CN218560376U - 搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了纠偏装置以及搬运装置，其中，该纠偏装置用于对工件进行纠偏，包括：获取部，获取并保持所述工件；检测部，具有至少一个相机组件，所述相机组件检测所述工件的至少一部分；调整平台，所述获取部被搭载于所述调整平台，所述调整平台可基于所述检测部的检测结果对所述获取部进行调整。根据本实用新型的纠偏装置，能够对工件进行纠偏。

Description

搬运装置

技术领域

本实用新型涉及但不限于搬运设备技术领域，尤其涉及一种搬运装置。

背景技术

在将一个工件从一个工位转移到另一个工位的时候，有时会需要对该工件进行二次调整。从而准确地转移该工件。

以作为光伏制造设备的一种的板式PECVD上下料机为例，板式PECVD上下料机用于在PECVD工艺的前后，将硅片转移到载盘中或将载盘中的硅片转移到片篮中。已知技术当中，板式PECVD上下料机通常是将硅片从料篮卸片，然后放置到皮带线上中转，再将皮带线上的硅片转移到载盘上。

然而，由于皮带线具有一定的柔性，其搬运精度不高，在将硅片从皮带线转移到载盘上时，可能会出现由于硅片在皮带线上偏摆，最终导致硅片不能准确地转移到载板的情况。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决已知技术当中的问题之一。为此，本实用新型提出了一种纠偏装置，能够对工件进行纠偏。此外，本实用新型还提出了具有该纠偏装置的搬运装置。

根据本实用新型第一方面的纠偏装置，用于对工件进行纠偏，包括：获取部，获取并保持所述工件；检测部，具有至少一个相机组件，所述相机组件检测所述工件的至少一部分；调整平台，所述获取部被搭载于所述调整平台，所述调整平台可基于所述检测部的检测结果对所述获取部进行调整。

根据本实用新型第一方面的纠偏装置，具有如下有益效果：能够对工件进行纠偏。

在一些实施例中，所述获取部包括用于吸附并保持所述工件的吸附件。

在一些实施例中，所述吸附件为伯努利吸盘。

在一些实施例中，所述调整平台为UVW对位平台。

在一些实施例中，还包括进给部，所述进给部被搭载于所述调整平台，所述获取部被搭载于所述进给部。

在一些实施例中，所述进给部包括花键丝杆组件，所述花键丝杆组件具有：丝杆螺母，所述丝杆螺母安装到所述调整平台并被驱动旋转；花键丝杆，随着所述丝杆螺母的旋转而直线地进给，所述获取部和所述花键丝杆的轴向的一端连接。

在一些实施例中，所述丝杆螺母安装到所述调整平台的中部，所述调整平台的中部设置有贯通的槽部，所述花键丝杆的轴向的另一端穿过所述槽部。

在一些实施例中，所述花键丝杆的中部沿轴向被贯通。

在一些实施例中，所述相机组件包括两个，分别设置在所述获取部的对角处。根据本实用新型第二方面的搬运装置，包括：机械手部；上述任一项的纠偏装置，所述纠偏装置搭载于所述机械手部的末端。

根据本实用新型第二方面的搬运装置，具有如下有益效果：能够提高工件的转移精度。

在一些实施例中，所述机械手部的末端，搭载有多个所述纠偏装置，并且，相邻的两个所述纠偏装置共用所述检测部的至少一个所述相机组件。

附图说明

图1是本实用新型的第一方面的纠偏装置的一种实施例的俯视示意图。

图2是图1的纠偏装置的仰视示意图。

图3是图1的纠偏装置的获取部以及进给部的示意图。

图4是本实用新型的第二方面的搬运装置的要部示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实施方式的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。

图1、图2是纠偏装置100的俯视示意图。图3是图1的纠偏装置100的获取部 101以及进给部107的示意图。在图1至图3中，为了便于示意，将进给部107的花键丝杆组件108的花键丝杆110(后述)局部剖开。

参照图1、图2，根据第1实施方式的纠偏装置100，用于对工件300进行纠偏，包括：获取部101、检测部102以及调整平台103。其中，获取部101获取并保持工件300。检测部102具有至少一个相机组件104，该相机组件104检测工件300的至少一部分。获取部101被搭载于调整平台103，调整平台103可基于检测部102的检测结果对获取部101进行调整。

根据本实施方式的纠偏装置100，能够对工件300进行纠偏。具体而言，例如，通过设置具有相机组件104的检测部102，能够准确地检测到工件300的位置，从而调整平台103能够基于检测部102所检测到的结果，决定是否对保持有工件300的获取部101进行调整。在工件300的位置处在规定的精度范围内的时候，调整平台103 可不对获取部101进行调整，而在工件300的位置处在规定的精度范围之外的时候，调整平台103则可以基于检测部102的检测结果对获取部101进行调整，从而调整被保持在获取部101的工件300，由此，能够对工件300进行纠偏。

在一些实施例中，获取部101可以包括用于吸附并保持工件300的吸附件105。具体而言，例如，在工件300具有呈平面状的部分的情况下，为了容易地获取工件 300，获取部101可以包括吸附件105。

作为具有呈平面状的部分的工件300，可列举例如板状件或者片状件，这些板状件或者片状件包括但不限于例如：硅片、玻璃片、陶瓷片等可作为太阳能电池片用衬底的薄片，屏幕保护用的钢化膜，电路板、金属板等。

作为吸附件105，则可以列举例如真空吸附件或者电磁铁等。作为真空吸附件，则可列举：基于真空发生器产生真空的例如：风琴罩式的真空吸盘，海绵材料的真空吸盘、呈平板状的真空吸盘等；基于伯努利原理进行吸附的例如：伯努利吸盘。

在搬运例如硅片等的厚度薄且极其精密或者脆性的工件时，优选地，吸附件105可以选择伯努利吸盘。具体而言，基于伯努利原理的吸盘在接入高压空气时，吸盘的工作面会产生均匀且薄的强气流，此时，工件300的表面的气体流速大于其下部的气体流速，根据流体速度越快压强越小的原理，工件300的上下两侧会产生压力差，从而在工件300的底部能够形成向上的推力，从而使工件300被吸附在吸附件105的底部。由此，无需通过挤压的方式接触硅片等，能够减少硅片的损伤的可能性。

此外，上面虽然说明了获取部101包括用于吸附并保持工件300的吸附件105，但是并不限于此。获取部101可以根据具体的工件300的类型，选择例如夹持气缸等的夹持件。

在一些实施例中，调整平台103可以UVW对位平台106。作为UVW对位平台106，可以选择市售的UVW对位平台。此外，作为检测部102的相机组件104，可以选择例如CCD组件。作为调整平台103的UVW对位平台106，和作为检测部102的相机组件 104的CCD组件，可以通过公知的连接方式进行连接，并通过公知的控制方式，基于 CCD组件的检测结果对UVW对位平台106进行控制，从而UVW对位平台106能够基于 CCD组件的检测结果，对工件300进行纠偏。通过使用UVW对位平台106作为调整平台103，不仅能够降低纠偏的难度，而且能够提高纠偏的精度。

此外，上面虽然说明了使用UVW对位平台106的例子，但是并不限于此。作为调整平台103，也可以通过使用例如多个市售的例如基于电机控制的滑台模组以及基于 DD马达的角度调整平台等的组合，来搭建出能够对工件300的位置以及角度等进行调节的调整平台。

参照图3，并辅助参照图1、图2，在一些实施例中，本实施方式的纠偏装置100 还可以包括进给部107，进给部107被搭载于调整平台103，获取部101被搭载于进给部107。通过设置进给部107，不仅能够防止在纠偏装置100被驱动转移的时候，获取部101和其他的部件干涉，而且能够通过进给部107，容易地根据不同的工件300 进行调整。例如，在需要获取工件300时，纠偏装置100被驱动到需要获取的工件 300的上方，然后驱动进给部107，使被搭载于进给部107的获取部101下降并获取工件300。在完成获取工件300之后，驱动进给部107上升，从而不仅能够容易地获取工件300，而且能够防止纠偏装置100被驱动转移的时候，获取部101和其他的部件干涉。此外，在获取不同的工件300时，例如工件300在皮带线(未图示)上的高度不同时，通过改变进给部107的进给行程等，也能够容易地根据具有不同的高度工件300而进行调整。

在一些实施例中，为了提高进给部107的进给的可靠性，并提高被搭载于进给部107的获取部101的可靠性，进给部107可以包括花键丝杆组件108，花键丝杆组件 108具有：丝杆螺母109和花键丝杆110，其中，丝杆螺母109安装到调整平台103 并被驱动旋转，花键丝杆110随着丝杆螺母109的旋转而直线地进给。获取部101则和花键丝杆110的轴向的一端连接。驱动丝杆螺母109旋转的方式并不特别限定，可以通过例如伺服电机或者步进电机等的驱动元件111进行驱动。驱动元件111可以通过例如同步带传动机构112和丝杆螺母109连接。获取部101则可以通过例如法兰件113等安装到花键丝杆110的轴向的一端。由于花键丝杆组件108的进给精度高，并且晃动小，因此，能够可靠地保持被搭载于进给部107的获取部101。通过选择花键丝杆组件108作为进给部107，在需要高精度地对例如硅片等的工件300进行纠偏时，能够减少由于进给部107的本身的误差对检测结果所带来的影响，提高检测精度，并由此提高纠偏精度。

此外，在一些实施例中，丝杆螺母109可以通过例如螺母安装座114等安装到调整平台103的中部，调整平台103的中部设置有贯通的槽部115，花键丝杆110的轴向的另一端穿过槽部115。通过使用花键丝杆组件108，并将丝杆螺母109安装到调整平台103上，使花键丝杆110直线地进给，能够大大地减少进给部107所需要的安装空间，从而使纠偏装置100整体更加紧凑。在一个机械手部201(后述)的末端需要搭载多个纠偏装置100的情况下，能够大大减少安装纠偏装置100所需要的空间。进一步地，通过将丝杆螺母109安装到调整平台103的中部，并使花键丝杆110的轴向的另一端穿过调整平台103的槽部115，能够进一步减少进给部107所需要的安装空间，从而使纠偏装置100整体上更加紧凑。

在一些实施例中，为了方便电缆或者气管等的走线，花键丝杆110的中部沿轴向被贯通。具体而言，例如，可以使用中空的花键丝杆110，并使用花键丝杆110的中空的部分作为走线腔体116，由此，作为获取部101的吸附件105或者夹持件(未图示)等所需要的气管、控制电缆等，能够直接从纠偏装置100的上方经由花键丝杆 110的走线腔体116而连接到获取部101的吸附件105或者夹持件等。因此，通过使花键丝杆110的中部沿轴向被贯通，不仅能够方便地进行电缆或者气管等的布线，而且能够减少裸露在外部的气管、电缆等，防止由于调整平台103或者进给部107等工作时，导致气管或者电缆等缠绕、弯折等。

此外，上面虽然说明了以花键丝杆组件108作为进给部107的例子，但是并不限于此。作为进给部107，也可以根据具体的工件类型以及不同的检测精度、纠偏精度的要求等，而选择例如气缸、滑台模组等其他的进给部件。或者，在获取工件的空间足够的情况下，获取部101也可以通过例如安装座(未图示)等直接搭载在调整平台 103上。

继续参照图1、图2，在一些实施例中，相机组件104可以包括两个，并分别设置在获取部101的对角处。具体而言，例如，当工件300是例如硅片、玻璃片等的呈矩形的片状的工件300时，作为获取部101的吸附件105等整体呈矩形状，相机组件 104可以分别位于吸附件105的对角的旁边，并检测工件300的对角。由此，通过检测工件300的对角，并基于检测到的工件300的对角之间的关系等，准确地判断出硅片的偏移情况等，从而能够高精度地对硅片等进行纠偏。

图4是搬运装置200的要部示意图，参照图4，并辅助参照图1至图3，上面实施方式的各实施例的纠偏装置100，可以使用到例如搬运装置200中。根据第2实施方式第二方面的搬运装置200，可以包括：机械手部201，机械手部201的末端可以搭载上述任一项的纠偏装置100。

根据本实施方式搬运装置200，由于在机械手部201的末端增加了纠偏装置100，在转移工件300之前能够对工件300进行纠偏等的调整，因此大大地提高工件300的转移精度。

本实施方式的机械手部201，只要能够使用搬运的功能，其类型并不特别限定，可以列举例如单轴机械手以及多轴机械手等。作为多轴机械手则可以列举例如两轴、三轴、四轴、五轴以及六轴等的机械手。

在一些实施例中，在需要同时转移多个工件300的情况下，机械手部201的末端，可以搭载有多个纠偏装置100，并且，相邻的两个纠偏装置100共用检测部102的至少一个相机组件104。具体而言，例如，在一个纠偏装置100中，一个检测部102具有例如两个相机组件104，两个相机组件104分别位于获取部101的对角位置处，在此情况下，位于获取部101的两个对角位置的相机组件104，分别同时检测与其相邻的两个不同的获取部101所获取到的工件300的对角。由此，通过使相邻的两个纠偏装置100共用检测部102的至少一个相机组件104，不仅能够大大减少相机组件104 的数量，降低成本，而且能够使机械手部201的末端的结构更加紧凑。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实施方式的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实施方式的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实施方式的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实施方式的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.搬运装置，用于转移工件，其特征在于，包括：

机械手部；

纠偏装置，所述纠偏装置搭载于所述机械手部的末端，所述纠偏装置用于对所述工件进行纠偏，所述纠偏装置包括：

获取部，获取并保持所述工件，

检测部，具有至少一个相机组件，所述相机组件检测所述工件的至少一部分，

调整平台，所述获取部被搭载于所述调整平台，所述调整平台可基于所述检测部的检测结果对所述获取部进行调整。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述获取部包括用于吸附并保持所述工件的吸附件。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述吸附件为伯努利吸盘。

4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述调整平台为UVW对位平台。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述纠偏装置还包括进给部，所述进给部被搭载于所述调整平台，所述获取部被搭载于所述进给部。

6.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，所述进给部包括花键丝杆组件，所述花键丝杆组件具有：

丝杆螺母，所述丝杆螺母安装到所述调整平台并被驱动旋转；

花键丝杆，随着所述丝杆螺母的旋转而直线地进给，所述获取部和所述花键丝杆的轴向的一端连接。

7.根据权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，所述丝杆螺母安装到所述调整平台的中部，所述调整平台的中部设置有贯通的槽部，所述花键丝杆的轴向的另一端穿过所述槽部。

8.根据权利要求6或7所述的搬运装置，其特征在于，所述花键丝杆的中部沿轴向被贯通。

9.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述相机组件包括两个，分别设置在所述获取部的对角处。

10.根据权利要求1或9所述的搬运装置，其特征在于，所述机械手部的末端，搭载有多个所述纠偏装置，并且，相邻的两个所述纠偏装置共用所述检测部的至少一个所述相机组件。

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