JPH0669317A - 搬送用ロボット - Google Patents
搬送用ロボットInfo
- Publication number
- JPH0669317A JPH0669317A JP22105292A JP22105292A JPH0669317A JP H0669317 A JPH0669317 A JP H0669317A JP 22105292 A JP22105292 A JP 22105292A JP 22105292 A JP22105292 A JP 22105292A JP H0669317 A JPH0669317 A JP H0669317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- arm
- suction holes
- transfer robot
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作動時に互いに接触しない薄板吸着保持用真
空配管を設けた搬送用ロボットを提供する。 【構成】 ２個以上の薄板保持用真空吸着穴５ｂを有す
るアーム３、４、５に、吸着穴５ｂから個別に導出した
真空配管Ｐ、Ｑを各独立して内蔵すると共に、アーム回
転部にシール手段Ｒを設け、又、シール手段ＲはＯリン
グであること、アーム内壁を溝加工してその開口の閉蓋
により真空配管Ｐ、Ｑを形成する。
空配管を設けた搬送用ロボットを提供する。 【構成】 ２個以上の薄板保持用真空吸着穴５ｂを有す
るアーム３、４、５に、吸着穴５ｂから個別に導出した
真空配管Ｐ、Ｑを各独立して内蔵すると共に、アーム回
転部にシール手段Ｒを設け、又、シール手段ＲはＯリン
グであること、アーム内壁を溝加工してその開口の閉蓋
により真空配管Ｐ、Ｑを形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送用ロボットに関し、
詳しくは半導体ウェーハ等の薄板を真空吸着して搬送す
るロボットに関するものである。
詳しくは半導体ウェーハ等の薄板を真空吸着して搬送す
るロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばＩＣ等の半導体装置の製造におい
て、半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称す。）をクリ
ーンルーム内で工程間搬送する際、図４に示すように、
搬送用ロボット（１）を用いる。上記ロボット（１）
は、定位置にあってモータや真空ポンプ等を内蔵した本
体（２）と、本体（２）の上面に一端部を回動自在に軸
支した第１アーム（３）と、第１アーム（３）の他端部
に一端部を回動自在に軸支した第２アーム（４）と、第
２アーム（４）の他端部に中央部を回動自在に軸支する
と共に、両端部に２個のウェーハ保持用第１、第２吸着
穴（５ａ）（５ｂ）を設けた第３アーム（５）とを具備
し、各吸着穴（５ａ）（５ｂ）から第３アーム（５）の
内部を経て中央部付近から個別に真空ホース（６ａ）
（６ｂ）を外部に導出し、更にそれらを本体（２）に接
続する。
て、半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称す。）をクリ
ーンルーム内で工程間搬送する際、図４に示すように、
搬送用ロボット（１）を用いる。上記ロボット（１）
は、定位置にあってモータや真空ポンプ等を内蔵した本
体（２）と、本体（２）の上面に一端部を回動自在に軸
支した第１アーム（３）と、第１アーム（３）の他端部
に一端部を回動自在に軸支した第２アーム（４）と、第
２アーム（４）の他端部に中央部を回動自在に軸支する
と共に、両端部に２個のウェーハ保持用第１、第２吸着
穴（５ａ）（５ｂ）を設けた第３アーム（５）とを具備
し、各吸着穴（５ａ）（５ｂ）から第３アーム（５）の
内部を経て中央部付近から個別に真空ホース（６ａ）
（６ｂ）を外部に導出し、更にそれらを本体（２）に接
続する。
【０００３】上記構成において、ウェーハを相異なる処
理工程用のキャリア間で移し替える際、第１、第２アー
ム（３）（４）を延ばして図３に示すキャリア（８）
（９）内にそれぞれ収納されているウェーハ（７ａ）
（７ｂ）を、図５に示すように、第１、第２吸着穴（５
ａ）（５ｂ）により個別に真空吸着する。次に、第２ア
ーム（４）を折り畳んで第１アーム（３）に重ねた状態
で第３アーム（５）を１８０°反転させてウェーハ（７
ａ）（７ｂ）を位置交換した後、再び第１、第２アーム
（３）（４）を延ばしてキャリア（９）（８）内にそれ
ぞれ収納して移し替えを終了する。
理工程用のキャリア間で移し替える際、第１、第２アー
ム（３）（４）を延ばして図３に示すキャリア（８）
（９）内にそれぞれ収納されているウェーハ（７ａ）
（７ｂ）を、図５に示すように、第１、第２吸着穴（５
ａ）（５ｂ）により個別に真空吸着する。次に、第２ア
ーム（４）を折り畳んで第１アーム（３）に重ねた状態
で第３アーム（５）を１８０°反転させてウェーハ（７
ａ）（７ｂ）を位置交換した後、再び第１、第２アーム
（３）（４）を延ばしてキャリア（９）（８）内にそれ
ぞれ収納して移し替えを終了する。
【０００４】又、上記吸着穴が一個の場合、キャリア
（８）（９）間に中間ステージ（図示せず）を設けてお
き、まず吸着穴にキャリア（８）のウェーハ（７ａ）を
保持して取り出して一旦、上記ステージ上に預ける。次
に、吸着穴にキャリア（９）のウェーハ（７ｂ）を保持
して取り出してキャリア（８）の空席に収納した後、上
記ステージ上のウェーハ（７ａ）を再び保持してキャリ
ア（９）の空席に収納する。
（８）（９）間に中間ステージ（図示せず）を設けてお
き、まず吸着穴にキャリア（８）のウェーハ（７ａ）を
保持して取り出して一旦、上記ステージ上に預ける。次
に、吸着穴にキャリア（９）のウェーハ（７ｂ）を保持
して取り出してキャリア（８）の空席に収納した後、上
記ステージ上のウェーハ（７ａ）を再び保持してキャリ
ア（９）の空席に収納する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、クリーンルーム内で使用するウェーハ搬送用ロボッ
ト（１）において、ウェーハ吸着保持用真空ホース（６
ａ）（６ｂ）を第３アーム（３）から一旦、外部に導出
して本体（２）に接続しているため、アーム作動時に外
部で各真空ホース（６ａ）（６ｂ）が互いに、又は近接
部材と接触して擦れ合い、クリーンルーム内でゴミの発
生源となる点である。
は、クリーンルーム内で使用するウェーハ搬送用ロボッ
ト（１）において、ウェーハ吸着保持用真空ホース（６
ａ）（６ｂ）を第３アーム（３）から一旦、外部に導出
して本体（２）に接続しているため、アーム作動時に外
部で各真空ホース（６ａ）（６ｂ）が互いに、又は近接
部材と接触して擦れ合い、クリーンルーム内でゴミの発
生源となる点である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも２
個以上の被搬送体保持用真空吸着穴を有するアームに、
上記各吸着穴から個別に導出した真空配管を各独立して
内蔵すると共に、アーム回転部にシール手段を設け、シ
ール手段はＯリングであること、又、アーム内壁を溝加
工してその開口の閉蓋により真空配管を形成したことを
特徴とする。
個以上の被搬送体保持用真空吸着穴を有するアームに、
上記各吸着穴から個別に導出した真空配管を各独立して
内蔵すると共に、アーム回転部にシール手段を設け、シ
ール手段はＯリングであること、又、アーム内壁を溝加
工してその開口の閉蓋により真空配管を形成したことを
特徴とする。
【０００７】
【作用】上記技術的手段によれば、クリーンルーム内で
使用する搬送用ロボットにおいて、アーム内に２本以上
の真空配管を各独立して内蔵すると、アーム作動時に真
空配管が接触して擦れ合うことがなく、クリーンルーム
内で使用する際、ゴミの発生を防止出来る。
使用する搬送用ロボットにおいて、アーム内に２本以上
の真空配管を各独立して内蔵すると、アーム作動時に真
空配管が接触して擦れ合うことがなく、クリーンルーム
内で使用する際、ゴミの発生を防止出来る。
【０００８】
【実施例】本発明に係る搬送用ロボットの実施例を図１
及び図２を参照して以下に説明する。図に示す部分と同
一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。
相違する点は、第３アーム（５）のウェーハ保持用第
１、第２吸着穴（５ａ）（５ｂ）から導出した２本の真
空配管（Ｐ）（Ｑ）を第１、第２、第３アーム（３）
（４）（５）内に吸着穴（５ａ）（５ｂ）毎に個別に各
独立して内蔵したことである。例えば真空配管（Ｑ）
は、図１に示すように、まず第２吸着穴（５ｂ）からア
ーム内で第１配管（Ｑａ）を導出すると、同じくアーム
内で第１配管（Ｑａ）に第２、第３、第４配管（Ｑｂ）
（Ｑｃ）（Ｑｄ）を順次、連結して本体（２）に到る。
（尚、第２、第３配管（Ｑｂ）（Ｑｃ）間、及び第３、
第４配管（Ｑｃ）（Ｑｄ）間はそれぞれ図示点線に示す
ように連結している。）又、真空配管（Ｐ）についても
同様で、第１吸着穴（図１に図示せず）から導出した配
管（Ｐａ）に配管（Ｐｂ）（Ｐｃ）（Ｐｄ）を順次、連
結して本体（２）に到る。更に、各アーム間の回転部を
Ｏリング（Ｒ）…によってシールし、空気漏れを防止し
て真空を確保している。上記配管（Ｐａ）〜（Ｐｄ）
（Ｑａ）〜（Ｑｄ）は、各アーム（３）（４）（５）の
内壁に長穴を穿設したり、或いはその加工が困難な場
合、図２に示すように、各アーム（３）（４）（５）の
内壁を溝加工し、その長溝（Ｃ）の開口を蓋体（１０）
にて閉じて形成する。
及び図２を参照して以下に説明する。図に示す部分と同
一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。
相違する点は、第３アーム（５）のウェーハ保持用第
１、第２吸着穴（５ａ）（５ｂ）から導出した２本の真
空配管（Ｐ）（Ｑ）を第１、第２、第３アーム（３）
（４）（５）内に吸着穴（５ａ）（５ｂ）毎に個別に各
独立して内蔵したことである。例えば真空配管（Ｑ）
は、図１に示すように、まず第２吸着穴（５ｂ）からア
ーム内で第１配管（Ｑａ）を導出すると、同じくアーム
内で第１配管（Ｑａ）に第２、第３、第４配管（Ｑｂ）
（Ｑｃ）（Ｑｄ）を順次、連結して本体（２）に到る。
（尚、第２、第３配管（Ｑｂ）（Ｑｃ）間、及び第３、
第４配管（Ｑｃ）（Ｑｄ）間はそれぞれ図示点線に示す
ように連結している。）又、真空配管（Ｐ）についても
同様で、第１吸着穴（図１に図示せず）から導出した配
管（Ｐａ）に配管（Ｐｂ）（Ｐｃ）（Ｐｄ）を順次、連
結して本体（２）に到る。更に、各アーム間の回転部を
Ｏリング（Ｒ）…によってシールし、空気漏れを防止し
て真空を確保している。上記配管（Ｐａ）〜（Ｐｄ）
（Ｑａ）〜（Ｑｄ）は、各アーム（３）（４）（５）の
内壁に長穴を穿設したり、或いはその加工が困難な場
合、図２に示すように、各アーム（３）（４）（５）の
内壁を溝加工し、その長溝（Ｃ）の開口を蓋体（１０）
にて閉じて形成する。
【０００９】上記構成によれば、例えばクリーンルーム
内において図３に示すキャリア（８）（９）間でウェー
ハ（７ａ）（７ｂ）を移し替える際、第１、第２、第３
アーム（３）（４）（５）の作動によって真空配管
（Ｐ）（Ｑ）が互いに接触して擦れ合うことがない。そ
のため、クリーンルーム内でゴミの発生を防止出来る。
又、２個以上の真空配管（Ｐ）（Ｑ）を吸着穴（５ａ）
（５ｂ）毎に個別に独立して設けているため、例えば真
空配管（Ｐ）を開いた時に真空配管（Ｑ）を閉じてお
き、互いに個別独立にウェーハ（７ａ）（７ｂ）を着脱
してキャリア（８）（９）間で一度に移載出来る。
内において図３に示すキャリア（８）（９）間でウェー
ハ（７ａ）（７ｂ）を移し替える際、第１、第２、第３
アーム（３）（４）（５）の作動によって真空配管
（Ｐ）（Ｑ）が互いに接触して擦れ合うことがない。そ
のため、クリーンルーム内でゴミの発生を防止出来る。
又、２個以上の真空配管（Ｐ）（Ｑ）を吸着穴（５ａ）
（５ｂ）毎に個別に独立して設けているため、例えば真
空配管（Ｐ）を開いた時に真空配管（Ｑ）を閉じてお
き、互いに個別独立にウェーハ（７ａ）（７ｂ）を着脱
してキャリア（８）（９）間で一度に移載出来る。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、半導体ウェーハ等の薄
板を真空吸着して移載する搬送用ロボットにおいて、真
空配管をロボットのアームに内蔵したから、アーム作動
時に真空配管が互いに、又は近接部材と接触して擦れ合
うことがなく、特にクリーンルーム内で使用する際、ゴ
ミの発生を防止出来る。又、２個以上の吸着穴を独立し
て設けたから、各吸着穴に独立して半導体ウェーハ等の
薄板を着脱出来、一度に移し替えることが出来て、イン
デックスアップを図ることが出来る。
板を真空吸着して移載する搬送用ロボットにおいて、真
空配管をロボットのアームに内蔵したから、アーム作動
時に真空配管が互いに、又は近接部材と接触して擦れ合
うことがなく、特にクリーンルーム内で使用する際、ゴ
ミの発生を防止出来る。又、２個以上の吸着穴を独立し
て設けたから、各吸着穴に独立して半導体ウェーハ等の
薄板を着脱出来、一度に移し替えることが出来て、イン
デックスアップを図ることが出来る。
【図１】本発明に係る搬送用ロボットの実施例を示す要
部側断面図である。
部側断面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明に係る真空配管の構造例
を示す平面図とそのＡ−Ａ線断面図である。
を示す平面図とそのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】半導体ウェーハ収納用キャリアの側断面図であ
る。
る。
【図４】従来の搬送用ロボットの一例を示す側面図であ
る。
る。
【図５】（ａ）（ｂ）は半導体ウェーハを吸着した搬送
用ロボットの動作を示す平面図である。
用ロボットの動作を示す平面図である。
３ 第１アーム ４ 第２アーム ５ 第３アーム ５ｂ 吸着穴 ７ｂ 半導体ウェーハ Ｐ、Ｑ 真空配管
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも２個以上の薄板保持用真空吸
着穴を有するアームに、上記各吸着穴から個別に導出し
た真空配管を各独立して内蔵すると共に、アーム回転部
にシール手段を設けたことを特徴とする搬送用ロボッ
ト。 - 【請求項２】 シール手段がＯリングであることを特徴
とする請求項１記載の搬送用ロボット。 - 【請求項３】 アーム内壁を溝加工してその開口の閉蓋
により真空配管を形成したことを特徴とする請求項１記
載の搬送用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22105292A JPH0669317A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22105292A JPH0669317A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送用ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669317A true JPH0669317A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16760746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22105292A Pending JPH0669317A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669317A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5894013A (en) * | 1996-09-02 | 1999-04-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JP2000512082A (ja) * | 1996-06-13 | 2000-09-12 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | マルチレベル基板処理装置 |
| JP2009072909A (ja) * | 1996-03-22 | 2009-04-09 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、センサアレイ及び製品製造方法 |
| JP2009188078A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Hitachi High-Technologies Corp | ワークハンドリング装置及び部品搭載装置並びにフラットディスプレイパネル |
| WO2009130115A1 (de) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum bewegen und positionieren eines gegenstandes im raum |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP22105292A patent/JPH0669317A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009072909A (ja) * | 1996-03-22 | 2009-04-09 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、センサアレイ及び製品製造方法 |
| JP2012223880A (ja) * | 1996-03-22 | 2012-11-15 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、ワークピース処理システム及び製品製造方法 |
| JP2000512082A (ja) * | 1996-06-13 | 2000-09-12 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | マルチレベル基板処理装置 |
| JP2008258650A (ja) * | 1996-06-13 | 2008-10-23 | Brooks Autom Inc | マルチレベル基板処理装置 |
| US5894013A (en) * | 1996-09-02 | 1999-04-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JP2009188078A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Hitachi High-Technologies Corp | ワークハンドリング装置及び部品搭載装置並びにフラットディスプレイパネル |
| WO2009130115A1 (de) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum bewegen und positionieren eines gegenstandes im raum |
| US8720298B2 (en) | 2008-04-22 | 2014-05-13 | Robert Bosch Gmbh | Device for moving and positioning an object in space |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020419 |