JPH07291133A - 台車装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高クリーン度の環境を保持しながら工程内ば
かりでなく遠隔地にも大量に移送可能とし、かつ保管機
能を有する。 【構成】 被収納物１０を収納する収納空間部１１が構
成されかつ底面部６にはキャスタ８が配設されて移動自
在とされる。吸気したエアーを送風機２１により高性能
エアフィルタ２２を介して収納空間部１１へと供給し
て、収納空間部１１を増圧状態かつ高クリーン度に保持
するクリーンユニット２０を搭載する。商用電源と、搭
載したバッテリー３２とを電源として送風機２１を駆動
する電源ユニット２５を搭載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーン度が極めて高
い環境下で取り扱われる光記録媒体等の物品を収納保管
するとともに収納状態で次工程等へとそのまま搬送する
ことを可能とした台車装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体、半導体等は、例えばミクロ
ン、サブミクロンのレベルによる超微細技術に基づいて
製造される製品であり、これを高品質に維持するために
は、温度、湿度等の条件ばかりでなく空気中に浮遊する
塵埃等の環境管理が極めて重要となる。このため、光記
録媒体等の製造現場は、ダウンフロークリーンルーム或
いはクロスフロークリーンルームといったクリーンルー
ムによって構成され、入口にはエアーシャワ設備が設け
られる。

【０００３】ダウンフロークリーンルームは、例えば天
井面にエアフィルタを設置して吹出し口とするとともに
床面側を吸込み口として構成することによって、室内の
気流を天井から床へと流れるようにした圧力防塵室であ
る。また、クロスフロークリーンルームは、一方の壁面
にエアフィルタを設置して吹出し口とするとともに対向
壁面を吸込み口として構成することによって、室内の気
流を天井と床面とに平行に流れるようにした圧力防塵室
である。

【０００４】吹出し側の最終段階を構成するエアフィル
タには、例えばＨＥＰＡフィルタが用いられる。このＨ
ＥＰＡフィルタは、定格風量で粒径０．３μｍのＤＯＰ
粒子に対して９９．９７％の捕集効率、初期圧力損失が
２５ｍｍ水柱以下の性能を有する高性能エアフィルタで
ある。なお、スーパクリーンルーム用のエアフィルタに
は、粒径０．１μｍのＤＯＰ粒子に対して９９．９９９
％の捕集効率を有するさらに高性能のＵＬＰＡフィルタ
が用いられる。また、吹出し側の上流段階或いは吸込み
側には、比較的大きな粒子を対象としたプレフィルタが
配設される。

【０００５】このようにクリーン度が厳重に管理された
環境下のもとにおいて、例えば光記録媒体は、ガラス原
板から金属原盤であるスタンパの製造までのいわゆるマ
スタリング工程、前記スタンパを用いてディスクの複製
を行うディスク化工程といった超精密工程によって製造
される。この製造工程の過程で、材料基板、原盤、半製
品ディスク基板或いは製品ディスク基板等（以下ワーク
と総称する。）は、各工程間において一時保管されると
ともに次工程へと搬送される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ワークは、製品を一定
の品質に保持するため、保管或いは搬送時においても、
クリーン度が充分に保持されなければならない。このた
め、例えば搬送時におけるクリーン対策として、従来で
は、複数のワークを収納したカセットケースをさらに完
全密封容器に収納して搬送する方法や、工程間のワーク
の移動路に沿ってクリーンユニットを配設する方法或い
はクリーンユニットを搭載したワークの自動搬送車を用
いる方法等が採用されている。

【０００７】しかしながら、例えば完全密封容器による
方法では、大量のワークの取り扱いが困難であり、ワー
クのカセットケースへの収納、取り出し或いはこのカセ
ットケースの容器への収納、取り出しといった手間が必
要であり、作業性が極めて悪いといった問題があった。
また、ワークの移動路にクリーンユニットを配設する方
法或いは自動搬送車による方法は、費用負担が極めて大
きく、工程の変更等を簡単に行うことができないといっ
た問題があった。

【０００８】これらの方法は、もっぱら搬送時における
クリーン対策として採用される方法であって、ワークの
保管に際しては別途の対策が必要となる。このワークの
保管方法としては、例えばクリーンユニットを備えた自
動ストッカや収納棚の設置が採用されている。そして、
これらワークの保管場所と工程間には、当然、クリーン
対策が講じられなければならず、その設備投資の負担も
大きい。

【０００９】上述したように、光記録媒体等は、高クリ
ーン度の環境を大前提として製造される製品であるた
め、これらを管理されたクリーンルームから外部への運
び出すといった状態は全く考慮されることは無い。この
ため、光記録媒体等の製造は、原材料の仕入れから製品
出庫までに至る全ての工程が高クリーン度に保持された
同一工場内に配置されることになり、外部設備等を有効
に活用することができなかった。

【００１０】したがって、本発明は、高クリーン度の環
境を必要とする光記録媒体等を、高クリーン度を保持し
ながら工程内ばかりでなく遠隔地にも大量に搬送可能と
するとともにこれらの保管機能も有する台車装置を提供
することを目的に提案されたものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成した本発
明に係る台車装置は、箱形の筐体であって、内部には被
収納物を収納する収納空間部が構成されかつ底面部には
キャスタが配設されることによって移動自在とされる。
この台車装置には、高性能エアフィルタと、取り入れた
エアーを前記高性能エアフィルタを介して高クリーン化
した状態で収納空間部内に送風する送風機とからなり、
収納空間部を外気に対して増圧の状態でかつ高クリーン
度の状態に保持するクリーンユニットが搭載される。ま
た、少なくとも接続した商用電源と搭載したバッテリー
とを電源とし、前記送風機を駆動する電源ユニットが搭
載される。電源ユニットは、商用電源との接続状態にお
いては、この商用電源によって送風機を駆動するととも
に搭載したバッテリーの充電が行われ、商用電源との非
接続状態においては、バッテリーを電源として送風機を
駆動する。

【００１２】また、本発明に係る台車装置は、クリーン
ユニットの高性能エアフィルタは、収納空間部を構成す
る吹出し側の側壁部に配設されたＨＥＰＡフィルタによ
って構成される。また、排気側の側壁部には、プレフィ
ルタが配設される。或いはクリーンユニットの高性能エ
アフィルタは、収納空間部を構成する吹出し側である天
井部に配設されたＨＥＰＡフィルタによって構成され
る。また、排気側である底面部には、プレフィルタが配
設される。

【００１３】さらに、本発明に係る台車装置は、クリー
ンユニットの送風機を駆動する電源ユニットが、商用電
源と、車載バッテリー及び搭載したバッテリーとを電源
とし、これら電源が切り換えて使用されるように構成さ
れる。そして、筐体は、その底面部又は外側面部に、リ
フト装置のリフト手段が係合する係合部が形成されるこ
とによって可搬形筐体として構成される。

【００１４】

【作用】以上のように構成された本発明に係る台車装置
によれば、高クリーン度の環境を必要とする光記録媒体
等の被収納物は、搭載したクリーンユニットによって高
クリーン度に保持された収納空間部に収納される。前記
クリーンユニットを駆動する電源ユニットは、通常、商
用電源を電源とするとともに搭載したバッテリーの充電
を行い、商用電源が使用できない場合にはバッテリーを
電源とする。したがって、収納空間部に収納された被収
納物は、商用電源の有無に係わらず任意の場所へと手軽
に搬送されかつ保管管理される。被収納物には、搬送、
保管の途中で極めて微細な塵埃が付着することが防止さ
れ、高品質が保持される。

【００１５】また、クリーンユニットの吹出し側に配設
されたＨＥＰＡフィルタは、収納空間部を高クリーン度
の環境に保持し、また排気側に配設されたプレフィルタ
は、収納空間部から流出する空気を浄化し、台車装置が
移動する室内のクリーン度を保持する。

【００１６】さらに、電源ユニットの電源の一部を構成
する車載バッテリーは、収納空間部に被収納物を収納し
たままこの台車装置を運搬車両に搭載して遠隔地まで移
送する際にクリーンユニットを継続して駆動する。した
がって、被収納物は、高クリーン度の環境が保持された
状態で、遠隔地までの移送が可能となる。また、台車装
置は、キャスタによって移動自在であるとともに、リフ
ト装置による取り扱いを可能とする可搬形筐体として構
成されるため、運搬車両等に極めて簡単に積み降ろし操
作される。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について、詳
細に説明する。実施例台車装置１は、光記録媒体の製造
工程中において、光記録媒体の材料、原盤、半製品ディ
スク基板或いは製品ディスク基板といったワーク１０を
搬送或いは保管するために用いられる。この台車装置１
は、底面部が開放されるとともに長手方向の両側面部３
Ａ、３Ｂにはそれぞれ開口部５Ａ、５Ｂが設けられた箱
形の筐体２と、この筐体２の開放された底面部に組み合
わされた底板６と、両側面部３Ａ、３Ｂに設けられた開
口部５Ａ、５Ｂにスライド操作自在に組み合わされた引
き違い形の両開き引き戸７Ａ、７Ｂ及び７Ｃ、７Ｄとに
よって、密閉されたボックス状の外観を呈して構成され
ている。筐体２及び底板６は、それぞれアルミ材により
形成されることによって、堅牢性が保持されるとともに
全体の軽量化が図られている。また、引き戸７は、外枠
をアルミ材で構成するとともに、内部を透視可能とする
ようにガラス或いは透明樹脂製の板材がはめ込まれて構
成されている。

【００１８】底板６には、大重量にも耐え得る４個のキ
ャスタ８Ａ乃至８Ｄが四隅にそれぞれ取り付けられてお
り、この台車装置１を比較的軽い力で移動することがで
きるように構成されている。これらキャスタ８は、図示
しないがそれぞれストッパ機構が付設されており、これ
らストッパ機構によって台車装置１を停止状態に保持す
ることが可能とされる。台車装置１の他方の両側面部４
Ａ、４Ｂには、それぞれ高さ方向に平行な一対の手押し
用把手９Ａ、９Ｂ及び９Ｃ、９Ｄとが設けられている。

【００１９】筐体２は、内部が上下２つの部屋１１、１
２及び側面４Ｂ側の高さ方向の部屋１３とに区割りされ
ている。筐体２の内部空間の大部分を占める第１の部屋
１１は、前記開口部５Ａ、５Ｂに対応して筐体２の内部
に区割りされ、被収納物であるワーク１０を収納するワ
ーク収納部として構成される。このワーク収納部１１の
下側に位置する第２の部屋１２は、後述する電源ユニッ
ト２５を収納する電源ユニット収納部として構成され
る。また、第３の部屋１３は、側面４Ｂに沿ったエント
ツ状の部屋であって、送風通路を構成している。

【００２０】これらワーク収納部１１、電源ユニット収
納部１２及び送風通路１３は、それぞれ隔壁によって互
いに独立した空間として構成されている。ワーク収納部
１１には、多数個の収納棚１４Ａ乃至１４Ｅが設置され
ている。これら収納棚１４もまた、軽量化を図るため、
アルミ材によって形成されており、詳細な構造を省略す
る周知の棚支持構造を以ってワーク収納部１１に多段に
配設される。なお、収納棚１４は、内部を透視可能とす
るため、ガラス或いは透明樹脂製の板材によって構成し
てもよい。したがって、ワーク１０は、前記引き戸７を
スライド操作して開閉することによって、台車装置１の
両側面に設けた開口部５から収納棚１４上に載置されて
ワーク収納部１１中に収納される。

【００２１】台車装置１は、例えば車高寸法を１４００
ｍｍ、側面部４の幅寸法を６６０ｍｍ、ワーク収納部１
１の長手方向の幅寸法を８７５ｍｍとした場合、ワーク
収納部１１に５段に設置した収納棚１４上に３．５イン
チの光ディスクを約４０００枚収納可能とする。勿論、
収納棚１４は、可動棚として構成されており、ワーク１
０等の被収納物の形状等によって枚数或いは設置間隔が
適宜調整される。

【００２２】電源ユニット収納部１２を構成する筐体２
の側面部４Ａには、図４に示すように、この電源ユニッ
ト収納部１２内にエアーを吸い込むためのガラリ１５が
設けられている。さらに、このガラリ１５の内側には、
壁面取付けタイプのプレフィルタ１６が着脱自在に配設
されている。なお、電源ユニット収納部１２を構成する
筐体２の側面部３Ａには、通常はパネル１７によって閉
塞される保守用開口部が設けられることによって、プレ
フィルタ１６の交換或いは電源ユニット２５の保守が可
能とされている。

【００２３】プレフィルタ１６ついては、後述するクリ
ーンユニット２０を構成するワーク収納部１１の前段部
に配設された超高性能のＨＥＰＡフィルタ２２に対して
よりクリーン化したエアーを供給するために用いられる
ものであり、特に設けなくともよい。

【００２４】電源ユニット収納部１２と送風通路１３と
を区分する隔壁１８には、クリーンユニット２０を構成
する送風機２１が配設されている。この送風機２１は、
電源が投入されると、ガラリ１５からエアーを電源ユニ
ット収納部１２内に吸い込んでクリーントンネル１３中
へと送風するように動作する。したがって、電源ユニッ
ト収納部１２は、吸気ダクトを兼用することになる。送
風機２１は、ワーク収納部１１にクリーンエアーを送り
込むことによって、このワーク収納部１１を外部に対し
て増圧状態とする。例えば、送風機２１は、上述した容
量を有するワーク収納部１１に対して毎分６ｍ³ を送風
することにより、このワーク収納部１１の内外差圧を５
乃至１０ｍｍｂａｒに保持する。

【００２５】このように、送風機２１が駆動されてワー
ク収納部１１が増圧状態とされることによって、このワ
ーク収納部１１の両側面部に設けた開口部５を開閉する
引き戸７は、特別な密閉構造を特に採用する必要は無
く、通常のサッシ型の引き戸によって構成される。

【００２６】送風通路１３とワーク収納部１１とを区分
する隔壁１９には、クリーンユニット２０を構成する壁
面取付けタイプのメインフィルタ２２が配設されてい
る。このメインフィルタ２２は、例えば０．３μｍ、ク
ラス１０の性能を有するＨＥＰＡフイルタによって構成
されている。このＨＥＰＡフイルタ２２は、上述した送
風機２１から送風通路１３に送風されたエアーを、超ク
リーンな状態に清浄してワーク１０が収納されたワーク
収納部１１へと送り込む。なお、このＨＥＰＡフイルタ
２２の交換は、引き戸５を開いて開口部５を介して行っ
たり、側面部４Ｂを取り外すことによって行われる。

【００２７】クリーンユニット２０は、上述した送風機
２１、ＨＥＰＡフイルタ２２の他、隔壁１９と対向する
筐体２の側面部４Ａに配設したプレフィルタ２３とによ
って構成される。このプレフィルタ２３は、壁面取付け
タイプであって、側面部４Ａに設けたガラリ２４の内側
に位置して着脱自在に配設されている。プレフィルタ２
３は、ワーク収納部１１を通過したエアーをよりクリー
ンな状態で外部へと排気するために設けられている。し
たがって、プレフィルタ２３の性能は、上述したＨＥＰ
Ａフイルタ２２のように高性能のエアーフイルタである
必要は無い。また、このプレフィルタ２３も、前記ＨＥ
ＰＡフイルタ２２と同様に、引き戸５を開いて開口部５
を介して行ったり、側面部４Ａを取り外して交換され
る。

【００２８】台車装置１は、後述する電源ユニット２５
を電源として送風機２１が駆動されると、図１に矢印で
示すように、プレフィルタ１６を介してエアーが電源ユ
ニット収納部１２中に吸引され、この電源ユニット収納
部１２を吸気ダクトとしてクリーンダクト１３へと吹き
込まれる。送風通路１３に吹き込まれたエアーは、ＨＥ
ＰＡフイルタ２２を通過する際に超クリーンな状態に清
浄されてワーク収納部１１へと吹き込まれる。

【００２９】そして、クリーン化されたエアーは、ワー
ク収納部１１内を超クリーン化かつ増圧状態に保持して
プレフィルタ２３を介して外部へと排気される。このよ
うに、クリーン化されたエアーがワーク収納部１１内を
水平に流れるように構成した台車装置１は、筐体２の内
部にクロスフロークリーンルームを構成する。

【００３０】電源ユニット収納部１２に収納される電源
ユニット２５は、クリーンユニット２０を構成する送風
機２１に商用電源、車等に搭載されるＤＣ１２Ｖの車載
バッテリー或いはこの台車装置１に搭載されたバッテリ
ー３２のいずれかを供給して駆動するいわゆる３電源方
式を構成している。この電源ユニット２５は、ＤＣ／Ａ
Ｃコンバータ２７及び送風機２１に供給する前記３つの
電源を切り換える第１乃至第３切換えスイッチ２８乃至
３０を有する電源回路部２６と、充電器３１及びバッテ
リー３２とから構成されている。

【００３１】電源回路部２６は、図５乃至図７に示すよ
うに、図示しない商用電源に接続される商用電源プラグ
３３が第１の切換えスイッチである商用電源スイッチ２
８を介して接続されている。この商用電源スイッチ２８
には、クリーンユニット２０を構成する送風機２１の一
端側が接続されるとともに充電器３１の一端が接続され
ている。充電器３１は、その他端が商用電源スイッチ２
８を介してバッテリー３２の一端と接続されている。

【００３２】一方、送風機２１は、第２の切換えスイッ
チである車載バッテリースイッチ２９を介して図示しな
い車載バッテリーコンセントに接続される車載電源プラ
グ３４と接続されている。また、送風機２１は、第３の
切換えスイッチであるバッテリースイッチ３０を介して
ＤＣ／ＡＣコンバータ２７と接続されている。このＤＣ
／ＡＣコンバータ２７は、バッテリースイッチ３０を介
してバッテリー３２の他端と接続されている。

【００３３】なお、各切換えスイッチ２８乃至３０は、
手動にてＯＮ／ＯＦＦ状態に切り換え操作されるが、自
動切換え型のスイッチとして構成してもよい。すなわ
ち、商用電源スイッチ２８は、商用電源プラグ３３が商
用電源に接続されることによって自動的にＯＮ状態とな
り、また商用電源プラグ３３が商用電源から引き抜かれ
ることによって自動的にＯＦＦ状態となる。同様に車載
バッテリースイッチ２９は、車載電源プラグ３４が車載
バッテリーコンセントに接続されることによって自動的
にＯＮ状態となり、また車載電源プラグ３４が車載バッ
テリーコンセントから引き抜かれることによって自動的
にＯＦＦ状態となる。

【００３４】台車装置１が商用電源に接続されて使用さ
れる場合は、図５に示すように、商用電源スイッチ２８
は、ＯＮ状態に設定され、車載バッテリースイッチ２９
及びバッテリースイッチ３０はそれぞれＯＦＦ状態に設
定される。したがって、商用電源に接続された商用電源
プラグ３３からは、１００Ｖの電圧が送風機２１及び充
電器３１へと供給される。これによって、送風機２１は
駆動されて、ワーク収納部１１へとエアーを供給する。
同時に、バッテリー３２は、充電器３１を介して商用電
源が供給されて充電が行われる。このようにして充電さ
れるバッテリー３２は、例えば３０時間の連続充電で、
送風機２１を上述した定格によって２時間連続運転を可
能とする性能を有する。

【００３５】例えば、次工程へとワーク１０を搬送する
ために台車装置１を移動する場合等のように、商用電源
を使用することができない場合、商用電源プラグ３３
は、商用電源から引き抜かれる。そして、図６に示すよ
うに、商用電源スイッチ２８がＯＦＦ状態に設定された
状態で、バッテリースイッチ３０はＯＮ状態に設定され
る。なお、車載バッテリースイッチ２９は、そのままＯ
ＦＦ状態に保持される。したがって、バッテリー３２か
らは、ＤＣ／ＡＣコンバータ２７を介して送風機２１へ
と電圧が供給される。これによって、送風機２１は駆動
されて、ワーク収納部１１へとエアーを供給する。

【００３６】光記録媒体の製造においては特殊な場合で
はあるが、台車装置１は、ワーク１０をワーク収納部１
１に収納した状態で、電源付き運搬車に乗せて他の工場
等の遠隔地等へと移送することがある。このような場合
には、図７に示すように、商用電源スイッチ２８及びバ
ッテリースイッチ３０はＯＦＦ状態に設定され、車載バ
ッテリースイッチ２９がＯＮ状態に設定される。したが
って、車載バッテリーに接続された車載電源プラグ３４
からは、ＤＣ１２Ｖの電圧が送風機２１へと供給され、
送風機２１が駆動されて、ワーク１０が収納されたワー
ク収納部１１へとエアーが供給される。

【００３７】以上のように、実施例台車装置１によれ
ば、送風機２１が駆動されている状態において、ワーク
収納部１１は、ＨＥＰＡフイルタ２２を介して超クリー
ン化されたエアーが供給されることによって外気に対し
て増圧状態に保持されることにより、収納したワーク１
０が極めて良好な状態で保管される。そして、台車装置
１は、商用電源ばかりでなく、バッテリー３２或いは車
載バッテリーとを切り換えて使用可能としたことによ
り、移動途中でも送風機２１が停止されることなく連続
運転され、ワーク収納部１１がクリーンな状態に保持さ
れる。

【００３８】なお、実施例台車装置１は、もっぱら光記
録媒体を製造するクリーンルーム内においてのみ使用さ
れ、ワーク１０をこの台車装置１に収納して遠隔地への
移送を行なわない場合がある。したがって、台車装置１
には、商用電源とバッテリーとを電源とする２電源方式
の電源ユニット３５が採用される。この電源ユニット２
５は、図８に示すように、送風機２１に接続される車載
バッテリースイッチ２９及び車載電源プラグ３４とを不
要として構成されている。なお、この電源ユニット３５
のその他の構成については、同一であるため、同一部分
には同一符号を付すことによって説明は省略する。

【００３９】また、図９に示した台車装置３６は、上述
したように運搬車、船舶或いは飛行機等によって遠隔地
へと移送される場合に、運搬車等への積み卸しに便なら
しめる構造を採用した可搬型として構成された台車装置
である。なお、この台車装置３６は、基本的な構成が上
述した台車装置１とほぼ同一であるため、同一部分には
同一符号を付すことによって説明は省略する。

【００４０】台車装置３６は、一般にフォークリフト等
のリフト装置を用いて運搬車等への積み卸しが行われ
る。したがって、この台車装置３６は、筐体２或いは底
板６が比較的強固にかつ充分な防水対策が施されて構成
され、底板６には、係合部３７が設けられている。係合
部３７は、断面略コ字状に形成されたチャンネル状の部
材によって構成され、リフト装置のフォークが差し込ま
れる。このように、いわゆるコンテナ型として構成され
た台車装置３６は、リフト装置によって直接運搬車等へ
の積み卸しが行われる。なお、係合部３７については、
底板６ばかりでなく、同図鎖線で示すように、筐体２の
両側面部に係合部３８Ａ、３８Ｂをそれぞれ設けるよう
にしてもよい。

【００４１】台車装置３６は、リフト装置によって運搬
車等への積み卸しが行われる際にも、バッテリースイッ
チ３０をＯＮ状態に設定されることによって、送風機２
１に電源が供給され、ワーク収納部１１内のクリーン状
態が保持される。上述したように、台車装置３６は、運
搬車等に搭載されて移送される途中では、車載バッテリ
ースイッチ２９がＯＮ状態に設定されて、この運搬車等
に設けられた車載バッテリーと接続される。なお、運搬
車に車載バッテリー設備が設けられていない場合には、
バッテリー３２を電源として送風機２１が駆動される。

【００４２】さらに、上述した第１の実施例台車装置１
においては、ワーク収納部１１の対向する両側面部にそ
れぞれＨＥＰＡフィルタ２２とプレフィルタ２３とを配
設し、ワーク収納部１１を超クリーン化されたエアーが
天井面と底面部とに水平に流れるクロスフロー型のクリ
ーンルームとして構成したが、例えば図１０に示した台
車装置３７のようにダウンフロー型のクリーンルームと
して構成してもよい。なお、この台車装置３７に備えら
れる各部材は、前期台車装置１に備えられる部材とほぼ
同一であるため、同一部分には同一符号を付すことによ
って説明は省略する。

【００４３】すなわち、この実施例台車装置３７におい
ては、筐体２の側面部４Ｂに、エアーを吸い込むための
ガラリが設けられ、このガラリの内側に壁面取付けタイ
プのプレフィルタ１６が着脱自在に配設されている。吸
気ダクトを兼用する電源ユニット収納部１２は、縦型の
空間部として構成され、隔壁１８に送風機２１が配設さ
れている。電源ユニット収納部１２と連通する送風通路
１３は、筐体２の天井部分まで延長され、水平方向に折
曲されて構成されている。

【００４４】そして、ワーク収納部１１の天井部を構成
する送風通路１３の底面部には、ＨＥＰＡフイルタ２２
が配設されている。一方、台車装置３７の底板部２３に
は、ガラリ付きの大きな開口部が形成されており、この
ガラリの内側に壁面取付けタイプのプレフィルタ２３が
配設されている。

【００４５】したがって、送風機２１は、電源が投入さ
れて駆動されると、図１０に矢印で示すように、プレフ
ィルタ１６を介してエアーを電源ユニット収納部１２内
へと吸引する。吸引されたエアーは、この電源ユニット
収納部１２を吸気ダクトとして送風通路１３へと吹き込
まれる。さらに、送風通路１３に吹き込まれたエアー
は、ＨＥＰＡフイルタ２２を通過する際に超クリーンな
状態に清浄されて天井側からワーク収納部１１へと吹き
込まれる。

【００４６】そして、クリーン化されたエアーは、ワー
ク収納部１１内をクリーン化かつ増圧状態に保持してプ
レフィルタ２３を介して、台車装置１の底面部から外部
へと排気される。このように、クリーン化されたエアー
がワーク収納部１１内を天井側から底面側へと垂直に流
れるように構成した台車装置１は、筐体２の内部にダウ
ンフロークリーンルームを構成する。

【００４７】なお、上述した各実施例台車装置は、光記
録媒体の製造工程において、この光記録媒体の工程間の
移送用等とともに保管用として用いられる例を説明した
が、極めて高いクリーン度の環境下でミクロン、サブミ
クロンのレベルによる超微細技術に基づいて製造され、
取り扱われる半導体、ウエハー等の製造工程中において
も用いられる。

【００４８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る台車装置によれば、高クリーン度の環境を必要とする
光記録媒体等の製品を、大量に、商用電源の有無に係わ
らず所定のクリーン度を維持した状態で任意の場所へと
手軽に搬送することができるとともに、管理保管するこ
ともできる。したがって、製品には、製造工程中におけ
る搬送、保管の途中でも塵埃の付着が防止され、高品質
が保持されるとともに、工程の合理化或いはスペースの
効率化が図られる。

【００４９】また、電源ユニットの電源の一部を構成す
る車載バッテリーを利用することによって、製品は、所
定のクリーン度を維持した状態で遠隔地まで移送するこ
とが可能とされ、またリフト装置による取り扱いを可能
とする可搬形筐体として構成したことにより、運搬車両
等への積み降ろしも極めて簡単に行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る台車装置を内部の構造を示すため
側面部の一部を切り欠いて示した側面図である。

【図２】同台車装置の側面図である。

【図３】同台車装置の筐体天井部の一部を切り欠いて示
した平面図である。

【図４】同台車装置の正面図である。

【図５】同台車装置に備えられる３電源型の電源ユニッ
トの構成を説明する図であり、商用電源に接続して使用
した状態を示す。

【図６】同電源ユニットの構成説明図であって、搭載し
たバッテリーを電源として使用した状態を示す。

【図７】同電源ユニットの構成説明図であって、ＤＣ１
２Ｖ車載バッテリーに接続して使用した状態を示す。

【図８】電源ユニットの他の実施例であって商用電源と
搭載したバッテリーとの２電源型の電源ユニットの構成
を説明する図であり、商用電源に接続して使用した状態
を示す。

【図９】本発明に係る台車装置の他の実施例を示し、リ
フト装置での取り扱いを可能とする可搬型に構成した台
車装置の側面図である。

【図１０】本発明に係る台車装置のさらに他の実施例を
示し、ワーク収納部をダウンフロー型クリーンルームに
構成した台車装置の縦断面図である。

【符号の説明】

１ 台車装置 ２ 筐体 ６ 底板 ８ キャスタ １０ ワーク（被収納物） １１ ワーク収納部（収納空間部） １２ 電源ユニット収納部 １３ 送風通路 １４ 収納棚 ２０ クリーンユニット ２１ 送風機 ２２ メインエアーフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ） ２３ プレフィルタ ２５ 電源ユニット ２６ 電源回路部 ２７ ＤＣ／ＡＣコンパレータ ２８ 第１の切換えスイッチ（商用電源スイッチ） ２９ 第２の切換えスイッチ（車載バッテリースイッ
チ） ３０ 第３の切換えスイッチ（搭載バッテリースイッ
チ） ３１ 充電器 ３２ バッテリー

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 箱形の筐体であって、内部には被収納物
   を収納する収納空間部が構成されかつ底面部にはキャス
   タが配設されることによって移動自在とされた台車装置
   であって、 高性能エアフィルタと、取り入れたエアーを前記高性能
   エアフィルタを介してクリーン化した状態で収納空間部
   内に送風する送風機とからなり、収納空間部を外気に対
   して増圧の状態でかつ高クリーン度の状態に保持するク
   リーンユニットと、 少なくとも接続した商用電源と搭載したバッテリーとを
   電源とし、前記送風機を駆動する電源ユニットとが搭載
   され、 電源ユニットは、商用電源との接続状態においては、こ
   の商用電源によって送風機を駆動するとともに搭載した
   バッテリーの充電が行われ、商用電源との非接続状態に
   おいては、バッテリーを電源として送風機を駆動するよ
   うに構成したことを特徴とする台車装置。
2. 【請求項２】 クリーンユニットの高性能エアフィルタ
   は、収納空間部を構成する吹出し側の側壁部に配設され
   たＨＥＰＡフィルタによって構成されるとともに、排気
   側の側壁部にはプレフィルタを配設したことを特徴とす
   る請求項１記載の台車装置。
3. 【請求項３】 クリーンユニットの高性能エアフィルタ
   は、収納空間部を構成する吹出し部として構成された天
   井部に配設されたＨＥＰＡフィルタによって構成される
   とともに、排気側の底面部にはプレフィルタを配設した
   ことを特徴とする請求項１記載の台車装置。
4. 【請求項４】 クリーンユニットの送風機を駆動する電
   源ユニットは、商用電源と、車載バッテリー及び搭載し
   たバッテリーとを電源とし、これら電源を切り換えて使
   用するように構成したことを特徴とする請求項１記載の
   台車装置。
5. 【請求項５】 筐体は、その底面部又は外側面部に、リ
   フト装置のリフト手段が係合する係合部が形成されるこ
   とによって可搬形筐体として構成されたことを特徴とす
   る請求項１又は請求項４いずれか１に記載の台車装置。