KR101673919B1 - 카세트 이송용 스태커로봇 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시장치용 제조설비 내에서 카세트를 운반하는 랙마스터 또는 카세트이송대차에 관한 것으로 특히, 랙마스터 또는 카세트이송대차의 주행시 발생하는 갈림 이물이 스토커 내부 또는 클린룸 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
본 발명의 특징은 스태커로봇의 리프팅프레임을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인이 구비된 리프팅포스트에 파티클제거장치와 배관 그리고 흡입장치로 이루어지는 공기배기장치를 구비하는 것이다.
이를 통해, 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 리프팅포스트 내부에서 발생되는 갈림 이물이 스토커 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

Description

카세트 이송용 스태커로봇{Stacker robot for transfering cassette}
본 발명은 평판표시장치용 제조설비 내에서 카세트를 운반하는 랙마스터 또는 카세트이송대차에 관한 것으로 특히, 랙마스터 또는 카세트이송대차의 주행시 발생하는 갈림 이물이 스토커 내부 또는 클린룸 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP)와 같은 평판표시장치 등이 활발하게 개발되어 왔다.
여기서, 액정표시장치는 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
한편, 이와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 카세트(cassette)에 적재된 후 물류반송시스템에 의해 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송된다.
여기서, 물류반송시스템은 클린룸 내 공정간 발생하는 기판의 저장, 이송을 유기적으로 연결함으로써, 전체 제조시스템의 생산성을 극대화시키기 위한 자동 반송시스템을 말하며, 대표적인 클린룸의 물류반송시스템은 스토커(stocker), OHS(OverHead Shuttle), OHT(Overhead Hoist Transport), AGV(Automated Guided Vehicle), RGV(Rail Guided Vehicle), Handling robot, Overhead Conveyor, Overhead Carrier Vehicle 등이 있다.
스토커는 또 다른 공정장비들에서 이미 공정이 수행되고 있거나 또는 카세트에 적재된 기판을 일시 보관하는 기능을 담당하는 장비로서, 액정표시장치의 제조공정에 필수 장비이다.
이러한 스토커는 내부에 카세트 보관을 위한 다수의 쉘프가 제공되며, 스토커 바닥면을 가로지르는 레일(rail) 상에는 스태커로봇(stacker robot), 이른바 랙마스터(rack master)가 안착되어 슬라이딩 이동한다.
한편, 스토커의 내부는 미세먼지나 입자와 같은 파티클(particle)에 의하여 카세트에 수납된 기판이 오염되지 않도록 극도로 청결한 상태가 유지되어야 함에도 불구하고, 카세트의 입출고 시 입,출고포트를 통해서 외부의 미세먼지나 파티클이 스토커 내부로 유입되거나, 스태커로봇의 움직임 등에 의해 스토커 내부에서 자체적으로 갈림이물에 의한 미세먼지나 파티클이 발생되고 있다.
특히, 스태커로봇은 카세트를 목적하는 방에 따라 적재 및 하역하는 과정에서, 리프팅부의 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 많은 갈림 이물이 발생하게 된다.
비록, 스토커의 내부에는 스토커 내부 환경의 청정도를 유지하기 위한 팬필터유닛(fan filter unit)을 설치하여, 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클을 외부로 배출하고자 하나, 이러한 팬필터유닛을 통한 미세먼지나 파티클의 외부배출은 스토커의 바닥면을 통해서 이루어지므로, 미세먼지나 파티클이 스토커의 바닥면을 통해 외부로 배출되기 전, 일부 미세먼지나 파티클은 스토커 내부에서 비산(飛散)되어 기판을 오염시키는 문제점을 야기하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 스태커로봇으로 인해 발생하는 미세먼지나 파티클이 스토커 내부에서 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 평판표시장치의 카세트 이송용 스태커로봇으로서, 본체와; 상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 주행부와; 상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와; 상기 리프팅포스트 내부의 공기를 외부로 배출하는 공기배관장치와; 상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에 수평하게 구비되며, 상기 리프팅포스트의 길이방향을 따라 승하강하는 리프팅프레임(lifting frame)과; 상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암부(arm part)를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇을 제공한다.
여기서, 상기 공기배관장치는 상기 리프팅포스트의 길이방향의 양단에 구비된 제 1 및 제 2 배기공과 각각 연결되는 제 1 및 제 2 배관과, 상기 제 1 및 제 2 배관의 일끝단에 연결되는 흡입장치로 이루어지며, 상기 제 1 및 제 2 배기공과 상기 제 1 및 제 2 배관 사이에는 각각 필터(filter)를 포함하는 제 1 및 제 2 파티클제거장치가 각각 구비된다.
그리고, 상기 공기배관장치는 상기 리프팅포스트의 중심부에 구비된 제 3 배기공과 상기 흡입장치를 연결하는 제 3 배관을 포함하며, 상기 배기공과 상기 제 3 배관 사이에 필터(filter)를 포함하는 제 3 파티클제거장치가 구비된다.
이때, 상기 공기배관장치는 상기 리프팅포스트의 길이방향의 양단에 구비되며, 각각 필터를 포함하는 제 1 및 제 2 팬필터유닛으로 이루어지며, 상기 각 리프팅포스트는 서로 마주보는 일 방향이 개구부를 이루며, 상기 개구부에는 방진필름이 구비된다.
여기서, 상기 각 리프팅포스트에 길이방향을 따라 순환 회전하는 체인이 내장되며, 상기 리프팅프레임은 상기 체인과 연결되어 승하강된다.
이때, 상기 아암부는 상기 리프팅프레임 상에 장착된 회전디스크와, 상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과, 상기 아암의 말단부에 결합되어 카세트를 지지하는 캣치플레이트(catch plate)를 포함한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 스태커로봇은 리프팅프레임을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인이 구비된 한쌍의 리프팅포스트에 파티클제거장치와 흡입장치로 이루어지는 공기배기장치를 구비함으로써, 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 리프팅포스트 내부에서 발생되는 갈림 이물이 스토커 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스태커로봇의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 정면도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 정면도.
도 5는 도 4의 또 다른 실시예에 따른 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 정면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커를 나타낸 사시도이다.
도시한 바와 같이, 스토커(100) 내에는 바닥면을 따라 배열된 트롤리레일(trolly rail : 136)의 적어도 일측으로는 카세트(C)가 안착되는 복수개의 쉘프(shelf : 112)가 상하좌우로 구획(區劃)되어 제공되고, 입고포트(132) 및 출고포트(134)가 제공되며, 트롤리레일(136)을 따라 슬라이딩 이동하면서 카세트를 운반하는 스태커로봇(stacker robot : 200), 이른바 랙마스터(rack master)가 구비되어 있다.
이때, 스태커로봇(200)은 외부의 반송시스템인 AGV(auto guided vehicle : 미도시) 등에 의해 스토커(100)의 입고포트(132)로 전달된 카세트(C)를 적절한 쉘프(112)로 운반 및 적재하거나 임의의 쉘프(112)로부터 카세트(C)를 꺼내 출고포트(134)에 하역함으로써 AGV(미도시) 등에 의해 반출되도록 하며, 쉘프(112) 내의 카세트(C)를 ??겨 정리하는 역할을 수행한다.
이때, 입출고포트(132, 134)에는 컨베이어 또는 이재로봇(pick and place : P&P)(미도시)이 구성되는데, 입출고포트(132, 134) 상에 카세트(C)가 안착되면 이를 스토커(100) 내부 스태커로봇(200)에게 이송하거나 또는 외부로 반출하는 역할을 한다.
즉, 일예로 카세트(C)가 스토커(100) 내부로 이송되면, 스태커로봇(200)의 암(243)을 통해 각 카세트(C)를 지정된 쉘프(112)에 로딩(loading)하게 되고, 카세트(C)를 다음 공정으로 이동시킬 때에도 스태커로봇(200)의 암(243)이 지정된 쉘프(112)에서 카세트(C)를 언로딩(unloading)하여 스토커(100)의 출고포트(134)로 옮기면 외부의 AGV(미도시) 등에 의해 목적하는 장소로 운반된다.
여기서, 본 발명의 스태커로봇(200)은 공기배기장치(미도시)를 구비하는 것을 특징으로 하는데, 이에 스태커로봇(200)의 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 많은 갈림 이물이 발생하여도, 갈림 이물이 스토커(100) 내부에서 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커(100) 내부에 위치하는 기판(미도시)이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 이에 대해 도 2를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스태커로봇의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 스태커로봇(200)은 수평이동이 가능한 하단의 본체(210)와 이에 구비된 주행부(220)와, 본체(210)로부터 승강되는 리프팅부(lifting part : 230) 및 리프팅부(230)에 장착되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 아암부(arm part : 240)를 포함한다.
각각을 좀더 세부적으로 살펴보면, 먼저 본체(210)는 스태커로봇(200)의 전체를 지탱하는 베이스프레임(base frame) 역할을 담당하며, 본체(210)의 좌,우측 가장자리에는 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post : 232)를 포함하는 리프팅부(230)가 구비되어 있다.
이때, 리프팅부(230)는 한쌍의 리프팅포스트(232) 사이로 리프팅프레임(lifting frame : 234)이 위치하여 수평을 유지한 상태로 상하 승강하는데, 이를 위해 각 리프팅포스트(232)의 내부로는 서보모터(미도시)와 같은 구동수단에 의해 순환하는 순환체인(231, 도 3 참조)이 각각의 길이방향을 따라 실장되며, 리프팅프레임(234)은 이들 순환체인(231, 도 3 참조)에 연결되어 있다. 따라서, 이들 순환체인(231, 도 3 참조)의 순환방향에 따라 리프팅프레임(234)은 승강된다.
그리고 아암부(240)는 리프팅프레임(234) 상에 장착된 회전디스크(241)와, 회전디스크(241)에 일 끝단이 연결된 체 다관절 방식으로 수축 및 신장하는 한 쌍의 아암(243)을 포함하며, 이들 아암(243)의 말단으로는 캣치플레이트(catch plate : 245)가 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지할 수 있다.
또한 본체(210)에 구비된 주행부(220)는 스태커로봇(200)을 원하는 위치로 이동시키기 위한 부분으로, 스토커(도 1의 100) 바닥면을 가로질러 형성된 트롤리레일(136)을 따라 밀착 회전함으로써 스태커로봇(200)의 전체를 지지 및 이동시키는 주행휠(222)을 포함하며, 비록 도면상에 명확하게 표시하진 않았지만 주행휠(222)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단과 주행휠(222)의 회전을 강제로 정지시킬 수 있는 브레이크(break)를 포함한다.
이때, 트롤리레일(136)과 접촉하는 주행휠(222)의 외면은 진동과 소음의 저감을 위해 우레탄 또는 고무재질로 이루어진 트레드부재(미도시)를 둘러 진동과 소음을 방지할 수 있다.
상기한 구성을 나타내는 스태커로봇(200)은 주행부(220)에 의해 트롤리레일(136)을 따라 좌,우 수평이동을 하고, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동 그리고 아암(243)의 회전 및 수측, 신장에 의한 동작을 연결하여 목적하는 바에 따라 카세트(C)를 운반하고 적재 및 하역할 수 있다.
여기서, 앞서의 설명을 토대로 스태커로봇(200)의 아암(243)에 의해 수행되어지는 쉘프(도 1의 112)로의 카세트(C) 적재 및 하역 과정을 보다 구체적으로 살펴보도록 하겠다.
우선 카세트(C) 이송동작은 카세트(C)가 스토커(도 1의 100)의 입고포트(도 1의 132)로 운반됨으로써 시작된다.
이에, 스태커로봇(200)은 주행부(220)의 주행휠(222)에 의해 트롤리레일(136)을 따라 1차원 수평이동을 한 후, 본체(210)로부터 승강하는 리프팅프레임(234)에 의해 2차원 수직이동을 하여, 아암(243)의 수축 및 신장동작에 의해 3차원 수평운동과 더불어 회전디스크(241)에 의한 회전운동을 통해 입고포트(도 1의 132)에 적재된 카세트(C)를 캣치플레이트(245) 상에 안착시킨다.
여기서, 캣치플레이트(245) 상에 카세트(C)를 안착시키는 과정에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 입고포트(도 1의 132)로부터 카세트(C)를 꺼내올 수 있도록 아암(243)은 전방을 향한 채 신장 및 수축하며, 이 과정 중에 캣치플레이트(245)로 입고포트(도 1의 132)에 적재되어 있는 카세트(C)가 안착된다.
이어서 스태커로봇(200)은 아암(243)을 수축시켜 트롤리레일(136)을 따라 이동하여 목적하는 쉘프(도 1의 112)에 도달한 후 회전디스크(241)에 의해 회전하여 카세트(C)를 적재하고자 하는 쉘프(도 1의 112)를 향해 정렬되도록 하고, 이의 쉘프(도 1의 112)에 아암(243)이 신장하여 카세트(C)를 쉘프(도 1의 112)로 옮겨 적재한다.
이때 임의의 쉘프(도 1의 112)로부터 카세트(C)를 꺼내 이송하는 방법은 상술한 설명을 반대로 진행하여, 쉘프(도 1의 112) 내에 안착되어 있는 카세트(C)를 캣치플레이트(245) 상에 안착시킨 후, 카세트(C)를 스토커(도 1의 100)의 출고포트(도 1의 134)에 안착시키면 된다.
이러한 스태커로봇(200)의 모든 동작은 전기를 원동력으로 하며, 주행 중에도 안정적으로 전원을 공급받을 수 있도록 통상 무접촉 전원공급방식을 채택하고 있다. 이를 위해 스토커(도 1의 100) 내에는 스태커로봇(200)의 이동경로를 따라 외부전력이 공급되는 파워트랙(power track : 미도시)이 배설되어, 스태커로봇(200)은 이로부터 전원을 공급받게 된다.
한편, 본 발명의 스태커로봇(200)에 있어 가장 핵심적인 역할을 담당하는 일 부분은 리프팅부(230)의 각 리프팅포스트(232)라 할 수 있다. 여기서, 도 3을 참조하여 본 발명의 각 리프팅포스트(232)의 구조에 대해 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 정면도이다.
도시한 바와 같이, 카세트(C)를 지지하는 아암부(240)가 장착된 리프팅프레임(234)의 일단을 고정하는 리프팅포스트(232)는 내부에 각각 순환체인(231)이 내장되어 있으며, 순환체인(231)은 리프팅프레임(234)과 연결되어 리프팅프레임(234)을 상하로 승강하는 역할을 하게 된다.
이때, 각 리프팅포스트(232)의 리프팅포스트(232)의 상단에는 종동기어 역할을 스풀(spool : 233a)이 마련되고, 하단에는 서보모터(미도시)에 의해 회전하는 체인 스프라킷(chain sprocket : 233b)이 존재함에 따라, 순환체인(231)은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 상하단의 스풀(233a)과 체인 스프라킷(233b)을 감싸 연결하도록 두 줄로 마련되어, 체인 스프라킷(233b)으로 출력된 서보모터(미도시)의 회전력을 스풀(233a)에 전달하는 과정에서 순환 회전하게 된다.
이를 통해, 순환체인(231)과 연결된 리프팅프레임(234)은 한쌍의 리프팅포스트(232)의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하게 되는 것이다.
이때, 순환체인(231)의 일측에는 리프팅프레임(234)의 안정적인 상하구동을 위한 균형추(237)가 순환체인(231)에 연결되어 리프팅프레임(234)과 반대 방향으로 이동된다. 그리고, 리프팅프레임(234) 및 균형추(237)의 직선 운동을 보조하기 위한 보조 순환벨트(235)가 더욱 구비된다.
이러한 리프팅포스트(232)는 한쌍으로 이루어져, 각 리프팅포스트(232) 내부에 내장된 순환체인(231)과 리프팅프레임(234)이 서로 연결되도록 길이방향을 따라 서로 마주보는 일방향이 개구부(도 2의 232a)를 이루게 되는데, 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)에는 각 리프팅포스트(232) 내부의 이물이 외부로 유출되거나 외부로부터 각 리프팅포스트(232) 내부로 갈림 이물이 유입되는 것을 방지하기 위하여 방진필름(도 2의 250)이 구비된다.
즉, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 각 리프팅포스트(232)에 내장된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인(231)으로부터 많은 갈림 이물이 발생하게 된다.
이에, 방진필름(도 2의 250)을 구비하여 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 덮어, 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생한 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다.
그러나, 방진필름(도 2의 250)을 구비함에도 불구하고 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 미세먼지나 파티클 중 일부는 스토커(도 1의 100) 내부로 유입되고, 스토커(도 1의 100) 내부로 유입된 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클은 스토커(도 1의 100) 내부에서 비산(飛散)되어 기판을 오염시키는 문제점을 야기하게 된다.
이에, 본 발명은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하기 위하여 공기배기장치(300)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 공기배기장치(300)는 각 리프팅포스트(232)의 상부 및 하부에 구비되는 제 1 및 제 2 팬필터유닛(fan filter unit : 310a, 310b)으로 이루어진다.
여기서, 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)은 각각 리프팅포스트(232)의 길이방향의 양단에 각각 구비되며, 각각의 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)은 미세먼지 또는 파티클이 축적되는 필터(미도시)를 포함한다.
이에, 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)은 필터(미도시)에 의한 자체 정화능력을 이용하여 각 리프팅포스트(232) 내에서 발생하는 미세먼지나 파티클을 제거하기 위한 장치로, 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 정화하고, 공기를 외부로 배출한다.
즉, 리프팅포스트(232)의 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클을 포함하는 리프팅포스트(232)의 내부의 공기는 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)을 통해 리프팅포스트(232)의 상부 및 하부의 외부로 배출되는 과정에서, 미세먼지나 파티클은 필터(미도시)에 의해 정화되어, 깨끗한 공기만이 리프팅포스트(232)의 외부로 배출되는 것이다.
따라서, 미세먼지나 파티클이 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)을 통해 외부로 배출되지 않은 리프팅포스트(232)의 내부의 일부 공기는 미세먼지나 파티클을 함유할 수 있는데, 이러한 미세먼지나 파티클을 함유하는 일부 공기 또한 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
즉, 리프팅포스트(232) 내부의 공기는 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)을 통해 리프팅포스트(231)의 외부의 공기와 압력차를 갖게 되는데, 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)을 통해 리프팅포스트(232)의 내부의 공기가 외부로 배출됨에 따라 리프팅포스트(231)의 내부의 공기의 압력은 외부의 공기의 압력에 비해 낮은 압력을 갖게 된다.
따라서, 리프팅포스트(232)의 내부의 공기는 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 리프팅포스트(232)의 외부로 유출되지 않게 된다.
결국, 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)을 통해 외부로 배출되지 않은 리프팅포스트(232)의 내부의 일부 공기 또한 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
아래 표(1)은 팬필터유닛(310a, 310b)의 존재에 따른 리프팅포스트(232) 내부의 공기의 압력과 리프팅포스트(231)의 외부의 공기의 압력 차 및 리프팅포스트(232) 내부의 공기의 유속을 나타낸 결과이다.
리프팅포스트의 측정 위치
(바닥으로부터의 높이)		 팬필터유닛이 구비되지 않은 리프팅포스트 팬필터유닛이 구비된 리프팅포스트
차압(mmAq) 유속(m/s) 차압(mmAq) 유속(m/s)
4.5m +0.02 0 -0.18 0.51
3.0m -0.01 0 -0.14 0.39
1.5m -0.02 0 -0.26 0.76
표(1)을 참조하면, 팬필터유닛(310a, 310b)에 의해 리프팅포스트(232) 내부의 공기의 압력과 리프팅포스트(232)의 외부의 공기의 압력차가 발생하는 것을 확인할 수 있다.
특히, 팬필터유닛(310a, 310b)이 구비된 경우 리프팅포스트(232)의 내부의 공기의 압력은 외부의 공기의 압력과의 차가 음압을 갖게 되므로, 리프팅포스트(232)의 내부의 공기는 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 리프팅포스트(232)의 외부로 유출되지 않게 된다.
이때, 필터(미도시)를 구비한 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)은 각 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 외부로 배출할 수 있다면 특정한 구조와 설치형태로 제한하지 않으나, 일예를 들어 설명하면 인조섬유(syntheric fiber)로 이루어지며 0.3 미크론(micron)이상의 입자를 제거하는 효능범위를 가지는 헤파필터 (HEPA : High Efficiency Particulate Arrestor)필터를 내장하여 날개의 회전에 의해 공기흐름을 일측으로 유도함으로써 공기의 유동과 정화가 동시에 이루어지도록 할 수 있다.
따라서 공기는 이들 적어도 하나 이상의 필터(미도시)를 경유하는 과정에서 깨끗하게 정화된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 스태커로봇(200)은 리프팅프레임(234)을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인(231)이 구비된 한쌍의 리프팅포스트(232)에 각각 제 1 및 제 2 팬필터유닛(310a, 310b)으로 이루어지는 공기배기장치(300)를 구비함으로써, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 각 리프팅포스트(232) 내부에 구비된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인(231)으로부터 많은 갈림 이물이 발생되어도, 이와 같은 갈림 이물이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커(도 1의 100) 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 리프팅포스트의 구조를 확대 도시한 정면도이다.
한편, 중복된 설명을 피하기 위해 앞서의 앞서 전술한 제 1 실시예의 설명과 동일한 역할을 하는 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하며, 제 2 실시예에서 전술하고자 하는 특징적인 내용만을 살펴보도록 하겠다.
도시한 바와 같이, 카세트(C)를 지지하는 아암부(240)가 장착된 리프팅프레임(234)의 일단을 고정하는 리프팅포스트(232)는 내부에 각각 순환체인(231)이 내장되어 있으며, 순환체인(231)은 리프팅프레임(234)과 연결되어 리프팅프레임(234)을 상하로 승강하는 역할을 하게 된다.
이때, 각 리프팅포스트(232)의 하단에는 서보모터(미도시)에 의해 회전하는 체인 스프라킷(chain sprocket : 233b)이 마련되고, 이를 주동기어로 하여 각 리프팅포스트(232)의 상단에는 종동기어 역할을 스풀(spool : 233a)이 존재함에 따라, 순환체인(231)은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 상하단의 체인 스프라킷(233b)과 스풀(233a)을 감싸 연결하도록 두 줄로 마련되어, 체인 스프라킷(233b)으로 출력된 서보모터(미도시)의 회전력을 스풀(233a)에 전달하는 과정에서 순환 회전하게 된다.
이를 통해, 순환체인(231)과 연결된 리프팅프레임(234)은 한쌍의 리프팅포스트(232)의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하게 되는 것이다.
이때, 순환체인(231)의 일측에는 리프팅프레임(234)의 안정적인 상하구동을 위한 균형추(237)가 순환벨트(231)에 연결되어 리프팅프레임(234)과 반대 방향으로 이동된다. 그리고, 리프팅프레임(234) 및 균형추(237)의 직선 운동을 보조하기 위한 보조 순환벨트(235)가 더욱 구비된다.
이러한 리프팅포스트(232)는 한쌍으로 이루어져, 각 리프팅포스트(232) 내부에 내장된 순환체인(231)과 리프팅프레임(234)이 서로 연결되도록 길이방향을 따라 서로 마주보는 일방향이 개구부(도 2의 232a)를 이루게 되는데, 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)에는 각 리프팅포스트(232) 내부의 이물이 외부로 유출되거나 외부로부터 각 리프팅포스트(232) 내부로 갈림 이물이 유입되는 것을 방지하기 위하여 방진필름(도 2의 250)이 구비된다.
그러나, 방진필름(도 2의 250)을 구비함에도 불구하고 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 미세먼지나 파티클 중 일부는 스토커(도 1의 100) 내부로 유입되고, 스토커(도 1의 100) 내부로 유입된 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클은 스토커(도 1의 100) 내부에서 비산(飛散)되어 기판을 오염시키는 문제점을 야기하게 된다.
이에, 본 발명은 각 리프팅포스트(232) 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하기 위하여 공기배기장치(300)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 공기배기장치(300)는 부유되어 있는 미세먼지나 파티클을 집진하는 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)와 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)와 각각 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 통해 연결되어 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 외부로 배출하는 흡입장치(340)로 이루어진다.
구체적으로, 리프팅포스트(232)의 길이방향을 따른 양단에는 제 1 및 제 2 배기공(239a, 239b)이 형성되는데, 제 1 및 제 2 배기공(239a, 239b)에는 일끝단이 흡입장치(340)와 연결된 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)의 타단이 연결되어 있어, 제 1 및 제 2 배기공(239a, 239b)과 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 통해 리프팅포스트(232)의 내부와 흡입장치(340)는 서로 연결된다.
즉, 리프팅포스트(232)와 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)의 연결부인 제 1 및 제 2 배기공(239a, 239b)에는 각각 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)가 구비되는 것이다.
따라서, 리프팅포스트(232)의 내부에서 발생하는 갈림 이물에 의한 미세먼지나 파티클을 포함하는 리프팅포스트(232)의 내부의 공기는 흡입장치(340)의 압력에 의해 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 통해 흡입장치(340) 내부로 흡입되는 과정에서, 미세먼지나 파티클은 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)에 의해 여과되는 것이다.
따라서, 리프팅포스트(232) 내부에는 미세먼지나 파티클이 존재하지 않게 되므로, 미세먼지나 파티클이 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)는 미세먼지 또는 파티클이 축적되는 필터(미도시)를 포함한다.
여기서, 필터(미도시)를 구비한 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)는 각 리프팅포스트(232) 내부의 공기가 외부로 배출되는 과정에서 미세먼지나 파티클을 여과할 수 있다면 특정한 구조와 설치형태로 제한하지 않으나, 일예를 들어 설명하면 인조섬유(syntheric fiber)로 이루어지며 0.3 미크론(micron)이상의 입자를 제거하는 효능범위를 가지는 헤파필터(HEPA : High Efficiency Particulate Arrestor)필터를 내장할 수도 있다.
또한, 필터(미도시)는 헤파필터 외에도 미세조직구조의 여과필터와, 이산화티타늄(TiO2)을 포함하는 광촉매필터 중 선택된 하나 이상 또는 이들의 조합일 수 있다.
이때 여과필터는 합성수지 등으로 이루어진 미세조직구조를 가지고 있어 대기로부터 비교적 입자가 큰 먼지 등을 걸러주는 역할을 하며, 광촉매필터는 알루미늄 재질의 세사(細絲)가 종횡으로 짜여진 미세섬유 구조 상에 강한 산화력을 지닌 이산화티타늄을 함유시켜 대기내의 질소산화물, 배기가스, 각종세균 등 유기화합물을 산소 분해하여 제거하게 된다.
따라서 공기는 이들 적어도 하나 이상의 필터(미도시)를 경유하는 과정에서 깨끗하게 정화된다.
그리고, 흡입장치(340)는 일반적으로 공사 현장에서 사용하는 장치로서, 스모그나 유동 가스 배출시 사용하고 있으나, 본 발명의 제 2 실시예는 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)를 더욱 구비함으로써 클린룸용으로 사용될 수 있고, 흡입장치(340)의 모터의 회전시 발생하는 압력에 의해 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 흡입하여 외부로 배출하게 된다.
이때, 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)와 흡입장치(340)를 연결하는 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)은 흡입장치(340)의 압력에 의해 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 흡입하는 과정에서 공기가 흡입장치(340)로 이송되는 통로 역할을 한다.
여기서, 공기배기장치(300)는 리프팅프레임(234)이 승강에 의한 수직이동시 작동되는 것이 바람직하며, 리프팅프레임(234)의 움직임이 없을 경우에도 주기적으로 일정시간 동안 작동되도록 하는 것이 바람직하다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 스태커로봇(200)은 리프팅프레임(234)을 승강에 의한 수직이동 하도록 내부에 순환체인(231)이 구비된 한쌍의 리프팅포스트(232)의 길이방향을 따른 양단에 각각 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)를 구비하고, 제 1 및 제 2 파티클제거장치(320a, 320b)와 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 통해 연결되어 리프팅포스트(232) 내부의 공기를 외부로 배출하는 흡입장치(340)로 이루어지는 공기배기장치(300)를 구비함으로써, 리프팅프레임(234)의 승강에 의한 수직이동시 각 리프팅포스트(232) 내부에 구비된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인(231)으로부터 많은 갈림 이물이 발생되어도, 이와 같은 갈림 이물이 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
이로 인하여, 갈림 이물에 의해 발생된 미세먼지나 파티클로 인하여 스토커(도 1의 100) 내부에 위치하는 기판이 오염되거나 클린룸이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 공기배기장치(300)를 통해 외부로 배출되지 않은 리프팅포스트(232)의 내부의 일부 공기는 미세먼지나 파티클을 함유할 수 있는데, 이러한 미세먼지나 파티클을 함유하는 일부 공기 또한 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
즉, 리프팅포스트(232) 내부의 공기는 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 통해 흡입장치(340)로 흡입됨으로써, 리프팅포스트(232)의 외부의 공기와 압력차를 갖게 되는데, 리프팅포스트(232)의 내부의 공기가 외부로 배출됨에 따라 리프팅포스트(232)의 내부의 공기의 압력은 외부의 공기의 압력에 비해 낮은 압력을 갖게 된다.
이에, 리프팅포스트(232)의 내부의 공기는 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 리프팅포스트(232)의 외부로 유출되지 않게 된다.
따라서, 공기배기장치(300)를 통해 외부로 배출되지 않은 리프팅포스트(232)의 내부의 일부 공기 또한 각 리프팅포스트(232)의 개구부(도 2의 232a)를 통해 스토커(도 1의 100) 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 리프팅포스트(232)의 길이가 길어지는 경우에는 리포팅포스트(232)의 길이방향의 양단에만 제 1 및 제 2 배관(330a, 330b)을 연결하는 경우, 리포팅포스트(232) 내부의 공기를 원활하게 배출시키지 못할 수도 있으므로, 도 5에 도시한 바와 같이, 리포팅포스트(232)의 중간영역에도 제 3 파티클제거장치(320c)가 구비된 제 3 배기공(239c)을 형성하고, 이의 제 3 배기공(239c)에 일끝단이 흡입장치(340)와 연결된 제 3 배관(330c)을 더욱 연결할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
231 : 순환체인, 232 : 리프팅포스트, 233a : 스풀, 233b : 체인 스프라킷
234 : 리프팅프레임, 235 : 보조 순환벨트, 237 : 균형추
239a, 239b : 제 1 및 제 2 배기공, 240 : 아암부
300 : 공기배기장치, 320a, 320b : 제 1 및 제 2 파티클제거장치
330a, 330b : 제 1 및 제 2 배관, 340 : 흡입장치

Claims (10)

  1. 평판표시장치의 카세트 이송용 스태커로봇으로서,
    본체와;
    상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 주행부와;
    상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와;
    상기 리프팅포스트 내부의 공기를 외부로 배출하는 공기배관장치와;
    상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에 수평하게 구비되며, 상기 리프팅포스트의 길이방향을 따라 승하강하는 리프팅프레임(lifting frame)과;
    상기 리프팅프레임 상에 회전, 수축 및 신장 가능한 아암부(arm part)
    를 포함하고,
    상기 공기배관장치는 상기 리프팅포스트의 길이방향의 양단에 구비된 제 1 및 제 2 배기공과 각각 연결되며 서로 분리된 제 1 및 제 2 배관과, 분리된 상기 제 1 및 제 2 배관의 일끝단 각각에 연결되는 흡입장치로 이루어지는 카세트 이송용 스태커로봇.


  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 배기공과 상기 제 1 및 제 2 배관 사이에는 각각 필터(filter)를 포함하는 제 1 및 제 2 파티클제거장치가 각각 구비되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 공기배관장치는 상기 리프팅포스트의 중심부에 구비된 제 3 배기공과 상기 흡입장치를 연결하는 제 3 배관을 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 3 배기공과 상기 제 3 배관 사이에 필터(filter)를 포함하는 제 3 파티클제거장치가 구비되는 카세트 이송용 스태커로봇.


  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 리프팅포스트는 서로 마주보는 일 방향이 개구부를 이루며, 상기 개구부에는 방진필름이 구비되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 리프팅포스트에 길이방향을 따라 순환 회전하는 체인이 내장된 카세트 이송용 스태커로봇.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 리프팅프레임은 상기 체인과 연결되어 승하강되는 카세트 이송용 스태커로봇.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암부는 상기 리프팅프레임 상에 장착된 회전디스크와, 상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과, 상기 아암의 말단부에 결합되어 카세트를 지지하는 캣치플레이트(catch plate)를 포함하는 카세트 이송용 스태커로봇.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110282376A (zh) * 2019-05-13 2019-09-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种管材传输系统及应用其的自动化管材加工生产线
US11214284B2 (en) 2020-02-14 2022-01-04 Lab to Market Inc. Cargo transporting vehicle

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102252727B1 (ko) * 2015-05-27 2021-05-17 세메스 주식회사 카세트 이송 장치
CN108382857A (zh) * 2018-02-28 2018-08-10 中建材轻工业自动化研究所有限公司 一种用于平板玻璃的链式垂直连续提升机

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008050141A (ja) 2006-08-25 2008-03-06 Jgc Corp 塵埃除去機能付きスタッカークレーン

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0564105U (ja) * 1992-01-30 1993-08-24 住友重機械工業株式会社 スタッカクレーンの防塵装置
KR101189269B1 (ko) * 2005-05-10 2012-10-09 삼성디스플레이 주식회사 평판 표시 장치의 제조 시스템
KR101222984B1 (ko) * 2006-12-26 2013-01-17 엘지디스플레이 주식회사 랙 마스터의 케리지 유닛

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008050141A (ja) 2006-08-25 2008-03-06 Jgc Corp 塵埃除去機能付きスタッカークレーン

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110282376A (zh) * 2019-05-13 2019-09-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种管材传输系统及应用其的自动化管材加工生产线
CN110282376B (zh) * 2019-05-13 2021-04-06 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种管材传输系统及应用其的自动化管材加工生产线
US11214284B2 (en) 2020-02-14 2022-01-04 Lab to Market Inc. Cargo transporting vehicle

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