JPH06191639A - 偏平物品の取扱い装置 - Google Patents

偏平物品の取扱い装置

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JPH06191639A
JPH06191639A JP5258605A JP25860593A JPH06191639A JP H06191639 A JPH06191639 A JP H06191639A JP 5258605 A JP5258605 A JP 5258605A JP 25860593 A JP25860593 A JP 25860593A JP H06191639 A JPH06191639 A JP H06191639A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の偏平物品取扱い装置は、取扱う物品
を１つずつ個別に超清浄雰囲気のボックスに収容して、
ベンチレータ装備を備えたインターフェイスを介して作
業ステーションに搬送するようにすることで、ホワイト
・ルームを使用することなく超清浄雰囲気下で偏平物品
を取扱い及び移送できるようにする。本発明の装置はシ
リコン・ウェファ上の印刷回路の製造に使用できる。 【構成】 本発明の偏平物品取扱い装置は、それぞれに
偏平物品を収容する個別ボックス（１）を受取するイン
ターフェイス（５）を備え、このインターフェイスにお
いてボックスが開かれ、偏平物品が取出されて作業ステ
ーション（６Ａ）へ搬入される。装置は又トンネル
（４）を備え、このトンネルによって１つの作業ステー
ション（６Ａ）から他の作業ステーション（６Ｂ）への
偏平物品の移送が可能にされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン・ウェファの
ような偏平な物品を特別な超清浄の雰囲気下で取扱う装
置に関する。それらシリコン・ウェファは、エレクトロ
ニクス又はマイクロエレクトロニクスの分野の集積回路
の製造に使用されるものである。本発明は、特に真空が
用いられる他の用途にも適用できる。
【０００２】
【従来の技術】円形のシリコン・ウェファ上に電子回路
を製造する場合、シリコン・ウェファを特別な雰囲気下
で処理し、そして超清浄な雰囲気下で即ち制御された窒
素又は高純度の空気に包んで取扱い、貯蔵しなければな
らない。現在まで幾つかのシステム構想が使われてい
る。
【０００３】その第一の構想は、シリコン・ウェファが
処理される所の部屋を所定の超清浄雰囲気、即ち制御さ
れた雰囲気にすることである。この場合大型の空気ろ過
／ベンチレーション設備と、部屋の中で作業するオペレ
ータの精巧な衣服が必要になる。
【０００４】別の構想は、シリコン・ウェファが貯蔵さ
れ、取扱われる地点だけを制御された雰囲気にすること
である。そのような地点とは作業ステーションと貯蔵コ
ンテナである。１つの作業ステーションから別の作業ス
テーションへ、あるいは貯蔵ステーションから作業ステ
ーションへのウェファの搬送は、１０枚から３０枚の積
重ねたシリコン・ウェファを受入できる棚システムを有
するカセット又はケースを備えたコンテナによって行わ
れる。それらの全体的に気密のコンテナはこれ自体に超
清浄空気供給システムを備えることさえできる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は更に別
の構想のシリコン・ウェファ取扱い装置を提供すること
である。脆性と処理条件に関してシリコン・ウェファは
デジタル光ディスク及びコンパクト・オーディオデジタ
ル・ディスクにリンクすることができる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の主要な目
的は、個別のボックス内の超清浄の雰囲気中に閉込めた
偏平な物品を、この物品の完全な連続性を確保したま
ま、内部が特別な雰囲気にされた少なくとも１つの作業
ステーション内へ送込むように該偏平物品を取扱う装置
を提供することである。この偏平物品取扱い装置は、超
清浄雰囲気を収容する個別の気密ボックス、これらボッ
クスを通常の雰囲気中で搬送する装備、この搬送装備
と、偏平物品のための作業ステーションとの間に設けら
れるインターフェイスを備え、このインターフェイス内
においてボックスが開かれ、これらボックスから偏平物
品が引出され、そしてこれら物品が作業ステーション内
に滞留する全期間中超清浄雰囲気下に保持され、又、偏
平物品を超清浄雰囲気下に保持したまま２つの作業ステ
ーションを剛性結合する偏平物品の移送トンネル、及
び、ボックスの搬送又は移送の操作と制御を行う装備を
備える。
【０００７】個別ボックスは超偏平であり、そして隠蔽
ドアを有する。
【０００８】好適な実施例において、インターフェイス
は、アクセル・トンネルを構成し、そしてこのトンネル
内に偏平物品を挿入して通過させるように作動する取上
げ及び設置ロボットを装備する体部、この体部の第一端
部に固定され、又作業ステーションの出口の固定装備と
合致する固定装備を有して作業ステーションに対するイ
ンターフェイスの機械的位置決めを行うアダプタ底部プ
レート、及び、ボックスを位置決めしてそれらボックス
を開かせ、上記ロボットに物品を把持させ、又その逆順
序の操作を行わせるためのモジュール底部プレートを備
える。
【０００９】この場合上記体部は好適には、送給パイプ
によって窒素又は超清浄空気を供給される物品を保護す
る装備を備える。
【００１０】アダプタ底部プレートは好適には、作業ス
テーションを隔離するドア・システムを備える。
【００１１】モジュール底部プレートは好適には、ボッ
クスのベンチレーション接続装備、ボックスの内部を体
部に気密結合させるようにボックスを開く装備、この開
き装備に対してボックスを位置決めする装備、及び、前
記操作及び制御装備と情報を交換する装備を備える。
【００１２】ボックスが説明カードを有する場合、モジ
ュール底部プレートは、その説明カード上の情報を読取
り及び更新する装備を備えることができる。
【００１３】上記位置決め装備は好適には、ボックスを
係留孔内へ押入れる水平なピストンを有する。
【００１４】前記トンネルは好適には、相互に固定され
る次の３個の要素、即ち、トンネル・セクションで構成
される少なくとも１個の中継モジュール、及び少なくと
も２個のロボット・モジュールを備え、これらモジュー
ルはそれぞれ作業ステーションの出口と移送モジュール
とに固定され、この移送モジュールは、作業ステーショ
ンの出口に置かれた偏平物品を中継モジュールに通して
他のロボット・モジュールへ移送させる。又、窒素又は
超清浄ガス源と接続した物品保護装備を備える。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の制約的でない実施例及び添付
図面と関連して本発明をより詳細に説明する。
【００１６】図１は２つの作業ステーション６Ａ，６Ｂ
を示し、これら作業ステーションの中で、シリコン・ウ
ェファのような非常に脆性の大きい物品に対する作業が
特別な作業条件下、特に多くの場合特別な性質をもたせ
た雰囲気下で行われる。それら作業ステーションの外部
では物品は１個ずつ個別のボックス１内に貯蔵して取扱
われる。ボックスの貯蔵と搬送は手動的又は自動的に行
われる。例えば、物品は、１本又はそれ以上のベルト又
はパスを有するコンベヤで構成される搬送要素３のよう
な様々な要素によって、作業ステーション６Ａ，６Ｂへ
送ることができる。
【００１７】本発明によれば、搬送要素３と作業ステー
ション６Ａ，６Ｂとの間のベンチレーション移行を行わ
せるインターフェイス５が備えられる。
【００１８】ボックス１はそれぞれにシリコン・ウェフ
ァ又は偏平スクリーンのような偏平物品を収容し、超清
浄雰囲気下に保持する。その偏平なボックス１は又、コ
ンパクト・ディスクあるいはデジタル光ディスクのよう
な偏平ディスクを収容することができる。
【００１９】そこで、シリコン・ウェファのような偏平
物品は恒常的に、その個別のボックス１内では超清浄雰
囲気の中に閉込められ、そして個別ボックス１から引出
されて作業ステーション６Ａ，６Ｂ内にあるときには特
別な雰囲気の中に閉込められていることになる。いうま
でもなく閉込め要素は全て気密にされている。
【００２０】本発明においては、偏平物品が貯蔵及び搬
送される間それぞれの個別ボックス１内に気密に封入さ
れているから、作業ステーション６Ａ，６Ｂとインター
フェイス５とトンネル４との内部だけが特別な雰囲気に
保持される。偏平物品を挿入したり取出すためにボック
スが開かれるときにはボックス内のベンチレーション・
システムが操作される。そこでボックスのドアの反対側
に備えられた超清浄ガス又は窒素油圧送給パイプが、周
囲のガスがボックス・ドアを通って流入するのを防止す
る。
【００２１】従って本発明の偏平物品取扱い装置では、
超清浄ガス又は窒素の及び特別な雰囲気にされる容積の
量は最小限のものになる。更に超偏平ボックス１は取扱
い及び貯蔵に適した外形にすることができるから、それ
らボックスの取扱い又は処理に支障をきたすことはな
い。このようなボックス１の取扱いを容易にすることの
構成はコンパクト・ディスクのボックスの場合と同様で
ある。
【００２２】シリコン・ウェファのような偏平な物品を
個別のボックス１に容れて取扱うという構想は、シリコ
ン・ウェファを集合的に保護する、即ち決して個別のエ
ンベロプで包むことをしないという構想とは正反対のも
のである。本発明の構想において、偏平物品／個別ボッ
クス１で構成される組立体は、偏平物品の処理又は製造
サイクル全体を通して分離不可能な対を成している。
【００２３】いうまでもなく、それぞれの個別ボックス
１は、本発明の取扱い装置で用いられる開閉システムと
適合する隠蔽ドアを有する。そこで各物品はこれの個別
ボックス１から引出し、そして再び挿入することができ
る。
【００２４】ボックスの搬送を操作し制御する装備は図
示していないが、いうまでもなく本発明の装置の一部と
して含まれる。図１は又水平の取扱いランプ８を示す、
このランプに搬送キャリジ９が吊下げられ、個別ボック
ス１のカセット又はパック７を貯蔵要素２の中へ入れら
れるようにする。
【００２５】図２は本発明における主要な要素の１つで
ある、搬送装備と作業ステーションとの間の移行部を形
成するインターフェイスを示す。
【００２６】インターフェイスの第一部分は、偏平物品
１０を通すトンネル部分である体部１１によって構成さ
れる。この体部は作業ステーション６へのアクセス・ト
ンネルとなる。体部１１はロボット１２、例えばブルッ
クス・アンド・エイド（ＢＲＯＫＳ ａｎｄ ＡＤＥ）
から発売されている取上げ及び設置ロボットを備える。
このロボット１２は物品１０を作業ステーション６内へ
導入するリレーとして働く。即ち、垂直軸心１３周りの
回転運動及び体部１１内に備えられたアーム１４の枢動
運動によってロボット１２は偏平物品１０を体部１１に
通過させることができる。
【００２７】体部１１の内側全体に亘って空気または窒
素により恒常的な清掃を行うことによって、偏平物品１
０が汚染から保護される。この清掃は、偏平物品１０の
平面に対し平行方向又は横断方向の積層状に行うことが
できる。その空気流は、例えば、高清浄の空気又は窒素
を送られる体部１１内に設けられたディフューザ２９に
よって作られよう。
【００２８】インターフェイスの別の部分は、体部１１
の第一端部１６に固定されるアダプタ底部プレート１５
によって構成されるものである。この底部プレート１５
は作業ステーション６の入口１７に固定される。好適に
は底部プレート１５は、作業ステーション６の内部をイ
ンターフェイスの内部から隔離できるようにするドア１
８を有する。作業雰囲気は一般的に特別なものにされ、
超清浄ではない。従ってドア１８を開く前にインターフ
ェイス内のガスを追出し、その特別な雰囲気で充たさな
ければならない。
【００２９】インターフェイスの第三の部分は、体部１
１の第二端部１９に固定されるモジュール底部プレート
２０で構成される。このモジュール底部プレートは実質
的に、ボックスのベンチレーション接続装備、ボックス
の位置決め装備、ボックスを開く装備、及び、前記操作
及び情報を交換する装備を備える。
【００３０】ボックス１を人手でモジュール底部プレー
ト２０上に載せることもできるが、後者は通常ボックス
搬送装備のパス上に置かれ、そして当該作業ステーショ
ンで処理されるべき物品を収容したものが途中で取出さ
れる。底部プレート２０はそこで搬送システムの特別の
モジュール上に装架され、これによって搬送システムか
らボックスを自動的に引出すようにすることができる。
特別モジュール５０を備えたモジュール底部プレート２
０はボックス搬送装備の中間要素を構成する。
【００３１】ボックス１の位置決め装備を形成するた
め、水平のピストン２３が備えられてボックス１を係留
及び位置決め孔２４の方へ押す。そこでボックス１の開
くドアがモジュール底部プレート２０の閉じるドアに接
触する。インターフェイスに存在する汚染物質を捕える
ためそれら２つのドアを同時に開く装備が備えられる。
この開きによってボックス１の内部と体部１１の内部と
を連結することができる。そこでその開きが行われてい
る間に窒素又は清浄空気の流れがボックス１内に漸次的
に作られて、物品１０を全ての汚染源から保護する。作
業ステーションへ移送されていくときの物品１０を確実
に保護するためボックス１と体部１１との間にベンチレ
ーション・システムが備えられる。前記開き装備は、底
部プレート２０の端部で係留孔２４の上又は下に設置さ
れる装置２５によって構成することができる。２つの一
体になっているドアの開きは枢動又は並進動によって行
うことができる。
【００３２】モジュール底部プレート２０は又、前記制
御装備と情報を交換する装備を備えることができる。即
ち、各ボックス１が説明カードを有する場合、そのボッ
クス１のカードに書込まれている情報を読取り及び更新
する装備を備えることができる。この装備は水平ピスト
ン２３上に設けられ、ボックス１の後部と連絡する。
【００３３】ボックス１が内部ベンチレーション装備を
有するので、モジュール底部プレート２０がそのボック
ス１につなげられるベンチレーション接続装備を備え
る。このベンチレーション接続装備は、ボックス１の内
部ベンチレーション装備に結合できる窒素又は超清浄ガ
ス送給パイプ２６の形にすることができる。送給パイプ
２６のベンチレーション接続部２７がピストン２３に固
定され、そしてボックス１のベンチレーション入口に係
合される。
【００３４】以上のようなインターフェイスは下記のよ
うに操作する。ボックス１が自動的又は手動的に係留孔
２４に対して位置決めされる。そこで水平ピストン２３
がボックス１を係留孔２４内へ押入れ、これによってボ
ックス１はピストン２３の行程によって決まる所定の並
進位置まで押される。
【００３５】それからボックス１のドアをラッチング作
用で把持するシステム２５によってボックス１は開かれ
る。そこでその開きシステム２５が枢動することにより
ボックス１の内部が体部１１の内部と連絡する。それか
ら接続部２７によってボックス１の内部にベンチレーシ
ョン循環が行われる。
【００３６】次いで、把持装備をもったロボット１２の
アーム１４が、ボックス１内に収容された偏平物品１０
を把持する。ロボット１２の軸心１３周りの回転及び／
又はアーム１４の枢動によって、作業ステーションの入
口にある支持２８の上に偏平物品を載せることができ
る。物品を個別ボックス１内に再び入れるときにはその
逆の順序の操作が行われ、そしてボックスは再び閉じら
れる。
【００３７】以上のようなモジュール底部プレートは、
下記の如き様々な機能を充たすことのできるインターフ
ェイスを構成することが可能である。即ち、本発明の取
扱い装置により制御されるボックス１を適用できる。ボ
ックス１が開き装備２５上にラッチング係合又は錠止さ
れる。各ボックス１が窒素又は清浄空気分配ネットワー
クにベンチレーション接続される。ボックス１内の物理
化学的パラメータを検査できる。ボックス１の開閉機構
を備える。ボックス１から作業ステーション６へのシリ
コン・ウェファの移送が制御される。制御システム及び
自動ボックス分配システムと情報交換が行われる。
【００３８】図３は、本発明の偏平物品取扱い装置のト
ンネル４の構造を示す。このトンネルは、２個のコーナ
リング・モジュール４２で成る２個の基本的モジュール
の間に中継モジュール４１を取付けて構成される。図３
に示されるように、各コーナリング・モジュール４２
は、作業ステーション６Ａと６Ｂの入口に取付けられる
固定装備４７によって作業ステーション６Ａ，６Ｂに固
定される。それら固定装備は、インターフェイスの底部
プレートにおいて使用されるドア・システムの場合と同
様にトンネル４又は作業ステーション６Ａ，６Ｂを隔離
するドア・システム４６を備えることができる。これに
よってトンネル４又は作業ステーション６Ａ，６Ｂは相
互に、そしてベンチレーション装備から隔離することが
できる。ステーション６Ａと６Ｂとの間が著しく離れて
いる場合には前記の体部モジュール１１を使ってトンネ
ル４を延長することが可能である。体部モジュール１１
をそこでは「ストレート」体部モジュールと称する。２
つの体部モジュールの間に中継モジュール４１は不可欠
である。
【００３９】偏平物品１０は、体部モジュール１１又は
４２に備える取上げ及び設置ロボット４３によってトン
ネル４内を移送されていくとき、恒常的な空気又は窒素
による清掃によって汚染から保護される。体部モジュー
ル１１，４２及び中継モジュール４１はそのような保護
を行うためのベンチレーション装置を備える。このベン
チレーション装置は、物品に対し平行または直角に置か
れ、そしてベンチレーション送給パイプ４８から超清浄
空気または窒素を供給されるディフューザ４９で構成さ
れる。このベンチレーション装置は、各インターフェイ
スにおいて乱流を生じさせないような設計にされてい
る。
【００４０】トンネル４はこれの内部が示されるように
図示されている。そこで、各コーナリング・モジュール
４２の中に、インターフェイスの体部に備えられている
ものと同様なロボット４３が備えられていることが解か
る。このロボットは取上げ及び設置型ロボットである。
換言するとそのロボットは垂直軸心４４周りの回転運動
と水平方向の並進運動を行う。コーナリング・モジュー
ル４２は直角のトンネル・セクションで構成され、そこ
でロボットは作業ステーション６Ａ又は６Ｂの内部から
偏平物品を中継モジュール４１へ移送する。このために
はアーム４５の端部で偏平物品を把持し、ロボットの中
心部へ運び、９０°回転し、アーム４５を中継モジュー
ル４１の方へ延ばし、そしてこのモジュール４１の支持
４３の上へ設置すればよい。こうしてシリコン・ウェフ
ァは１つの作業ステーション６Ａから他の作業ステーシ
ョン６Ｂへと容易に移送できる。又、より長いトンネル
部分を作るため、中継モジュール４１の間に図２のイン
ターフェイス体部モジュール１１のようなモジュールを
挿入することも可能である。
【００４１】以上のようにして２つの作業ステーション
６Ａと６Ｂはいわゆる「剛性」的に組合わされる。こう
して内部に超清浄空気又は窒素が循環する活性的なトン
ネルを簡単に製作できる。更に半真空に耐えるトンネル
にすることさえ可能である。即ち、ポンプを有し、そし
て高レベルの緘封作用をもったシステムを備えることに
よって本発明の装置は真空処理や真空製造の用途にも応
用することができる。
【００４２】ここに本発明の偏平物品取扱い装置は、高
度の清浄状態を必要するシリコン・ウェファに適用され
るものとして記述されてきた。しかし本発明の装置は一
般的に、同様な清浄状態を必要とする大型の偏平物品を
取扱う場合にも利用できる。これは偏平なスクリーンの
場合である。又、コンパクト・ディスクへの応用も本発
明の装置の適用範囲である。諸要素を気密に閉鎖できる
ようにすることによって、本発明の装置は真空下で物品
を取扱うのに使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の偏平物品取扱い装置の全体的な外観斜
視図。
【図２】本発明の装置で使用されるインターフェイスの
断面図。
【図３】本発明の装置で使用される移送トンネルの斜視
断面図。
【符号の説明】
１ ボックス ２ ボックス貯蔵要素 ３ 搬送装備 ４ 移送トンネル ５ インターフェイス ６ 作業ステーション ８ 取扱いランプ ９ 移送キャリジ １０ 偏平物品 １１ 体部 １２ 取上げ及び設置ロボット １５ アダプタ底部プレート １８ ドア ２０ モジュール底部プレート ２３ ピストン ２４ 係留及び位置決め孔 ２５ 開き装置 ２６ ベンチレーション・パイプ ２８ 支持 ２９ ディフューザ ４１ 中継モジュール ４２ コーナリング・モジュール ４３ 取上げ及び設置ロボット ４６ ドア ４８ ベンチレーション・パイプ ４９ ディフューザ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 個別のボックス（１）内の超清浄の雰囲
    気中に閉込めた偏平な物品（１０）を、内部が特別な雰
    囲気にされた少なくとも１つの作業ステーション（６，
    ６Ａ，６Ｂ）内へ送込むように該偏平物品（１０）を取
    扱う装置において、内部が超清浄の雰囲気にされた個別
    のボックス（１）、これらボックス（１）を通常の雰囲
    気中で搬送する装備（３）、この搬送装備（３）と、該
    偏平物品（１０）のための該作業ステーション（６，６
    Ａ，６Ｂ）との間に設けられるインターフェイス（５）
    を備え、このインターフェイス内において該ボックス
    （１）が開かれ、これらボックスから該偏平物品（１
    ０）が引出され、そしてこれら物品が該作業ステーショ
    ン（６，６Ａ，６Ｂ）内に滞留する全期間中特別な雰囲
    気下に保持され、又、該偏平物品（１）を超清浄雰囲気
    下に保持したまま２つの該作業ステーション（６Ａ，６
    Ｂ）を剛性結合する該偏平物品（１）の移送トンネル
    （４）、及び、該ボックスの搬送の操作と制御を行う装
    備を備えて成る偏平物品取扱い装置。
  2. 【請求項２】 該偏平物品（１０）がシリコン・ウェフ
    ァであり、該個別ボックス（１）が超偏平であり、そし
    て隠蔽ドアを有することを特徴とする請求項１の偏平物
    品取扱い装置。
  3. 【請求項３】 該インターフェイス（５）が、アクセス
    ・トンネルを構成し、そしてこのトンネル内に偏平物品
    （１０）を通過させるように作動する取上げ及び設置ロ
    ボット（１２）を装備する体部（１１）、一方において
    該体部（１１）の第一端部（１６）に固定され、他方に
    おいて作業ステーション（６）の入口に固定されて該作
    業ステーション（６）に対する該インターフェイス
    （５）の機械的位置決めを行うアダプタ底部プレート
    （１５）、及び、該ボックス（１）を位置決めしてそれ
    らボックスを開かせ、該ロボット（１２）に該偏平物品
    （１０）を把持させ、又その逆順序の操作を行わせるた
    めのモジュール底部プレート（２０）を備えることを特
    徴とする請求項１の偏平物品取扱い装置。
  4. 【請求項４】 該体部（１１）が、供給パイプ（２６）
    によって窒素又は超清浄空気を供給される該物品（１
    ０）を保護する装備を備えることを特徴とする請求項３
    の偏平物品取扱い装置。
  5. 【請求項５】 該アダプタ底部プレート（１５）が、該
    作業ステーション（６）を該体部（１１）から隔離する
    ドア・システム（１８）を有することを特徴とする請求
    項３の偏平物品取扱い装置。
  6. 【請求項６】 該モジュール底部プレート（２０）が、
    該ボックス（１）のベンチレーション接続装備（２６，
    ２７）、該ボックス（１）の内部を該体部（１１）に気
    密結合させるように該ボックスを開く装備（２５）、こ
    の開き装備（２５）に対して該ボックス（１）を位置決
    めする装備（２４）、及び、該操作及び制御装備と情報
    を交換する装備を備えることを特徴とする請求項３の偏
    平物品取扱い装置。
  7. 【請求項７】 該ボックス（１）が説明カードを有し、
    そこでこの説明カード上の情報を読取り及び更新する装
    備を備えることを特徴とする請求項６の偏平物品取扱い
    装置。
  8. 【請求項８】 該位置決め装備が、該ボックス（１）を
    係留孔（２４）内へ押入れる水平なピストン（２３）を
    含むことを特徴とする請求項６の偏平物品取扱い装置。
  9. 【請求項９】 該トンネル（４）が、トンネルセクショ
    ンで構成される少なくとも１個の中継モジュール（４
    １）及び少なくとも２個のコーナリング・モジュール
    （４２）を備え、これらモジュールはそれぞれ作業ステ
    ーション（６Ａ，６Ｂ）の出口と中継モジュール（４
    １）とに固定されて、該作業ステーション（６Ａ，６
    Ｂ）の出口に置かれた偏平物品（１０）を該中継モジュ
    ール（４１）に通して他のロボット・モジュールへ移送
    させ、又、該物品（１０）を保護する装備を備え、この
    保護装備は送給パイプ（４８）によって超清浄空気また
    は窒素を供給される如く構成されていることを特徴とす
    る請求項１の偏平物品取扱い装置。
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