JP3156666B2 - 保管装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
工程が設けられるクリーン工場内に設置され、シリコン
ウェハ、液晶パネル等を工場内よりも高い清浄度の環境
下で保管する保管装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図８（ａ），（ｂ）及び図９は、クリー
ン工場内に設置される保管装置の例を示している。この
保管装置５０は、外部に対してほぼ密閉された部屋内
に、保管物を保管する保管部５１を多数備えた保管棚５
２が設けられている。保管棚５２は、部屋の外部から搬
入された保管物を各保管部５１に移送するスタッカクレ
ーン５３の移動経路の両側に設けられている。スタッカ
クレーン５３は、同クレーン５３の移動経路の一方の端
部に設けられたコンベヤ５４によって外部から搬入され
る保管物を受け取る。そして、スタッカクレーン５３は
受け取った保管物を保管先の保管部５１まで移送して保
管する。同様に、保管元の保管部５１に保管されていた
保管物が、スタッカクレーン５３及びコンベヤ５４によ
って保管装置５０の外部に移送される。

【０００３】保管装置５０内は、同保管装置５０が設置
される工場内よりも清浄度を高くするように設計されて
いる。この清浄度は、単位体積当たりの空気に含まれて
いる所定の粒径以上の大きさの塵埃の数で表わされ、そ
の数が少ないほど高い値となる。保管装置５０内の空気
は、同保管装置５０内に設けられている空気清浄装置に
よって常時濾過されている。空気清浄装置は、コンベヤ
５４の作動等によって保管装置５０の外部から持ち込ま
れる塵埃や、スタッカクレーン５３の動作に伴ってその
摺動部等から発生する塵埃を除去して、保管装置５０内
の空気を所定の清浄度以上に維持している。

【０００４】保管棚５２は、上下に並ぶ所定数の保管部
５１と、各保管部５１に濾過した空気を供給する空気清
浄ユニットとを備えた保管ユニット５６を順に配列して
形成されている。これは、共通の保管ユニット５６を使
用して保管部５１の総数が異なる保管棚を備えた保管装
置５０を作ることができるようにするためである。

【０００５】図９，１０に示すように、保管ユニット５
６は、所定数の保管部５１が設けられた棚ユニット５７
と、空気を循環させるためのブロア５８が収容されたブ
ロアユニット５９と、ブロアユニット５９から圧送され
る空気を棚ユニット５７の各保管部５１の背面側に案内
する案内部６０と、同背面側に供給される空気を濾過す
るフィルタ６１を備えたダクトユニット６２との３つの
部分からなっている。この保管ユニット５６は、各ユニ
ット５７，５９，６２の間の隙間から濾過される前の空
気が漏れないように、各ユニット間がシールされた状態
で組み立てられている。

【０００６】保管装置５０には、スタッカクレーン５３
の移動経路の一方の端部に、壁部が端部パネルユニット
６３で形成された移載室６４が設けられ、該移載室６４
にコンベヤ５４が収容されている。一方、他方の端部
は、壁部が端部パネルユニット６５にて閉じられてい
る。そして、両端部パネルユニット６３，６５及び各保
管ユニット５６の上部が天井パネル６６で覆われること
で密閉された部屋が形成されている。前記移動経路に平
行な部屋の両側面は、各保管棚５２を形成する各保管ユ
ニット５６の背面によって形成されている。保管棚５２
は、隣合う保管ユニット５６間がシールされ、両ユニッ
ト５６間の隙間から正圧となる部屋内の塵埃を含んだ空
気がクリーン工場内に放出されないようにようにされて
いる。

【０００７】天井パネル６６は図示しない複数の支柱材
で支持され、各支柱材間は横連結材にて互いに連結され
ている。各保管ユニット５６は、各支柱材及び横連結材
にて所定の位置に固定されている。

【０００８】保管装置５０は、同保管装置５０を設置す
る設置現場に保管ユニット５６、スタッカクレーン５
３、コンベヤ５４、天井パネル６６、端部パネルユニッ
ト６３，６５等を運搬し、同設置現場で各構成部材を組
み立てることで設置する。保管ユニット５６は、棚ユニ
ット５７、ブロアユニット５９及びダクトユニット６２
の状態で設置現場まで運搬し、同設置現場で各ユニット
を組み立てて形成している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、保管ユニッ
ト５６を現場で組み立てるときに、棚ユニット５７、ブ
ロアユニット５９及びダクトユニット６２をそれぞれの
間のシールが確実にできるように位置を正確に合わせな
がら組み立てなければならない。このため、各保管ユニ
ット５６の組み立て作業が容易でなく、又、シール作業
そのものに時間がかかるため作業時間が長くなる問題が
あった。

【００１０】又、互いに直接に連結されない保管ユニッ
ト５６を、隣り合う保管ユニット５６間のシールが確実
に行われるようにするとともに、各保管部５１の高さ方
向の位置がスタッカクレーン５３の移載高さ位置に合わ
せるようにしながら設置しなければならなかった。この
ため、保管ユニット５６の設置作業が容易でなく、又、
シール作業そのものに時間がかかるため作業時間が長く
なる問題があった。

【００１１】さらに、保管棚５２が、それぞれ別個に形
成した保管ユニット５６を並べて形成されているため、
形成された保管棚５２で水平方向に並ぶ各保管部５１
が、隣合う保管ユニット５６を構成する各ユニット５
７，５９，６２の２つの左右側板で仕切られることにな
る。従って、所定数の保管ユニット５６で構成された保
管棚５２の全長が、各保管ユニット５６間の１枚分の側
板の分だけ余分に長くなり、設置面積が大きくなる問題
があった本発明は、上記問題点を解決するためになされ
たものであって、その目的は、上下に並んだ所定数の保
管部を備えるとともに各保管部にそれぞれ濾過した空気
を供給する空気清浄装置を備えた棚構成単位が複数配列
されて形成された保管棚を備えた保管装置において、各
棚構成単位の現地組み立てを不要とし、又、その設置を
容易に行うことができる保管装置を提供することにあ
る。

【００１２】さらに、所定数の保管ユニットに対する保
管装置の設置面積を小さくすることができる保管装置を
提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、保管物を保管可能に形成
されるとともに所定の側に同保管物を出し入れするため
の開口部が設けられ、該開口部を所定の側に向けた状態
で所定数が上下に並ぶように設けられた保管部と、前記
各保管部の下方において前記各開口部側から導入した空
気を濾過して前記各保管部にその開口部と反対側から供
給する空気清浄装置とを備えた棚構成単位が、前記各保
管部の開口部が所定の向きに向くように複数配列される
ことにより形成された保管棚と、前記各保管部の開口部
がほぼ密閉された内部に開口するように設けられた部屋
の外部と該各保管部との間で保管物の移送を行う移送手
段とを備えた保管装置において、前記保管棚は、モノコ
ック構造で形成された筐体の内側に少なくとも前記空気
清浄装置と前記各保管部を備え、前記棚構成単位をなす
保管単位体にて形成され、前記保管単位体は、前記保管
部を前記筐体の内側に備え、該筐体の左右側板の外側面
に保管物の一端を支持する支持部がそれぞれ設けられた
第１単位体と、前記第１単位体よりも前記各保管部の奥
行き分だけ短い奥行きを備え、該各保管部を前記筐体の
内部に備えない第２単位体とからなり、前記第１単位体
と第２単位体とは、交互に配列された状態で、該第２単
位体の左右に隣合う各第１単位体の前記筐体の側板と、
該各側板に設けられた前記各支持部が同第２単位体の正
面側に前記各保管部を形成するように形成され、前記保
管棚は、交互に配列された第１単位体と第２単位体とに
よってそれぞれ形成される棚構成単位によって形成され
た。

【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記保管単位体は、前記各保管部より
も下部に設けられ、前記移送手段側において前記部屋内
に開口する空気導入部と、前記空気導入部を前記各保管
部の前記開口部と反対側に連通する連通部とを備え、前
記空気清浄装置は、前記各保管部毎にその開口部と反対
側に設けられ、前記連通部及び空気導入部を介して前記
移送手段側の空気を導入し、導入した空気を濾過して各
保管部内に供給するファンフィルタユニットである。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記各保管単位体には、前記保管棚の
状態で隣り合う該各保管単位体間で前記連通部を連通さ
せる連通孔を、前記各保管単位体の左右側板に設けた。

【００１６】

【００１７】（作用） 請求項１に記載の発明によれば、保管棚の各棚構成単位
が、モノコック構造の筐体を備えた保管単位体にて形成
される。従って、棚構成単位毎の組み立てが不要にな
る。また、１つの第１単位体が１つの棚構成単位を形成
するとともに、左右両側に隣り合う各第１単位体の左右
側板及び該左右側板に設けられた支持部にて正面側に各
保管部が形成される第２単位体が１つの棚構成単位を形
成する。従って、第１単位体にて形成される棚構成単位
の各保管部の開口部の幅と、第２単位体にて形成される
棚構成単位の各保管部の開口部の幅とを等しくした場
合、第２単位体の全幅が第１単位体の全幅よりも左右側
板の分だけ狭くなる。

【００１８】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、各保管部毎に設けられた
ファンフィルタユニットが運転されると、連通部及び空
気導入部が負圧となって部屋内の移送手段側の空気がフ
ァンフィルタユニットに導入され濾過されて各保管部内
に供給される。各保管部内に供給された空気は正圧とな
り、保管部内から再び移送手段側に放出される。従っ
て、上下に並ぶ各保管部内にほぼ均等に正圧となるよう
にそれぞれ清浄な空気が供給され、上下の保管部間相互
の影響によりいずれかの保管部内に滞留が発生し難い。

【００１９】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の発明の作用に加えて、保管棚の隣り合う保管単
位体間で濾過される前の空気が交流する。従って、ある
棚構成単位体の空気清浄装置が移送手段側から取り込む
空気の温度が、その他の空気清浄装置がそれぞれ取り込
む空気の温度よりも高いときには、各棚構成単位間にお
ける空気の交流により、温度の高い空気が棚構成単位体
が配列されている方向の空間に速やかに拡散する。

【００２０】

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図５に従って説明する。図１（ａ），
（ｂ）に示すように、保管装置１０は、細長い形状に形
成され、外部に対して密閉された部屋１１を備えてい
る。部屋１１の内部には、該部屋１１の長手方向に延び
る通路１２が設けられ、該通路１２内にはスタッカクレ
ーン１３が設けられている。通路１２の両側には、保管
物を保管する複数の保管部１４が棚状に設けられた保管
棚１５がそれぞれ設けられている。各保管棚１５に設け
られた保管部１４は、スタッカクレーン１３が保管物を
移載することができるように、その開口部１４ａを通路
１２側に向けた状態で設けられている。

【００２２】保管棚１５は、図３に示すように、上下に
並ぶ所定数（本実施の形態では３個）の保管部１４と、
該各保管部１４の下方において前記通路１２側から導入
した空気を濾過して前記各保管部１４に開口部１４ａと
反対側から供給する空気清浄装置としてのファンフィル
タユニット１６とを備えた棚構成単位１７が複数配列さ
れることにより形成されている。

【００２３】保管棚１５は、保管単位体としての保管ユ
ニットを複数配列して形成されている。保管ユニット
は、第１単位体としての第１保管ユニット１８と、第２
単位体としての第２保管ユニット１９との２種類からな
っている。保管棚１５は、図３に示すように、交互に配
列された第１保管ユニット１８と第２保管ユニット１９
とによって形成されている。

【００２４】第１保管ユニット１８は、図４（ａ），
（ｂ）に示すように、モノコック構造を構成する筐体２
０を備えている。筐体２０は、底板２０ａ、天板２０
ｂ、左側板２０ｃ、右側板２０ｄ及び後板２０ｅとから
なり、正面側だけが開口されている。本実施の形態で
は、各板２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ及び２０ｅは
金属板にて形成され、同じ厚さｔで形成されている。

【００２５】筐体２０の内側には、３個の保管部１４が
上下に並らぶように設けられている。各保管部１４は、
その内側の寸法が全て同じに形成されている。各保管部
１４は、左側板２０ｃ及び右側板２０ｄの各内側面にそ
れぞれ設けられ、左右一対で保管物の下面を支持する支
持片２１を備えている。

【００２６】又、筐体２０の内側には、各保管部１４よ
りも下方に、通路１２側に開口する空気導入部２２が設
けられている。又、筐体２０の内側には、空気導入部２
２を各保管部１４の開口部１４ａとは反対側に連通させ
る連通部２３が設けられている。空気導入部２２内に
は、通路１２側から導入される空気から粒径が比較的大
きな塵埃を濾過するプレフィルタ２４が設けられてい
る。

【００２７】又、筐体２０の内側には、各保管部１４毎
にその開口部１４ａと反対側に、連通部２３及び空気導
入部２２を介してスタッカクレーン１３側から導入した
空気を濾過して各保管部１４内に供給するファンフィル
タユニット１６が設けられている。

【００２８】ファンフィルタユニット１６は、導入する
空気から最終的に塵埃を濾過するフィルタ２５と、該フ
ィルタ２５の一方の側に空気を圧送するモータファン２
６とを備えている。そして、フィルタ２５は、各保管部
１４の開口部１４ａと反対側に設けられ、モータファン
２６はフィルタ２５を挟んで保管部１４と反対側に連通
部２３に面するように設けられている。

【００２９】又、第１保管ユニット１８の左及び右側板
２０ｃ，２０ｄには、連通部２３が内側に形成された部
分に、該連通部２３を同保管ユニット１８の外部に連通
させる連通孔２７が各ファンフィルタユニット１６に対
応する位置毎に設けられている。

【００３０】さらに、第１保管ユニット１８の左及び右
側板２０ｃ，２０ｄの外側面には、前記各支持片２１が
設けられた位置に相対する位置に支持部としての支持片
２８がそれぞれ設けられている。支持片２８は、保管物
の下面の一端を支持できるように設けられている。

【００３１】一方、前記第２保管ユニット１９は、図５
（ａ），（ｂ）に示すように、モノコック構造を構成す
る筐体２９を備えている。筐体２９は、底板２９ａ、天
板２９ｂ、右側板２９ｃ、左側板２９ｄ及び後板２９ｅ
とからなり、正面側だけが開口されている。本実施の形
態では、底板２９ａ、天板２９ｂ、右側板２９ｃ、左側
板２９ｄ及び後板２９ｅは金属板にて形成され、同じ厚
さｔで形成されている。

【００３２】第２保管ユニット１９は、その高さｈが、
第１保管ユニット１８の高さｈと等しく形成され、その
幅ｗ１が第１保管ユニット１８の幅ｗ２よりも左及び右
側板２０ｃ，２０ｄの厚さｔの分、即ち、２ｔだけ小さ
く形成されている。尚、各板２９ａ〜２９ｅの厚さｔ
は、各板２０ａ〜２０ｅの厚さと等しくされている。さ
らに、第２保管ユニット１９は、その奥行きｄ１が第１
保管ユニット１８の奥行きｄ２から保管部１４の奥行き
ｄ３を除いた奥行きに等しく形成されている。

【００３３】筐体２９の内側には、その最下部に、通路
１２側に開口する空気導入部３０が設けられている。
又、筐体２９の内側には、空気導入部３０を上方に案内
する連通部３１が設けられている。空気導入部３０の開
口部には、通路１２側から導入される空気から粒径が比
較的大きな塵埃を濾過するプレフィルタ２４が設けられ
ている。このプレフィルタ２４は、第１保管ユニット１
８に使用されているプレフィルタ２４と同一のものであ
る。

【００３４】又、筐体２９の内側には、上下に並ぶよう
に設けられ、連通部３１及び空気導入部３０を介してス
タッカクレーン１３側から空気を導入して濾過し、正面
方向に放出するファンフィルタユニット１６が設けられ
ている。このファンフィルタユニット１６は、第１保管
ユニット１８に使用されているファンフィルタユニット
１６と同一のものである。そして、フィルタ２５は、正
面に設けられ、モータファン２６がフィルタ２５の背面
側で連通部３１に面するように設けられている。

【００３５】又、第２保管ユニット１９の左及び右側板
２９ｃ，２９ｄには、連通部３１が内側に形成された部
分に、該連通部３１を同保管ユニット１９の外部に連通
させる連通孔３２が各ファンフィルタユニット１６に対
応する位置毎に設けられている。

【００３６】そして、保管棚１５は、交互に配列された
第１保管ユニット１８と第２保管ユニット１９とによっ
て形成されている。このとき、第１保管ユニット１８と
第２保管ユニット１９とは、その背面が一致するように
配列されている。そして、形成された保管棚１５におい
て、１つの第１保管ユニット１８にて１つの棚構成単位
１７が形成されている。又、第１保管ユニット１８より
も保管部１４の奥行き分だけ奥まった位置に設けられ、
左右両側に隣り合う各第１保管ユニット１８の左右側板
２０ｃ，２０ｄ及び該左右側板２０ｃ，２０ｄに設けら
れた各支持片２８にて正面側に各保管部１４が形成され
る第２保管ユニット１９にて、１つの棚構成単位１７が
形成されている。

【００３７】詳述すると、第２保管ユニット１９の左側
に隣り合う第１保管ユニット１８の右側板２０ｄと該右
側板２０ｄに設けられた支持片２８、同じく右側に隣り
合う第１保管ユニット１８の左側板２９ｃと該左側板２
９ｃに設けられた支持片２８とにより、同第２保管ユニ
ット１９の正面側に上下に並ぶ保管部１４を形成するよ
うになっている。

【００３８】保管装置１０は、前記スタッカクレーン１
３の移動経路に平行な各側面が、各保管棚１５を形成す
る各保管ユニット１８，１９の筐体２０，２９の後板に
よって形成されている。又、保管装置１０には、その長
手方向の一方の端部に、分電盤３３等が収容された作業
空間３４が設けられている。同じく他方の端部には、ス
タッカクレーン１３と保管装置１０の外部の図示しない
無人搬送台車との間で保管物の移載を行うコンベヤ３５
が設けられた移載室３６が設けられている。本実施の形
態では、スタッカクレーン１３及びコンベヤ３５にて移
送手段が構成されている。

【００３９】そして、作業空間３４はその壁部分が端部
パネルユニット３７にて形成され、移載室３６はその壁
部分が端部パネルユニット３８に形成されている。保管
装置１０の上側は、通路１２、作業空間３４、移載室３
６の天井を形成するとともに、各第１保管ユニット１８
及び第２保管ユニット１９の上面に当接する天井パネル
３９にて閉塞されている。又、天井パネル３９は、各保
管棚１５の各第２保管ユニット１９にて形成される棚単
位体１７の最上段の保管部１４の天井を形成するように
設けられている。又、天井パネル３９の通路１２に対応
する下面には、スタッカクレーン１３の上側レール４０
が固定されている。

【００４０】次に、以上のように構成された保管装置の
作用について説明する。保管装置１０は、第１保管ユニ
ット１８、第２保管ユニット１９、端部パネルユニット
３７，３８、天井パネル３９、スタッカクレーン１３、
コンベヤ３５等に分解された状態で顧客側の設置現場に
搬入され、その設置現場で組み立てられる。このとき、
第１保管ユニット１８は筐体２０内に各保管部１４、フ
ァンフィルタユニット１６、空気導入部２２及び連通部
２３が設けられており、第２保管ユニット１９は筐体２
９内にファンフィルタユニット１６、空気導入部３０及
び連通部３１が設けられてるので、保管ユニット１８，
１９毎の組み立てが不要である。又、第１保管ユニット
１８と第２保管ユニット１９とを交互に配列して保管棚
１４を組み立てるときに、両保管ユニット１８，１９間
をシールする作業が不要である。これは、各保管ユニッ
ト１８，１９において濾過される前の空気が負圧状態と
なっている連通部２３，３１が連通孔２７，３２にて両
保管ユニット１８，１９間の隙間に開口されるため、保
管装置１０内の塵埃を含んだ空気が連通孔２７，３２か
ら連通部２３，３１内に吸引され、クリーン工場内に放
出されないためである。

【００４１】第１保管ユニット１８と第２保管ユニット
１９とを交互に複数配列すると、１つの第１保管ユニッ
ト１８にて１つの棚構成単位１７が形成される。又、第
１保管ユニット１８よりも保管部１４の奥行き分だけ奥
まった位置に設けられ、左右両側に隣り合う各第１保管
ユニット１８の左右側板２０ｃ，２０ｄ及び該左右側板
２０ｃ，２０ｄに設けられた各支持片２８にて正面側に
各保管部１４が形成される第２保管ユニット１９にて１
つの棚構成単位１７が形成される。

【００４２】そして、保管棚１５が、それぞれモノコッ
ク構造で形成された第１保管ユニット１８及び第２保管
ユニット１９を配列することで形成されるため、天井パ
ネル３９を支持する支柱材等の構造材の本数を少なくし
たり、従来よりも耐荷重強度の小さい断面積の小さいも
のに置き換えることができる。

【００４３】組み立てられた保管装置１０において、入
庫時に無人搬送車により入出庫口のコンベヤ３５上まで
搬送された保管物は、コンベヤ３５によって保管装置１
０内に搬入される。保管装置１０内に搬入された保管物
は、スタッカクレーン１３によってコンベヤ３５上から
保管先の保管部１４に移送される。同様に、出庫時に
は、保管棚１５の保管元の保管部２０に保管されている
保管物がスタッカクレーン１３によってコンベア３５上
まで移送され、コンベア３５によって保管装置１０の外
部に搬出される。このとき、スタッカクレーン１３の運
転に伴ってその摺動部等から発塵する。

【００４４】スタッカクレーン１３から発生した塵埃
は、同クレーン１３の移動経路上の位置に相対する保管
ユニット１８，１９の各ファンフィルタユニット１６を
中心とする空気濾過工程によって清浄な空気とされ、各
保管部１４にその背面側から供給される。従って、各保
管物は、スタッカクレーン１３の運転に伴って発生する
塵埃を含んだ空気に晒されることなく清浄な環境下で保
管される。

【００４５】又、スタッカクレーン１３の運転に伴い、
図示しないクレーン走行用モータ、キャリッジ昇降用モ
ータから熱が発生する。そして、スタッカクレーン１３
からの熱によって加熱された空気は、同クレーン１３の
移動経路上の位置に相対する保管ユニット１８（１９）
の各ファンフィルタユニット１６の空気濾過工程によっ
て、空気導入部２２（３０）、連通部２３（３１）、各
ファンフィルタユニット１６、各保管部１４、通路１２
にて形成される循環路を循環する。

【００４６】一方、各保管ユニットでのファンフィルタ
ユニット１６の空気清浄工程に伴い、隣り合って配列さ
れた保管ユニット１８，１９間で、連通部２３，３１内
の濾過される前の空気が連通孔２７，３２を介して交流
する。そして、加熱された空気は、各棚構成単位１７間
における空気の交流により、棚構成単位１７が配列され
ている方向の空間に速やかに拡散する。

【００４７】以上詳述したように、本実施の形態の保管
装置によれば、以下の効果を得ることができる。 （１） 保管棚１５の各棚構成単位１７が、モノコック
構造の筐体２０の内側に、少なくとも空気清浄装置（フ
ァンフィルタユニット１６）と所定数の保管部１４を備
えた保管単位体（第１保管ユニット１８）にて形成され
る。従って、各棚構成単位１７毎の現地組み立てを不要
とし、又、その設置を容易に行うことできる。又、天井
パネル３９を支持する支柱材等を不要とするか、断面積
の小さな細いものに置き換えることができる。

【００４８】（２） 上下に並ぶ保管部１４を筐体２０
の内側に備え、該筐体２０の左右の各側板に保管物の一
端を支持する支持部を設けた第１単位体（第１保管ユニ
ット１８）が１つの棚構成単位１７を形成する。又、第
１単位体よりも保管部１４の分だけ奥行きが小さいとと
もに筐体２９の内部に保管部１４を備えず、左右両側に
隣り合う第１保管単位の左右側板及び該左右側板に設け
られた支持部にて正面側に保管部が形成される第２単位
体（第２保管ユニット１９）が１つの棚構成単位１７を
形成する。

【００４９】従って、第１単位体にて形成される棚構成
単位の各保管部１４の開口部１４ａの幅と、第２単位体
にて形成される棚構成単位１７の各保管部１４の開口部
１４ａの幅とを等しくした場合、第２単位体の全幅が第
１単位体の全幅よりも左右側板２０ｃ，２０ｄの分だけ
狭くなる。その結果、棚構成単位の総数に対する保管棚
１５の全長を従来よりも短くすることができ、設置面積
を小さくすることができる。

【００５０】（３） 保管単位体には、各保管部１５よ
りも下方に移送手段側に開口する空気導入部２２，３０
と、同空気導入部２２，３０を各保管部１４の開口部１
４ａと反対側の側面に連通する連通部２３，３１を設け
た。そして、各保管部１４の開口部１４ａと反対側の位
置には、連通部２３，３１及び空気導入部２２，３０を
介して移送手段側の空気を導入し、導入した空気を濾過
して各保管部１５に供給するファンフィルタユニット１
６を設けた。

【００５１】従って、上下に並ぶ各保管部１４にほぼ均
等な正圧となるように清浄な空気が供給され、上下の保
管部１間の圧力差によりいずれかの保管部１４内に滞留
が発生することがない。その結果、上下の位置に拘らず
各保管部１４内の清浄度をほぼ均等にすることができ
る。

【００５２】（４） 各保管単位体には、保管棚１５の
状態で隣り合う保管単位体間で連通部２３（３１）を連
通させる連通孔２７（３２）を、各保管単位体の左右側
板２０ｃ，２０ｄ（２９ｃ，２９ｄ）に設けた。従っ
て、隣り合う保管単位体間で連通部２３，３１内の空気
が交流するため、特定の保管単位体の空気清浄装置（フ
ァンフィルタユニット１６）が温度の高い空気を取り込
むと、温度の高い空気が、棚構成単位が配列されている
方向の空間に速やかに拡散する。その結果、スタッカク
レーン１３等の移送手段が発生する熱が特定の保管単位
体に集中しないようにすることができる。

【００５３】（５） 保管棚１５に沿って移動するよう
に設けたスタッカクレーン１３が、同保管棚１５の各保
管部１４に保管物を搬送するようにした。従って、一般
的な仕様のスタッカクレーン１３を使用して高い位置に
ある保管部１４との間で保管物の移載を行うことができ
るので、保管部１４の数が多い棚構成単位１７を使用し
て設置面積が小さい保管棚１５を容易に形成することが
できる。

【００５４】尚、実施の形態は上記実施の形態に限ら
ず、以下のように変更してもよい。 ○ 上記実施の形態で、各保管ユニット１８，１９を、
保管棚１５の状態で隣り合う保管ユニット１８，１９間
で連通部２３，３１を連通させる連通孔２７，３２を備
えないものとしてもよい。

【００５５】○ 第１保管ユニット１８に設ける支持部
は、保管物の端部のみを下から支持する支持片２８に限
らず、その他例えば、第２保管ユニット１９の左右両側
に隣り合う各第１保管ユニット１８の支持部の先端同士
が当接して棚板状となるように設けられたものであって
もよい。

【００５６】○ 図６に示すように、保管単位体として
の保管ユニット４１を、筐体４２の内側に設けられ、下
側が１枚の棚板４３で形成された保管部１４を備えるよ
うに形成する。そして、この保管単位体４１のみで保管
棚１５を形成するようにしてもよい。この場合、保管部
１４に寸法が異なる種々の保管物を保管することができ
る。

【００５７】○ 第１保管ユニット１８にて形成される
棚構成単位の各保管部１４を、支持片２１の代わりに上
記棚板４３にて形成されるものとし、第２保管ユニット
１９にて形成される各保管部１４を、左右両側の第１保
管ユニット１８の左及び右側板２０ｃ，２０ｄと、該両
側板２０ｃ，２０ｄに設けられた支持片２８にて形成さ
れるものとしてもよい。

【００５８】○ 上記実施の形態における第１保管ユニ
ット１８の左右側板２０ｃ，２０ｄに設けた各支持部
（支持片２８）を廃止した保管単位体を形成し、この保
管単位体だけを配列して保管棚１５を形成した保管装置
としてもよい。この場合には、１種類の保管単位体だけ
で保管棚を構成することができ、製造メーカや販売店で
の在庫管理、あるいは、設置現場での組み立て作業が容
易になる。

【００５９】○ 上記実施の形態における第１保管ユニ
ット１８の、例えば右側板２０ｄの各保管部１４を形成
する部分だけをなくした保管単位体を形成し、この保管
単位体だけを配列して保管棚１５を形成した保管装置と
してもよい。即ち、各保管単位体は、同保管単位体の左
側板２０ｄ及び該左側板２０ｄに設けられた支持片２１
と、右側に隣り合う保管単位体の左側板２０ｄ及び該左
側板２０ｄに設けられた支持片２８とにより形成される
保管部１４を備えた棚構成単位１７を形成する。この場
合には、１種類の保管単位体だけで保管棚を構成するこ
とができ、製造メーカや販売店での在庫管理、あるい
は、設置現場での組み立て作業が容易になる。

【００６０】○ 各保管単位体に設ける空気清浄装置
を、図７に示すように、筐体４４の内側において、各保
管部１４の下方に設けられ、スタッカクレーン１３側か
ら空気を導入するように設けられたブロアユニット４５
と、該ブロアユニット４５が圧送する空気を各保管部１
４の背面側に案内する案内部４６と、各保管部１４の背
面側に設けられ、同案内部４６から各保管部１４内に供
給される空気を濾過するフィルタ４７とから構成しても
よい。

【００６１】○ 保管ユニット１８，１９の筐体２０，
２９の材質は、金属に限らず、その例えば、合成樹脂、
繊維強化合成樹脂、あるいは、金属板と合成樹脂板とが
張り合わされた複合材等であってもよい。

【００６２】○ 保管ユニット１８，１９の筐体２０，
２９が金属にて形成される場合は、筐体２０，２９の各
板を形成する金属板を溶接して形成されるものに限ら
ず、筐体２０，２９全体が１枚の金属板からプレス成形
により一体で形成されたものであってもよい。

【００６３】又、保管ユニット１８，１９の筐体２０，
２９が合成樹脂にて形成される場合は、筐体２０，２９
の各側面を形成する合成樹脂板を接着して形成されるも
のでもよく、筐体２０，２９全体が合成樹脂の成形によ
り一体で形成されるものであってもよい。

【００６４】○ １つの保管ユニット１８，１９が備え
る保管部の１５の数は、２個でもよく、あるいは、４個
以上であってもよい。 ○ 移送手段は、スタッカクレーン１３に限らず、その
他例えば、天井吊り下げ方式モノレール型のクレーン
で、保管物を搬送するキャリッジを上下に移動可能とし
たものや、無人搬送台車で、保管物を搬送するステージ
を上下に移動可能としたものであってもよい。

【００６５】○ 半導体装置を製造するクリーン工場内
に設置する保管装置に限らず、通常の環境下の工場等で
使用する保管装置に実施してもよい。以下、前記実施の
形態から把握できる請求項以外の技術的思想をその効果
と共に記載する。

【００６６】（１） 請求項１〜請求項４のいずれか一
項に記載の保管装置において、前記移送手段は、前記保
管棚に沿って移動し、該保管棚の各保管部に保管物を移
送するスタッカクレーンを備えた。このような構成によ
れば、一般的な仕様のスタッカクレーンを使用して高い
位置にある保管部との間で保管物の移載を行うことがで
きるので、保管部の数が多い棚構成単位を使用して設置
面積が小さい保管棚を容易に形成することができる。

【００６７】

【発明の効果】請求項１〜請求項３に記載の発明によれ
ば、それぞれが上下に並ぶ所定数の保管部と該各保管部
に濾過した空気を供給する空気清浄装置とを備え、複数
配列されて保管棚を構成する棚構成単位の現地組み立て
を不要とし、又、その設置を容易に行うことができる。
また、棚構成単位の総数に対する保管棚の全長を従来よ
りも短くすることができ、設置面積を小さくすることが
できる。

【００６８】請求項２に記載の発明によれば、保管単位
体の各保管部の上下における位置に拘らず各保管部内の
清浄度をほぼ均等とすることができる。請求項３に記載
の発明によれば、各棚単位体の間を移動するスタッカク
レーン等の移送手段が発生する熱が特定の棚単位体に集
中しないようにすることができる。

【００６９】

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は保管装置の模式平断面図、（ｂ）は
同じく模式側断面図。

【図２】 図１におけるＡ−Ａ線拡大断面図。

【図３】 第１及び第２単位体を示す模式斜視図。

【図４】 （ａ）は第１単位体の正面図、（ｂ）は同じ
く側断面図。

【図５】 （ａ）は第２単位体の正面図、（ｂ）は同じ
く側断面図。

【図６】 別例の保管単位体を示す模式斜視図。

【図７】 別例の保管単位体を示す模式側断面図。

【図８】 （ａ）は従来例の保管装置の模式平断面図、
（ｂ）は同じく模式側断面図。

【図９】 図８におけるＢ−Ｂ線拡大断面図。

【図１０】 保管フィルタユニットを示す模式斜視図。

【符号の説明】

１３…移送手段を構成するスタッカクレーン、１４…保
管部、１４ａ…開口部、１５…保管棚、１６…空気清浄
装置としてのファンフィルタユニット、１７…棚構成単
位、１８…保管単位体を構成する第１単位体としての第
１保管ユニット、１９…保管単位体を構成する第２単位
体としての第２保管ユニット、２０…筐体、２２…空気
導入部、２３…連通部、２７…連通孔、２８…支持部と
しての支持片、２９…筐体、３０…空気導入部、３１…
連通部、３２…連通孔、３５…移送手段を構成するコン
ベヤ、４１…保管単位体としての保管ユニット、４２…
筐体、４５…空気清浄装置を構成するブロアユニット、
４６…同じく案内部、４７…同じくフィルタ。

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保管物を保管可能に形成されるとともに
   所定の側に同保管物を出し入れするための開口部が設け
   られ、該開口部を所定の側に向けた状態で所定数が上下
   に並ぶように設けられた保管部と、前記各保管部の下方
   において前記各開口部側から導入した空気を濾過して前
   記各保管部にその開口部と反対側から供給する空気清浄
   装置とを備えた棚構成単位が、前記各保管部の開口部が
   所定の向きに向くように複数配列されることにより形成
   された保管棚と、 前記各保管部の開口部がほぼ密閉された内部に開口する
   ように設けられた部屋の外部と該各保管部との間で保管
   物の移送を行う移送手段とを備えた保管装置において、 前記保管棚は、モノコック構造で形成された筐体の内側
   に少なくとも前記空気清浄装置と前記各保管部を備え、
   前記棚構成単位をなす保管単位体にて形成され、前記保
   管単位体は、 前記保管部を前記筐体の内側に備え、該筐体の左右側板
   の外側面に保管物の一端を支持する支持部がそれぞれ設
   けられた第１単位体と、 前記第１単位体よりも前記各保管部の奥行き分だけ短い
   奥行きを備え、該各保管部を前記筐体の内部に備えない
   第２単位体とからなり、 前記第１単位体と第２単位体とは、交互に配列された状
   態で、該第２単位体の左右に隣合う各第１単位体の前記
   筐体の側板と、該各側板に設けられた前記各支持部が同
   第２単位体の正面側に前記各保管部を形成するように形
   成され、 前記保管棚は、交互に配列された第１単位体と第２単位
   体とによってそれぞれ形成される棚構成単位によって形
   成され た保管装置。
2. 【請求項２】 前記保管単位体は、 前記各保管部よりも下部に設けられ、前記移送手段側に
   おいて前記部屋内に開口する空気導入部と、 前記空気導入部を前記各保管部の前記開口部と反対側に
   連通する連通部とを備え、 前記空気清浄装置は、前記各保管部毎にその開口部と反
   対側に設けられ、前記連 通部及び空気導入部を介して前
   記移送手段側の空気を導入し、導入した空気を濾過して
   各保管部内に供給するファンフィルタユニットである 請
   求項１に記載の保管装置。
3. 【請求項３】 前記各保管単位体には、前記保管棚の状
   態で隣り合う該各保管単位体間で前記連通部を連通させ
   る連通孔を、前記各保管単位体の左右側板に設けた請求
   項２に記載の保管装置。