KR20120007415A - 카세트 반송장치 - Google Patents

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Abstract

카세트 반송장치가 개시된다.
본 발명에 따른 카세트 반송장치는 글래스 기판이 적재된 카세트와, 상기 카세트를 반송하는 반송 로봇 및 상기 반송 로봇을 이동시키기 위한 주행 레일을 포함하고, 상기 반송 로봇은 상기 주행 레일을 이동하는 제1 내지 제4 주행 휠과, 상기 제1 내지 제4 주행 휠을 덮는 제1 내지 제4 휠 커버 및 상기 제1 내지 제4 휠 커버와 에어 호스를 통해 연결된 집진부를 포함한다.

Description

카세트 반송장치{Cassette Conveyor}
본 발명은 카세트 반송장치에 관한 것으로, 특히, 카세트를 이송하는 반송 로봇이 주행할 때 발생하는 파티클을 집진할 수 있는 카세트 반송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device:LCD)는 투명한 졸연 기판 상에 단위 화소가 형성된 어레이 기판 제조 공정 및 적색, 녹색, 청색의 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판 제조 공정을 진행한다.
상기와 같이 어레이 기판과 컬러필터 기판이 형성되면, 두 기판을 합착하고, 다시 이를 모니터 크기로 절단하는 그라인드 공정 등을 진행한다.
이때, 어레이 기판 또는 컬러필터 기판 상에 각각의 마스크 공정을 진행하여 매트릭스 형태의 화소 전극 또는 컬러필터를 형성하는데, 각각의 마스크 공정을 진행할 때마다 처리 공정이나 챔버(chamber)가 상이하므로, 글래스 기판들을 해당 공정 또는 챔버로 이송하는 작업을 주기적으로 실시한다.
TFT 제조 공정, 컬러필터 제조 공정 및 셀 작업 공정시에 각각의 글래스 기판들을 이동시키는 방식은 하나의 공정이 진행된 기판들을 카세트에 적층하여 모아둔 다음에 카세트 반송장치에 탑재시켜 다음 공정으로 이동시킨다.
한편, 상기 카세트 반송장치는 글래스 기판이 적재된 카세트로부터 글래스 기판을 언로딩하거나, 글래스 기판을 카세트로 로딩하거나 카세트 자체를 다음 공정으로 이동하는 반송 로봇을 포함한다. 상기 반송 로봇은 레일(rail)을 이용하여 주행을 하게 되는데, 이 과정에서 반송 로봇의 휠(wheel)과 레일(rail) 사이에서 마모 및 마찰로 인해 파티클이 발생한다.
이러한 파티클은 반송 로봇이 주행할 때 발생되며, 카세트 반송 장치 내에서 다운 플로우(down flow)가 형성하지 못하는 부분 즉, 개구되지 않은 바닥면에 상기 파티클이 쌓일 수 있다. 또한, 상기 파티클은 카세트에 수납되어 있는 글래스 기판상에 적재되어 상기 글래스 기판의 불량을 초래하기도 한다.
본 발명은 반송 로봇의 휠을 덮어 격리하는 덮개부와 에어 호스를 이용하여 상기 덮개부에 발생된 파티클을 집진하는 집진장치를 구비하여 상기 반송 로봇이 주행중일 때 상기 반송 로봇의 휠과 레일 사이의 마찰로 인해 발생하는 파티클을 최소화할 수 있는 카세트 반송장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 카세트 반송장치는 글래스 기판이 적재된 카세트와, 상기 카세트를 반송하는 반송 로봇 및 상기 반송 로봇을 이동시키기 위한 주행 레일을 포함하고, 상기 반송 로봇은 상기 주행 레일을 이동하는 제1 내지 제4 주행 휠과, 상기 제1 내지 제4 주행 휠을 덮는 제1 내지 제4 휠 커버 및 상기 제1 내지 제4 휠 커버와 에어 호스를 통해 연결된 집진부를 포함한다.
본 발명에 따른 카세트 반송장치는 스토커 사이를 이동하거나 카세트를 반송하는 반송 로봇의 휠 각각을 덮는 덮개부와 에어 호스(air hose)를 통해 상기 덮개부와 연결되어 상기 휠에서 발생된 파티클을 집진하는 집진장치를 구비하여 파티클을 여과시켜 상기 파티클을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트 반송 장비의 구성도를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 반송 로봇을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 반송 로봇의 휠 커버와 집진부를 상세히 나타낸 도면이다.
도 4의 (a)는 도 3의 집진부를 상세히 나타낸 도면이고, (b)는 도 4(a)의 집진부의 단면을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트 반송 장비의 구성도를 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 반송 장비는 글래스 기판(116)이 적재된 카세트(115)를 이동시키기 위해서, 스토커(111), 반송 로봇(120), 주행 레일(113) 및 리프터(114) 등을 포함한다.
상기 스토커(111)는 글래스 기판(116)이 적재된 카세트(115)를 수납하는 저장 장치이다.
상기 반송 로봇(120)는 상기 카세트(115)를 수납하는 스토커(111)에서 다른 스토커 사이를 이동하는 역할을 한다. 또한, 상기 반송 로봇(120)은 상기 카세트(115)로부터 글래스 기판(116)을 언로딩하거나, 글래스 기판(116)을 카세트(115)로 로딩하는 역할을 한다.
상기 주행 레일(113)은 상기 반송 로봇(120)이 스토커(111) 들 사이를 이동할 수 있게 하는 수단이다. 상기 반송 로봇(120)은 4개의 휠(Wheel)을 통해 상기 주행 레일(113)을 이동한다. 상기 리프터(114)는 상기 카세트(115)를 층간으로 이송하는 장비이다.
또한, FFU(Fan Filter Unit:117)가 카세트 반송장치(100), 실질적으로 클린룸 상에 설치되는데, 상기 FFU(117)는 필터를 이용하여 공기를 정화시킨다.
상기 반송 로봇(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 지지대(120a)와, 상기 카세트(115)를 스토커(111)로 이동하는 이동 수단(120b)을 포함한다. 또한, 상기 반송 로봇(120)은 상기 주행 레일(113)을 이동하는 제1 내지 제4 주행 휠(Wheel)을 덮는 제1 내지 제4 휠 커버(140)와, 상기 제1 내지 제4 휠 커버(140)와 에어 호스(air hose, 130)를 통해 연결된 집진부(150)를 더 포함한다.
상기 주행 레일(113)을 이동하는 반송 로봇(120)은 도 3에 도시된 바와 같이 주행할 때마다 상기 주행 레일(113)과 제1 내지 제4 휠(Wheel, 125) 사이에 마찰 및 마모로 인해 파티클이 발생하게 된다. 상기 파티클은 상기 제1 내지 제4 휠(Wheel, 125)을 덮는 제1 내지 제4 휠 커버(140)에 모아져 격리된다.
이로 인해, 상기 파티클이 상기 카세트 반송장치(100) 즉, 클린룸의 바닥면에 떨어지는 것을 최소화할 수 있다.
또한, 상기 제1 내지 제4 휠 커버(140)에 모아져 격리된 파티클은 상기 에어 호스(air hose, 130)를 통해 상기 집진부(150)로 이동하게 된다.
상기 집진부(150)는 상기 제1 내지 제4 휠(Wheel, 125)과 주행 레일(113) 사이의 마찰 및 마모로 인해 발생한 파티클을 필터를 이용하여 정화시켜 외부로 배출한다.
도 4의 (a)는 도 3의 집진부를 상세히 나타낸 도면이고, (b)는 도 4(a)의 집진부의 단면을 나타낸 도면이다.
도 4의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 집진부(150)는 도 3의 제1 내지 제4 휠 커버(140)로부터 파티클이 흡입되는 에어 호스(air hose, 130)의 입구와, 상기 에어 호스(air hose, 130)로부터 파티클을 흡입할 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터(150b)와, 상기 모터(150b)에서 발생된 흡입력으로 인해 상기 제1 내지 제4 휠 커버(140)에서 발생된 파티클이 흡입되는 분진 탱크(150d)과, 상기 분진 탱크(150d)로 이동된 파티클을 여과시키는 제1 및 제2 필터(150c, 150a)를 포함한다.
상기 집진부(150)는 상기 제2 필터(150a)에 의해 깨끗하게 정화된 공기를 외부로 배출하는 배출부(157)와, 상기 제1 및 제2 필터(150c, 150a)를 유지 및 보수하기 위해 각 해당 부분을 온/오프(On/Off)하는 클램프(170)를 더 포함한다.
상기 집진부(150)의 모터(150b)는 상기 반송 로봇(도 2의 120)의 온/오프(On/Off)에 동기되어 구동을 한다. 상기 집진부(150)의 모터(150b)가 동작을 하게 되면 상기 제1 및 제4 휠 커버(140)에 적체된 파티클은 상기 에어 호스(air hose, 130)를 통해 상기 분진 탱크(150d)로 이동된다.
상기 분진 탱크(150d)로 이동된 파티클은 상기 모터(150b)에서 발생된 흡입력에 의해 제1 필터(150c)로 이동되면서 대형 이물이 여과된다. 또한, 대형 이물이 여과된 파티클은 상기 모터(150b)에서 발생된 흡입력에 의해 상기 제2 필터(150a)로 이동되면서 미세 이물이 여과되게 된다.
이로 인해, 상기 제1 내지 제4 휠(도 3의 125)과 주행 레일(도 2의 113) 사이의 마찰 및 마모로 인해 발생한 파티클이 깨끗하게 정화되어 제거되게 된다.
상기 제1 내지 제4 휠(도 3의 125)과 주행 레일(도 2의 113) 사이의 마찰 및 마모로 인해 발생한 파티클이 제거되어 상기 카세트 반송장치 내의 내부 청정도가 향상되어 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 파티클이 상기 집진부(150)의 배출부(157)를 통해 외부로 배출된다고 하더라도 상기 카세트 반송장치(100)의 클린룸의 바닥면으로 흐르는 다운 플로우(down flow)에 의해 상기 파티클이 상기 바닥면의 개구부를 통과하여 카세트(도 1의 115)에 적재된 글래스 기판(도 1의 116)에 쌓이지 않는다.
결국, 본 발명에 따른 카세트 반송장치는 반송 로봇의 휠을 덮어 격리하는 휠 커버와 에어 호스를 이용하여 상기 휠 커버에 발생된 파티클을 집진하는 집진장치를 구비하여 상기 반송 로봇이 주행중일 때 상기 반송 로봇의 휠과 레일 사이의 마찰로 인해 발생하는 파티클을 최소화하여 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
100:카세트 반송 장치 111:스토커
113:주행 레일 114:리프트
115:카세트 116:글래스 기판
120:반송 로봇 120a:지지대
120b:이동 수단 125:휠
130:에어 호스 140:휠 커버
150:집진부 150a:제2 필터
150b:모터 150c:제1 필터
150d:분진 탱크 157:배출구
170:클램프

Claims (7)

  1. 글래스 기판이 적재된 카세트;
    상기 카세트를 반송하는 반송 로봇; 및
    상기 반송 로봇을 이동시키기 위한 주행 레일;을 포함하고,
    상기 반송 로봇은 상기 주행 레일을 이동하는 제1 내지 제4 주행 휠과, 상기 제1 내지 제4 주행 휠을 덮는 제1 내지 제4 휠 커버 및 상기 제1 내지 제4 휠 커버와 에어 호스를 통해 연결된 집진부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 휠 커버는 상기 제1 내지 제4 주행 휠과 상기 주행 레일 사이의 마찰 및 마모로 인해 발생된 파티클을 모아 격리시키는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 집진부는 상기 에어 호스로부터 파티클을 흡입할 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터와, 상기 모터에서 발생된 흡입력으로 인해 상기 제1 내지 제4 휠 커버에서 발생된 파티클이 흡입되는 분진 탱크과, 상기 분진 탱크로 이동된 파티클을 여과시키는 제1 및 제2 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 집진부는 상기 제2 필터에 의해 깨끗하게 정화된 공기를 외부로 배출하는 배출부와, 상기 제1 및 제2 필터를 유지 보수하기 위해 해당부분을 온/오프하는 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 집진부의 모터는 상기 반송 로봇의 온/오프(On/Off)에 동기되어 구동되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 분진 탱크로 이동된 파티클은 상기 모터에서 발생된 흡입력에 의해 제1 필터로 이동되면서 대형 이물이 여과되고, 상기 대형 이물이 여과된 파티클은 상기 모터에서 발생된 흡입력에 의해 상기 제2 필터로 이동되면서 미세 이물이 여과되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    필터를 이용하여 공기를 정화시키는 FFU(Fan Filter Unit:117)가 천장부에 더 포함되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20220070832A (ko) * 2020-11-23 2022-05-31 주식회사 알티자동화 클린 스토커 시스템

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