはパンチングメタルの形態で設けられている。排出口１０８は、第１実施形態のように、走行方向に間隔を隔てて設けられてはおらず、走行方向の全長にわたって設けられている。
その他の構成は、第１実施形態と同様なため、説明を省略する。
このような構成の第２実施形態では、搬送台車１０４の軽量化を図ることができる。しかし、内側カバー１０９は、第１実施形態の内側カバー９より折れ曲がり部分の長さが長くなる分重量が増加する。
その他の構成は、第１実施形態と同様なため、説明を省略する。
このような構成の第２実施形態では、搬送台車１０４の軽量化を図ることができる。しかし、内側カバー１０９は、第１実施形態の内側カバー９より折れ曲がり部分の長さが長くなる分重量が増加する。
（１０）気流解析
第１実施形態による搬送台車４および内側カバー９と第２実施形態による搬送台車１０４および内側カバー１０９とで気流がどのように動くかをシミュレーションした。
第１実施形態および第２実施形態とも、搬送台車の起動直後は、その後方の３５０ｍｍ程度の範囲で気流が内側カバー９，１０９内から吹き出す。しかし、０．８秒後には吹き出した気流は、下向きの流れになり、内側カバー９，１０９内に戻り、気流が搬送台車４，１０４の載置部１５ｃ，１１５ｃまでは上昇しないことを確認した。
第１実施形態による搬送台車４および内側カバー９と第２実施形態による搬送台車１０４および内側カバー１０９とで気流がどのように動くかをシミュレーションした。
第１実施形態および第２実施形態とも、搬送台車の起動直後は、その後方の３５０ｍｍ程度の範囲で気流が内側カバー９，１０９内から吹き出す。しかし、０．８秒後には吹き出した気流は、下向きの流れになり、内側カバー９，１０９内に戻り、気流が搬送台車４，１０４の載置部１５ｃ，１１５ｃまでは上昇しないことを確認した。
（１１）特徴
（Ａ）有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井１３から吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。底カバー５と側方カバー６と天井１３とで囲まれた走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを排出する。
この有軌道台車システム１では、搬送台車４は、天井１３と底カバー５と側方カバー６とで囲まれた走行空間１４を走行して物品Ｓを搬送する。この走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。導入されたダウンフローＤＦは、排出口８から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車４に対して天井１３からダウンフローＤＦがあたるため、搬送台車４上に露出して物品Ｓを配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品ＳおよびカセットＣの汚染を可及的に防止できる。
（Ａ）有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井１３から吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。底カバー５と側方カバー６と天井１３とで囲まれた走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを排出する。
この有軌道台車システム１では、搬送台車４は、天井１３と底カバー５と側方カバー６とで囲まれた走行空間１４を走行して物品Ｓを搬送する。この走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。導入されたダウンフローＤＦは、排出口８から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車４に対して天井１３からダウンフローＤＦがあたるため、搬送台車４上に露出して物品Ｓを配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品ＳおよびカセットＣの汚染を可及的に防止できる。
（Ｂ）側方カバー６の内側で軌道の周囲を覆う内側カバー９と、内側カバー９内の空気を吸引するファンフィルタユニット１０と、をさらに備えている。これにより、最も発塵するおそれがある左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、および右従動輪２１ｄと軌道２との接触部分を内側カバー９で覆い、覆われた空間の空気をファンフィルタユニット１０で吸引して発生した塵埃を除去できる。このため、左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、および右従動輪２１ｄと軌道２との間で発生した塵埃が物品Ｓ側に吹き出しにくくなり、さらに物品Ｓの汚染を防止できる。
（Ｃ）内側カバー９（または１０９）は、軌道２の両側方に一対配置された第１カバーとしての左カバー９ａおよび第２カバーとしての右カバー９ｂを有し、搬送台車４は、第１カバーと第２カバー９ｂとの間隔Ｄより大きい幅Ｗを有する隔壁部１５ｃを有する。これにより、隔壁部１５ｃと内側カバー９とにより限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット１０による吸引を助けて、塵埃の内側カバー９外への流出を減少させることができる。
（Ｄ）排出口８は、側方カバー６の下部に設けられている。これにより、走行空間１４内からの物の落下を防止しやすくなる。
（Ｄ）排出口８は、側方カバー６の下部に設けられている。これにより、走行空間１４内からの物の落下を防止しやすくなる。
（１２）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
（ａ）前記実施形態では、側方カバー６が軌道２の両側方に配置されていたが、側方カバーの配置は前記実施形態に限定されない。たとえば、移動が上記のようなループ軌道のような無端循環形状の場合、軌道の外側（たとえば図２の左側）だけに側方カバーを設けてもよい。この場合、軌道の内周側を含む長円形の空間が形成される。
（ｂ）前記実施形態では、カセットＣ内に物品Ｓが露出して収納されているが、露出されずに物品ＳがカセットＣに密閉して収納される形態であっても本発明を適用できる。この場合、カセットＣの汚染を防止できる。
（ｃ）前記実施形態では、吹き出し口７にダウンフロー用ファンフィルタユニット３２を配置した。しかし本発明はこれに限定されず、吹き出し口は、清浄なダウンフローＤＦを走行空間１４内に導入できればよく、ファンフィルタユニットを設けなくてもよい。
（ｄ）前記実施形態では、側方カバー６の底カバー５より上方に排出口８を設けたが、図８に示す実施形態では、排出口２０８を底カバー５との境界部分に設けている。図８では、側方カバー２０６は、台座２４０上に載せてかさ上げしており、かさ上げ部分の隙間が排出口２０８となっている。このように排出口２０８を側方カバー２０６の底カバー５との境界部分に配置してもよい。
（ｅ）前記実施形態では、排出口を側方カバーまたは底カバーに設けたが、両方に設けてもよい。
（ｆ）前記実施形態では、側方カバー６を天井１３まで延ばしたが、天井１３と隙間をあけてもよい。
本発明は、クリーンルーム内で軌道を走行する搬送台車により物品を搬送する有軌道搬送システムに適用可能である。
１ 有軌道台車システム
２ 軌道
４ 搬送台車
５ 底カバー
６ 側方カバー
７ 吹き出し口
８ 排出口
９ 内側カバー
１０ ファンフィルタユニット
１１ 走行レール
１１ａ 第１走行レール
１１ｂ 第２走行レール
１２ 走行ガイド
１２ａ 第１走行ガイド
１２ｂ 第２走行ガイド
１３ 天井
１４ 走行空間
１５ 載置部
１５ａ 第１取付部
１５ｂ 第２取付部
１５ｃ 隔壁部
１６ 走行部
１６ａ 駆動走行部
１６ｂ 従動走行部
１７ 非接触給電線
１７ａ リッツ線
１７ｂ リッツ線
２０ａ 駆動フレーム
２０ｂ 従動フレーム
２１ａ 左駆動輪
２１ｂ 右駆動輪
２１ｃ 左従動輪
２１ｄ 右従動輪
２２ａ 左固定ガイドローラ
２２ｂ 右固定ガイドローラ
２３ａ 左分岐ガイドローラ
２３ｂ 右分岐ガイドローラ
２４ａ 左駆動モータ
２４ｂ 右駆動モータ
２８ａ 左ピックアップユニット
２８ｂ 右ピックアップユニット
２９ａ 左取付ブラケット
２９ｂ 右取付ブラケット
３０ 吊り部材
３１ 軌道支持フレーム
３２ ダウンフロー用ファンフィルタユニット
１０４ 搬送台車
１０５ 底カバー
１０６ 側方カバー
１０８ 排出口
１０９ 内側カバー
１１５ 載置部
１１５ｃ 隔壁部
２０６ 側方カバー
２０８ 排出口
２４０ 台座
２ 軌道
４ 搬送台車
５ 底カバー
６ 側方カバー
７ 吹き出し口
８ 排出口
９ 内側カバー
１０ ファンフィルタユニット
１１ 走行レール
１１ａ 第１走行レール
１１ｂ 第２走行レール
１２ 走行ガイド
１２ａ 第１走行ガイド
１２ｂ 第２走行ガイド
１３ 天井
１４ 走行空間
１５ 載置部
１５ａ 第１取付部
１５ｂ 第２取付部
１５ｃ 隔壁部
１６ 走行部
１６ａ 駆動走行部
１６ｂ 従動走行部
１７ 非接触給電線
１７ａ リッツ線
１７ｂ リッツ線
２０ａ 駆動フレーム
２０ｂ 従動フレーム
２１ａ 左駆動輪
２１ｂ 右駆動輪
２１ｃ 左従動輪
２１ｄ 右従動輪
２２ａ 左固定ガイドローラ
２２ｂ 右固定ガイドローラ
２３ａ 左分岐ガイドローラ
２３ｂ 右分岐ガイドローラ
２４ａ 左駆動モータ
２４ｂ 右駆動モータ
２８ａ 左ピックアップユニット
２８ｂ 右ピックアップユニット
２９ａ 左取付ブラケット
２９ｂ 右取付ブラケット
３０ 吊り部材
３１ 軌道支持フレーム
３２ ダウンフロー用ファンフィルタユニット
１０４ 搬送台車
１０５ 底カバー
１０６ 側方カバー
１０８ 排出口
１０９ 内側カバー
１１５ 載置部
１１５ｃ 隔壁部
２０６ 側方カバー
２０８ 排出口
２４０ 台座
Claims (4)
- 清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置される有軌道台車システムであって、
前記クリーンルーム内で天井から吊り下げられた軌道と、
前記軌道に沿って走行して物品を搬送可能な搬送台車と、
前記軌道の底部を覆う底カバーと、
前記軌道および搬送台車の側方を覆う側方カバーと、
前記底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、前記吹き出し口から導入した前記ダウンフローを排出する排出口と、
を備えた有軌道台車システム。 - 前記側方カバーの内側で前記軌道の周囲を覆う内側カバーと、
前記内側カバー内の空気を吸引するファンフィルタユニットと、
をさらに備える、請求項１に記載の有軌道台車システム。 - 前記内側カバーは、前記軌道の両側方に一対配置された第１カバーおよび第２カバーを有し、
前記搬送台車は、前記第１カバーと第２カバーとの間隔より大きい幅を有する隔壁部を有する、 - 前記排出口は、前記側方カバーの下部に設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の有軌道台車システム。
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