JPH0775242B2 - ウェハーカセット搬送路 - Google Patents
ウェハーカセット搬送路Info
- Publication number
- JPH0775242B2 JPH0775242B2 JP6947890A JP6947890A JPH0775242B2 JP H0775242 B2 JPH0775242 B2 JP H0775242B2 JP 6947890 A JP6947890 A JP 6947890A JP 6947890 A JP6947890 A JP 6947890A JP H0775242 B2 JPH0775242 B2 JP H0775242B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- exhaust
- transfer
- wafer cassette
- outside
- Prior art date
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- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体生産工場等において、搬送路を搬送チ
ューブで覆って外部と隔絶することにより所定の清浄度
を保った搬送チューブ内で物品を搬送するようにしたウ
ェハーカセット搬送路に関するものである。
ューブで覆って外部と隔絶することにより所定の清浄度
を保った搬送チューブ内で物品を搬送するようにしたウ
ェハーカセット搬送路に関するものである。
半導体生産工場内においては、ウェハーカセットを予め
定めた搬送工程間を搬送するために、搬送チューブで覆
った搬送路を用いている。
定めた搬送工程間を搬送するために、搬送チューブで覆
った搬送路を用いている。
この搬送チューブ内は、搬送チューブの１箇所又は複数
箇所より清浄空気を供給するとともに排気口より排気し
て、搬送チューブ内を所定の正圧を保ちながら設定され
た清浄度を保つようにしている。
箇所より清浄空気を供給するとともに排気口より排気し
て、搬送チューブ内を所定の正圧を保ちながら設定され
た清浄度を保つようにしている。
ところで、従来、搬送チューブに設けられる排気口は、
第４図に示すように搬送チューブの外壁を直接開口して
設けている。このため、第６図に示すようにウェハーカ
セットを積載した台車が搬送チューブ内を進行する際、
台車の後方に発生した負圧により外部の空気が搬送チュ
ーブ内に流れ込むことによりチューブ内のクリーン度が
低下するという問題点があった。
第４図に示すように搬送チューブの外壁を直接開口して
設けている。このため、第６図に示すようにウェハーカ
セットを積載した台車が搬送チューブ内を進行する際、
台車の後方に発生した負圧により外部の空気が搬送チュ
ーブ内に流れ込むことによりチューブ内のクリーン度が
低下するという問題点があった。
本発明は、搬送チューブ内を台車が進行する際、排気口
付近において内圧の変化が生じても、外部の空気が搬送
チューブ内に流れ込まないようにしたウェハーカセット
搬送路を提供することを目的とする。
付近において内圧の変化が生じても、外部の空気が搬送
チューブ内に流れ込まないようにしたウェハーカセット
搬送路を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するためになしたもので、搬送
路を搬送チューブで覆って外部と隔絶するとともに、搬
送チューブ内を外部の気圧より高く維持することにより
所定の清浄度を保った搬送チューブ内で物品を搬送する
ようにしたウェハーカセット搬送路において、搬送チュ
ーブに設けた排気口に内部を仕切板により仕切ってジグ
ザグ状の排気通路を形成した排気ダクトの一端を連接す
るとともに、該排気ダクトの他端を外部に開放してなる
ことを要旨とする。
路を搬送チューブで覆って外部と隔絶するとともに、搬
送チューブ内を外部の気圧より高く維持することにより
所定の清浄度を保った搬送チューブ内で物品を搬送する
ようにしたウェハーカセット搬送路において、搬送チュ
ーブに設けた排気口に内部を仕切板により仕切ってジグ
ザグ状の排気通路を形成した排気ダクトの一端を連接す
るとともに、該排気ダクトの他端を外部に開放してなる
ことを要旨とする。
ウェハーカセットを積載した台車が搬送チューブ内を進
行する際、排気口付近において負圧が生じても、排気口
に連接した内部を仕切板により仕切ってジグザグ状の排
気通路を形成した排気ダクトの部分で外部の空気の逆流
を吸収し、外部の空気が搬送チューブ内に流れ込むこと
を防止する。
行する際、排気口付近において負圧が生じても、排気口
に連接した内部を仕切板により仕切ってジグザグ状の排
気通路を形成した排気ダクトの部分で外部の空気の逆流
を吸収し、外部の空気が搬送チューブ内に流れ込むこと
を防止する。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
図において１は半導体生産工場内等において予め定めた
物品の搬送工程間に沿って配設された搬送路で、この搬
送路１を単数又は複数の台車５が走行し、ウェハーカセ
ットの搬送を行う。この場合、搬送路１は所定のクリー
ン度を保つ必要があるため、搬送路１ほ搬送チューブ２
にて覆われトンネル状となっている。
物品の搬送工程間に沿って配設された搬送路で、この搬
送路１を単数又は複数の台車５が走行し、ウェハーカセ
ットの搬送を行う。この場合、搬送路１は所定のクリー
ン度を保つ必要があるため、搬送路１ほ搬送チューブ２
にて覆われトンネル状となっている。
そして、この搬送チューブ２内には清浄空気供給装置３
より規準値の清浄空気が供給され、外部の空気圧より少
し高い目の正圧を保つようにし、外部の空気（汚染され
ているかもしくは規準値以下の空気）が搬送チューブ２
内へ流入しないようにしている。
より規準値の清浄空気が供給され、外部の空気圧より少
し高い目の正圧を保つようにし、外部の空気（汚染され
ているかもしくは規準値以下の空気）が搬送チューブ２
内へ流入しないようにしている。
搬送チューブ２内を設定正圧に保つため、１箇所又は複
数箇所から清浄空気が供給されるとともに、供給口と異
なる１箇所又は複数箇所に排気口４を設け、外部に排気
を排出するようにしている。
数箇所から清浄空気が供給されるとともに、供給口と異
なる１箇所又は複数箇所に排気口４を設け、外部に排気
を排出するようにしている。
排気口４は、搬送路チューブ２の外側壁所定位置を予め
定めた大きさに開口し、この外側に排気ダクト６を連接
し、排気口４より排気ダクト６内を導通して一本の排気
通路７とする。そして、この排気ダクト６の外側を開口
し、これにより通常の状態では搬送チューブ２内から排
気通路７を介して排気を排出するようにしている。
定めた大きさに開口し、この外側に排気ダクト６を連接
し、排気口４より排気ダクト６内を導通して一本の排気
通路７とする。そして、この排気ダクト６の外側を開口
し、これにより通常の状態では搬送チューブ２内から排
気通路７を介して排気を排出するようにしている。
排気ダクト６は、外形状を箱形とし、その内部を仕切板
８により仕切ってジグザグ状の排気通路７を形成して、
その外形に比べて実質的に長い排気通路７を形成するよ
うにする。
８により仕切ってジグザグ状の排気通路７を形成して、
その外形に比べて実質的に長い排気通路７を形成するよ
うにする。
これにより、排気口付近で台車の通過による負圧が発生
しても、排気口４に連接した内部を仕切板８により仕切
ってジグザグ状の排気通路７を形成した排気ダクト６の
部分で外部の空気の逆流を吸収し、外部の空気が搬送チ
ューブ２内に流れ込むことを防止する。この負圧による
外部の空気の逆流現象が生じる時間はごく僅かであるた
め、やがて圧力は正圧に戻る。このため、搬送チューブ
２内から排気通路７を介して排気が排出されることによ
り、排気ダクト６の排気通路７内に逆流してきた外部の
汚染された空気は搬送チューブ２内に流入することなく
そのまま外部に排出され、搬送チューブ２内は常に設定
のクリーン度が保持される。
しても、排気口４に連接した内部を仕切板８により仕切
ってジグザグ状の排気通路７を形成した排気ダクト６の
部分で外部の空気の逆流を吸収し、外部の空気が搬送チ
ューブ２内に流れ込むことを防止する。この負圧による
外部の空気の逆流現象が生じる時間はごく僅かであるた
め、やがて圧力は正圧に戻る。このため、搬送チューブ
２内から排気通路７を介して排気が排出されることによ
り、排気ダクト６の排気通路７内に逆流してきた外部の
汚染された空気は搬送チューブ２内に流入することなく
そのまま外部に排出され、搬送チューブ２内は常に設定
のクリーン度が保持される。
本発明によれば、ウェハーカセットを積載した台車が搬
送チューブ内を進行する際、排気口付近において負圧が
変化が生じても、排気口に連接した内部を仕切板により
仕切ってジグザグ状の排気通路を形成した排気ダクトの
部分で外部の空気の逆流を吸収し、外部の空気が搬送チ
ューブ内に流れ込むことを防止することができ、これに
より、ウェハーカセット搬送チューブ内は、常に設定さ
れたクリーン度を保つことができる。
送チューブ内を進行する際、排気口付近において負圧が
変化が生じても、排気口に連接した内部を仕切板により
仕切ってジグザグ状の排気通路を形成した排気ダクトの
部分で外部の空気の逆流を吸収し、外部の空気が搬送チ
ューブ内に流れ込むことを防止することができ、これに
より、ウェハーカセット搬送チューブ内は、常に設定さ
れたクリーン度を保つことができる。
また、排気ダクトは、内部を仕切板により仕切ってジグ
ザグ状の排気通路を形成しているため、コンパクトな形
状でもって、実質的に長い排気通路を形成することがで
きる。
ザグ状の排気通路を形成しているため、コンパクトな形
状でもって、実質的に長い排気通路を形成することがで
きる。
第１図は本発明のウェハーカセット搬送路の平面図、第
２図は正面図、第３図は側面図、第４図及び第５図は公
知例で、第４図はその平面図、第５図は正面図、第６図
は台車後方の負圧発生状態を示す説明図である。 １は搬送路、２は搬送チューブ、３は清浄空気供給装
置、４は排気口、５は台車、６は排気ダクト、７は排気
通路、８は仕切板。
２図は正面図、第３図は側面図、第４図及び第５図は公
知例で、第４図はその平面図、第５図は正面図、第６図
は台車後方の負圧発生状態を示す説明図である。 １は搬送路、２は搬送チューブ、３は清浄空気供給装
置、４は排気口、５は台車、６は排気ダクト、７は排気
通路、８は仕切板。
Claims (1)
- 【請求項１】搬送路を搬送チューブで覆って外部と隔絶
するとともに、搬送チューブ内を外部の気圧より高く維
持することにより所定の清浄度を保った搬送チューブ内
で物品を搬送するようにしたウェハーカセット搬送路に
おいて、搬送チューブに設けた排気口に内部を仕切板に
より仕切ってジグザグ状の排気通路を形成した排気ダク
トの一端を連接するとともに、該排気ダクトの他端を外
部に開放してなることを特徴とするウェハーカセット搬
送路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947890A JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947890A JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270046A JPH03270046A (ja) | 1991-12-02 |
| JPH0775242B2 true JPH0775242B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=13403843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6947890A Expired - Fee Related JPH0775242B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775242B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60224240A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-08 | Sanko Kuki Sochi Kk | 超清浄対象物の搬送方法と装置 |
| JPS62125237A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Matsushita Seiko Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6435339U (ja) * | 1987-08-22 | 1989-03-03 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP6947890A patent/JPH0775242B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102310992A (zh) * | 2010-06-23 | 2012-01-11 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03270046A (ja) | 1991-12-02 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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