JP2003083579A

JP2003083579A - クリーンスペースユニットとクリーンエア吹き出しユニット

Info

Publication number: JP2003083579A
Application number: JP2001275535A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Hama; 辰男濱
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-09-11
Filing date: 2001-09-11
Publication date: 2003-03-19

Abstract

(57)【要約】【解決手段】密閉箱３は、吸気孔１と排気孔２とを有
する。プレフィルタ４は密閉箱３内部の吸気孔側に配置
され、吸気された外気を所定のレベルまで浄化する。フ
ァンフィルタユニット５は、プレフィルタが浄化した外
気を高清浄度作業に要求される清浄度まで浄化して上記
排気孔２からクリーンエアを吹き出す。カバー７は、密
閉箱３とフレーム６とで形成される空間を外気から遮断
して、高清浄度作業空間を形成する。【効果】分解容易かつ移動設置可能なクリーンスペー
スユニットになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、塵埃を除去して浄
化されたクリーンエア中での作業を、簡便なユニット中
で行なうことを可能にする、クリーンスペースユニット
及びこれに使用されるクリーンエア吹き出しユニットに
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場や液晶基板の製造加工工
場等では、気中の塵埃が製品に悪影響を及ぼす。そこ
で、気柱の塵埃の量を一定以下に抑えた高清浄度作業空
間(通称クリーンスペース)が使用される。このクリーン
スペースには、エア中の微細な塵埃をフィルタを用いて
除去し、室内に天井から床に向かうエアの流れ（ダウン
フロー）を作るファンフィルタユニットが使用される。
クリーンスペースが広くなると、多数のファンフィルタ
ユニットを使用するために多くの電力を消費する。そこ
で、クリーンスペースを複数の領域に区分し、作業者の
存在を検知して作業者の存在する区分のエア浄化能力を
高めるような制御が行なわれている（特開昭第６４−５
８９４７号公報、特開平第５−１８５７６号公報、特開
平第５−３３２５８８号公報、特開平第６−１０１８８
０号公報、特開平第６−１０１８８１号公報、特開平第
９−１１９６８９号公報、特開平第９５３８４７号公
報、特開平第１０−３００１４７号公報、特開平第１０
−３００１４８号公報、特公平６−２７５８４号公報、
特公平８−２３４２４号公報等）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の技術には、次のような解決すべき課題があっ
た。クリーンスペースを設けるには、工場の建屋内部の
エアを予め所定のレベルにまで浄化する設備を使用す
る。さらに、上記の先行技術に記載されたようなファン
フィルタユニットを天井部に取り付けた部屋を工場の内
部に据えつけている。しかしながら、こうした設備は非
常に高額になるため、製品コストに大きく影響するとい
う問題があった。

【０００４】また、この種の設備建設のための技術者が
少ない外国でクリーンスペースを建設するためには、国
内から大勢の専門家を派遣しなければならず、そのため
の費用もコストに影響する。また、例えば、液晶の加工
ライン等では、生産性の改善のために、その工程を簡素
化したり、いくつかの工程を併合したり分離したりする
ことが頻繁に行なわれる。しかしながら、こうしたライ
ンを収容するクリーンスペースを工程の改変のつど増設
したり改造したりするのは非常に手間と費用がかかると
いう問題があった。

【０００５】また、クリーンスペースで作業をするに
は、防塵服に着替えなければならないが、この種の作業
に不慣れな作業者に対して、頭の先から足元まで防塵服
の着用を義務づけるのは負担が大きい。また、クリーン
スペースへの出入りのつど作業者が防塵服に着替えるた
めに要する時間は無視できず、これもコストアップの原
因になる。

【０００６】本発明は以上の点に着目してなされたもの
で、増設や移設が容易な簡便なクリーンスペースユニッ
ト及びこれに使用するクリーンエア吹き出しユニットを
提供することを目的とする。また、本発明は、例えば、
上衣のみを防塵服にしてクリーンスペースでの作業を実
施できる簡易なクリーンスペースユニットを提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は以上の点を解決
するため次の構成を採用する。

【０００８】〈構成１〉吸気孔と排気孔とを有する密閉
箱と、上記密閉箱内部の吸気孔側に配置され、吸気され
る外気を所定のレベルまで浄化するプレフィルタと、上
記密閉箱内部の排気孔側に配置され、上記プレフィルタ
が浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度まで
浄化して上記排気孔からクリーンエアを吹き出すファン
フィルタユニットと、上記密閉箱を所定位置に支持する
支持機構と、上記密閉箱のクリーンエア吹き出し口近傍
を含む所定の空間を外気から遮断して高清浄度作業空間
を形成するカバーとを備えたことを特徴とするクリーン
スペースユニット。

【０００９】吸気孔は外気を取り入れるための開口であ
る。排気孔は、浄化エアをクリーンスペース中に吹き出
すための開口である。開口の形状や位置や数は任意であ
る。プレフィルタは、密閉箱の吸気孔側で外気中の塵埃
を除去して所定のレベルまで浄化したエアをファンフィ
ルタユニットに供給する。これにより、ファンフィルタ
ユニットの目詰まりを防止する。故に、プレフィルタの
エア浄化能力はファンフィルタユニットのエア浄化能力
と同等かそれ以下であればよい。密閉箱とプレフィルタ
とファンフィルタユニットとで外気を導入してクリーン
スペースに要求されるレベルの清浄エアを吹き出すため
の一体化された機構を構成する。クリーンスペースに要
求されるレベルは、用途に応じて選定される。このレベ
ルに応じてファンフィルタユニットのフィルタを選定す
る。密閉箱は任意の支持手段により所定位置に支持され
る。作業対象物はクリーンエア吹き出し口近傍を含む所
定の空間に配置される。密閉箱の支持位置はこの空間の
状態により決める。遮断してというのは、外気が容易に
流れ込まないようにする意味で、密閉する必要はない。
クリーンエアの流れを整えられればよい。

【００１０】〈構成２〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記密閉箱を床上に支持するフレ
ームと、上記密閉箱と上記フレームとで形成される空間
を外気から遮断して高清浄度作業空間を形成するカバー
とを備えたことを特徴とするクリーンスペースユニッ
ト。

【００１１】フレームは、密閉箱を床上に支持する。フ
レームは板材でも骨材でもよい。塵埃をきらう作業対象
物はクリーンスペースの床上の所定位置に配置される。
フレームは、密閉箱をこの所定位置の近傍に支持する。
フレームとカバーにより形成される空間で、作業対象物
を外気から遮断して、清浄エア中に置く雰囲気が形成さ
れる。フレームの一部がカバーになっていても構わな
い。

【００１２】〈構成３〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記支持機構は、密閉箱を所定位
置に吊り下げ支持する吊り下げ機構からなることを特徴
とするクリーンスペースユニット。

【００１３】この例では、密閉箱を柱等で床上に支持す
るのでなく天井や壁等から吊り下げ支持する。吊り下げ
機構の構成は任意である。固定でも半固定でもよい。密
閉箱を吊り下げる構造にすると、床の状態にかかわりな
くクリーンスペースユニットの位置選定ができる。

【００１４】〈構成４〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記密閉箱と上記フレームと上記
カバーとは、互いに着脱可能な固定手段により固定され
ていることを特徴とするクリーンスペースユニット。

【００１５】密閉箱と骨材とカバーとを互いに着脱可能
に固定することにより、分解組み立てや運搬の容易なク
リーンスペースユニットが実現する。

【００１６】〈構成５〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記カバーは、柔軟なシートから
成ることを特徴とするクリーンスペースユニット。

【００１７】カバーをゴムやプラスチック等から成る柔
軟なシートで構成することにより、クリーンスペースの
分解や組み立てや運搬がいっそう容易になる。

【００１８】〈構成６〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記カバーは、透明なプラスチッ
クシートから成ることを特徴とするクリーンスペースユ
ニット。

【００１９】透明なプラスチックシートは、柔軟で運搬
も容易であり、ユニットの形状に合わせて加工をするの
に適する。また、クリーンスペースの間仕切りとしても
適する。

【００２０】〈構成７〉構成２に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記密閉箱は上記フレームによっ
て上記高清浄度作業空間の天井部に支持され、上記シー
トは、上記密閉箱から上記高清浄度作業空間内に配置さ
れる作業対象物の側方までを包囲し、上記フレームの下
部を開放していることを特徴とするクリーンスペースユ
ニット。

【００２１】クリーンスペースに相当する部分を天井部
から作業対象物の側方までの範囲に限定することで、ク
リーンスペースの規模が縮小され、構成が簡略化され
る。また、フレームの下部を開放して、浄化されたエア
が天井部から床方向に円滑に流れる環境を確保してい
る。これにより、作業者は、上衣のみを防塵服にして作
業台上の作業対象物の処理ができる。

【００２２】〈構成８〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記カバーの任意の場所に、上記
高清浄度作業空間内の作業対象物を上記高清浄度作業空
間の外から操作する開口を設けたことを特徴とするクリ
ーンスペースユニット。

【００２３】一方から他方に浄化されたエアが流れるボ
ックスにより、ボックス内にクリーンスペースと同様の
スペースを形成する。ボックスの形状は任意である。作
業対象物操作用の開口は、作業者の手等を挿入して任意
の作業をするために設けられている。作業対象物操作用
の開口の数や形状は任意である。このボックスは構成１
のものよりもさらに小型化でき、ラインの作業台上やベ
ルトコンベア上に簡単に据付けできる。

【００２４】〈構成９〉構成１に記載のクリーンスペー
スユニットにおいて、上記カバーの任意の場所に、上記
高清浄度作業空間内の作業対象物を上記高清浄度作業空
間の外から操作する開口であって、開閉可能な蓋を有す
るものを設けたことを特徴とするクリーンスペースユニ
ット。

【００２５】カバーに開閉可能な蓋を有する開口を設け
ておくと、使用時に手等を挿入し作業をし、不使用時は
蓋をして埃の侵入を防ぐことができる。

【００２６】〈構成１０〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、クリーンエアが、水平方向、も
しくは垂直方向に対して傾斜した方向に流れるように，
上記密閉箱と上記フレームと上記カバーとが配置される
ことを特徴とするクリーンスペースユニット。

【００２７】ボックスの構造が簡単なので、作業者と作
業対象部物の位置関係により、防塵上最適な方向に浄化
されたエアが流れるようにできる。従って、従来のクリ
ーンスペースのように、浄化されたエアが垂直下方に向
かって流れるという条件に制約されない。

【００２８】〈構成１１〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、密閉箱を、それぞれ異なる位置
に選択的に支持する固定手段を備えたことを特徴とする
クリーンスペースユニット。

【００２９】フレームや吊り下げ機構上のいろいろな位
置に固定手段を設けて、密閉箱を固定すれば、固定位置
によって、クリーンエアの流れかたが異なる。従って、
クリーンエアの流れの最適化ができる。

【００３０】〈構成１２〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、密閉箱を、それぞれ異なる角度
で選択的に密閉箱を支持する固定手段を備えたことを特
徴とするクリーンスペースユニット。

【００３１】フレームや吊り下げ機構上に固定手段を設
けて、密閉箱をいろいろな角度に傾斜させることができ
るように固定すれば、傾斜によって、クリーンエアの流
れかたが異なる。従って、クリーンエアの流れの最適化
ができる。

【００３２】〈構成１３〉構成１に記載の上記密閉箱と
上記フレームとからなるユニットを複数個連結し、上記
複数のユニットで形成される空間を外気から遮断して上
記高清浄度作業空間を形成するカバーを備えたことを特
徴とするクリーンスペースユニット。

【００３３】密閉箱とフレームを複数連結することによ
り、任意の形状の任意の規模のクリーンスペースを形成
できる。連結方法は任意である。連結の際に、隣り合う
ユニットがフレームの一部を共用して構わない。カバー
は密閉箱とフレームを複数連結した後にこれらを包囲す
るように配置すればよい。しかも、分解組み立てが容易
な構造にすれば、クリーンスペースを使用するラインの
レイアウト変更や移設等に柔軟に対応できる。

【００３４】〈構成１４〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、上記複数個のユニットは縦続連
結され、上記複数縦続連結されたユニットで形成される
空間の内部に、作業対象物を搬送するベルトコンベアが
配置されることを特徴とするクリーンスペースユニッ
ト。

【００３５】一方に密閉箱を配置し他方を開放したユニ
ットを複数縦列接続すれば、トンネル状のクリーンスペ
ース領域が形成できる。ここにベルトコンベアを配置し
て作業対象物を搬送すればよい。これにより、クリーン
スペース部分を非常に小型化できる。

【００３６】〈構成１５〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の
量を検出するダストセンサを配置して、このダストセン
サが検出する塵埃が一定値以下の場合には、ファンフィ
ルタユニットの送風機を停止させることを特徴とするク
リーンスペースユニット。

【００３７】ユニット毎に塵埃の量を検出してエアの浄
化能力に反映させることで、任意の数のユニットを任意
に組み合わせて自由なレイアウトの性能の安定したクリ
ーンスペースを提供できる。

【００３８】〈構成１６〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の
量を検出するダストセンサを配置して、このダストセン
サが検出する塵埃の量に応じて、ファンフィルタユニッ
トの送風機を可変速制御することを特徴とするクリーン
スペースユニット。

【００３９】塵埃の量に応じてファンフィルタユニット
の送風機を可変速制御すれば、オンオフ制御よりも無駄
な電力を消費せず、最適駆動ができる。

【００４０】〈構成１７〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、ユニット内に作業者の存在を検
出する人感センサを配置して、この人感センサが作業者
の存在を検出できない場合には、ファンフィルタユニッ
トの送風機を停止させることを特徴とするクリーンスペ
ースユニット。

【００４１】ユニットごとにその内部にいる作業者の有
無をエアの浄化能力に反映させることで、任意の数のユ
ニットを任意に組み合わせて自由なレイアウトの性能の
安定したクリーンスペースを提供できる。

【００４２】〈構成１８〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、ユニット内に作業者の存在を検
出する人感センサを配置して、この人感センサが作業者
の存在を検出した前後で、ファンフィルタユニットの送
風機を可変速制御することを特徴とするクリーンスペー
スユニット。

【００４３】人の存在が検出されたときからその人がい
なくなるまでの間、状況に応じてファンフィルタユニッ
トの送風機を可変速制御すれば、オンオフ制御よりも無
駄な電力を消費せず、最適駆動ができる。

【００４４】〈構成１９〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、浄化されるエアの湿度を制御す
る湿度コントローラを設けたことを特徴とするクリーン
スペースユニット。

【００４５】クリーンスペース部分が異常に乾燥すると
静電気により塵埃がユニット各部に付着して弊害をもた
らす。そこで、乾燥を防止するための湿度コントローラ
を設けた。

【００４６】〈構成２０〉構成１に記載のクリーンスペ
ースユニットにおいて、浄化されるエアの温度を制御す
る温度コントローラを設けたことを特徴とするクリーン
スペースユニット。

【００４７】エアの湿度はエアの温度に大きく依存する
から温度コントローラを加えた。

【００４８】〈構成２１〉吸気孔と排気孔とを有する密
閉箱と、上記密閉箱内部の吸気孔側に配置され、吸気さ
れる外気を所定のレベルまで浄化するプレフィルタと、
上記密閉箱内部の排気孔側に配置され、上記プレフィル
タが浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度ま
で浄化して上記排気孔からクリーンエアを吹き出すファ
ンフィルタユニットとを備えたことを特徴とするクリー
ンエア吹き出しユニット。

【００４９】以下は、構成１のクリーンスペースユニッ
ト等の主要部品であるクリーンエア吹き出しユニットに
関するものである。

【００５０】〈構成２２〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、クリーンエアの下流側に
塵埃の量を検出するダストセンサが検出する塵埃が一定
値以下の場合には、ファンフィルタユニットの送風機を
停止させる制御部を設けたことを特徴とするクリーンエ
ア吹き出しユニット。

【００５１】制御部はファンフィルタユニットの送風機
を制御する回路やスイッチ等である。

【００５２】〈構成２３〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、クリーンエアの下流側に
塵埃の量を検出するダストセンサが検出する塵埃の量に
応じて、ファンフィルタユニットの送風機を可変速制御
する制御部を有することを特徴とするクリーンエア吹き
出しユニット。

【００５３】〈構成２４〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、作業者の存在を検出する
人感センサが作業者の存在を検出できない場合には、フ
ァンフィルタユニットの送風機を停止させる制御部を設
けたことを特徴とするクリーンエア吹き出しユニット。

【００５４】〈構成２５〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、作業者の存在を検出する
人感センサが作業者の存在を検出したとき、その前後の
タイミングで、ファンフィルタユニットの送風機を可変
速制御する制御部を設けたことを特徴とするクリーンエ
ア吹き出しユニット。

【００５５】〈構成２６〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、浄化されるエアの湿度を
制御する湿度コントローラを設けたことを特徴とするク
リーンエア吹き出しユニット。

【００５６】〈構成２７〉構成２１に記載のクリーンエ
ア吹き出しユニットにおいて、浄化されるエアの温度を
制御する温度コントローラを設けたことを特徴とするク
リーンエア吹き出しユニット。

【００５７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
例を用いて説明する。〈具体例１〉図１は、具体例１のクリーンスペースユニ
ットを説明する図で、(ａ)はクリーンスペースユニット
の正面図、(ｂ)は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
る。具体例１のクリーンスペースユニットは、図1
（ａ）に示すように、側面に吸気孔１を備え、下面に排
気孔２を備えた密閉箱３を天井部分に配置している。吸
気孔１にはプレフィルタ４がはめ込まれている。また、
図１（ｂ）に示すように、排気孔２の部分には、ファン
フィルタユニット５がはめ込まれている。密閉箱３は、
４本の柱から成るフレーム６に支持されている。そし
て、フレーム６の密閉箱３の直下の部分を覆うようにカ
バー７が設けられている。

【００５８】図２は、図１に示したクリーンスペースユ
ニットを上方から見た平面図である。図のように、この
例では、クリーンスペースユニットは上方から見たとき
ほぼ正方形になるように設計されている。４隅には４本
の柱状のフレームが配置されている。密閉箱３の内部に
は、２組のファンフィルタユニット５が並べて配置され
ている。ファンフィルタユニット５に対して、プレフィ
ルタ４と中間フィルタ１２の配置された側と反対の側
に、制御部１３が配置されている。

【００５９】プレフィルタ４が嵌め込まれている吸気孔
１は、外気を取り入れるための開口である。排気孔２
は、クリーンエアをクリーンスペース中に吹き出すため
の開口である。密閉箱３は、プレフィルタ４とファンフ
ィルタユニット５とが一体化されたクリーンエア吹き出
しユニットである。このように、外気を取り入れてクリ
ーンエアを吹き出す部分をユニットと化することによっ
て、この部分の運搬作業、組立作業、メンテナンス作業
などが省力化される。尚、上記の開口の形状や位置や数
は任意である。

【００６０】プレフィルタ４は、密閉箱３の吸気孔側１
で外気中の塵埃を除去して、所定のレベル(清浄度)まで
浄化したエアをファンフィルタユニット５に供給する部
分である。これにより、ファンフィルタユニット５の目
詰まりを防止する。故に、プレフィルタ４のエア浄化能
力はファンフィルタユニット５のエア浄化能力と同等か
或いはそれ以下でもよい。尚、エア浄化能力を向上させ
るために中間フィルタ１２を併用すればさらによい。

【００６１】プレフィルタ４は、吸気孔から導入される
エア中の、例えば、０．３μｍ〜０．５μｍ程度の大き
さの塵埃を除去する機能を持つ。これは、他のフィルタ
に比べて安価である。また、密閉箱の側面に配置されて
おり交換が容易であるから、比較的頻繁に例えば、１カ
月に数回程度交換することができる。

【００６２】一方中間フィルタ１２は、プレフィルタ４
を通過してくるエア中の、例えば、０．１μｍ以上の大
きさの塵埃を除去する機能を持つ。この中間フィルタ１
２も、ファンフィルタユニット５のフィルタと比較して
安価であり、プレフィルタ４のすぐ内側に配置されてい
るから、交換も容易である。中間フィルタ１２は、例え
ば、数年に１回交換される。中間フィルタ１２は、プレ
フィルタ４と同等の性能のものでもよいし、プレフィル
タ４とファンフィルタユニット５の中間的な性能のもの
でもよい。プレフィルタ４で充分であれば、中間フィル
タ１２は省略して良い。

【００６３】ファンフィルタユニット５は、例えば、
０．１μｍ以上の大きさの塵埃を除去しつつ浄化された
クリーンエアを、ファンを用いて高清浄度作業空間９内
部に吹き出す機能を持つ。ファンフィルタユニット５
は、既に紹介した先行技術文献にも記載されているよう
に、クリーンスペース用として広く市販されているもの
でよい。

【００６４】ファンフィルタユニット５は、プレフィル
タ４から受け入れた浄化エアを更に浄化して吸気孔２を
通じて高清浄度作業空間９内へクリーンエアを吹き出す
部分である。高清浄度作業空間９は、半導体製造工程や
液晶基板の製造工程等に求められており、空気中の塵埃
の量が一定以下に抑えられた作業空間である。高清浄度
作業空間９に要求される清浄度は工程の内容によって異
なる。

【００６５】以上のようにして、プレフィルタ４と中間
フィルタに１２により、ファンフィルタユニット５のフ
ィルタの目詰まりがほぼ完全に予防される。従って、プ
レフィルタ４と中間フィルタ１２の管理を的確に行なえ
ば、密閉箱３に収納されたクリーンエア吹き出しユニッ
トは長期間安定した性能を発揮することができる。

【００６６】フレーム６は、密閉箱３を床面８上に支持
する部分である。フレーム６はどのような部材でもよい
が、例えば、板材や骨材が最適である。カバー７は、上
記密閉箱３やフレーム６、と一体になって、クリーンエ
アを外気から隔離して、内部に高清度浄作業空間を保持
する部分である。カバー７には透明なプラスチックシー
トなどが採用され、例えばカーテンレール(固定手段)な
どを用いて着脱容易に装着されることが好ましい。ゴム
シート等の柔軟な伸縮性のあるシートであれば、密閉箱
３やフレーム６に密着してより効果的である。

【００６７】尚、このカバー７の長さを加減してフレー
ム６の下部を開放する(図1)ことによって、従来のクリ
ーンスペースでは不可能であった効果が得られる。即
ち、排気孔２から吹き出されたクリーンエアは、矢印１
９−１、１９−２、１９−３のように、作業者１０や、
作業台１４の上の作業対象物１１に上方から吹き付けら
れた後、高清浄度作業空間９の内部に留まらずにクリー
ンスペースユニットの外部にすみやかに排出されること
になる。即ち、ここに、上流から下流に向かうクリーン
エアの円滑な流れができる。作業者の下半身や足に触れ
たり床に衝突した塵埃を含んだエアが、作業対象物１１
の付近まで逆流することはない。故に、作業者１０は、
上着のみを着用することによって作業することが出来
る。

【００６８】なお、図１に示したクリーンスペースユニ
ットの密閉箱３に収納された制御部１３は、ファンフィ
ルタユニット５のオンオフ制御をする。フレーム６の下
部、即ち、クリーンエアの下流側には、塵埃の量を検出
するダストセンサ１５を配置している。制御部１３は、
このダストセンサ１５が検出する塵埃が一定値以下の場
合には、ファンフィルタユニットの送風機を停止させ
る。同様にして、クリーンスペースユニット内で作業者
が作業する位置に、人感センサ１６を設置する。制御部
１３は、クリーンスペースユニット内に作業者が存在し
ない時はファンフィルタユニットの送風機を停止させ
る。以上の制御により、無駄な電力の消費を防ぐことが
できる。

【００６９】図３は、具体例１のクリーンスペースユニ
ットの変形例を説明する図で、(ａ)はクリーンスペース
ユニットの正面図、(ｂ)は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断
面図である。図１に示したものよりもさらに清浄度が要
求される場合には、この図に示すような構成のクリーン
スペースユニットが適する。図３の例が図１の例と異な
る点は、カバー１７を床面まで配置した点である。さら
に、床面グレーティング１８(通常のクリーンスペース
に配置される)が床面に配置される。床面グレーティン
グ１８は、クリーンエアの流れを矢印１９−４、１９−
５のように整えて、床面８からの埃の舞い上がりを防
ぐ。

【００７０】従来のクリーンスペースは、工場内に一旦
設置されるとその後の移動は容易でない。従って、レイ
アウト変更には大変な費用と手数がかかる。しかしなが
ら、本具体例では、上記密閉箱３(吸気孔をのぞく部分)
と、フレーム６と、カバー７とによって高清浄度作業空
間が構成されているため、分解や組み立てが容易で移動
設置が簡単という効果がある。〈具体例２〉図４は具体例２のクリーンスペースユニッ
トの斜視図である。図のクリーンスペースユニットは、
２つの密閉箱２３−１、２３−２と、フレーム２６、カ
バー２７、底板２８によって構成される。本具体例で
は、作業者が高清浄度作業空間の外にいて、手のみを高
清浄度作業空間の中にいれて作業を行なう。こうした構
成のものは、一般に、クリーンベンチと呼ばれている。

【００７１】密閉箱２３−１は、フレーム２６によって
クリーンスペースユニットの天井部に支持され、空気を
清浄化するための装置である。その機能は具体例１の密
閉箱３と同様である。密閉箱２３−２は、フレーム２６
によってクリーンスペースユニットの側面(作業者の対
面)に支持され、空気を清浄化するための装置である。
その機能も具体例１の密閉箱３と同様である。底板２８
は、クリーンスペースユニットの底の部分であり、図示
してない作業者が椅子３０に着席したときに作業者の膝
の上になる高さに設定されている。

【００７２】こうすることによって、高清浄度作業空間
が小さくなり、クリーンスペースユニットの構成が簡略
化される。又密閉箱２３−１及び密閉箱２３−２から吹
き出されるクリーンエアは矢印２０−１、２０−２のよ
うに、カバー２７−０の下部を通って作業者側に向けて
吹き出される。クリーンエアが、水平方向、もしくは垂
直方向に対して傾斜した方向に流れるように，密閉箱２
３−１、２３−２とフレーム２６とカバー２７とが配置
されている。その結果、作業者は上着のみ防塵服に着替
え、カバー２７−０の開口２７−１から手を挿入して底
板２８上で作業することが可能になる。

【００７３】図５は、具体例２のクリーンスペースユニ
ットの拡張例斜視図である。要求されている清浄度が比
較的低い場合にはこの図のような例を採用することも出
来る。図４の例と比較をすると、この例の場合には、作
業者側のカバー２７−０(図４)が割愛されている。更
に、この例では密閉箱２３−１を１台だけ使用してい
る。密閉箱２３−１２から吹き出されるクリーンエアは
矢印２０−２の方向に流れる。以上の構成を採用するこ
とによっても、クリーンエアの風圧を上げるなどの微調
整によって、具体例２と同様の効果を得ることができ
る。〈具体例３〉図６は、具体例３のクリーンスペースユニ
ットの斜視図である。このクリーンスペースユニット
は、密閉箱３３、フレーム３６、カバー３７から成り、
搬送ベルト３８に覆い被さるように構成されている。即
ち、クリーンベンチ内を搬送ベルト３８が矢印３９の方
向に通過するような構成になっている。

【００７４】密閉箱３３は、フレーム３６によってクリ
ーンスペースユニットの天井部に支持され、空気を清浄
化するための装置である。その機能は具体例１の密閉箱
３と同様である。搬送ベルト３８は、作業対象物４０を
搬送するベルトコンベアである。ベルトコンベアは、作
業者が椅子３０に着席したときに作業者の膝の上に位置
するようにその高さが設定されている。こうすることに
よって高清浄度作業空間が小さくなり構成が簡略化され
る。又密閉箱３３から吹き出されるクリーンエアは、矢
印３２−１、３２−２に示すように、カバー３７の下部
と搬送ベルト３８の間を通って高清浄度作業空間の外部
に排出される。その結果作業者は上着のみ防塵服に着替
え、カバー３７−０の孔３７−１から手を挿入して搬送
ベルト３８上で作業することが可能になる。〈具体例４〉図７は具体例４のクリーンスペースユニッ
トの正面図で、図８は具体例４のクリーンスペースユニ
ットの平面図である。具体例１で説明したクリーンスペ
ースユニットは、いくつでも連結接続することができ
る。具体例４の場合には、具体例１で説明した密閉箱３
とフレーム６とで構成されるユニットを２個連結接続
し、その密閉箱３とフレーム６とで構成される空間をカ
バー４７で包囲して高清浄度作業空間を構成している。
複数個のユニットの連結接続形態は任意である。従っ
て、この要領で任意の形状、任意の大きさの高清浄度作
業空間を自由に作り出すことが可能になる。

【００７５】各クリーンスペースユニット間に間仕切り
は設けられていないが、用途次第によっては間仕切りを
自由に設けることも可能である。例えば、１ユニット単
位でファンフィルタユニット５をオンオフ制御して、必
要な場所のみクリーンエアを吹き出させるようにするこ
ともできる。この場合には、図１に示したダストセンサ
１５や人感センサ１６を各ユニットとごとに配置すると
よい。又、各クリーンスペースユニットの制御部１３の
間を接続ケーブル４１を用いて連結することで、ワンタ
ッチで配線ができるようにするとよい。〈具体例５〉図９は具体例５のクリーンスペースユニッ
トの正面図で、図１０は具体例５のクリーンスペースユ
ニットの平面図である。具体例５は、具体例１で説明し
たクリーンスペースユニットを、コンベア５８に沿って
６個連結接続したものである。即ち、具体例１で説明し
た密閉箱３とフレーム６で構成されるユニットを４個プ
ラス２個、縦続連結接続し、その密閉箱３とフレーム６
とで構成される空間を、カバー５７で包囲して高清浄度
作業空間を構成している。このクリーンスペースユニッ
ト中をコンベア５８上の図示しない作業対象物が移動す
るようにして、高清浄度作業を必要とするベルトコンベ
アラインを容易に構成することができる。

【００７６】上記の各具体例のクリーンスペースユニッ
トに、湿度センサ及び湿度コントローラを設置すること
もできる。クリーンスペースユニット内の所定の位置に
湿度センサを設置してクリーンスペースユニット内の湿
度を測定すれば、クリーンスペースユニット内部が異常
に乾燥したとき湿度コントローラを動作させて異常乾燥
を防止することができる。湿度コントローラはクリーン
エアを加湿する加湿器等であればよい。湿度制御は制御
部１３が行えばよい。

【００７７】また、上記の各具体例のクリーンスペース
ユニットに、温度センサ及び温度コントローラを設置す
ることもできる。クリーンスペースユニット内の所定の
位置に温度センサを設置してクリーンスペースユニット
内の温度を測定し、クリーンスペースユニット内部の温
度を所定の温度範囲に維持することができる。温度コン
トローラはヒータや電子冷却器等であればよい。温度制
御も制御部１３が行えばよい。

【００７８】本発明のクリーンスペースユニットは簡単
に分解組み立てができるので、車両、列車、船舶で容易
に運搬できる。また、運搬されたクリーンスペースユニ
ットは目的地に到着次第容易かつ迅速に組み立てられる
から、高清浄度作業を必要とするラインの立ち上げやレ
イアウト変更、移転などがきわめて迅速になる。更に、
本発明によるクリーンスペースユニットは簡単にどこに
でも設置できるから、例えば、トラックの荷台や、船舶
の船倉内に設置することができる。例えば、船舶の船倉
内にクリーンスペースユニットを設置すると、船舶に部
品を積み込んで、出航してから目的地に到着するまでの
間に高清浄度作業による製品の製造が可能になる。

【００７９】図１１は、クリーンスペースユニットの変
形例を示すもので、（ａ）はレールによりクリーンスペ
ースユニットを吊り下げたものの斜視図、（ｂ）は
（ａ）の主要部側面図、（ｃ）はワイヤーによるクリー
ンスペースユニット吊り下げ例を示す斜視図である。図
１などを用いて説明した例では、クリーンエアを吹き出
す密閉箱を柱状のフレームによって床上に設置した。し
かしながら、図１１（ａ）に示すように、密閉箱６０を
吊り下げるようにして使用することもできる。この図の
例では、レール６１にワイヤー６２とハンガー６３を用
いて密閉箱６０を吊り下げている。密閉箱６０の直下、
すなわちクリーンエア吹き出し部分の近傍は、カバー６
５により包囲されている。このカバー６５の包囲する空
間内に、ちょうど作業用のテーブル６６の上面がくるよ
うに、カバー６５のサイズ設定がされている。

【００８０】レール６１は、工場の壁などに取り付けら
れた任意の形状の柱である。図１１（ｂ）に示したよう
な鍵状のフック６３をこのレール６１に引っかけ、ワイ
ヤー６２により密閉箱６０を吊り下げる。ワイヤー６２
の長さを調節すれば密閉箱６０の床上の高さを調整でき
る。カバー６５は、床上でクリーンエアを保持すべき空
間のみを覆うようにサイズを選定すればよい。これによ
り、任意の場所に、簡単に、高清浄度作業空間が形成で
きる。なお（ａ）では、レール６１を用いたが、例え
ば、図示しない天井にワイヤーを直接結び付けることが
できるような環境では、図の（ｃ）に示すような構成が
可能である。図の（ｃ）では、ワイヤー７０の上端を直
接天井に結び付け、密閉箱６０を吊り下げている。ま
た、この実施例では、テーブル６６を完全に包囲するよ
うにカバー７１を設けている。カバー７１のサイズは、
要求される高清浄度作業空間のレベルに応じて選定され
ればよい。カバー７１の下端と床面との間には、クリー
ンエアが外部に流れ出す若干の隙間を設けることが好ま
しい。図１１に示すような例では、密閉箱６０を床上に
直接支持するフレームを使用しないから、床面が平坦で
なかったり、フレームの位置固定が難しい場所に最適で
ある。なお、クリーンスペースユニットを空間に支持す
る機構として、上記の吊り下げ機構のほか、壁から直接
張り出した腕状のフレームなどに密閉箱６０を直接固定
したり、その他様々な支持機構を採用することが可能で
ある。

【００８１】図１２は、作業対象物の搬送機構を説明す
る図で、（ａ）から（ｃ）はそれぞれ別々の構成の搬送
機構の斜視図、（ｄ）は搬送機構に１台のクリーンスペ
ースユニットをセットした状態の斜視図である。図の
（ａ）に示すものは、これまでの実施例で説明したベル
トコンベアの例で、ベルト９０をローラ９１に添わせ
て、上に乗せた対象物をその長手方向に搬送する良く知
られた機構である。流れ作業を行う場合にはこのような
機構が一般的に広く用いられるが、例えば、この他にも
別の搬送機構が知られている。（ｂ）は上面が滑りやす
い樹脂などで加工されたテーブル９２の例を示す。この
テーブル９２には、対象物を自動的に搬送する特別の機
構は取り付けられていない。対象物を移動させるのは、
人の手の力である。対象物はこのテーブル９２の上に乗
せられて、軽く押されることによって、搬送機構の長手
方向に容易に移動する。このとき、テーブル上を滑らす
ように対象物を移動させても構わないし、図示しない台
車に乗せて移動させても構わない。

【００８２】（ｃ）は多数のローラ９３を平行に並べた
搬送機構の例を示す。この搬送機構の場合、対象物を図
示しない台の上に乗せて作業し、人の手の力で対象物を
押せば、対象物は、ローラ９３の上を転がって次の工程
に移動する。図１２の（ａ）〜（ｃ）に示すような各種
の構成の搬送機構に、本発明のクリーンスペースユニッ
トを容易にセットできる。（ｄ）はその例を示し、搬送
機構９４に１台のクリーンスペースユニットをセットし
たものである。密閉箱９５は、４本の支柱９６によって
支えられ、搬送機構９４をまたぐように配置されてい
る。カバー９７には、手を差し込むための穴９８が設け
られている。図のような構成にすれば、搬送機構の任意
の位置に１台だけクリーンスペースユニットを配置して
局所的に高清浄度作業空間が形成できる。もちろん、搬
送機構の任意の位置で、複数のクリーンスペースユニッ
トを従属接続して使用してもよいし、点在させて使用し
てもよい。

【００８３】図１３は、トンネル状のクリーンスペース
ユニットの例を示し、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は側
面図である。一方から手などを入れて作業する、クリー
ンスペースユニットでは、クリーンエアの吹き出し方向
が重要になる。クリーンスペースユニット中で、クリー
ンエアが処理対象物を乗せた作業台上を通過し、手など
を差し込む穴や足元の隙間からスムーズに流れ出るよう
な設定が必要である。そこで、この実施例では、密閉箱
８０を支持するフレーム８３に密閉箱８０を取り付ける
場合の新たな機構を提供する。図に示すように、密閉箱
８０には、スカート部分８１が溶接等で一体に固定され
ている。スカート部分８１は、密閉箱８０をフレーム８
３に固定するためのものである。このスカート部分８１
は、図の（ｂ）に示すように、フレーム８３に設けられ
たボルト穴８５とボルト８４を利用して、フレーム８３
に締め付け固定するようになっている。ボルト穴８５
は、フレーム８３に多数設けられており、ボルト８４を
差し込む位置を変更すると、スカート部分８１を固定す
る固定位置が自由に選択できる。図の矢印８９に示すよ
うに、スカート部分８１はフレーム８３に沿って左側あ
るいは右側の方向に自由にスライドする。このため、密
閉箱８０は、フレーム８３上の任意の位置を選択して固
定できる。

【００８４】この図の例では、図の（ａ）に示すよう
に、２台の密閉箱８０とスカート部分８１が連結器８２
により固定されている。この連結方法やフレームとの固
定方法は自由である。こうして、２台の密閉箱８０がフ
レーム８３の上部の任意の位置に任意の角度で固定でき
る。もちろん、１台ずつ別々の角度で固定しても構わな
い。この図の（ａ）に示す例では、密閉箱８０を傾斜さ
せて固定させたため、クリーンスペースユニット内でエ
アが矢印Ａに示すような方向に流れる。そして、カバー
８８に設けられた窓８６から流れ出す。なお、この図の
クリーンスペースユニットは、例えば、図１２に示した
搬送機構中にセットするのに適したトンネル状をしてい
る。もちろん、図１に示したような状態で使用してもよ
い。カバー８８は、例えば１点鎖線Ｋに示す部分までこ
のユニットの側面を覆うように設けられていても構わな
い。また、カバー８８の窓８６は、この図の例では、横
長の比較的大きなものになっている。このような窓８６
を設けた場合、作業をしない時には外部から埃が飛び込
む可能性が高い。そこで、クリーンスペースユニット内
を外部から遮断するために、窓８６に、図に示すような
開閉可能な蓋８７が取り付けられている。この蓋８７
は、カバー８８と同一の材質であって構わない。また、
別のフィルム状のシートあるいは板を新たに取り付けた
ものであっても構わない。この図の例によれば、密閉箱
の位置をフレーム上で選択的に移動することができ、ク
リーンエアの流れ方向を最適化できるという効果があ
る。

【００８５】図１４は、図１３に示したクリーンスペー
スユニットをさらに変形したものを示し、（ａ）はその
側面図、（ｂ）は主要部斜視図である。この図の例で
は、フレーム１０１の天井部分を多角形にしている。こ
の多角形の天井部分のいずれかの辺に、密閉箱１００を
固定する。密閉箱１００は、図の（ｂ）に示すようにフ
ランジを設け、ここにボルト穴１１０を設けている。ボ
ルト１０９は、フレーム１０１のボルト穴１０５から１
０８のいずれかに差し込まれ、密閉箱１００をフレーム
１０１に固定する。ボルト穴１０５と１０６は、密閉箱
１００を図の（ａ）に示すように傾斜させて固定させる
ためのものである。また、ボルト穴１０７、１０８は、
密閉箱１００をフレーム１０１の最も高い部分に水平に
固定するためのものである。このようにすれば、密閉箱
１００の位置及びその傾斜角度を選択的に設定できる。
また、各辺に設けるボルト穴をさらに多数に増やすと、
密閉箱１００を同じ方向に傾斜させたまま、自由に位置
の微調整ができる。これによって、密閉箱１００の位置
と角度を最適化し、最もクリーンエアの流れの条件のよ
いクリーンスペースユニットが完成する。これにより図
の（ａ）に示すように密閉箱１００から吹き出したクリ
ーンエア１０３は、作業台１０２に最適の角度で吹き付
け、クリーンスペースユニットに設けられたいずれかの
隙間からクリーンエアが流れ出す。例えば、デバイス生
産ラインの各部にこのようなクリーンスペースユニット
を設置している場合に、生産ラインの見直しやレイアウ
ト変更があったとき、いくつかのクリーンスペースユニ
ットはその位置を移動させ、他のクリーンスペースユニ
ットは単に密閉箱の位置を移動させるだけで対応でき
る。従って、非常に柔軟に生産ラインの見直しに対応で
きるという効果がある。

【００８６】図１５は、上記のようなクリーンスペース
ユニットにおけるエアの吹き出し量調整方法の変形例を
示す説明図である。図の（ａ）は、ダストセンサにより
検出したダスト量と密閉箱から吹き出されるエア吹き出
し量との関係を示す。縦軸はファンフィルタユニットの
クリーンエア吹き出し量、横軸は、検出したダスト量を
示す。上記のようなクリーンスペースユニットにおい
て、吹き出されるクリーンエアの量をダスト量に応じて
コントロールしてもよい。すなわち、ダスト量が非常に
少ない時はエアの吹き出し量を最小にしておく。そして
ダスト量が一定量を超えた時には、エアの吹き出し量を
ダスト量に比例するように次第に増加させる。そして、
ダスト量が一定量を超えた場合には、エアの吹き出し量
を常に最大に維持する。密閉箱中のファンを駆動する交
流モータを、制御部でインバータなどを用いて可変速制
御すると、こうした制御が可能である。必要量だけクリ
ーンエアを吹き出すようにすれば、無駄な電力消費を抑
えて、効率のよいクリーンスペースユニットが実現す
る。（ｂ）は人の存在を検出とエア吹き出し量との関係
を示している。縦軸はファンフィルタユニットのクリー
ンエア吹き出し量、横軸は、時間の経過を示す。人検出
センサがクリーンスペースユニット内に人を検出してい
ない時には、エアの吹き出し量を最小にしておく。そし
て時刻ｔ１に人を検出したとき、まずエアの吹き出し量
を最大にする。その後時刻ｔ２まで一定時間経過したと
き、エアの吹き出し量を中程度つまり通常の運転レベル
まで落とす。時刻ｔ３で人がクリーンスペースユニット
中から他へ移動した時には、直ちにエア噴出し量を最小
にする。このような段階的な制御により、無駄な電力消
費を抑えることができる。

【００８７】

【発明の効果】(１)従来のクリーンスペースは、工場内
に一旦設置されるとその後の移動は、殆ど不可能になっ
てしまう。一方本発明のクリーンスペースユニットは、
上記密閉箱３と、フレーム６と、カバー７とによって高
清浄度作業空間が構成される。密閉箱３が、上記のよう
に装置化され、フレーム６によって支持され、かつ、カ
バー７が着脱可能なため分解容易になり移動設置ができ
るという効果がある。

【００８８】(２)液晶基板の製造加工ラインを設計した
場合には、実際にラインを試作して不具合の有無を確
認、その後本格的なラインの建設をする。このような場
合に、本発明のクリーンスペースユニットは、試験ライ
ンで使用してそのまま本格的なラインに移設する事がで
きる。従って、試験設備に無駄が生じない。しかも、試
験設備を実際のラインと全く同一の環境にすることがで
きるという効果がある。

【００８９】(３)本発明のクリーンスペースユニット
は、船舶内部でも簡単に設置でき、船舶内部でクリーン
スペースを使用した作業も可能になる。故に例えば、部
品を国内で生産し、最終組み立てを船舶内で行なうこと
で船舶輸送に要する期間を有効に利用し、短納期で製品
を輸出することが可能になるという効果がある。

【００９０】(４)本発明のクリーンスペースユニットで
は、例えば、作業者の上半身だけが納まるようなクリー
ンスペースができる。作業者は上衣だけを防塵服に着替
えれば作業を開始できる。故に、着替えのための作業者
の負担を軽減するとともに、着替えに要する時間を大幅
に短縮できる。これで作業効率を向上させて人件費の削
減を図るとともに、作業着のクリーニング費用も大幅に
削減できるという効果がある。

【００９１】(５)本発明のクリーンスペースユニットで
は、任意の場所にクリーンスペースの環境を形成できる
ので、必ずしもダウンフロー方式に拘束されない。即
ち、浄化されたエアの流れの方向を任意に選定できる。
例えば、テーブル上に作業対象物を配置して浄化された
エアがテーブル上の作業対象物を越えて水平に作業者に
向けて流れるようにすることもできる。作業対象物の形
状や作業内容に応じて、任意の方向に浄化されたエアの
流れを設定してよいという効果がある。

【００９２】(６)各種のセンサとコントローラを設置す
ることによって余分な電力消費を防ぐことが出来るとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】具体例１のクリーンスペースユニットを説明す
る図で、(ａ)はクリーンスペースユニットの正面図、
(ｂ)は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図２】図１に示したクリーンスペースユニットを上方
から見た平面図である。

【図３】具体例１のクリーンスペースユニットの変形例
を説明する図で、(ａ)はクリーンスペースユニットの正
面図、(ｂ)は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図４】具体例２のクリーンスペースユニットの斜視図
である

【図５】具体例２のクリーンスペースユニットの拡張例
斜視図である。

【図６】具体例３のクリーンスペースユニットの斜視図
である。

【図７】具体例４のクリーンスペースユニットの正面図
で、図８は具体例４のクリーンスペースユニットの平面
図である。

【図８】具体例４のクリーンスペースユニットの平面図
である。

【図９】具体例５のクリーンスペースユニットの正面図
である。

【図１０】具体例５のクリーンスペースユニットの平面
図である。

【図１１】クリーンスペースユニットの変形例を示すも
ので、（ａ）はレールによりクリーンスペースユニット
を吊り下げたものの斜視図、（ｂ）は（ａ）の主要部側
面図、（ｃ）はワイヤーによるクリーンスペースユニッ
ト吊り下げ例を示す斜視図である。

【図１２】作業対象物の搬送機構を説明する図で、
（ａ）から（ｃ）はそれぞれ別々の構成の搬送機構の斜
視図、（ｄ）は搬送機構に１台のクリーンスペースユニ
ットをセットした状態の斜視図である。

【図１３】トンネル状のクリーンスペースユニットの例
を示し、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は側面図である。

【図１４】図１３に示したクリーンスペースユニットを
さらに変形したものを示し、（ａ）はその側面図、
（ｂ）は主要部斜視図である。

【図１５】クリーンスペースユニットにおけるエアの吹
き出し量調整方法の変形例を示す説明図である。

【符号の説明】

１吸気孔２排気孔３密閉箱４プレフィルタ５ファンフィルタユニット６フレーム７カバー１１作業対象物１２中間フィルタ１３制御部１４作業台

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸気孔と排気孔とを有する密閉箱と、前記密閉箱内部の吸気孔側に配置され、吸気される外気
を所定のレベルまで浄化するプレフィルタと、前記密閉箱内部の排気孔側に配置され、前記プレフィル
タが浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度ま
で浄化して前記排気孔からクリーンエアを吹き出すファ
ンフィルタユニットと、前記密閉箱を所定位置に支持する支持機構と、前記密閉箱のクリーンエア吹き出し口近傍を含む所定の
空間を外気から遮断して高清浄度作業空間を形成するカ
バーとを備えたことを特徴とするクリーンスペースユニ
ット。
【請求項２】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記密閉箱を床上に支持するフレームと、前記密閉箱と前記フレームとで形成される空間を外気か
ら遮断して高清浄度作業空間を形成するカバーとを備え
たことを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項３】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記支持機構は、密閉箱を所定位置に吊り下げ支持する
吊り下げ機構からなることを特徴とするクリーンスペー
スユニット。
【請求項４】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記密閉箱と前記フレームと前記カバーとは、互いに着
脱可能な固定手段により固定されていることを特徴とす
るクリーンスペースユニット。
【請求項５】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記カバーは、柔軟なシートから成ることを特徴とする
クリーンスペースユニット。
【請求項６】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記カバーは、透明なプラスチックシートから成ること
を特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項７】請求項２に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記密閉箱は前記フレームによって前記高清浄度作業空
間の天井部に支持され、前記シートは、前記密閉箱から
前記高清浄度作業空間内に配置される作業対象物の側方
までを包囲し、前記フレームの下部を開放していること
を特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項８】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記カバーの任意の場所に、前記高清浄度作業空間内の
作業対象物を前記高清浄度作業空間の外から操作する開
口を設けたことを特徴とするクリーンスペースユニッ
ト。
【請求項９】請求項１に記載のクリーンスペースユニ
ットにおいて、前記カバーの任意の場所に、前記高清浄度作業空間内の
作業対象物を前記高清浄度作業空間の外から操作する開
口であって、開閉可能な蓋を有するものを設けたことを
特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１０】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、クリーンエアが、水平方向、もしくは垂直方向に対して
傾斜した方向に流れるように，前記密閉箱と前記フレー
ムと前記カバーとが配置されることを特徴とするクリー
ンスペースユニット。
【請求項１１】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、密閉箱を、それぞれ異なる位置に選択的に支持する固定
手段を備えたことを特徴とするクリーンスペースユニッ
ト。
【請求項１２】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、密閉箱を、それぞれ異なる角度で選択的に密閉箱を支持
する固定手段を備えたことを特徴とするクリーンスペー
スユニット。
【請求項１３】請求項１に記載の前記密閉箱と前記フ
レームとからなるユニットを複数個連結し、前記複数のユニットで形成される空間を外気から遮断し
て前記高清浄度作業空間を形成するカバーを備えたこと
を特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１４】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、前記複数個のユニットは縦続連結され、前記複数縦続連結されたユニットで形成される空間の内
部に、作業対象物を搬送するベルトコンベアが配置され
ることを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１５】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の量を検出するダストセン
サを配置して、このダストセンサが検出する塵埃が一定
値以下の場合には、ファンフィルタユニットの送風機を
停止させることを特徴とするクリーンスペースユニッ
ト。
【請求項１６】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の量を検出するダストセン
サを配置して、このダストセンサが検出する塵埃の量に
応じて、ファンフィルタユニットの送風機を可変速制御
することを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１７】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、ユニット内に作業者の存在を検出する人感センサを配置
して、この人感センサが作業者の存在を検出できない場
合には、ファンフィルタユニットの送風機を停止させる
ことを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１８】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、ユニット内に作業者の存在を検出する人感センサを配置
して、この人感センサが作業者の存在を検出した前後
で、ファンフィルタユニットの送風機を可変速制御する
ことを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項１９】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、浄化されるエアの湿度を制御する湿度コントローラを設
けたことを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項２０】請求項１に記載のクリーンスペースユ
ニットにおいて、浄化されるエアの温度を制御する温度コントローラを設
けたことを特徴とするクリーンスペースユニット。
【請求項２１】吸気孔と排気孔とを有する密閉箱と、前記密閉箱内部の吸気孔側に配置され、吸気される外気
を所定のレベルまで浄化するプレフィルタと、前記密閉箱内部の排気孔側に配置され、前記プレフィル
タが浄化した外気を高清浄度作業に要求される清浄度ま
で浄化して前記排気孔からクリーンエアを吹き出すファ
ンフィルタユニットとを備えたことを特徴とするクリー
ンエア吹き出しユニット。
【請求項２２】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の量を検出するダストセン
サが検出する塵埃が一定値以下の場合には、ファンフィ
ルタユニットの送風機を停止させる制御部を設けたこと
を特徴とするクリーンエア吹き出しユニット。
【請求項２３】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、クリーンエアの下流側に塵埃の量を検出するダストセン
サが検出する塵埃の量に応じて、ファンフィルタユニッ
トの送風機を可変速制御する制御部を有することを特徴
とするクリーンエア吹き出しユニット。
【請求項２４】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、作業者の存在を検出する人感センサが作業者の存在を検
出できない場合には、ファンフィルタユニットの送風機
を停止させる制御部を設けたことを特徴とするクリーン
エア吹き出しユニット。
【請求項２５】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、作業者の存在を検出する人感センサが作業者の存在を検
出したとき、その前後のタイミングで、ファンフィルタ
ユニットの送風機を可変速制御する制御部を設けたこと
を特徴とするクリーンエア吹き出しユニット。
【請求項２６】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、浄化されるエアの湿度を制御する湿度コントローラを設
けたことを特徴とするクリーンエア吹き出しユニット。
【請求項２７】請求項２１に記載のクリーンエア吹き
出しユニットにおいて、浄化されるエアの温度を制御する温度コントローラを設
けたことを特徴とするクリーンエア吹き出しユニット。