JPH0215545Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、無塵雰囲気中に保持すべき被搬送
物、例えば半導体ウエハ等を搬送する搬送装置に
おいて、搬送系を無塵状態に保持するエアー浄化
装置に関し、特に隣接した他のエアー浄化装置の
エアー浄化フイルタ室に搬送系からの排気を循環
するようにして、排気系の設備を省略化した設置
簡便なる搬送装置のエアー浄化装置に関する。

〈従来の技術〉 従来、この種の技術としてセミコンニユース
（SEMICON NEWS）、８巻（Vol.8）（1983）マ
ーカムインターナシヨナルインコーポレイテイド
（Marcom International，Inc.）、ピーアールハ
ンリー（P.R.Hanley）、超LSI製造の自動化、
P.38〜44に記載されたものがある。

この文献にも記載がある通り、今日の半導体素
子の高集積化に伴い、半導体素子製造において極
めて微細な塵埃の付着によつても製品の歩留りが
低下してしまう。このためウエハの処理工程にお
いてのみならず、搬送段階においても高い清浄度
を確保することが要請されている。

そこで従来の搬送装置においては、HEPAフ
イルタを通して浄化したエアーを供給すると共に
排気を行うことにより、ウエハが搬送されるトン
ネル内の清浄度を保持していた。

しかしながらこの従来の搬送装置は、その排気
系の設備、工業排気ダクト等の設置が大規模でか
つ長期間の工事を要し、コスト面でも問題があつ
た。

それゆえ出願人は、昭和59年12月21日提出の実
用新案登録願(A)「搬送装置のエアー浄化装置」に
おいて、エアーを装置内にて循環させることによ
り、排気系の設備を不要とした技術を開示してい
る。

第２図は上記の搬送装置のエアー浄化装置の一
構成例を示す。同図に示すように、搬送機構ユニ
ツト４の排気口とフアンボツクス６の吸気側とを
循環ダクト５により連結し、フアンボツクス６の
送気側とフイルタユニツト１とを連結することに
より、装置内においてエアーを循環せしめる構成
である。またフイルタユニツト１に連結した給気
ダクト８はサプライエアーダクトに連結してお
り、この給気ダクト８を介してフイルタユニツト
１内にエアーを供給することにより、ウエハのカ
セツト３が搬送されるトンネル２内を該トンネル
２が連結される室内と比較して陽圧に保持させる
と共に、トンネル２内の温度上昇を抑えるように
している。

〈考案が解決しようとする問題点〉 搬送装置が連結される室内よりトンネル２内の
方がより高い清浄度を要求される場合は、上記の
ようにトンネル２内を陽圧に保持する必要がある
が、逆に連結される室内の方がより高い清浄度を
要求される場合もある。この場合は連結される室
内と比較してトンネル２内を陰圧に保持する必要
がある。ところがサプライエアーの供給をストツ
プするとトンネル２内の温度が上昇してしまうた
め、サプライエアーは供給しなければならず、従
つてトンネル２内は陽圧にならざるを得ない。

このような事情に鑑み、この考案は、排気系の
設備を省略化を担保しつつ搬送系を陰圧に保持せ
しめることが可能な搬送装置のエアー浄化装置を
提供することを目的としている。

〈問題点を解決するための手段〉 この考案は上記の目的を達成するため、他のエ
アー浄化装置に隣接した搬送装置のエアー浄化装
置において、搬送系に給気する給気口を備えたエ
アー浄化フイルタ室とサプライエアーダンパとを
連結するダクトにダンパを付設し、前記搬送系の
排気口とフアンの吸気側とをダクトにより連結
し、該フアンの送気側と前記他のエアー浄化装置
のエアー浄化フイルタ室とをダクトにより連結し
たものである。

〈作用〉 搬送系からの排気を他のエアー浄化装置のエア
ー浄化フイルタ室に送気するようにしたので、排
気系の設備を設けないでよい。

またダンパによりサプライエアーの供給量を調
節することにより、搬送系を陽圧ないし陰圧に自
在に保持できる。

〈実施例〉 第１図ａはこの考案の一実施例のエアー浄化装
置を適用したウエハの搬送装置の断面図である。

同図において、１はフイルタユニツト、１１は
フイルタユニツト１のカバー、１１ａはカバー１
１の上面に開口するエアー供給口、１２はカバー
１１の下部開口に設置される給気口部、１３は給
気口部１２に装着されたHEPAフイルタ、２は
ウエハが搬送されるトンネル、２１は該トンネル
２の側壁を形成する気密に取付けられたカバー、
２２は搬送具、３はウエハを装填したカセツト、
４は搬送機構ユニツト、４１は搬送機構ユニツト
４のカバー、４１ａはカバー４１に開口する排気
口、４２は搬送具２２を駆動する搬送機構であ
る。搬送具２２は、カバー４１の上面に形成され
たスリツト４１ｂにその脚部２２ａを挿通して搬
送機構４２に連結している。５は、搬送機構ユニ
ツト４のカバー４１をフアンボツクス６の吸気側
に連結する循環ダクトである。６１はフアンボツ
クス６のカバー、６２はカバー６１内に設置され
たフアンで、吸気側が循環ダクト５に連結されて
いる。７はフイルタユニツトを貫通して設けられ
た送気ダクトで、フアン６２の送気側と他のエア
ー浄化装置のフイルタユニツト（後述する第１図
ｂに図示）とを連結している。８はフイルタユニ
ツト１のエアー供給口１１ａとサプライエアーダ
クトとを連結する給気ダクト、９は給気ダクト８
に付設されたダンパである。

第１図ｂは第１図ａの装置の設置を示す断面図
である。同図において、１０は他のエアー浄化装
置のフイルタユニツトで、給気ダクト８に連結さ
れている。９は給気ダクトに付設されたダンパで
ある。

この装置の動作を説明する。同図中矢印で示す
如く、フイルタユニツト１内には、給気ダクト８
を介してサプライエアーダクトから給気されて高
圧となり、給気口部１２から、HEPAフイルタ
１３を通つたクリーンエアーをトンネル２内に層
流として供給する。

また搬送機構ユニツト４内は、同図中矢印に示
す如く循環ダクト５を介してフアン６２に吸気さ
れるので負圧となり、トンネル２内のエアーは同
図中矢印で示す如くスリツト４１ｂから排気され
る。

この排気されたエアーは送気ダクト７を通つて
フイルタユニツト１０に送気され、このフイルタ
ユニツト１０のサプライエアーとなる。

ここでダンパ９によりエアーの供給量を調節す
ると、フアン６２の送風量はほぼ一定であるの
で、トンネル２が連結される室内との比較におい
てトンネル２内を陰圧に設定できる。また、場合
によつては陽圧にすることも勿論可能である。

〈考案の効果〉 この考案は以上説明したように、搬送系からの
排気を隣接する他のエアー浄化装置のエアー浄化
フイルタ室に送気することにより、排気系の設備
を設置する必要がない。それゆえ装置の設置は簡
易に行えるという効果がある。またエアーの経路
が短かいため効率が良く、搬送系を良好な清浄状
態に保持できるという効果がある。さらに設置が
簡易かつ効率が良好であることにより、初期投資
及びランニングコスト共に従来設備より低価にで
き、費用削減が可能となるという効果がある。

さらにサプライエアーダクトに連結するダクト
に付設したダンパによりエアーの供給量を調節す
ることにより、搬送系を、該搬送系が連結される
室との比較において、陰圧ないし陽圧に自在に調
節できる。それゆえこの考案のエアー浄化装置を
適用した搬送装置は、清浄度の高い室ないし低い
室いずれにも設置できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの考案の一実施例のエアー浄化装
置を適用したウエハの搬送装置の断面図である。
第１図ｂは第１図ａの装置の設置を示す断面図で
ある。第２図はこの考案の技術背景を示すために
掲げた搬送装置の断面図である。 １：フイルタユニツト、１１：カバー、１１
ａ：エアー供給口、１１ｂ：循環エアー供給口、
１２：給気口部、１３：HEPAフイルタ、２：
トンネル、２１：カバー、２２：搬送具、３：カ
セツト、４：搬送機構ユニツト、４１：カバー、
４１ａ：排気口、４１ｂ：スリツト、４２：搬送
機構、５：循環ダクト、６：フアンボツクス、６
１：カバー、６２：フアン、７：送気ダクト、
８：給気ダクト、９：ダンパ、１０：第２エアー
浄化フイルタ室、１０ｂ：第２サブ給気ダクト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. エアー浄化を必要とする少くとも二つの装置に
   浄化を行うエアー浄化装置であつて、一方のエア
   ー浄化を必要とする装置はメイン給気ダクトから
   分岐した第１サブ吸気ダクトと該第１サブ吸気ダ
   クトに連結された第１エアー浄化フイルター室と
   該フイルター室から浄化されたエアーの供給を受
   ける半導体ウエハ搬送室及び該搬送室に連結され
   た排気ダクトを含み、他方のエアー浄化を必要と
   する装置は前記メイン給気ダクトから分岐した第
   ２サブ給気ダクトと、該第２サブ給気ダクトに連
   結された第２エアー浄化フイルター室と、該第２
   エアー浄化フイルター室から浄化されたエアーの
   供給を受ける半導体ウエハ処理室及び前記第２エ
   アー浄化フイルター室に第２の給気を行う第３サ
   ブ給気ダクトを含み該第３サブ送気ダクトは前記
   排気ダクトと連結されると共にその中間にフアン
   を設置したことを特徴とする搬送装置のエアー浄
   化装置。