JPH04294766A - キャリヤボックスの真空引き方法及びキャリヤボッ クス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、薄い円盤状の物品、例
えばウエハ等、が収容されているキャリヤボックスの内
部を真空引きにより排気して、汚染粒子或いは汚染物品
を除去するキャリヤボックスの真空引き方法及びキャリ
ヤボックスに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体チップ或いはウエハ等の特殊な物
品は、他の不純物に汚染されると、その機能を果さなく
なってしまう事がある。従ってその取り扱い、運搬には
細心の注意が払われている。例えばキャリヤボックス内
に物品を収容し、真空引きして高真空に保った状態で搬
送し、そして例えばクリーンリームで、内部に収容して
いるウエハすなわち物品をクリーンルームに取り出して
いる方法が開発されている。

【０００３】そのキャリヤボックスの従来例が、図３に
示されている。従来のキャリヤボックスは、図示されて
いるように全体は箱状を呈している。そして一方の側部
は開口していて、この開口部にシール５０を介して蓋５
１が開閉自在に設けられている。また蓋５１と対向する
側壁５２には、真空引きの際に図示しない真空源と接続
される吸引口５３が設けられている。

【０００４】キャリヤボックスＢには、カセット５４が
前記開口を通して出し入れ自在であり、このカセット５
４にウエハ５５が所定の間隔をおいて層状に積み上げら
れている。なお、図３中の符号５６、５６はウエハ押え
を示している。

【０００５】使用に際しては、ウエハ５５、５５・・・
をカセット５４に載せ、キャリヤボックスＢに収容し、
そして蓋５１でボックスを密閉した後、吸引口５３を真
空源に接続する。これによりキャリヤボックス内は減圧
され排気されて、汚染粒子も排出される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のキャリ
ヤボックスにおいては、真空源に吸引口を接続して排気
を行うと、ウエハ５５、５５が振動するという欠点があ
る。すなわちウエハはキャリヤボックスの略々中心部に
収容され、そして吸引口５３もウエハに対向して設けら
れているので、吸引口５３から排気するとき、気流がウ
エハ５５、５５間に流れ、ウエハがチャタリングを起こ
す。ウエハ５５、５５がチャタリング或いは振動すると
汚染粒子が生じることもあり、また薄いウエハが振動で
破損することもある。

【０００７】上記のようなチャタリング或いは振動は、
排気量を減らすと抑えることはできる。排気量を減らす
と、真空引きに要する時間が長くなり作業効率が低下し
てしまう。

【０００８】したがって、本発明はウエハ等の物品を損
傷することなく、しかも短時間で真空引きができるキャ
リヤボックスの真空引き方法及びキャリヤボックスを提
供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のキャリヤボック
スの真空引き方法は、薄い円盤状の物品が内部で層状に
収納され、一方の側部に開閉自在の蓋が設けられ、他の
側部には真空引き用の吸引口が形成されているキャリヤ
ボックスを真空引きするキャリヤボックスの真空引き方
法において、内部の汚染粒子を除去するために真空引き
をする工程に際して、排気される気体が前記物品近傍を
通過する時の流速を減少せしめている。ここで、排気さ
れる気体が物品近傍を通過する時の流速は、上述のチャ
タリング或いは振動が発生しなくなるまで減少され、或
いは遅くされる。但し、流速の具体的な数値については
、ケースバイケースである。

【００１０】また本発明のキャリヤボックスは、開閉自
在な蓋体と、内部の気体を排気するための真空引き用の
吸引口とを備え、その内部に薄い円盤状の物品が層状に
収容されるキャリヤボックスにおいて、前記吸引口と収
容されている物品との間に、気流の流速を減少する手段
を設けている。ここで、気流の流速を減少する手段とし
ては、例えばディフレクタが好ましい。

【００１１】

【作用】上記の様な構成を有する本発明によれば、真空
引きに際して排気される気体が物品近傍を通過する時の
流速は、上述のチャタリング或いは振動が発生しなくな
るまで減少され、或いは遅くされるので、汚染粒子の発
生やウエハの破損が防止される。一方、排気量自体を減
少する訳ではないので、真空引きに要する時間が長くな
ることは無く、作業効率が低下することも無い。

【００１２】キャリヤボックスへを収容する際には、前
記のように開閉自在な蓋体を有するので、この蓋体を開
いて内部へウエハ等の物品を入れる。このとき、内部が
不純物で汚染されないように、クリーンルーム内で或い
はクリーンルームに接続されたボックス内で開く。物品
を収容した蓋体を閉める。そして真空源に吸引口を接続
してキャリヤボックスの真空引きをする。真空引きが終
ったら、真空源から切り離し、キャリヤボックスを自由
にして所定箇所へ移送する。

【００１３】蓋体を開くクリーンな環境が大気圧のとき
は、吸引口からクリーンな気体をキャリヤボックス内に
供給し、内部を環境と略同圧にして蓋体を開き、収容さ
れている物品を取り出す。減圧環境下ならそのまま開く
ことができる。

【００１４】

【実施例】以下図１、２を用いて本発明の１実施例を説
明する。本実施例に係るキャリヤボックスＢＸも、外形
は従来のもと同様な形状をしている。すなわち全体は箱
状を呈し、その側部は開口している。この開口部にはフ
ランジ２が設けられ、このフランジにシール３を介して
蓋体４が固定されるようになっている。蓋体４はボルト
・ナットによってフランジ２に着脱自在に固定するよう
にしても良いが、本実施例では作業性を考慮してワンタ
ッチで操作できるクランプ５、５で取付けられている。

【００１５】キャリヤボックスＢＸの開口部の、対向側
壁６にはそこを貫通した吸引口７、７が２個設けられて
いる。すなわち、これらの吸引口は、図１に示されてい
るように側壁６の下方部分で、かつ図２に示されている
ように他の側壁８、９寄りに設けられている。これらの
吸引口は、図には示されていないが、バルブなどを介し
て真空源或いはクリーンな大気側へ接続されるようにな
っている。

【００１６】キャリヤボックスＢＸの略中央部には、図
３に示されているようにカセット２０が開口を通して出
入れできるようになっている。なお、図ではカセット２
０に円形のウエハ２１、２１・・・が所定の間隔をおい
て層状になって積み重ねられている。

【００１７】ディフレクタ３０は、図１、２に示されて
いるように、吸引口７、７とカセット２０或いはウエハ
２１との間に設けられている。すなわちディフレクタ３
０は、全体は略々方形を呈し、その四辺とキャリヤボッ
クスの上、下壁１０、１１及び側壁８、９との間には所
定の隙間があり、また側壁６とも所定の間隔が存するよ
うに脚体３１、３１で側壁６に取付けられている。

【００１８】図には示されていないが、ディフレクタ３
０或いは側壁６側にカセット２０を受け止めるカセット
受けが設けられ、蓋体４側の内部にはウエハ抑えが設け
られており、キャリヤボックスを移送するとき、カセッ
ト２０或いはウエハ２１、２１・・・が妄りに動かない
ようになっている。

【００１９】次に上記実施例の作用を説明する。キャリ
ヤボックスＢＸにカセット２０を搬入或いは搬出すると
きは、クランプ５、５を外して蓋体４を開く。このとき
クリーンルームに関連して開閉しキャリヤボックスの内
部が汚染しないようにする。そして開閉操作を行い、ウ
エハの搬入が終了したら蓋体４をシール３を介してフラ
ンジ２に当接せしめ、クランプ５、５によって蓋体４で
密封する。そして吸引口７、７に真空源を接続し真空引
きをする。

【００２０】このとき、吸引口７、７とウエハ２１、２
１との間にはディフレクタ３０が設けられているので、
内部の気体（空気或いは不活性ガス）は、矢印Ａで示さ
れているように、主としてディフレクタ３０の四辺とキ
ャリヤボックスＢＸの４側壁８、９、１０、１１との間
隙を通って吸引口７、７から排出される。

【００２１】したがって、ウエハ部分では気流の速度は
遅く、大量の空気を短時間に排気するにもかかわらず、
ウエハ２１、２１・・・が振動したり、破損するような
ことがない。真空引きが終ったら、真空源から切り離し
所定の箇所へ移送する。

【００２２】蓋体４を大気圧中で開く場合には、クリー
ンな気体を吸引口７、７から導入する。この導入に際し
て大量の気体を同時にキャリヤボックス内に入れてもデ
ィフレクタ３０が設けられているので、真空引きのとき
と同様にウエハ２１、２１が損傷を受けるようなことは
ない。

【００２３】本発明の実施に際しては、ディフレクタは
板体より構成し、その周縁がキャリヤボックスの四辺か
ら離隔するように設けるのが望ましい。そうすると真空
引きするとき、空気は主として四辺に沿って流れ、物品
が収容されている部分では流速が所定値まで下るからで
ある。またディフレクタには複数個の細孔を設け、これ
らの細孔の数或いは流速を調節することもできる。更に
は図示の実施例では、吸引口及びディフレクタは蓋体に
対向した側壁に設けられているが、他の側壁に設けても
同様に実施できることは明らかである。

【００２４】

【発明の効果】本発明の効果を以下に列挙する。

【００２５】（１）　　ウエハ等の物品を収容したキャ
リヤボックスを真空引きするとき、物品の所を通る気流
の速度を遅くして真空引きするので、物品が気流により
振動することがない。したがって物品が破損することも
ない。

【００２６】（２）　　振動によって例えばウエハ用の
カセットから新たな汚染粒子が発生する危険が防止され
る。

【００２７】（３）　　例えばキャリヤボックスの側壁
近傍の様に物品が収容されていない部分の流速は充分速
くすることができるので、吸引時間が短くて済む。

【００２８】（４）　　側壁近傍の汚染粒子は効率的に
排出できる。

【００２９】（５）　　半導体製品の歩留りが向上する
。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例を示す側断面図。

【図２】図１に示す実施例の平面図。

【図３】本発明の選考技術となる例を示す斜視図。

【符号の説明】

４・・・蓋体 ６・・・側壁 ７・・・吸引口 ２１・・・ウエハ ３０・・・ディフレクタ ＢＸ・・・キャリヤボックス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　薄い円盤状の物品が内部で層状に収納
   され、一方の側部に開閉自在の蓋が設けられ、他の側部
   には真空引き用の吸引口が形成されているキャリヤボッ
   クスを真空引きするキャリヤボックスの真空引き方法に
   おいて、内部の汚染粒子を除去するために真空引きをす
   る工程に際して、排気される気体が前記物品近傍を通過
   する時の流速を減少せしめたことを特徴とするキャリヤ
   ボックスの真空引き方法。
2. 【請求項２】　　開閉自在な蓋体と、内部の気体を排気
   するための真空引き用の吸引口とを備え、その内部に薄
   い円盤状の物品が層状に収容されるキャリヤボックスに
   おいて、前記吸引口と収容されている物品との間に、気
   流の流速を減少する手段を設けたことを特徴とするキャ
   リヤボックス。