JPH0248016Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、無塵雰囲気中に保持すべき被搬送
物、例えば半導体ウエハ等を搬送する搬送装置に
おいて、搬送系を無塵状態に保持するエアー浄化
装置に関し、特に隣接した他のエアー浄化装置の
フアンの吸気側に搬送系からの排気を送気するよ
うにして、排気系の設備を省略化しかつ構造を簡
略化した設置簡便なる搬送装置のエアー浄化装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の技術としてセミコン ニユース
（SEMICON NEWS）、８巻（Vol.8）（1983）マ
ーカム インターナシヨナル インコーポレイテ
イド（Marcom International，Inc.）、ピー ア
ール ハンリー（P.R.Hanley）、超LSI製造の自
動化、P.38〜44に記載されたものがある。

この文献にも記載がある通り、今目の半導体素
子の高集積化に伴い、半導体素子製造において極
めて微細な塵俟の付着によつても製品の歩留りが
低下してしまう。このめウエハの処理工程におい
てのみならず、搬送段階においても高い清浄度を
確保することが要請されている。

そこで従来の搬送装置においては、HEPAフ
イルタを通して浄化したエアーを供給すると共に
排気を行うことにより、ウエハが搬送されるトン
ネル内の清浄度を保持していた。

しかしながらこの従来の搬送装置は、その排気
系の設備、工業排気ダクト等の設置が大規模でか
つ長期間の工事を要し、コスト面でも問題があつ
た。

それゆえ出願人は、昭和59年12月21日提出の実
用新案登録願Ａ「搬送装置のエアー浄化装置にお
いて、エアーを装置内にて循環させることによ
り、排気系の設備を不要とした技術を開示してい
る。

第２図は上記の搬送装置のエアー浄化装置の一
構成例を示す。同図に示すように、搬送機構ユニ
ツト４の排気口とフアンボツクス６の吸気側とを
循環ダクト５により連結し、フアンボツクス６の
送気側とフイルタユニツト１とを連結することに
より、装置内においてエアーを循環せしめる構成
である。またフイルタユニツト１に連結した給気
ダクト１４はサプライエアーダクトに連結してお
り、この給気ダクト１４を介してフイルタユニツ
ト１内にエアーを供給することにより、ウエハの
カセツト３が搬送されるトンネル２内を該トンネ
ル２が連結される室内と比較して陽圧に保持させ
ると共に、トンネル２内の温度上昇を抑えるよう
にしている。

〔考案が解しようとする問題点〕

搬送装置が連結される室内よりトンネル２内の
方がより高い清浄度を要求される場合は、上記の
ようにトンネル２内を陽圧に保持する必要がある
が、逆に連結される室内の方がより高い清浄度を
要求される場合もある。この場合は連結される室
内と比較してトンネル２内を陰圧に保持する必要
がある。ところがサプライエアーの供給をストツ
プするとトンネル２内の温度が上昇してしまうた
め、サプライエアーは供給し続けなければなら
ず、従つてトンネル２内は陽圧にならざるを得な
いという問題点があつた。

またサプライエアーを供給しても温度上昇は避
けがたいという問題点もある。

さらに装置の構造が複雑であるという問題点も
ある。

このような事情に鑑み、この考案は、排気系の
設備を省略化し、搬送系を陰圧に保持せしめるこ
とが可能で、かつ構造の簡単な例えば搬送装置に
適用できるエアー浄化装置を提供することを目的
とする。

〔問題点を解決するめの手段〕

この考案は、上記目的を達成するため、搬送系
に給気する給気口を備えかつサプライエアーダク
トに連結されるエアー浄化フイルタ室と、前記搬
送系の排気口に連結される排気ダクトとを備え、
前記搬送系を無塵状態かつ陰圧に保持する搬送装
置のエアー浄化装置において、前記排気ダクトに
ダンパを付設すると共に、該排気ダクトを他のエ
アー浄化装置のフアンの吸気側に連結したもので
ある。

〔作用〕

他のエアー浄化装置のフアンによる吸気によつ
て搬送系の排気を行うので、排気系の設備を省略
できる。

また排気ダクトに付設したダンパにより排気量
を調節して、搬送系を陰圧に保持できる。

さらに構造が単純であり、設置も簡易に行え
る。

〔実施例〕

第１図ａはこの考案の一実施例のエアー浄化装
置を適用した第１室のウエハの搬送装置の断面図
である。

同図において、１はフイルタユニツト、１１は
フイルタユニツト１のカバー、１１ａはカバー１
１の上面に開口するエアー供給口、１２はカバー
１１の下部開口に設置される給気口部、１３は給
気口部１２に装着されたHEPAフイルタ、１４
はエアー供給口１１ａとサプライエアーダクトと
を連結する給気ダクト、２はウエハが搬送される
トンネル、２１は該トンネル２の側壁を形成する
気密に取付けられたカバー、２２は搬送具、３は
ウエハを装填したカセツト、４は搬送機構ユニツ
ト、４１は搬送機構ユニツト４のカバー、４１ａ
はカバー４１に開口する排気口、４２は搬送具２
２を駆動する搬送機構である。搬送具２２は、カ
バー４１の上面に形成されたスリツト４１ｂにそ
の脚部２２ａを挿通して搬送機構４２に連結して
いる。５は排気口４１ａと他のエアー装置のフア
ンの吸気側（後述する第１図Ｂに図示）とを連結
する循環ダンパ、６は循環ダクト５に付設された
ダンパである。

第１図ｂは第１図ａの第１室の装置と第２室の
装置との設置を示す断面図である。両図におい
て、７は隣接したクリーンベンチで、内部には半
導体装置製造設備等が設置されている。８はクリ
ーンベンチ８のエアー浄化装置のフアン、９は同
じくフイルタユニツトである。

この装置の動作を説明する。同図中矢印で示す
如く、フイルタユニツト１内には、給気ダクト１
４を介してサプライエアーダクトから給気されて
高圧となり、給気口部１２から、HEPAフイル
タ１３を通つたクリーンエアーをトンネル２内に
層流として供給する。

また搬送機構ユニツト４内は、同図中矢印に示
す如く排気ダクト５を介してフアン８に吸気され
るので負圧となり、トンネル２内のエアーは同図
中矢印で示す如くスリツト４１ｂから排気され
る。

この排気されたエアーは排気ダクト５を通つて
フアン８によりフイルタユニツト９に送気され
て、フイルタユニツト９のサプライエアーとな
る。

ここでダンパ６により排気量を調節すると、フ
アン８の送風量はほぼ一定であるので、トンネル
２が連結される室内との比較においてトンネル２
内を陰圧に設定できる。また場合によつては陽圧
にすることも可能である。

〔考案の効果〕

この考案は以上説明したように、搬送系からの
排気を隣接する他のエアー浄化装置のフアンの吸
気側に接続しているので、排気系の設備を設置す
る必要がない。それゆえ装置の設置は簡易に行え
るという効果がある。またエアーの経路が短かい
ので効率が良く、搬送系を良好な清浄状態に保持
できるという効果がある。

また装置の構造を単純化できるという効果があ
る。さらに排気ダクトに付設したダンパによりエ
アーの供給量を調節することにより、搬送系を、
該搬送系が連結される室との比較において、陰圧
ないし陽圧に自在に調節できる。それゆえこの考
案のエアー浄化装置を適用した搬送装置は、清浄
度の高い室ないし低い室いずれにも設置できるも
のである。

さらに設置が簡易かつ効率が良好であることに
より、初期投資及びランニングコスト共に従来設
備より低価にでき、費用削減が可能となるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの考案の一実施例のエアー浄化装
置を適用した第１室のウエハの搬送装置の断面図
である。第１図ｂは第１図ａの第１室の装置と第
２室の装置の設置を示す断面図である。第２図は
この考案の技術背景を示すために掲げた搬送装置
の断面図である。 １……フイルタユニツト、１１……カバー、１
１ａ……エアー供給口、１１ｂ……循環エアー供
給口、１２……給気口部、１３……HEPAフイ
ルタ、１４……給気ダクト、２……トンネル、２
１……カバー、２２……搬送具、３……カセツ
ト、４……搬送機構ユニツト、４１……カバー、
４１ａ……排気口、４１ｂ……スリツト、４２…
…搬送機構、５……排気ダクト、６……ダンパ、
７……クリーンベンチ、８……フアン、９……フ
イルタユニツト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 クリーン度及びエアー給気量の異なる２つのエ
   アー浄化を必要とする室に対してエアー浄化を行
   う装置であつて、 給気ダクトから供給されるエアーを第１エアー
   浄化フイルムター室を介して所定の清浄度で且つ
   少量の給気を要する第１室と、 該第１室に給気された浄化エアーを調節自在の
   ダンパーにより該第１室から排出する排気ダクト
   を有する第１のエアー浄化を必要とする装置と、 前記排気ダクトからの浄化されたエアーを吸気
   し、第２エアー浄化フイルター室を介して前記第
   １室より高い清浄度で且つ多量の給気を要する第
   ２室に給気をすると共に、第２エアー浄化フイル
   ター室に流下したのち調節自在のダンパーを通
   り、第２エアー浄化フイルター室により浄化され
   たエアーの一部を吸気し再び該第２室の第２エア
   ー浄化フイルター室に循環給気させるように吸気
   フアンを設置した第２のエアー浄化を必要とする
   装置を含むことを特徴とするエアー浄化装置。