JP2002106905A - クリーンユニット - Google Patents
クリーンユニットInfo
- Publication number
- JP2002106905A JP2002106905A JP2000300273A JP2000300273A JP2002106905A JP 2002106905 A JP2002106905 A JP 2002106905A JP 2000300273 A JP2000300273 A JP 2000300273A JP 2000300273 A JP2000300273 A JP 2000300273A JP 2002106905 A JP2002106905 A JP 2002106905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- machine frame
- clean unit
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 24
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 24
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Handcart (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空
気清浄装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも
清浄空間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニッ
トを提供する。 【解決手段】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカ
ーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形
成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるよう
にしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自
在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空
気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とする。
気清浄装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも
清浄空間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニッ
トを提供する。 【解決手段】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカ
ーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形
成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるよう
にしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自
在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空
気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、簡易的な清浄空間
を提供するクリーンユニット及びそれを利用した半導体
ウエハや配線板等の製品をクリーンルーム内で無塵状態
で搬送するためのクリーンユニットに関する。
を提供するクリーンユニット及びそれを利用した半導体
ウエハや配線板等の製品をクリーンルーム内で無塵状態
で搬送するためのクリーンユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の簡易的な清浄空間とするクリーン
ユニットとして、実開昭６３−１９６０３１号全文明細
書にフィルタを内蔵した送風装置を載置する上枠とそれ
を支える脚柱パイプで形成されたクリーンユニットが開
示されている。しかしながら、前記クリーンユニットの
上枠の天井部には、送風装置を載置するために予め井桁
状に鋳型成型または溶接された枠体が使用されていた。
前記枠体では、送風装置を載置する場所及び送風装置の
大きさが限定されてしまいフレキシブル性がないという
問題があった。また、簡易的な清浄空間を提供するクリ
ーンユニットを利用した被処理物を無菌または無塵状態
で搬送する搬送用クリーンユニットとして、本出願人は
特開平４−２１４１４１号公報に開示されるような、ク
リーンブースに底板とハンドルを設けて搬送可能とし、
前記底板上に直方体のアングルを載置し、前記アングル
の上に給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成した
ファンフィルタユニットを載置して、ユニットの底面全
体から空気を排出せず側板の吹出口のみから側方へ排出
するようにしていた。しかしながら、前記搬出用クリー
ンユニットは、搬送中に排出した空気がユニット内に舞
い戻ったり、移動中に巻き上げた汚染空気をユニット内
に巻き込んだりする危険性はないため、ユニット内の被
処理物が雑菌の付着を嫌う高温培養物には適しているも
のの、清浄空気が常に供給され続けていれば、仮に汚染
塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても特に支障がない
半導体ウエハや配線板等の製品を搬送する場合、空気の
排出口が特定されているためユニット内の空気が滞って
しまい速やかに排出できない問題があった。
ユニットとして、実開昭６３−１９６０３１号全文明細
書にフィルタを内蔵した送風装置を載置する上枠とそれ
を支える脚柱パイプで形成されたクリーンユニットが開
示されている。しかしながら、前記クリーンユニットの
上枠の天井部には、送風装置を載置するために予め井桁
状に鋳型成型または溶接された枠体が使用されていた。
前記枠体では、送風装置を載置する場所及び送風装置の
大きさが限定されてしまいフレキシブル性がないという
問題があった。また、簡易的な清浄空間を提供するクリ
ーンユニットを利用した被処理物を無菌または無塵状態
で搬送する搬送用クリーンユニットとして、本出願人は
特開平４−２１４１４１号公報に開示されるような、ク
リーンブースに底板とハンドルを設けて搬送可能とし、
前記底板上に直方体のアングルを載置し、前記アングル
の上に給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成した
ファンフィルタユニットを載置して、ユニットの底面全
体から空気を排出せず側板の吹出口のみから側方へ排出
するようにしていた。しかしながら、前記搬出用クリー
ンユニットは、搬送中に排出した空気がユニット内に舞
い戻ったり、移動中に巻き上げた汚染空気をユニット内
に巻き込んだりする危険性はないため、ユニット内の被
処理物が雑菌の付着を嫌う高温培養物には適しているも
のの、清浄空気が常に供給され続けていれば、仮に汚染
塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても特に支障がない
半導体ウエハや配線板等の製品を搬送する場合、空気の
排出口が特定されているためユニット内の空気が滞って
しまい速やかに排出できない問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このため、本発明で
は、同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空気清浄
装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも清浄空
間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニットを提
供することを目的とする。
は、同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空気清浄
装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも清浄空
間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニットを提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の点に鑑み
てなされたものであり、本発明のファン付フィルタユニ
ットは、請求項１記載の通り、支柱と天井枠とからなる
機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空
間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装
置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記
天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記
桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特
徴とする。請求項２に記載のクリーンユニットは、請求
項１に記載のクリーンユニットにおいて、前記空気清浄
装置が、給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成さ
れたファンフィルタユニットであることを特徴とする。
請求項３に記載のクリーンユニットは、請求項１または
２に記載のクリーンユニットにおいて、前記機枠に底板
を設け、前記機枠の底部または底板にキャスターを設け
たことを特徴とする。請求項４に記載のクリーンユニッ
トは、請求項１または２に記載のクリーンユニットにお
いて、前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部
を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の
支柱と天井枠を構成するようにしたことを特徴とする。
請求項５に記載のクリーンユニットは、支柱と天井枠と
からなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部
を清浄空間として区画形成するとともに前記清浄空間内
に清浄空気を供給する空気清浄装置を備えるようにした
クリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁
材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄
装置のフィルタ及び吹出口からなる空気吹出部を固定す
るとともに前清浄空間内に給気口及びファンから構成さ
れる給気部を設け、前記空気吹出部と給気部とを導管に
よって連結するようにしたことを特徴とする。請求項６
に記載のクリーンユニットは、請求項５に記載のクリー
ンユニットにおいて、前記機枠に底板を設け、前記機枠
の底部または底板にキャスターを設けたことを特徴とす
る。請求項７に記載のクリーンユニットは、請求項５に
記載のクリーンユニットにおいて、前記機枠として、進
行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記
手すり部によって前記機枠の支柱と天井枠を構成するよ
うにしたことを特徴とする。
てなされたものであり、本発明のファン付フィルタユニ
ットは、請求項１記載の通り、支柱と天井枠とからなる
機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空
間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装
置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記
天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記
桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特
徴とする。請求項２に記載のクリーンユニットは、請求
項１に記載のクリーンユニットにおいて、前記空気清浄
装置が、給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成さ
れたファンフィルタユニットであることを特徴とする。
請求項３に記載のクリーンユニットは、請求項１または
２に記載のクリーンユニットにおいて、前記機枠に底板
を設け、前記機枠の底部または底板にキャスターを設け
たことを特徴とする。請求項４に記載のクリーンユニッ
トは、請求項１または２に記載のクリーンユニットにお
いて、前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部
を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の
支柱と天井枠を構成するようにしたことを特徴とする。
請求項５に記載のクリーンユニットは、支柱と天井枠と
からなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部
を清浄空間として区画形成するとともに前記清浄空間内
に清浄空気を供給する空気清浄装置を備えるようにした
クリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁
材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄
装置のフィルタ及び吹出口からなる空気吹出部を固定す
るとともに前清浄空間内に給気口及びファンから構成さ
れる給気部を設け、前記空気吹出部と給気部とを導管に
よって連結するようにしたことを特徴とする。請求項６
に記載のクリーンユニットは、請求項５に記載のクリー
ンユニットにおいて、前記機枠に底板を設け、前記機枠
の底部または底板にキャスターを設けたことを特徴とす
る。請求項７に記載のクリーンユニットは、請求項５に
記載のクリーンユニットにおいて、前記機枠として、進
行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記
手すり部によって前記機枠の支柱と天井枠を構成するよ
うにしたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明のクリーンユニットは、桁
材が天井枠の任意の位置に固定自在となるようにパイプ
部材の一部にＵ字またはコ字状等の凹状部を備えるもの
であればよい。そして、前記桁材を構成するパイプ部材
のＵ字またはコ字状等の凹状部を、天井枠の任意の位置
に固定し、空気清浄装置を前記桁材の上方、或いは、前
記桁材につり下げる等して固定する。また、前記クリー
ンユニットの空気清浄装置のフィルタ及び吹出部から構
成される空気吹出部と、空気清浄装置の給気口及びファ
ンから構成される給気部とを分けて、空気吹出部のみを
桁材を介して設け、導管を介して清浄空間内の前記給気
部に連結する。また、機枠に底板を設けてキャスターを
連結するか、支柱に直接キャスターを連結するか、或い
は市販の台車上に機枠を載置するようにすれば、搬送用
クリーンユニットとなる。
材が天井枠の任意の位置に固定自在となるようにパイプ
部材の一部にＵ字またはコ字状等の凹状部を備えるもの
であればよい。そして、前記桁材を構成するパイプ部材
のＵ字またはコ字状等の凹状部を、天井枠の任意の位置
に固定し、空気清浄装置を前記桁材の上方、或いは、前
記桁材につり下げる等して固定する。また、前記クリー
ンユニットの空気清浄装置のフィルタ及び吹出部から構
成される空気吹出部と、空気清浄装置の給気口及びファ
ンから構成される給気部とを分けて、空気吹出部のみを
桁材を介して設け、導管を介して清浄空間内の前記給気
部に連結する。また、機枠に底板を設けてキャスターを
連結するか、支柱に直接キャスターを連結するか、或い
は市販の台車上に機枠を載置するようにすれば、搬送用
クリーンユニットとなる。
【０００６】
【実施例】本発明のクリーンユニットを、以下に図面を
用いて説明する。図１に示すように、本発明のクリーン
ユニット１は、支柱を備えたコ字状枠２，２間にジョイ
ントパイプ３，３を横架し、更に前記ジョイントパイプ
３，３間に別のジョイントパイプ４，４を横架して天井
部に桁材５を備えた機枠１０とし、その上方からビニー
ルカーテン６で覆い、ビニールカーテン６の天井部に開
口部７を設けるとともにその上方に空気清浄装置８を載
置し、コ字状枠２，２の底部に、クリーンユニット１を
搬送可能とするためのキャスター９を設けることにより
製作した。
用いて説明する。図１に示すように、本発明のクリーン
ユニット１は、支柱を備えたコ字状枠２，２間にジョイ
ントパイプ３，３を横架し、更に前記ジョイントパイプ
３，３間に別のジョイントパイプ４，４を横架して天井
部に桁材５を備えた機枠１０とし、その上方からビニー
ルカーテン６で覆い、ビニールカーテン６の天井部に開
口部７を設けるとともにその上方に空気清浄装置８を載
置し、コ字状枠２，２の底部に、クリーンユニット１を
搬送可能とするためのキャスター９を設けることにより
製作した。
【０００７】本実施例では、天井枠に桁材５を固定自在
とするために、両端部にＵ字状連結部３ｂ、３ｂを備え
たジョイントパイプ３，３を、コ字状枠２，２の水平部
間に、空気清浄装置８を載置できるよう所定の間隔で固
定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部４ｂ，４ｂ
を備えたジョイントパイプ４，４を、ジョイントパイプ
３，３間に所定の間隔で固定した。そして、ジョイント
パイプ３とコ字状枠２との固定部及びジョイントパイプ
３とジョイントパイプ４の固定部をそれぞれ溶接によっ
て固着した。ビニールカーテン６は、開口部７を備えた
天井部６ａ及び側周部６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅから構成
されたものを用いたが、機枠１０の側周部を囲繞し、空
気清浄装置からの空気を機枠１０内部の清浄空間に送る
ことができるようなものであれば、特にこれに限定され
るものではない。このビニールカーテン６は、側周部６
ｂと６ｃ、６ｃと６ｄ、６ｄと６ｅ、６ｅと６ｂの境目
を接着テープ等で固定することとした。
とするために、両端部にＵ字状連結部３ｂ、３ｂを備え
たジョイントパイプ３，３を、コ字状枠２，２の水平部
間に、空気清浄装置８を載置できるよう所定の間隔で固
定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部４ｂ，４ｂ
を備えたジョイントパイプ４，４を、ジョイントパイプ
３，３間に所定の間隔で固定した。そして、ジョイント
パイプ３とコ字状枠２との固定部及びジョイントパイプ
３とジョイントパイプ４の固定部をそれぞれ溶接によっ
て固着した。ビニールカーテン６は、開口部７を備えた
天井部６ａ及び側周部６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅから構成
されたものを用いたが、機枠１０の側周部を囲繞し、空
気清浄装置からの空気を機枠１０内部の清浄空間に送る
ことができるようなものであれば、特にこれに限定され
るものではない。このビニールカーテン６は、側周部６
ｂと６ｃ、６ｃと６ｄ、６ｄと６ｅ、６ｅと６ｂの境目
を接着テープ等で固定することとした。
【０００８】空気清浄装置８は、給気口８ａ、ファン８
ｂ、フィルタ８ｃ、吹出口８ｄ及びＵ字状連結部材８ｅ
で構成され、桁材５の上にビニールカーテン６を介し
て、を載置するとともに空気清浄装置８の底面でビニー
ルカーテン６の天井部６ａの開口部を被覆して、ビニー
ルカーテン６の内側を清浄空間となるように密封化し
た。このとき、空気清浄装置８がずれ落ちないようにす
るために空気清浄装置８の底面に設けたＵ字状連結部８
ｅを、ジョイントパイプ４に重ならない位置でビニール
カーテン６を介してジョイントパイプ３に固定した。
尚、本実施例では電源について、特に図示していない
が、使用場所付近の外部電源を用いることとした。
ｂ、フィルタ８ｃ、吹出口８ｄ及びＵ字状連結部材８ｅ
で構成され、桁材５の上にビニールカーテン６を介し
て、を載置するとともに空気清浄装置８の底面でビニー
ルカーテン６の天井部６ａの開口部を被覆して、ビニー
ルカーテン６の内側を清浄空間となるように密封化し
た。このとき、空気清浄装置８がずれ落ちないようにす
るために空気清浄装置８の底面に設けたＵ字状連結部８
ｅを、ジョイントパイプ４に重ならない位置でビニール
カーテン６を介してジョイントパイプ３に固定した。
尚、本実施例では電源について、特に図示していない
が、使用場所付近の外部電源を用いることとした。
【０００９】次に、本発明の他の実施例である搬送用ク
リーンユニットについて説明する。図２及び図３に示す
ように、搬送用クリーンユニット１１は、市販台車１２
の進行方向の前後方向に設けられたハンドル１２ａ，１
２ａ間にジョイントパイプ１３，１３を横架し、更に前
記ジョイントパイプ同士１３，１３間に別のジョイント
パイプ１４，１４を横架して天井部に桁材１５を備えた
機枠２０とし、その上方からビニールカーテン１６で覆
い、ビニールカーテン１６の天井部に開口部１７を設け
ると共にその上方に空気清浄装置１８を載置し、ビニー
ルカーテン１６の内側を清浄空間となるようにした。本
実施例も、前記実施例と同様に天井枠に桁材１５を固定
自在とするために、両端部にＵ字状連結部１３ｂ、１３
ｂを備えたジョイントパイプ１３，１３を、ジョイント
パイプ１４，１４間に空気清浄装置８を載置できるよう
に所定の間隔で固定した。また、同様に両端部にＵ字状
連結部１４ｂ、１４ｂを備えたジョイントパイプ１４，
１４を、ジョイントパイプ１３，１３間に所定の間隔で
固定した。空気清浄装置１８は桁材１５とビニールカー
テン１６とを介してＵ字状連結部１８ｅ，１８ｅで固定
した。ビニールカーテン１６についても、前記実施例と
同様に、側周部１６ｂと１６ｃ、１６ｃと１６ｄ、１６
ｄと１６ｅ、１６ｅと１６ｂの境目を接着テープ等で固
定することとした。尚、台車１２上には、空気清浄装置
１８のバッテリー電源４０を設けたので、外部電源に左
右されることなく自由にクリーンユニットを移動させる
ことができるようにした。
リーンユニットについて説明する。図２及び図３に示す
ように、搬送用クリーンユニット１１は、市販台車１２
の進行方向の前後方向に設けられたハンドル１２ａ，１
２ａ間にジョイントパイプ１３，１３を横架し、更に前
記ジョイントパイプ同士１３，１３間に別のジョイント
パイプ１４，１４を横架して天井部に桁材１５を備えた
機枠２０とし、その上方からビニールカーテン１６で覆
い、ビニールカーテン１６の天井部に開口部１７を設け
ると共にその上方に空気清浄装置１８を載置し、ビニー
ルカーテン１６の内側を清浄空間となるようにした。本
実施例も、前記実施例と同様に天井枠に桁材１５を固定
自在とするために、両端部にＵ字状連結部１３ｂ、１３
ｂを備えたジョイントパイプ１３，１３を、ジョイント
パイプ１４，１４間に空気清浄装置８を載置できるよう
に所定の間隔で固定した。また、同様に両端部にＵ字状
連結部１４ｂ、１４ｂを備えたジョイントパイプ１４，
１４を、ジョイントパイプ１３，１３間に所定の間隔で
固定した。空気清浄装置１８は桁材１５とビニールカー
テン１６とを介してＵ字状連結部１８ｅ，１８ｅで固定
した。ビニールカーテン１６についても、前記実施例と
同様に、側周部１６ｂと１６ｃ、１６ｃと１６ｄ、１６
ｄと１６ｅ、１６ｅと１６ｂの境目を接着テープ等で固
定することとした。尚、台車１２上には、空気清浄装置
１８のバッテリー電源４０を設けたので、外部電源に左
右されることなく自由にクリーンユニットを移動させる
ことができるようにした。
【００１０】次に、本発明の他の実施例の搬送用クリー
ンユニットについて説明する。図４及び図５に示すよう
に、搬送用クリーンユニット２１の空気清浄装置２８
は、給気口２８ａ及びファン２８ｂを備える給気部２８
Ａ、フィルタ２８ｃと吹出口２８ｄを備えるエアバッグ
２８Ｂ、及びこれらを連結する導管２８ｆから構成し
た。そして、搬送用クリーンユニットは、市販台車２２
の進行方向の前後方向に備えられたハンドル２２ａ，２
２ａ間にジョイントパイプ２３，２３を横架し、更にジ
ョイントパイプ同士２３，２３間に別のジョイントパイ
プ２４，２４を横架して天井部に桁材２５を備えた機枠
３０とし、その上方からビニールカーテン２６で覆い、
ビニールカーテン１６の天井部に開口部２７を設けると
ともに、その上方にエアバッグ２８Ｂを載置した。尚、
前記エアバッグ２８Ｂは、奔出願人が先に出願した特願
平１１−５６１０３号に開示されたものである。
ンユニットについて説明する。図４及び図５に示すよう
に、搬送用クリーンユニット２１の空気清浄装置２８
は、給気口２８ａ及びファン２８ｂを備える給気部２８
Ａ、フィルタ２８ｃと吹出口２８ｄを備えるエアバッグ
２８Ｂ、及びこれらを連結する導管２８ｆから構成し
た。そして、搬送用クリーンユニットは、市販台車２２
の進行方向の前後方向に備えられたハンドル２２ａ，２
２ａ間にジョイントパイプ２３，２３を横架し、更にジ
ョイントパイプ同士２３，２３間に別のジョイントパイ
プ２４，２４を横架して天井部に桁材２５を備えた機枠
３０とし、その上方からビニールカーテン２６で覆い、
ビニールカーテン１６の天井部に開口部２７を設けると
ともに、その上方にエアバッグ２８Ｂを載置した。尚、
前記エアバッグ２８Ｂは、奔出願人が先に出願した特願
平１１−５６１０３号に開示されたものである。
【００１１】本実施例においても、前記実施例と同様
に、両端部にＵ字状連結部２３ｂ、２３ｂを備えたジョ
イントパイプ２３，２３を、ジョイントパイプ２４，２
４間にエアバッグ２８Ｂを載置できるよう所定の間隔で
固定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部２４ｂ、
２４ｂを備えたジョイントパイプ２４，２４を、ジョイ
ントパイプ２３，２３間に所定の間隔で固定した。
に、両端部にＵ字状連結部２３ｂ、２３ｂを備えたジョ
イントパイプ２３，２３を、ジョイントパイプ２４，２
４間にエアバッグ２８Ｂを載置できるよう所定の間隔で
固定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部２４ｂ、
２４ｂを備えたジョイントパイプ２４，２４を、ジョイ
ントパイプ２３，２３間に所定の間隔で固定した。
【００１２】本実施例では、空気清浄装置２８を、ビニ
ールカーテン２６の天井開口部２７の四周に設けたマジ
ックテープ（登録商標）３１と、エアバッグ２８Ｂの下
面四周に設けたマジックテープ３２を合わせて桁材２５
の上方に固定した。
ールカーテン２６の天井開口部２７の四周に設けたマジ
ックテープ（登録商標）３１と、エアバッグ２８Ｂの下
面四周に設けたマジックテープ３２を合わせて桁材２５
の上方に固定した。
【００１３】ビニールカーテン２６についても、前記実
施例と同様に、側周部２６ｂと２６ｃ、２６ｃと２６
ｄ、２６ｄと２６ｅ、２６ｅと２６ｂの境目を接着テー
プ等で固定することとした。また、前記台車上には、空
気清浄装置２８のバッテリー電源４０を搭載しており、
特に外部電源に左右されることなく自由にクリーンユニ
ットを移動させることができるようにした。
施例と同様に、側周部２６ｂと２６ｃ、２６ｃと２６
ｄ、２６ｄと２６ｅ、２６ｅと２６ｂの境目を接着テー
プ等で固定することとした。また、前記台車上には、空
気清浄装置２８のバッテリー電源４０を搭載しており、
特に外部電源に左右されることなく自由にクリーンユニ
ットを移動させることができるようにした。
【００１４】前記搬送用クリーンユニット２１によれ
ば、製品５０を載せて搬送する際、空気清浄装置２８を
作動させることで、空気清浄装置２８の給気口２８ａか
ら外部の空気をファン２８ｂにより吸い込み、フィルタ
２８ｃを通して清浄化した空気を吹出口２８ｄから、搬
送用クリーンユニット２１の内部へ送風して、底板の周
囲とビニールカーテン２６の間から外部へ空気を排出す
る。このような空気清浄装置２８によれば、常に清浄空
気が製品５０に供給されて、塵埃等に汚染されることを
防止することができた。さらに、本実施例では、空気吹
出部２８Ｂが軽量化され、ハンドル２２ａ及びジョイン
トパイプ２３，２４への荷重負担が軽減されることとな
った。また、本実施例では給気部２８Ａをビニールカー
テン内２６の清浄空間内に設けたので、清浄空間内の空
気を再利用して循環させることができ、省エネ化及びフ
ィルタの寿命が向上する。更に、給気部２８Ａからのフ
ァンの騒音はビニールカーテンによって若干抑えること
ができた。
ば、製品５０を載せて搬送する際、空気清浄装置２８を
作動させることで、空気清浄装置２８の給気口２８ａか
ら外部の空気をファン２８ｂにより吸い込み、フィルタ
２８ｃを通して清浄化した空気を吹出口２８ｄから、搬
送用クリーンユニット２１の内部へ送風して、底板の周
囲とビニールカーテン２６の間から外部へ空気を排出す
る。このような空気清浄装置２８によれば、常に清浄空
気が製品５０に供給されて、塵埃等に汚染されることを
防止することができた。さらに、本実施例では、空気吹
出部２８Ｂが軽量化され、ハンドル２２ａ及びジョイン
トパイプ２３，２４への荷重負担が軽減されることとな
った。また、本実施例では給気部２８Ａをビニールカー
テン内２６の清浄空間内に設けたので、清浄空間内の空
気を再利用して循環させることができ、省エネ化及びフ
ィルタの寿命が向上する。更に、給気部２８Ａからのフ
ァンの騒音はビニールカーテンによって若干抑えること
ができた。
【００１５】
【発明の効果】本発明のクリーンユニットによれば、固
定自在の桁材を天井枠の任意の位置に固定できるので、
予め鋳型成型または溶接された井桁状の枠によって固定
可能な空気清浄装置が限定されてしまうことがない。半
導体ウエハや配線板等のような製品については、仮に汚
染塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても、常に上方よ
り清浄空気が供給されて下方全体から速やかに排出でき
るため、ユニット内の空気の滞留が生じることなく製品
が汚染されることがない。
定自在の桁材を天井枠の任意の位置に固定できるので、
予め鋳型成型または溶接された井桁状の枠によって固定
可能な空気清浄装置が限定されてしまうことがない。半
導体ウエハや配線板等のような製品については、仮に汚
染塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても、常に上方よ
り清浄空気が供給されて下方全体から速やかに排出でき
るため、ユニット内の空気の滞留が生じることなく製品
が汚染されることがない。
【図１】本発明のクリーンユニットの一実施例の全体斜
視図とその組立分解図
視図とその組立分解図
【図２】本発明の搬送用クリーンユニットの一実施例の
使用状態を示す側面の説明図
使用状態を示す側面の説明図
【図３】（ａ）図２の本発明の搬送用クリーンユニット
の側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
の側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
【図４】本発明の搬送用クリーンユニットの他実施例の
使用状態を示す側面の説明図
使用状態を示す側面の説明図
【図５】（ａ）図４の本発明の搬送用クリーンユニット
の側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
の側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
１ クリーンユニット ２ コ字状枠 ３ ジョイントパイプ ４ ジョイントパイプ ５ 桁材 ６ ビニールカーテン ７ 天井開口部 ８ 空気清浄装置 ９ キャスター １０ 機枠 １１ 搬送用クリーンユニット １２ 台車 １３ ジョイントパイプ １４ ジョイントパイプ １５ 桁材 １６ ビニールカーテン １７ 天井開口部 １８ 空気清浄装置 １９ キャスター ２０ 機枠 ２１ 搬送用クリーンユニット ２２ 台車 ２３ ジョイントパイプ ２４ ジョイントパイプ ２５ 桁材 ２６ ビニールカーテン ２７ 天井開口部 ２８ 空気清浄装置 ２９ キャスター ３０ 機枠 ３１ マジックテープ ３２ マジックテープ ４０ バッテリー電源 ５０ 製品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｆ２４Ｆ 7/00 Ａ Ｆ２４Ｆ 7/00 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ Ｈ０１Ｌ 21/02 21/68 Ａ 21/68 Ｂ６２Ｂ 3/00 Ｄ Ｆターム(参考） 3D050 AA11 AA13 BB04 BB10 DD01 EE08 EE15 GG01 KK09 3L058 BD00 BE08 BF03 BF06 BF07 BF08 4D058 JA12 KC02 LA01 LA02 LA08 QA01 QA13 SA04 UA05 UA08 UA25 5F031 CA02 CA20 GA57 NA07
Claims (7)
- 【請求項１】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカ
ーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形
成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるよう
にしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自
在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空
気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とするクリー
ンユニット。 - 【請求項２】 前記空気清浄装置が、給気口、ファン、
フィルタ及び吹出口で構成されたファンフィルタユニッ
トであることを特徴とする請求項１に記載のクリーンユ
ニット。 - 【請求項３】 前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部
または底板にキャスターを設けたことを特徴とする請求
項１または２に記載のクリーンユニット。 - 【請求項４】 前記機枠として、進行方向の前後方向に
手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前
記機枠の支柱と天井枠を構成するようにしたことを特徴
とする請求項１または２に記載のクリーンユニット。 - 【請求項５】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカ
ーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形
成するとともに前記清浄空間内に清浄空気を供給する空
気清浄装置を備えるようにしたクリーンユニットであっ
て、前記天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定し
て、前記桁材を介して空気清浄装置のフィルタ及び吹出
口からなる空気吹出部を固定するとともに前清浄空間内
に給気口及びファンから構成される給気部を設け、前記
空気吹出部と給気部とを導管によって連結するようにし
たことを特徴とするクリーンユニット。 - 【請求項６】 前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部
または底板にキャスターを設けたことを特徴とする請求
項５に記載のクリーンユニット。 - 【請求項７】 前記機枠として、進行方向の前後方向に
手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前
記機枠の支柱と天井枠を構成するようにしたことを特徴
とする請求項５に記載のクリーンユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000300273A JP4693971B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 搬送用クリーンユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000300273A JP4693971B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 搬送用クリーンユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002106905A true JP2002106905A (ja) | 2002-04-10 |
| JP4693971B2 JP4693971B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=18781977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000300273A Expired - Fee Related JP4693971B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 搬送用クリーンユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4693971B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006255594A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Nippon Muki Co Ltd | 空気清浄装置 |
| JP2010269121A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-12-02 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 換気ブース |
| JP2019135050A (ja) * | 2013-05-09 | 2019-08-15 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニーＴｈｅ Ｐｒｏｃｔｅｒ ＆ Ｇａｍｂｌｅ Ｃｏｍｐａｎｙ | 空気を濾過するための方法 |
| CN119749659A (zh) * | 2025-03-10 | 2025-04-04 | 四川交通职业技术学院 | 一种供应链管理货物运输设备 |
| CN120008155A (zh) * | 2025-03-10 | 2025-05-16 | 汉宸国际工程设计集团有限公司 | 一种具有层流清洁功能的暖通系统 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130333U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-15 | ||
| JPS62194437U (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | ||
| JPS63196031U (ja) * | 1987-06-05 | 1988-12-16 | ||
| JPH01112350U (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | ||
| JPH029740U (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-22 | ||
| JPH04214141A (ja) * | 1991-03-18 | 1992-08-05 | Nippon Muki Co Ltd | 搬送用クリーンユニット |
| JPH07291133A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-07 | Sony Corp | 台車装置 |
| JPH11132514A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Hitachi Ltd | 清浄室装置 |
| JPH11166756A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-06-22 | Akira Kijihana | クリーンユニット |
-
2000
- 2000-09-29 JP JP2000300273A patent/JP4693971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130333U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-15 | ||
| JPS62194437U (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | ||
| JPS63196031U (ja) * | 1987-06-05 | 1988-12-16 | ||
| JPH01112350U (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | ||
| JPH029740U (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-22 | ||
| JPH04214141A (ja) * | 1991-03-18 | 1992-08-05 | Nippon Muki Co Ltd | 搬送用クリーンユニット |
| JPH07291133A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-07 | Sony Corp | 台車装置 |
| JPH11166756A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-06-22 | Akira Kijihana | クリーンユニット |
| JPH11132514A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Hitachi Ltd | 清浄室装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006255594A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Nippon Muki Co Ltd | 空気清浄装置 |
| JP2010269121A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-12-02 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 換気ブース |
| JP2019135050A (ja) * | 2013-05-09 | 2019-08-15 | ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニーＴｈｅ Ｐｒｏｃｔｅｒ ＆ Ｇａｍｂｌｅ Ｃｏｍｐａｎｙ | 空気を濾過するための方法 |
| CN119749659A (zh) * | 2025-03-10 | 2025-04-04 | 四川交通职业技术学院 | 一种供应链管理货物运输设备 |
| CN120008155A (zh) * | 2025-03-10 | 2025-05-16 | 汉宸国际工程设计集团有限公司 | 一种具有层流清洁功能的暖通系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4693971B2 (ja) | 2011-06-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4756372B2 (ja) | 基板処理方法 | |
| US6616720B1 (en) | Portable airborne contamination control system including a main and remote unit | |
| JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
| JPS6162739A (ja) | クリ−ントンネル | |
| JPH08285342A (ja) | モデュール型クリーンルーム導管およびその使用方法 | |
| TWI488794B (zh) | There are rail trolley systems | |
| JP2009184785A (ja) | 物品収納設備 | |
| JP2002106905A (ja) | クリーンユニット | |
| KR20150051890A (ko) | 기판 처리 장치 | |
| JP2004269214A (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| JP2003083579A (ja) | クリーンスペースユニットとクリーンエア吹き出しユニット | |
| JP2003246423A (ja) | エアパレット搬送装置 | |
| JP2009184787A (ja) | 物品収納設備 | |
| JPH0614473Y2 (ja) | 可搬式クリーンベンチ | |
| US5741341A (en) | Portable/mountable air cleaner | |
| JPH03177732A (ja) | 半導体の無塵化製造システム | |
| JP4483012B2 (ja) | 局所浄化方法 | |
| JP2001031211A (ja) | 搬送システム | |
| KR101634578B1 (ko) | 청정물품 수납용 이동식 카트 | |
| CN218319440U (zh) | 一种盖板玻璃传送窗装置 | |
| JP4278426B2 (ja) | 清浄空間保持装置、フォトマスク基板の搬送装置及びフォトマスク基板の収納保持方法 | |
| CN214985400U (zh) | 一种氧气瓶推车 | |
| JP2004150674A (ja) | ２重包装型クリーンキャリア | |
| CN211592666U (zh) | 一种接箍搬运用设备 | |
| JP3059353U (ja) | クリーンキャリア |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070829 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100723 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100810 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101012 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110222 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110223 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |