KR20080061740A - 반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치 - Google Patents

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KR20080061740A
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Abstract

글래스 기판 또는 카세트 배면에서 발생하는 이물을 용이하게 제거하고, 스크래치 및 크랙 발생을 감소시킬 수 있는 반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치가 제공된다. 반송 롤러는, 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러; 및 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공(Shaft hole)이 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축(Shaft)을 포함한다. 내부 홀은 롤러의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지며, 롤러는 미세 홀 및 내부 홀을 경유하도록 기류가 형성되고, 회전 축은 중공을 따라 기류를 흡입한다. 내부 홀은 롤러의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장되며, 회전 축은 중공을 통해 공기를 분사하고, 롤러는 분사된 공기를 내부 홀 및 미세 홀을 경유하여 외부로 배출한다.
액정 표시장치, 반송 롤러, 반송 장치, 진공 흡입, 공기 분사

Description

반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치 {Conveyor roller, and conveyer apparatus having the same}
도 1은 카세트 반송 장비가 구비된 제조 라인을 나타내는 도면이다.
도 2a는 도 1의 카세트 반송 장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이고, 도 2b는 글래스 반송 장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 글래스 및 카세트 반송 장비에 사용되는 반송 롤러를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3의 반송 롤러 측면의 단면도이다.
도 5는 도 3의 반송 롤러 전면의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 전면의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 측면의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러의 글래스 접촉 면을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 내의 기류 흐름을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 전면의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
110: 반송 롤러 111: 미세 홀
112: 내부 홀 120: 반송 롤러 축
130: 글래스 기판
본 발명은 평판 표시장치 제조 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시장치용 글래스 기판을 반송하는 반송 롤러 및 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)은 어레이 기판과 컬러필터 기판으로 이루어지는데, 어레이 기판은 투명한 절연 기판 상에 단위 화소가 형성되며, 컬러필터 기판은 적색, 녹색, 청색의 컬러필터가 형성된다.
상기와 같이 어레이 기판과 컬러필터 기판이 형성되면, 두 기판을 합착하고, 다시 이를 단위 패널 크기로 절단하는 그라인드 공정 등을 진행한다.
이때, 어레이 기판 또는 컬러필터 기판 상에 각각 마스크 공정을 진행하여 매트릭스 형태의 화소 전극 또는 컬러필터를 형성하는데, 각각 마스크 공정을 진행할 때마다 처리 공정이나 챔버(chamber)가 상이하므로, 글래스 기판들을 해당 공정 또는 챔버로 이송하는 작업을 주기적으로 실시한다.
이때, 액정 표시장치 제조 공정에서는 반송 장비를 사용하여 글래스 기판을 수납한 카세트를 운반하게 되는데, 그 중에서도 롤러(Roller)로 구동하여 이송하는 롤러 컨베이어(Roller conveyor)를 많이 적용하고 있다.
한편, 종래의 평판 디스플레이에서 각종 공정 장비 내 글래스 반송을 통해 식각, 세정 및 스트립 공정이 이루어진다. 아울러, 제조 공정에서 물류 흐름의 원활성을 위하여 여러 공정 장비를 인라인으로 구성하며, 또한, 트랙을 적용하여 장거리 인라인을 구성하고 있다.
도 1은 카세트 반송 장비가 구비된 제조 라인을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 기술에 따른 카세트 반송 장비(10)는 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 이동시키기 위해서, 스토커(11), 이재 로봇(12), 롤러 컨베이어(13) 및 리프터(14) 등을 포함하여 구성된다.
스토커(11)는 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 수납하는 저장 장치이다.
이재 로봇(12)은 카세트(15)로부터 글래스 기판(16)을 언로딩하거나, 글래스 기판(16)을 카세트(15)로 로딩하는 역할을 한다.
롤러 컨베이어(13)는 인라인 방식으로 연결된 반송 롤러를 사용하여 글래스 기판(16)이 수납된 카세트(15)를 스토커(11)와 다른 스토커 사이 또는 스토커(11)와 리프터(14) 사이를 이동시킨다. 여기서, 리프터(14)는 카세트(15)를 층간으로 이송하는 장비이다.
또한, FFU(Fan Filter Unit: 17)는 필터를 이용하여 공기를 정화시킨다.
그런데, 종래의 카세트 반송 장비(10)에서 글래스(16)를 수납하는 카세트(15)는 카세트 하판과 반송 롤러의 마찰에 의해 이송되는데, 도면부호 A로 도시된 바와 같이, 카세트 하판과 반송 롤러의 접촉에 의해 파티클이 발생하고, 이러한 파티클은 카세트(15) 하판에 묻어 다른 장비로 전위될 수 있다.
도 2a는 도 1의 카세트 반송 장치의 문제점을 설명하기 위한 도면으로서, 도 1의 도면부호 A로 도시된 부분의 상세 도면이고, 도 2b는 글래스 반송 장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 액정 표시장치 제조 공정에서, 글래스 기판(16)이 적재된 카세트(15)를 이송시, 반송 롤러(19)를 회전시켜 토크(Torque)를 카세트(15)에 전달한다. 이때, 마찰 및 슬립(Slip) 현상으로 접촉면에 파티클이 발생하게 된다. 즉, 카세트(15)와 롤러(19)의 마찰에 의해 롤러(19)의 재질의 마모됨으로써, 파티클이 발생하게 된다.
다시 말하면, 종래의 기술에 따른 롤러 컨베이어 방식의 카세트 반송 장비는, 반송 롤러와 카세트 하판의 접촉에 의한 마모로 인해 파티클(Particle)이 많이 발생하고 있고, 이에 따라 액정 표시장치의 불량의 원인이 된다. 즉, 롤러 재질 마모로 인해 발생한 파티클이 카세트에 수납되어 있는 글래스 기판을 오염시켜 액 정 표시장치 제품의 직접적인 불량 원인이 되고 있다.
한편, 액정표시장치 제조를 위하여 진행하는 각각의 공정들 전단계에는 대부분 공정 수율을 향상시키기 위하여 기판을 세정하는 세정 공정이 진행된다.
이러한 세정 공정은 컨베이어(conveyor)를 사용하여 글래스 기판을 이동시키면서, 롤러 브러쉬를 사용하여 기판 표면 세정, DI 세정, 린스 세정 및 건조 공정 등을 진행한다. 상기 컨베이어 상측과 하측에는 상기 글래스 기판을 이동시키기 위한 롤러들이 배치되어 있다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 반송 롤러(20) 상에 글래스 기판(15)이 탑재될 수 있고, 전술한 바와 같이 카세트가 탑재될 경우와 마찬가지로 접촉 면에서 이물이 발생할 우려가 있다.
한편, 도 3은 글래스 및 카세트 반송 장비에 사용되는 반송 롤러를 나타내는 도면이다. 도 4는 도 3의 반송 롤러 측면의 단면도이고, 도 5는 도 3의 반송 롤러 전면의 단면도이다.
도 3을 참조하면, 글래스 및 카세트 반송 장비에 사용되는 반송 롤러(20)는 각각 회전 축(21)과 연결되어 있는데, 이러한 회전 축(21)은 마그네틱 구동부(22)와 연결되고, 이때 상기 마그네틱 구동부(22)는 모터(23)에 의해 구동된다. 즉, 모터(23)에 의해 마그네틱 구동부(22)가 회전하면, 상기 마그네틱 구동부(22)와 연결된 회전 축(21)이 회전하게 되고, 이에 따라 롤러(20) 상에 탑재되는 글래스 기판 또는 카세트가 반송된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기존의 반송 롤러(20)는 글래스(15)를 반송시키기 위한 것으로, 롤러(20) 내부에 형성된 중공이 회전 축(21)과 연결되고, 롤러(20)의 표면이 직접 글래스(15)와 접촉하여 이물을 발생시킬 수 있다는 문제점이 있다.
최근 디스플레이용 글래스가 대형화됨에 따라 반송의 어려움이 발생되고 있다. 이러한 반송 에러의 원인 중에서 인라인(Inline) 구성으로 이한 장거리 반송간 글래스 손상이 발생할 수 있으며, 또한 전술한 바와 같이, 이물 발생에 의한 공정 수율이 감소할 수 있고, 글래스 배면에 스크래치 및 크랙(Crack)이 발생할 수 있다는 문제점이 있다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 글래스 기판 또는 카세트 배면에서 발생하는 이물을 용이하게 제거할 수 있는 반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치를 제공하기 위한 것이다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 글래스 기판 또는 카세트 배면에서 발생하는 스크래치 및 크랙 발생을 감소시킬 수 있는 반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반송 롤러는, 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러; 및 상기 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공(Shaft hole)이 상기 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축(Shaft)을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지며, 상기 롤러는 상기 미세 홀 및 상기 내부 홀을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축은 중공을 따라 상기 기류를 흡입하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장되며, 상기 회전 축은 중공을 통해 공기를 분사하고, 상기 롤러는 상기 분사된 공기를 상기 내부 홀 및 상기 미세 홀을 경유하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 미세 홀은 원형 또는 사각형 형상일 수 있다.
여기서, 상기 회전 축은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 흡입 장치와 연결된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 회전 축은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 분사 장치와 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반송 장치는, 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러; 상기 롤러와 결합 하며, 내부에 형성된 중공이 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축; 및 상기 회전 축의 일측과 연결되어 공기를 흡입하는 공기 흡입부를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 흡입된 공기를 따라 함께 흡입되는 이물을 집진하는 집진 장치를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공기 흡입부는 진공 흡입 장치인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지며, 상기 롤러는 상기 미세 홀 및 상기 내부 홀을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축은 중공을 따라 상기 기류를 흡입하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반송 장치는, 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러; 상기 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공이 상기 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축; 및 상기 회전 축의 일측과 연결되어 공기를 분사하는 공기 분사부를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장되 며, 상기 회전 축은 상기 중공을 통해 공기를 분사하고, 상기 롤러는 상기 분사된 공기를 상기 내부 홀 및 상기 미세 홀을 경유하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반송 롤러 및 이를 구비한 반송 장치를 상세히 설명한다.
본 발명의 실시예로서, 글래스 또는 카세트와 직접 접촉하는 반송 롤러의 표면에 미세 홀을 형성하고, 또한 회전 축 내에 홀(Shaft hole)을 형성하고, 회전 축 영역에 진공 흡입 또는 청정공기(CDA) 분사를 실시함으로써, 반송 롤러 표면의 이물을 제거할 수 있는 것을 개시한다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 전면의 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 측면 의 단면도이다. 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러의 글래스 접촉 면을 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러는, 롤러(110)와 회전 축(Shaft: 120)으로 이루어지며, 롤러(110)는 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀(111)이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀(112)이 형성되어 있다.
회전 축(120)은 상기 롤러(110)와 결합하며, 내부에 형성된 중공(Shaft hole)이 상기 롤러(110)의 내부 홀(112)과 연결된 연결 통로를 형성하고 있으며, 회전 축(120)은 상기 롤러(110)과 연동하여 회전하게 된다. 상기 회전 축(120)은 마그네틱 구동부 및 모터(도시되지 않음)에 의해 회전된다.
상기 회전 축(120)은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 흡입 장치(도시되지 않음)와 연결될 수 있다.
또한, 상기 롤러(110)의 내부 홀(112)은 상기 롤러(110)의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지며, 상기 롤러(110)는 상기 미세 홀(111) 및 상기 내부 홀(112)을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축(120)은 내부에 형성된 중공을 따라 상기 기류를 흡입하게 된다. 여기서, 상기 내부 홀(112)이 상기 롤러(110)의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지는 이유는 흡입 효율을 높이기 위한 것이다.
도 7을 참조하면, 상기 내부 홀(112)은 상기 롤러(110)의 원주 방향으로 방사 형태로 형성되며, 글래스(130)와 접촉하는 미세 홀(111)을 통해 상기 내부 홀(112)을 경유하여 상기 회전 축(120)의 중공과 연결된 연결 통로를 형성하게 된 다. 상기 연결 통로를 따라 글래스(130)에 부착된 이물 또는 부유 중인 이물이 흡입된다.
도 8을 참조하면, 글래스와 접촉하는 롤러(110)의 표면에 다수의 미세 홀(111)이 형성된 것을 나타내며, 상기 미세 홀(111)을 통해 이물을 흡입하게 된다. 이때, 상기 미세 홀(111)은 원형 또는 사각형 형상일 수 있지만, 이에 국한되는 것은 아니다.
결국, 본 발명의 제1 실시예에 따른 반송 롤러는, 원주 방향으로 회전 축(120) 내로 통과하는 통로를 가지는 내부 홀(112)을 형성하며, 미세 홀(111) → 내부 홀(112) → 회전 축의 중공 → 진공 흡입 장치 등의 경로로 연결된다. 이와 같이 형성된 연결 통로를 통하여 이물을 진공 흡입함으로써 글래스와 직접 접촉하는 반송 롤러 표면의 부유성 이물을 제거할 수 있고, 글래스 흡착시, 배면의 스크래치를 방지할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 내의 기류 흐름을 설명하기 위한 도면으로서, 롤러(110)에 형성된 미세 홀(111)을 통해 기류가 흡입되고, 내부 중심으로 갈수록 넓어지는 내부 홀(112)을 통해 기류가 형성되는 것을 나타낸다. 이에 따라 글래스에 접촉하는 이물 또는 부유 중인 이물이 진공 흡입 장치의 흡입에 의해 회전 축(120) 내부와 연결된 연결 통로를 통해 흡입될 수 있다.
한편, 도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치를 나타내는 도면이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치는 복수의 롤러(110), 회전 축(120), 진공 흡입 장치(140), 배관(150) 및 집진 장치(160)를 포함한다. 여기서, 복수의 롤러(110) 및 회전 축(120)은 도 6 내지 도 9에서 설명한 바와 같으므로 상세한 설명은 생략한다.
진공 흡입 장치(140)는 공기 흡입부로서, 상기 회전 축(120)의 일측과 연결되어 공기를 흡입하는 역할을 하며, 이때, 상기 롤러(110)는 미세 홀(111) 및 내부 홀(112)을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축(120)은 중공을 따라 상기 기류를 흡입하게 된다.
이때, 상기 롤러(110)의 내부 홀(112)은 상기 롤러(110)의 중심으로 갈수록 반경이 넓어질 수 있다. 또한, 상기 회전 축(120)은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 진공 흡입 장치(140)와 연결된다.
집진 장치(160)는 배관(150)을 통해 상기 진공 흡입 장치(140)에서 흡입된 이물을 집진하는 역할을 한다. 즉, 집진 장치(160)는 흡입된 공기를 따라 함께 흡입되는 이물을 집진하게 된다.
한편, 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러 전면의 단면도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 롤러는, 롤러(110a)와 회전 축으로 이루어지며, 롤러(110a)는 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀(111a)이 형성되어 있고, 중심 방향으로 연장되어 내부 홀을 형성한다. 상기 미세 홀(111a)은 내부 홀과 동일한 홀이다.
회전 축(120)은 상기 롤러(110a)와 결합하며, 내부에 형성된 중공(Shaft hole)이 상기 롤러(110a)의 미세 홀(111a)과 연결된 연결 통로를 형성하고 있으며, 회전 축(120)은 상기 롤러(110a)과 연동하여 회전하게 된다. 상기 회전 축(120)은 마그네틱 구동부 및 모터(도시되지 않음)에 의해 회전된다.
또한, 상기 미세 홀(111a)은 상기 롤러(110a)의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장되며, 상기 회전 축(120)은 중공을 통해 공기를 분사하고, 상기 롤러(110a)는 상기 분사된 공기를 상기 미세 홀(111a)을 경유하여 외부로 배출하게 된다. 또한, 상기 롤러(110a)의 내부 홀(111a)은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성될 수 있다.
이때, 상기 회전 축(120)은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 분사 장치(도시되지 않음)와 연결되어 있다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치를 나타내는 도면이다.
도 12를 참조하면, 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 및 카세트 반송 장치는, 복수의 롤러(110a), 회전 축(120), 공기 분사 장치(170)를 포함한다. 여기서, 복수의 롤러(110a) 및 회전 축(120)은 도 11에서 설명한 바와 같으므로 상세한 설명은 생략한다.
공기 분사 장치(170)는, 상기 회전 축(120)의 일측과 연결되어 공기를 분사하게 된다. 이때, 상기 회전 축(120)은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 분사 장치(170)와 연결된다.
상기 공기 분사 장치(170)에서 분사된 공기는 상기 회전 축(120)의 동공을 따라 상기 롤러(110a)의 내부 홀(111a)로 분사된 후, 상기 분사된 공기는 상기 롤러(110a)의 내부 홀(111a)을 통해 외부로 배출하게 된다.
이에 따라, 글래스 기판에 접촉하고 있는 이물 또는 부유 중인 이물이 제거될 수 있다.
결국, 본 발명의 실시예에 따르면, 글래스 또는 카세트와 직접 접촉하는 반송 롤러의 표면에 미세 홀을 형성하고, 또한 회전 축 내에 홀을 형성한 후, 회전 축 영역에 진공 흡입 또는 청정공기(CDA) 분사를 실시함으로써, 반송 롤러 표면의 이물을 제거할 수 있게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 글래스와 직접 접촉하는 반송 롤러 이물을 직접 제거함으로써, 글래스 스크래치 등의 불량의 근본 원인을 제거할 수 있고, 이에 따라 이물 발생에 의한 공정 수율 감소를 방지할 수 있고, 또한, 글래스 흡착을 통한 슬라이딩(Sliding) 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 글래스 배면의 스크래치 및 크랙 발생을 감소시킴 으로써, 글래스 원자재 과다 사용 및 생산성 저하를 사전에 방지할 있다.

Claims (19)

  1. 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러; 및
    상기 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공(Shaft hole)이 상기 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축(Shaft)
    을 포함하는 반송 롤러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지는 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 롤러는 상기 미세 홀 및 상기 내부 홀을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축은 중공을 따라 상기 기류를 흡입하는 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장된 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 회전 축은 중공을 통해 공기를 분사하고, 상기 롤러는 상기 분사된 공기를 상기 내부 홀 및 상기 미세 홀을 경유하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 미세 홀은 원형 또는 사각형 형상인 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 회전 축은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 흡입 장치와 연결된 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 회전 축은 중공의 봉 형태로서, 일측이 막혀있고, 타측이 공기 분사 장치와 연결된 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  10. 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러;
    상기 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공이 상기 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축; 및
    상기 회전 축의 일측과 연결되어 공기를 흡입하는 공기 흡입부
    를 포함하는 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 흡입된 공기를 따라 함께 흡입되는 이물을 집진하는 집진 장치
    를 추가로 포함하는 반송 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 공기 흡입부는 진공 흡입 장치인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심으로 갈수록 반경이 넓어지는 것을 특징으 로 하는 반송 롤러.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 롤러는 상기 미세 홀 및 상기 내부 홀을 경유하도록 기류가 형성되고, 상기 회전 축은 중공을 따라 상기 기류를 흡입하는 것을 특징으로 하는 반송 롤러.
  16. 기판과 접촉하는 원주 면에 복수의 미세 홀이 형성되어 있고, 중심 방향으로 상기 복수의 미세 홀과 각각 연결되는 복수의 내부 홀이 형성된 롤러;
    상기 롤러와 결합하며, 내부에 형성된 중공이 상기 롤러의 내부 홀과 연결된 연결 통로를 형성하는 회전 축; 및
    상기 회전 축의 일측과 연결되어 공기를 분사하는 공기 분사부
    를 포함하는 반송 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 원주 방향으로 방사 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 내부 홀은 상기 롤러의 중심 방향으로 동일 직경으로 연장된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 회전 축은 상기 중공을 통해 공기를 분사하고, 상기 롤러는 상기 분사된 공기를 상기 내부 홀 및 상기 미세 홀을 경유하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
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WO2014003498A2 (ko) * 2012-06-29 2014-01-03 (주)크레템 정제 이송용 볼 피더
KR20180070074A (ko) * 2016-12-16 2018-06-26 주식회사 토바 공조장치를 활용한 롤투롤 원자층 증착 시스템

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