JP2009188078A - ワークハンドリング装置及び部品搭載装置並びにフラットディスプレイパネル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数本のアーム22を設けたワークホルダ21は、ワークハンドリング装置20の装置本体25にXY軸方向とZ軸方向及びθ方向とに位置調整可能に装着され、θ方向の駆動のため、モータ42を固定したモータケーシング43に外側軸受45を介してワークホルダ21を連結した回転体44が設けられ、回転体44は回転伝達手段の従動側リング部材49に連結され、これとモータケーシング43との間に内側軸受50とシール部材74とが介装されており、回転体44には蓋体72が設けられて、モータケーシング43の内部が負圧チャンバ73となり、アーム22には吸着パッド51を装着した負圧吸引室52が設けられ、負圧チャンバ73と負圧吸引室52とは負圧配管53を介して接続されている
【選択図】図7
Description
5 部品搭載装置 20 ワークハンドリング装置
21 ワークホルダ 22 アーム
26 Y軸テーブル 30 X軸テーブル
36 Z軸テーブル 41 回転駆動機構
42 モータ 43 モータケーシング
44 回転体 46 回転楕円板
47 軸受部材 48 可撓環状帯体
48a スプライン 49 従動側リング部材
49a スプライン 50 内側軸受
51 吸着パッド 52 負圧吸引室
53 負圧配管 60 リングギア
61 太陽歯車 62 遊星歯車
70 接続口 71 負圧流路
72 蓋体 73 負圧チャンバ
74 シール部材 80 引き出し配管
81 開閉弁 82 3方口分配管
83 コック 84 連通配管
Claims (8)
- 吸着パッドが設けられ、水平方向にインデックス回転するワーク支持部材を備えたワークハンドリング装置において、
回転駆動手段が装着され、外周面に前記ワーク支持部材を固定して設けた回転体が外側軸受により回転可能に連結された駆動部ケーシングと、
前記駆動部ケーシング内に配置され、前記回転駆動手段の出力軸に連結して設けた駆動側部材と、この駆動側部材を囲繞するように設けられ、内側軸受により前記駆動部ケーシングの内周面に回転可能に支持され、前記回転体に連結して設けた従動側リング部材とからなる回転伝達手段と、
前記駆動部ケーシングと前記従動側リング部材またはこの従動側リング部材に連結した回転側の部材との間にシール部材を介装すると共に、この回転側の部材に蓋体を装着することにより形成され、内部に前記回転伝達手段を収容させた負圧チャンバと、
前記駆動部ケーシングに形成され、前記負圧チャンバと連通する負圧通路と、前記蓋体に接続され、他端を前記吸着パッドに接続させた接続配管と
から構成したことを特徴とするワークハンドリング装置。 - 前記ワーク支持部材は前記回転体に複数本のアームを、このアームの幅寸法より広い間隔を置いて平行に設けることによりワークホルダを構成し、各アームは前記回転体の回転中心より一方向に向けて突出するように装着させる構成としたことを特徴とする請求項1記載のワークハンドリング装置。
- 前記接続配管を複数に分岐させて、これらの接続配管を前記各アームに設けた1または複数の吸着パッドが装着された負圧吸引室と接続し、前記各接続配管は流路の開閉が可能な構成としたことを特徴とする請求項2記載のワークハンドリング装置。
- 前記回転駆動手段はステッピングモータから構成され、また前記回転伝達手段を構成する駆動側部材は、このステッピングモータの出力軸に連結された回転楕円部材と、この回転楕円部材を囲繞するように設けられ、外周面にスプラインを設けた可撓性のある可撓環状帯体とで構成され、前記従動側リング部材は内周面にスプラインを形成した硬質リングからなり、前記可撓環状帯体のスプラインの歯数と前記従動側リング部材のスプラインの歯数とは異なる数となし、このスプラインの歯数の差分だけ前記従動側リング部材を減速回転させる機構から構成したことを特徴とする請求項1記載のワークハンドリング装置。
- 前記回転駆動手段はステッピングモータから構成され、また前記回転伝達手段の前記駆動側部材は、このステッピングモータの出力軸に連結した駆動歯車から構成し、前記従動側リング部材には、内周面に従動歯車を形成したリングギアから構成され、これら駆動歯車と従動歯車との間に、これらの各歯車と噛合する1または複数の遊星歯車を備える構成としたことを特徴とする請求項1記載のワークハンドリング装置。
- 前記シール部材は、前記駆動部ケーシングと前記従動側リング部材との間であって、前記内側軸受に隣接する位置に設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載のワークハンドリング装置。
- 前記ワークは薄板透明基板からなり、前記ワークハンドリング装置はこのワークの少なくとも1辺に電子回路部品を搭載するものであることを特徴とする部品搭載装置。
- 請求項7記載の部品搭載装置によって、電子回路部品を前記薄板透明基板に搭載することにより製造されたフラットディスプレイパネル。
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