JPH04299513A - 縦型炉 - Google Patents
縦型炉Info
- Publication number
- JPH04299513A JPH04299513A JP8748191A JP8748191A JPH04299513A JP H04299513 A JPH04299513 A JP H04299513A JP 8748191 A JP8748191 A JP 8748191A JP 8748191 A JP8748191 A JP 8748191A JP H04299513 A JPH04299513 A JP H04299513A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- air
- case body
- vertical furnace
- clean air
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- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 8
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の１つ
である縦型炉、特に縦型炉内に洗浄な空気流を形成し、
装置部を清浄に保持し得る縦型炉に関するものである。
である縦型炉、特に縦型炉内に洗浄な空気流を形成し、
装置部を清浄に保持し得る縦型炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の縦型炉は、装置筐体の内部に炉体
、ウェーハを多段に保持するボートを炉体に挿入、取出
すボート昇降装置、ウェーハが装填されたウェーハカセ
ットを収納するカセットストッカ、ウェーハカセットと
前記ボートとの間のウェーハの移載を行うウェーハ搬送
装置等が設けられた構造であり、縦型炉自体はクリーン
ルーム内に設置されている。
、ウェーハを多段に保持するボートを炉体に挿入、取出
すボート昇降装置、ウェーハが装填されたウェーハカセ
ットを収納するカセットストッカ、ウェーハカセットと
前記ボートとの間のウェーハの移載を行うウェーハ搬送
装置等が設けられた構造であり、縦型炉自体はクリーン
ルーム内に設置されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の縦型炉では装置
筐体内部のエアを排出しにくい構造となっており、ウェ
ーハ搬送装置等にはクリーンエアを全く供給していない
か、或はウェーハ搬送装置、カセットストッカへ送風し
ているものもあるが、ウェーハ表面の粒子汚染対処性能
には限界があった。
筐体内部のエアを排出しにくい構造となっており、ウェ
ーハ搬送装置等にはクリーンエアを全く供給していない
か、或はウェーハ搬送装置、カセットストッカへ送風し
ているものもあるが、ウェーハ表面の粒子汚染対処性能
には限界があった。
【０００４】更に、クリーンエアを供給する場合には、
クリーンルーム内の縦型炉前方の中央部又は下部よりエ
アを取入れる構造であり、その為縦型炉前面部でのエア
の乱れを起こしている。又、クリーンルームのよりクリ
ーンな領域からエアを吸引し、クリーン度の若干劣る領
域（マシンルーム）に排出する様になっているので、前
記よりクリーンな領域でのクリーンエアの乱れを生じ、
炉体外に収納されているウェーハの粒子汚染の危険性を
高めている。
クリーンルーム内の縦型炉前方の中央部又は下部よりエ
アを取入れる構造であり、その為縦型炉前面部でのエア
の乱れを起こしている。又、クリーンルームのよりクリ
ーンな領域からエアを吸引し、クリーン度の若干劣る領
域（マシンルーム）に排出する様になっているので、前
記よりクリーンな領域でのクリーンエアの乱れを生じ、
炉体外に収納されているウェーハの粒子汚染の危険性を
高めている。
【０００５】本発明は上記実情に鑑み、縦型炉の内部及
び外部に於けるウェーハの表面の粒子汚染対処性能を向
上させようとするものである。
び外部に於けるウェーハの表面の粒子汚染対処性能を向
上させようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、筐体天井面に
設けられた導入口にエアフィルタを設け、筐体背面に排
気ファンを設け、筐体内部にクリーンユニットを設け、
該筐体内部に前記エアフィルタから吸収され、前記排気
ファンから排出されるクリーンエアの一方向流れを形成
する様構成したことを特徴とするものである。
設けられた導入口にエアフィルタを設け、筐体背面に排
気ファンを設け、筐体内部にクリーンユニットを設け、
該筐体内部に前記エアフィルタから吸収され、前記排気
ファンから排出されるクリーンエアの一方向流れを形成
する様構成したことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】筐体内部にはクリーンエアの一方向流れが形成
されるので、筐体内部で発生した汚染粒子は滞溜するこ
となく排気ファンより筐体外部へ排出され、筐体内部で
のウェーハ粒子汚染が防止される。更に、筐体天井より
クリーンエアが吸収され、背面より排気されるので縦型
炉周辺のクリーンエアの乱れを生じさせることもない。
されるので、筐体内部で発生した汚染粒子は滞溜するこ
となく排気ファンより筐体外部へ排出され、筐体内部で
のウェーハ粒子汚染が防止される。更に、筐体天井より
クリーンエアが吸収され、背面より排気されるので縦型
炉周辺のクリーンエアの乱れを生じさせることもない。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【０００９】図１、図２は、本発明の第１の実施例を示
しており、図中１は筐体を示し、該筐体１の内部に炉体
２が設けられ、該炉体２の下方にボート３を昇降させる
ボート昇降装置４が設けられ、該ボート昇降装置４と対
向した位置にカセットストッカ５が設けられている。該
カセットストッカ５とボート昇降装置４との間にウェー
ハ搬送装置６が設けられる。前記カセットストッカ５は
ラック７にウェーハ８が装填されたカセット９を所要数
収納するものである。
しており、図中１は筐体を示し、該筐体１の内部に炉体
２が設けられ、該炉体２の下方にボート３を昇降させる
ボート昇降装置４が設けられ、該ボート昇降装置４と対
向した位置にカセットストッカ５が設けられている。該
カセットストッカ５とボート昇降装置４との間にウェー
ハ搬送装置６が設けられる。前記カセットストッカ５は
ラック７にウェーハ８が装填されたカセット９を所要数
収納するものである。
【００１０】又、カセットストッカ５と対峙する筐体前
面には、筐体外部からカセットを受取り、前記カセット
ストッカ５にカセット９を収納させ、又カセットストッ
カ５から外部へカセットを取出すカセット搬送装置１０
が設けられている。
面には、筐体外部からカセットを受取り、前記カセット
ストッカ５にカセット９を収納させ、又カセットストッ
カ５から外部へカセットを取出すカセット搬送装置１０
が設けられている。
【００１１】前記筐体１の天井面にエア導入口を設け、
該エア導入口にエアフィルタ１１を取付ける。又、筐体
１の内部、前記カセットストッカ５の上方に第１のクリ
ーンユニット１２を設ける。
該エア導入口にエアフィルタ１１を取付ける。又、筐体
１の内部、前記カセットストッカ５の上方に第１のクリ
ーンユニット１２を設ける。
【００１２】該第１のクリーンユニット１２はエアフィ
ルタとファンを組合せたもので、例えば０．２５メッシ
ュのエアフィルタを有し、０．５μ以下のチリをカット
する性能を有する。
ルタとファンを組合せたもので、例えば０．２５メッシ
ュのエアフィルタを有し、０．５μ以下のチリをカット
する性能を有する。
【００１３】前記筐体１の内部、側面に沿って、前記ボ
ート昇降装置４とカセットストッカ５の中間位置に第２
のクリーンユニット１３を所要数（本実施例では３組）
設ける。又、筐体１の背面で、前記第２クリーンユニッ
ト１３が設けられた反対側の側面近傍、前記ボート昇降
装置４の近傍に所要数の排気ファン１４を設ける。
ート昇降装置４とカセットストッカ５の中間位置に第２
のクリーンユニット１３を所要数（本実施例では３組）
設ける。又、筐体１の背面で、前記第２クリーンユニッ
ト１３が設けられた反対側の側面近傍、前記ボート昇降
装置４の近傍に所要数の排気ファン１４を設ける。
【００１４】前記カセット搬送装置１０によるカセット
の搬送が行われている状態、及びカセットストッカ５に
カセットが収納されている間は、第１のクリーンユニッ
ト１２よりクリーンエア１５を送風する。
の搬送が行われている状態、及びカセットストッカ５に
カセットが収納されている間は、第１のクリーンユニッ
ト１２よりクリーンエア１５を送風する。
【００１５】クリーンエア１５は、図１に示される様に
、前記エアフィルタ１１より吸気され、第１のクリーン
ユニット１２で浄化され、カセットストッカ５を流通し
て筐体１の底部を流れて、前記排気ファン１４より排出
される。
、前記エアフィルタ１１より吸気され、第１のクリーン
ユニット１２で浄化され、カセットストッカ５を流通し
て筐体１の底部を流れて、前記排気ファン１４より排出
される。
【００１６】又、ウェーハ搬送時には、ウェーハ搬送装
置６及びボート３のウェーハに対し、第２のクリーンユ
ニット１３よりクリーンエア１５が送風される。
置６及びボート３のウェーハに対し、第２のクリーンユ
ニット１３よりクリーンエア１５が送風される。
【００１７】第２のクリーンユニット１３からのクリー
ンエア１６は前記ボート３の周囲、該ボート３に装填さ
れたウェーハ８とウェーハ８との間を通って前記排気フ
ァン１４より排出される。
ンエア１６は前記ボート３の周囲、該ボート３に装填さ
れたウェーハ８とウェーハ８との間を通って前記排気フ
ァン１４より排出される。
【００１８】以上の如く、筐体１の内部には、所定のク
リーンエアの一方向流れが形成され、更に排出されるの
で、ウェーハ搬送装置６、ボート昇降装置４等で発生し
た汚染粒子は、筐体１の内部に滞溜することなく、スム
ーズに排出される。
リーンエアの一方向流れが形成され、更に排出されるの
で、ウェーハ搬送装置６、ボート昇降装置４等で発生し
た汚染粒子は、筐体１の内部に滞溜することなく、スム
ーズに排出される。
【００１９】而して、筐体内は常時クリーンエアが流通
し、筐体内部のウェーハは汚染される危険性が少ない。 更に筐体１の天井面よりエアを吸引し、背面に排出する
為、クリーンルーム内の縦型炉周辺のエアを乱しにくく
、縦型炉周囲での発塵を防ぐ。
し、筐体内部のウェーハは汚染される危険性が少ない。 更に筐体１の天井面よりエアを吸引し、背面に排出する
為、クリーンルーム内の縦型炉周辺のエアを乱しにくく
、縦型炉周囲での発塵を防ぐ。
【００２０】又、図３、図４は図１、図２の実施例中で
示したカセットストッカ５の上方にバッファカセットス
トッカ１７が設けられた縦型炉の例を示しており、該縦
型炉では、エアフィルタ１１の下方バッファカセットス
トッカ１７と炉体１との間に２組のクリーンユニット１
８を設け、エアフィルタ１１から吸引したクリーンエア
１５をバッファカセットストッカ１７に向けて流通させ
る。
示したカセットストッカ５の上方にバッファカセットス
トッカ１７が設けられた縦型炉の例を示しており、該縦
型炉では、エアフィルタ１１の下方バッファカセットス
トッカ１７と炉体１との間に２組のクリーンユニット１
８を設け、エアフィルタ１１から吸引したクリーンエア
１５をバッファカセットストッカ１７に向けて流通させ
る。
【００２１】本実施例でも前述した実施例同様クリーン
エアの一方向流れを形成し、筐体１の内部をクリーンに
維持する。
エアの一方向流れを形成し、筐体１の内部をクリーンに
維持する。
【００２２】
【発明の効果】以上述べた如く、筐体内部を常にクリー
ンエアが流通し、更に排出されるので、ウェーハが収納
されている領域、ウェーハが移動する領域のクリーン度
が高く、筐体内部での粒子汚染対処性能を向上すること
ができる。又、クリーンルーム内のエアの乱れを減少さ
せることができ、縦型炉外での発塵を防ぐ為、クリーン
ルームのクリーン度の維持も容易となる。
ンエアが流通し、更に排出されるので、ウェーハが収納
されている領域、ウェーハが移動する領域のクリーン度
が高く、筐体内部での粒子汚染対処性能を向上すること
ができる。又、クリーンルーム内のエアの乱れを減少さ
せることができ、縦型炉外での発塵を防ぐ為、クリーン
ルームのクリーン度の維持も容易となる。
【図１】第１の実施例の前面側より視た斜視図である。
【図２】同前背面側より視た斜視図である。
【図３】第２の実施例の前面側より視た斜視図である。
【図４】同前背面側より視た斜視図である。
１ 筐体
１１ エアフィルタ
１２ 第１クリーンユニット
１３ 第２クリーンユニット
１４ 排気ファン
１５ クリーンエア
１６ クリーンエア
１８ クリーンユニット
Claims (1)
- 【請求項１】 筐体天井面に設けられた導入口にエア
フィルタを設け、筐体背面に排気ファンを設け、筐体内
部にクリーンユニットを設け、該筐体内部に前記エアフ
ィルタから吸収され、前記排気ファンから排出されるク
リーンエアの一方向流れを形成する様構成したことを特
徴とする縦型炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3087481A JPH081882B2 (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 縦型炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3087481A JPH081882B2 (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 縦型炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04299513A true JPH04299513A (ja) | 1992-10-22 |
| JPH081882B2 JPH081882B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=13916134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3087481A Expired - Lifetime JPH081882B2 (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 縦型炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081882B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59154015A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-03 | Hitachi Ltd | クリ−ントンネル |
| JPH0256926A (ja) * | 1988-05-27 | 1990-02-26 | Tel Sagami Ltd | 処理装置 |
| JPH02117512A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-05-02 | Hitachi Ltd | 多品種搬送方法及び装置 |
| JPH02138733A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP3087481A patent/JPH081882B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59154015A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-03 | Hitachi Ltd | クリ−ントンネル |
| JPH0256926A (ja) * | 1988-05-27 | 1990-02-26 | Tel Sagami Ltd | 処理装置 |
| JPH02138733A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH02117512A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-05-02 | Hitachi Ltd | 多品種搬送方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081882B2 (ja) | 1996-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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