TWI610868B - 清掃裝置 - Google Patents

清掃裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI610868B
TWI610868B TW102107622A TW102107622A TWI610868B TW I610868 B TWI610868 B TW I610868B TW 102107622 A TW102107622 A TW 102107622A TW 102107622 A TW102107622 A TW 102107622A TW I610868 B TWI610868 B TW I610868B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
transport vehicle
cleaning
ceiling
air
ceiling transport
Prior art date
Application number
TW102107622A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201400387A (zh
Inventor
柴田潤次
大森和哉
Original Assignee
大福股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大福股份有限公司 filed Critical 大福股份有限公司
Publication of TW201400387A publication Critical patent/TW201400387A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI610868B publication Critical patent/TWI610868B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B08B5/023—Cleaning travelling work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10—Cleaning devices
    • B65G45/22—Cleaning devices comprising fluid applying means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

清掃裝置 發明領域
本發明係關於具備有對沿著被配設在清淨室內之天花板側的行走軌道行走的天花板搬送車噴出空氣的空氣噴出裝置，將前述天花板搬送車進行清掃的清掃裝置。
發明背景
如上所述之清掃裝置伴隨在清淨室內的行走，可將堆積或附著塵埃的天花板搬送車進行清掃，為了防止伴隨清掃所發生的塵埃飛散在清淨室內，具備有形成遮蔽外部空間的遮蔽空間的區劃體，在由該區劃體所形成的遮蔽空間中，空氣噴出裝置進行天花板搬送車的清掃。
以關於如上所示之清掃裝置之一例而言，有一種構成為設在天花板搬送車的行走路徑上，空氣噴出裝置一面使天花板搬送車行走一面進行清掃者(參照例如專利文獻1)。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開2008-214084號公報
發明概要
若為上述專利文獻1的構成，天花板搬送車在清掃裝置進行清掃作動的期間沿著行走路徑行走移動，因此可防止伴隨清掃所發生的塵埃飛散在清淨室內。此外，為此，必須將形成遮蔽空間的區劃體由與在清掃中行走移動的天花板搬送車的行走移動量相對應的長度較長者所構成，清掃裝置的構成會變得大規模。此外，在清淨室被要求高度的空間使用效率，但是在上述專利文獻1的構成中，為了設置區劃體，會佔有行走路徑中的較長部分，故較不理想。
鑑於上述背景，期望實現一種有利在清淨室設置的天花板搬送車的清掃裝置。
本發明之清掃裝置係具備有對沿著配設在清淨室內之天花板側的行走軌道行走的天花板搬送車噴出空氣的空氣噴出裝置，而用以清掃前述天花板搬送車的清掃裝置，其設有形成自外部空間遮蔽之遮蔽空間的區劃體，前述區劃體係構成為使前述天花板搬送車可藉由行走移動而自由進入前述遮蔽空間，前述空氣噴出裝置係在前述遮蔽空間，對行走停止狀態的前述天花板搬送車進行清掃作動。
藉由上述構成，天花板搬送車係藉由行走移動 而進入至由區劃體所形成的遮蔽空間之後，停止在遮蔽空間內，藉此空氣噴出裝置可清掃天花板搬送車。天花板搬送車係在利用空氣噴出裝置予以清掃的期間停止在遮蔽空間內，因此以遮蔽空間而言，以包圍天花板搬送車的程度的大小即可。因此，為區劃體行走方向中的長度相當於天花板搬送車行走方向中的長度的程度的精簡者即可，有利在清淨室中設置。
如上所示，藉由上述構成，實現一種有利在清淨室設置的天花板搬送車的清掃裝置。
以下說明本發明之較適實施形態之例。
在本發明之清掃裝置之實施形態中，較佳為在前述區劃體配備有風扇過濾器單元，該風扇過濾器單元係具備有：吸入前述遮蔽空間內的空氣而排出至前述遮蔽空間外的風扇、及將該排出的空氣淨化的過濾器。
藉由上述構成，伴隨由空氣噴出裝置噴出空氣而清掃天花板搬送車，堆積在天花板搬送車的塵埃被吹跑，而在遮蔽區間浮遊。如此包含伴隨天花板搬送車的清掃所發生的塵埃的空氣係藉由風扇過濾器單元的風扇被吸入而作為排出空氣被排出。該排出空氣係藉由風扇過濾器單元的過濾器被淨化而使塵埃被去除。
如上所示，藉由在區劃體具備有風扇與過濾器被單元化的風扇過濾器單元的簡化構成，可防止伴隨著天花板搬送車的清掃所發生的塵埃飛散在遮蔽空間的外部。因此， 可一面達成清淨室的污染防止，一面抑制構成複雜化。
在本發明之清掃裝置之實施形態中，較佳為在前述區劃體設有：供前述天花板搬送車進入至前述遮蔽空間的進入口、及供前述天花板搬送車由前述遮蔽空間退出的退出口，設有：可將前述進入口自由切換成進行開放的開狀態與進行閉鎖的閉狀態的進入口開閉裝置；可將前述退出口自由切換成進行開放的開狀態與進行閉鎖的閉狀態的退出口開閉裝置；控制前述進入口開閉裝置、前述退出口開閉裝置的開閉作動以及前述空氣噴出裝置的清掃作動的控制裝置；及計測前述遮蔽空間中的塵埃濃度的塵埃濃度計測裝置，前述控制裝置構成為：控制前述進入口開閉裝置及前述退出口開閉裝置的作動，俾於前述天花板搬送車停止於前述遮蔽空間的狀態下將前述進入口開閉裝置及前述退出口開閉裝置形成為前述閉狀態後，控制前述空氣噴出裝置的作動，使前述空氣噴出裝置的清掃作動開始，並且前述控制裝置在使前述空氣噴出裝置的清掃作動開始之後，根據前述塵埃濃度計測裝置的計測資訊，判別出前述遮蔽空間中的塵埃濃度降低至設定塵埃濃度時，控制前述空氣噴出裝置的作動，使前述空氣噴出裝置的清掃作動結束。
藉由上述構成，在天花板搬送車停止於遮蔽空間的狀態下，進入口開閉裝置及退出口開閉裝置形成為閉 狀態之後，開始空氣噴出裝置的清掃作動。接著，因藉由空氣噴出裝置所為之天花板搬送車的清掃所發生的塵埃係藉由風扇過濾器單元被淨化而由遮蔽空間被排出至遮蔽空間外。若如此進行天花板搬送車的清掃時，遮蔽空間中的塵埃濃度會逐漸降低。
控制裝置若根據塵埃濃度檢測裝置的檢測資訊，判別出遮蔽空間中的塵埃濃度降低至設定塵埃濃度時，即使空氣噴出裝置的清掃作動結束。因此，將原本堆積在天花板搬送車的塵埃可清掃至所希望狀態時的塵埃濃度預先設定為設定塵埃濃度，藉此可在將天花板搬送車清掃至所希望狀態的階段使空氣噴出裝置的作動停止。
藉由上述構成，天花板搬送車可至成為所希望的清掃狀態為止確實使空氣噴出裝置作動，而且，可防止為了清掃而以所需程度以上使天花板搬送車停止在遮蔽空間而受到限制的情形。
其中，在使空氣噴出裝置的作動停止後，或同時或停止瞬前將退出口開閉裝置形成為開狀態，藉此清掃已完成的天花板搬送車可由遮蔽空間行走移動至外部而退出。其中，亦可在天花板搬送車退出後，在將進入口開閉裝置形成為開狀態，將噴出口開閉裝置形成為閉狀態的待機用開閉狀態下，等待下一個天花板搬送車進入。順帶一提，若在行走路徑的端部設置清掃裝置時，進入口開閉裝置及退出口開閉裝置係被兼用。
在本發明之清掃裝置之實施形態中， 較佳為前述空氣噴出裝置構成為具有複數個噴出空氣的管嘴，且該等管嘴呈可自由變更噴出對象處的狀態。
藉由上述構成，空氣噴出裝置所具備的噴出管嘴係將噴出對象處變更自如，而且設有複數個，因此空氣噴出裝置係可一面對天花板搬送車的複數處變更噴出處，一面進行清掃作動。因此，適當配置複數噴出管嘴，使該等噴出管嘴的噴出對象處改變，來對天花板搬送車噴出空氣，藉此即使未與天花板搬送車中必須清掃處的全部相對應個別設置噴出管嘴，亦可對天花板搬送車中必須清掃處作適當清掃。
在本發明之清掃裝置之實施形態中，較佳為設有維護用升降裝置，該維護用升降裝置具備有供在前述行走軌道上行走的前述天花板搬送車自由進入的殼體，且在前述殼體內具備有使前述天花板搬送車朝地板側脫離的升降機構，前述遮蔽空間藉由作為前述區劃體的前述殼體所形成，前述空氣噴出裝置被設在前述殼體內。
藉由上述構成，可在被設置在天花板搬送設備的維護用升降裝置的殼體內進行天花板搬送車的清掃，因此可有效活用維護用升降裝置所佔有的清淨室中與地板面部分相對應的空間領域。
1‧‧‧物品處理部
2‧‧‧行走軌道
2a‧‧‧行走軌道部分
2b‧‧‧行走軌道本體
2c‧‧‧天花板搬送車改乘用輔助軌道
3‧‧‧天花板搬送車
4‧‧‧行走部
5a‧‧‧行走車輪
5b‧‧‧導引車輪
6‧‧‧升降部
7‧‧‧把持具
8‧‧‧行走軌道升降裝置
9‧‧‧升降體
10‧‧‧升降機構
11‧‧‧支持架
12‧‧‧風扇過濾器單元
13S‧‧‧側面面板
13T‧‧‧上面面板
14‧‧‧殼體
15‧‧‧進入口、退出口
16‧‧‧搬送車取出口
17‧‧‧進入口開閉裝置、退出口開閉裝置
17a‧‧‧擋門本體
18‧‧‧維護用台車
19‧‧‧旋轉操作軸
19D‧‧‧下側旋轉操作軸
19U‧‧‧上側旋轉操作軸
20‧‧‧管嘴
21‧‧‧減速機
22‧‧‧噴出用切換閥
23‧‧‧塵埃濃度計測裝置
24‧‧‧搬送車檢測感測器
A‧‧‧天花板搬送車抽出處
C‧‧‧空氣噴出裝置
D‧‧‧手動駕駛用指令裝置
K‧‧‧區劃體
H1‧‧‧控制裝置
H2‧‧‧天花板搬送車控制器
H3‧‧‧主控制器
M1‧‧‧行走用馬達
M2‧‧‧升降用馬達
M3‧‧‧把持用馬達
M4‧‧‧擋門開閉用馬達
M5‧‧‧管嘴旋轉用馬達
Z1‧‧‧外部空間
Z2‧‧‧遮蔽空間
#1-#7‧‧‧步驟
圖1係天花板搬送設備的全體平面圖。
圖2係具備有清掃裝置的維護用升降裝置的局部縱剖側面圖。
圖3係具備有清掃裝置的維護用升降裝置的局部縱剖正面圖。
圖4係具備有清掃裝置的維護用升降裝置的局部縱剖斜視圖。
圖5係控制區塊圖。
圖6係控制區塊圖。
圖7係清掃控制的流程圖。
用以實施發明之形態
接著，根據圖示，說明本發明之清掃裝置之實施形態。
如圖1所示，沿著以經由複數物品處理部1的方式所設定的設定移動路徑，天花板搬送車行走用的行走軌道2被設置在天花板側，沿著設定移動路徑行走的天花板搬送車3在被行走軌道2導引支持的狀態下而設。
接著，天花板搬送車3構成為由圖外的物品搬入處對物品處理部1、由物品處理部1對其他物品處理部1、及由物品處理部1對圖外的物品搬出處搬送物品。上述行走軌道2被設置在清淨室內，天花板搬送車3搬送將複數枚半導體收納自如的基板收納容器作為搬送對象物。
在天花板搬送車3的行走部4設有：在行走軌道2的上面轉動的行走車輪5a、及在行走軌道2的橫側面轉動 的導引車輪5b。接著，構成為行走車輪5a利用行走用馬達M1予以旋轉驅動，藉此天花板搬送車3一面被行走軌道2導引，一面沿著設定移動路徑行走。
此外，在天花板搬送車3具備有把持物品且相對行走部4進行升降移動的升降部6。升降部6構成為利用升降用馬達M2(參照圖6)使旋轉圓筒(未圖示)朝正反方向旋轉驅動，藉由將線材進行捲繞及送出操作來進行升降移動。
升降部6具備有可將基板收納容器在上部所配備的凸緣把持自如的一對把持具7。該一對把持具7以前端側彼此作遠近移動的方式將基端側以擺動自如的方式予以連結。一對把持具7構成為利用把持用馬達M3，被切換操作成前端部彼此近接而把持物品的把持姿勢、或前端部彼此分離而解除物品的把持的解除姿勢。
若接收被載置於物品處理部1的載置台(未圖示)的基板收納容器時，使未支持基板收納容器的空裝載狀態的天花板搬送車3停止在與該物品處理部1相對應的目標停止位置。接著，在該狀態下，一對把持具7使升降部6下降移動至可把持基板收納容器的高度之後，將一對把持具7由解除姿勢切換成把持姿勢而把持載置於載置台的基板收納容器的凸緣。之後，使升降部6進行上升移動。
此外，若將基板收納容器交接在物品處理部1的載置台時，使支持基板收納容器的實裝載狀態的天花板搬送車3停止在與該物品處理部1相對應的目標停止位置。接著，在該狀態下，基板收納容器使被載置支持在載置台的升降部6下 降移動後，將一對把持具7由把持姿勢切換成解除姿勢，而使對基板收納容器的把持解除。之後，使升降部6進行上升移動。
藉由天花板搬送車3所為之基板收納容器的搬送作動根據由上位的主控制器H3所被發出的搬送指令，藉由天花板搬送車控制器H2(參照圖6)來進行控制。天花板搬送車控制器H2構成為根據來自例如由與天花板搬送車控制器H2連接自如的終端裝置所構成的手動駕駛用指令裝置D(參照圖6)的手動駕駛指令，使天花板搬送車3行走至天花板搬送車抽出處A的維護用駕駛控制執行自如。
如圖1所示，在由上述設定移動路徑中的環狀移動路徑所分歧的移動路徑決定天花板搬送車抽出處A，在該天花板搬送車抽出處A設置有行走軌道升降裝置8。
接著，如圖2所示，在行走軌道升降裝置8，在支持天花板搬送車3的狀態下，以在與前述行走軌道2中的行走軌道本體2b相連的搬送車行走用高度(參照圖2)與下降至地板面側的搬送車取出用高度升降移動自如的方式設有行走軌道2中與天花板搬送車抽出處A相對應的行走軌道部分2a。藉此，可將行走至天花板搬送車抽出處A的天花板搬送車3，為了維護而取出至地板側。亦即，行走軌道升降裝置8作為具備有使天花板搬送車3在地板側脫離的升降機構的維護用升降裝置而發揮功能。
行走軌道部分2a被升降體9所支持，升降體9由將複數框材以縱橫組合的框體所構成。接著，行走軌道升 降裝置8利用縮放儀式升降機構10將升降體9進行升降操作，藉此可使行走軌道部分2a升降移動至搬送車行走用高度及搬送車取出用高度。順帶一提，如圖2所示，行走軌道本體2b透過支持架11而被連結支持在天花板，但是行走軌道2中與天花板搬送車抽出處A相對應的行走軌道部分2a透過支持架11而被連結支持在升降體9中的頂部。
在升降體9的下端部，以天花板搬送車3的車體橫寬方向並設有2台將繞縱軸芯旋轉的電動式送風風扇、及覆蓋該送風風扇的上方的板狀除塵過濾器一體組裝所構成的風扇過濾器單元12。在此，車體橫寬方向指與天花板搬送車3的行走方向及上下方向的各個呈正交的方向。該等風扇過濾器單元12當在清掃天花板搬送車3時進行作動，將天花板搬送車3所位置的清掃空間Z2內的空氣淨化而排出至外部空間Z1。
升降體9及升降機構10係以縱支柱及水平框形成架構而被配設在具備有上面面板13T及側面面板13S的箱狀殼體14的內部。雖圖示省略，在殼體14的外側面設有作業人員進行指令操作的升降指令開關，根據藉由該升降指令開關所得之上升指令，升降機構10朝上升方向被伸長驅動，藉此使升降體9被上升驅動，此外，根據下降指令，升降機構10朝下降方向被縮短驅動，藉此使升降體9被下降驅動。
4個側面面板13S之中被配設在與行走軌道本體2b相對向的側面的側面面板13S的上部形成有搬送車進入 口15。此外，在被配置在與形成有該搬送車進入口15的側面面板13S相對向的面的側面面板13S的下部形成有搬送車取出口16。
在殼體14設有將搬送車進入口15開閉自如的電動擋門17。電動擋門17以縱姿勢上下方向自如地配設由比形成在行走軌道部分2a與行走軌道本體2b之間的間隙的長度為更薄的板壓的板狀體所構成的擋門本體17a，具備有將該擋門本體17a進行開閉驅動的擋門開閉用馬達M4所構成。藉此，電動擋門17形成為切換自如成：擋門本體17a位於比搬送車進入口15更為下方的位置而將搬送車進入口15進行開放的開狀態、及位於與搬送車進入口15相對應的高度的位置而將搬送車進入口15進行閉鎖的閉狀態。
在升降體9位於搬送車行走用高度的狀態下，將電動擋門17形成為閉狀態，藉此形成由升降體9的底部、與殼體14的上面面板13T及側面面板13S所封閉的空間，在該空間內，藉由後述的空氣噴出裝置C，進行天花板搬送車3的清掃。亦即，位於殼體14的上方側的位置的清掃空間Z2發揮作為遮蔽空間的功能，具備有風扇過濾器單元12的升降體9的底部、與殼體14的上面面板13T及側面面板13S發揮作為遮蔽外部空間Z1的遮蔽空間的區劃體K的功能。接著，作為區劃體K的側面面板13S係以天花板搬送車3藉由行走移動而在遮蔽空間進入自如的方式所構成。其中，為確保清掃空間Z2的氣密性，以適當使用將位於搬送車行走用高度的升降體9的外周部與殼體14之間進行密封 的密封構造為佳。
搬送車進入口15係若清掃對象的天花板搬送車3或維護對象的天花板搬送車3進入行走軌道升降裝置8的內部時即會通過，並且若清掃完成後或維護完成後的天花板搬送車3退出至行走軌道升降裝置8的外部時，亦會通過。亦即，搬送車進入口15兼用進入口及退出口。此外，電動擋門17作為進入口開閉裝置及退出口開閉裝置而發揮功能。
順帶一提，在行走軌道升降裝置8設有在地板面側行走自如，而且具備有與被下降至搬送車取出用高度的行走軌道部分2a為相同高度的天花板搬送車改乘用輔助軌道2c的維護用台車18。藉此，在使升降體9下降至搬送車取出用高度的狀態下，使搬送車取出口16通過，使天花板搬送車3由行走軌道部分2a移動至天花板搬送車改乘用輔助軌道2c，在將天花板搬送車3以維護用台車18的天花板搬送車改乘用輔助軌道2c進行支持的狀態下，可使維護用台車18移動至進行維護作業處等。
如圖2及圖3所示，升降體9具備有在清掃空間Z2對天花板搬送車3使空氣噴出而清掃天花板搬送車3的空氣噴出裝置C。空氣噴出裝置C係在將噴出對象處變更自如的狀態下具備複數個將空氣噴出自如的複數管嘴20所構成。空氣噴出裝置C在清掃空間Z2對行走停止狀態的天花板搬送車3進行清掃作動。
複數管嘴20對沿著天花板搬送車3的前後方向延 伸之平行配置的4支旋轉操作軸19的各個，以朝軸心方向(與天花板搬送車3的前後方向相同)分散配置的形態以一體旋轉自如的方式予以支持。4支旋轉操作軸19在朝上下方向及車體寬幅方向隔著間隔的狀態下以旋轉自如的方式被支持在升降體9。在升降體9中的各旋轉操作軸19的端部所在之處安裝有透過減速機21而將旋轉操作軸19進行旋轉驅動的管嘴旋轉用馬達M5。
對複數管嘴20，由設在地上側之未圖示的清掃用空氣供給裝置透過變形自如的供給軟管被供給清掃用空氣。藉此，管嘴20可由清掃用空氣供給裝置接受清掃用空氣的供給，並且形成為與升降體9一體升降自如。將複數管嘴20切換成噴出狀態及噴出停止狀態的噴出用切換閥22(參照圖5)被設在由清掃用空氣供給裝置至複數管嘴20的清掃用空氣供給路的中途處。
4支旋轉操作軸19之中被配置在上方側的2支上側旋轉操作軸19U被安裝在比清掃對象的天花板搬送車3的行走部4的高度更高且近接該行走部4的高度。在此，所謂近接意指分離距離為行走軌道2的高度以下的狀態。在由設在一對上側旋轉操作軸19U的管嘴20噴出空氣的狀態下，使上側旋轉操作軸19U旋轉，藉此可適當地清掃堆積在行走部4的塵埃。此外，4支旋轉操作軸19之中被配置在下方側的2支下側旋轉操作軸19D被安裝在與清掃對象的天花板搬送車3的升降部6的高度為相同高度或以設定距離偏移的高度。在由設在一對下側旋轉操作軸19D的管嘴20噴 出空氣的狀態下，使下側旋轉操作軸19D旋轉，藉此可適當地清掃堆積在升降部6或其驅動部的塵埃。
其中，複數管嘴20為充分達成清掃效果，以前端部對清掃對象的天花板搬送車3近接的方式予以配置，即使藉由旋轉操作軸19而被旋轉操作成任何姿勢，前端部均以不會干擾天花板搬送車3的大小及位置予以配設。
在殼體14的內部設有作為用以計測使空氣噴出裝置C作動時的清掃空間Z2中的塵埃濃度的塵埃濃度計測裝置的周知的微粒計數器23。微粒計數器23係設在比位於搬送車行走用高度時的升降體9更為上方側且比天花板搬送車3更為下方側的近接高度。藉此，可計測在藉由位於清掃空間Z2的下部的風扇過濾器單元12所被吸引的污染空氣的通流路徑中途，該空氣所含有的塵埃濃度。微粒計數器23的輸出訊號被輸入至清掃裝置控制器H1(參照圖5)。
如圖5所示，設有作為控制空氣噴出裝置C的清掃作動及電動擋門17的開閉作動的控制裝置的清掃裝置控制器H1。清掃裝置控制器H1構成為根據在清掃空間Z2將停止狀態的天花板搬送車3檢測自如的搬送車檢測感測器24的檢測資訊，清掃對象的天花板搬送車3是否在停止狀態下存在於清掃空間Z2進行判別自如。搬送車檢測感測器24構成為檢測自如位於清掃處的天花板搬送車3，亦即被位於搬送車行走用高度的行走軌道部分2a所支持的天花板搬送車3，例如以將至存在於檢測對象範圍的檢測對象體為止的距離計測自如的測距式的光感測器構成為佳。
接著，清掃裝置控制器H1係若作業人員以清掃指令開關25發出清掃指令時，根據該清掃指令，控制擋門開閉用馬達M4的作動，俾以天花板搬送車3停止在清掃空間Z2的狀態下將電動擋門17形成為閉狀態。接著，清掃裝置控制器H1構成為使空氣噴出裝置C的清掃作動開始，之後，根據微粒計數器23的計測資訊，若判別出清掃空間Z2中的塵埃濃度降低至設定塵埃濃度時，控制空氣噴出裝置C的作動，俾使空氣噴出裝置C的清掃作動結束。
以下針對作業人員對手動駕駛用指令裝置D進行指令操作而由天花板搬送車控制器H2執行維護用駕駛控制，藉此在天花板搬送車3行走至天花板搬送車抽出處A之後，若作業人員對清掃指令開關25進行指令操作時的清掃裝置控制器H1所執行的清掃控制的控制內容，根據圖7所示之流程圖來進行說明。
清掃裝置控制器H1若在步驟#1中判別已被發出清掃指令時，移至步驟#2，根據搬送車檢測感測器24的檢測資訊，判別清掃對象的天花板搬送車3是否停止在清掃空間Z2。若天花板搬送車3非停止在清掃處，天花板搬送車3進行待機至到達清掃處為止。若天花板搬送車3形成為停止在清掃處的狀態時，移至步驟#3，控制擋門開閉用馬達M4的驅動而將電動擋門17切換成閉狀態。接著，在步驟#4中，開始藉由空氣噴出裝置C所為之清掃作動。亦即，使風扇過濾器單元12的作動開始，將噴出用切換閥22切換成噴出狀態而使清掃用空氣由管嘴20噴出，並且使管 嘴旋轉用馬達M5正反驅動，使複數管嘴20與旋轉操作軸19一體旋轉，使管嘴20的前端部在設定角度範圍內反覆進行往返擺動。
清掃裝置控制器H1係在開始藉由空氣噴出裝置C所為之清掃作動之後，在步驟#5中監視清掃空間Z2中的塵埃濃度。伴隨著清掃作動的繼續，原本堆積在天花板搬送車3的塵埃在清掃空間Z2飛散，清掃空間Z2中的塵埃濃度會暫時上升，但是之後因風扇過濾器單元12的淨化作用而逐漸降低。
清掃裝置控制器H1若根據微粒計數器23的計測資訊，判別出清掃空間Z2中的塵埃濃度降低至目標塵埃濃度時，移至步驟#6而結束藉由空氣噴出裝置C所為之清掃作動。亦即，使風扇過濾器單元12的作動停止，將噴出用切換閥22切換成噴出停止狀態而使清掃用空氣停止由管嘴20噴出。之後，以複數管嘴20成為待機位置的方式，亦即以旋轉操作軸19的旋轉相位成為初期相位的方式控制管嘴旋轉用馬達M5的驅動。接著，在步驟#7中控制擋門開閉用馬達M4的驅動而將電動擋門17切換成開狀態。
如此為了使清掃完成的天花板搬送車3再次恢復成基板收納容器的搬送作業，以手動駕駛用指令裝置D，對主控制器H3傳送可進行準備(選擇為供物品搬送處理之用的天花板搬送車3)之要旨的資訊。其中，若接續清掃作業進行該天花板搬送車3的維護作業時，利用被設在殼體14之外側面的圖外的升降指令開關發出下降指令而使升降 體9下降至搬送車取出用高度，移動操作至維護用台車18，而使天花板搬送車3移動至進行維護作業之處等即可。
〔其他實施形態〕
以上，根據發明之實施形態，具體說明發明人所研創的發明，惟本發明並非限定於上述實施形態，在未脫離該要旨的範圍內可為各種變更。以下例示本發明之其他實施形態。
(1)在上述實施形態中，例示出天花板搬送車的清掃裝置中的區劃體具備有兼用進入口與退出口的開口者，但是亦可為區劃體個別具備有進入口與退出口者。亦即，亦可為以天花板搬送車的行走路徑貫穿區劃體的方式，在行走路徑的中途處設置區劃體，在區劃體中的行走方向的前後兩端部設置進入口及退出口的通過式清掃裝置。此外，在上述實施形態中例示出清掃裝置被設在立設於地板面的區劃體內者，但是區劃體亦可為由天花板被懸掛支持者。
(2)在上述實施形態中，例示出空氣噴出裝置被設在維護用升降裝置中的殼體內，但是亦可取而代之，可為空氣噴出裝置被設在清掃專用裝置者。
(3)在上述實施形態中，例示出藉由作業人員所發出的手動駕駛指令，使天花板搬送車在清掃處行走者，但是亦可取而代之，亦可以管理天花板搬送車之行走的管理裝置(例如可由上述實施形態中的天花板搬送車控制器 H2所構成)，管理複數天花板搬送車的各自的累積行走量，控制天花板搬送車的行走，俾使累積行走量達到清掃時期判別用所設定的設定行走量的天花板搬送車在清掃裝置行走。
此外，取代是否已到達清掃時期判別用所設定的設定行走量的判別條件，亦可管理裝置構成為在行走路徑上設定複數或單一行走量計測用處，根據通過行走量計測用處的次數，來判別清掃時期。此時，若在行走量計測用處設置由光感測器等所構成的通過檢測裝置，管理天花板搬送車之行走的管理裝置根據通過檢測裝置的檢測資訊，來管理通過各天花板搬送車之行走量計測用處的次數即可。
(4)在上述實施形態中例示出控制空氣噴出裝置的清掃作動的控制裝置在使空氣噴出裝置的清掃作動開始之後，若根據塵埃濃度計測裝置的計測資訊，判別出遮蔽空間中的塵埃濃度降低至設定塵埃濃度時，使空氣噴出裝置的清掃作動結束者，亦可為在使空氣噴出裝置的清掃作動開始之後，若藉由計時裝置經過設定時間時，使空氣噴出裝置的清掃作動結束者。
(5)在上述實施形態中例示出空氣噴出裝置為藉由使管嘴旋轉操作而將噴出對象處變更自如者，但是亦可為取代此或除此之外，藉由將管嘴朝上下或左右移動來將噴出對象處變更自如者。此外，管嘴亦可為無法變更噴出對象處者。
(6)在上述實施形態中例示出空氣噴出裝置以與藉由升降機構予以升降操作的升降體一體升降自如的方式而設，但是亦可取而代之，空氣噴出裝置亦可為相對區劃體予以固定者。此時，管嘴可為將噴出對象處變更自如，亦可為無法變更噴出對象處者。
2‧‧‧行走軌道
2a‧‧‧行走軌道部分
2b‧‧‧行走軌道本體
2c‧‧‧天花板搬送車改乘用輔助軌道
3‧‧‧天花板搬送車
4‧‧‧行走部
5a‧‧‧行走車輪
6‧‧‧升降部
7‧‧‧把持具
8‧‧‧行走軌道升降裝置
9‧‧‧升降體
10‧‧‧升降機構
11‧‧‧支持架
12‧‧‧風扇過濾器單元
13S‧‧‧側面面板
13T‧‧‧上面面板
14‧‧‧殼體
15‧‧‧進入口、退出口
16‧‧‧搬送車取出口
17‧‧‧進入口開閉裝置、退出口開閉裝置
17a‧‧‧擋門本體
18‧‧‧維護用台車
19‧‧‧旋轉操作軸
19D‧‧‧下側旋轉操作軸
19U‧‧‧上側旋轉操作軸
20‧‧‧管嘴
21‧‧‧減速機
23‧‧‧塵埃濃度計測裝置
24‧‧‧搬送車檢測感測器
A‧‧‧天花板搬送車抽出處
C‧‧‧空氣噴出裝置
K‧‧‧區劃體
M1‧‧‧行走用馬達
M4‧‧‧擋門開閉用馬達
M5‧‧‧管嘴旋轉用馬達
Z1‧‧‧外部空間
Z2‧‧‧遮蔽空間

Claims (4)

  1. 一種清掃裝置，其係具備有對沿著配設在清淨室內之天花板側的行走軌道行走的天花板搬送車噴出空氣的空氣噴出裝置，而用以清掃前述天花板搬送車，該清掃裝置設有形成自外部空間遮蔽之遮蔽空間的區劃體，前述區劃體係構成為使前述天花板搬送車可藉由行走移動而自由進入前述遮蔽空間，前述空氣噴出裝置係在前述遮蔽空間，對行走停止狀態的前述天花板搬送車進行清掃作動，前述清掃裝置設有維護用升降裝置，該維護用升降裝置具備有供在前述行走軌道上行走的前述天花板搬送車自由進入的殼體，且在前述殼體內具備有使前述天花板搬送車朝地板側脫離的升降機構，前述遮蔽空間藉由作為前述區劃體的前述殼體所形成，前述空氣噴出裝置被設在前述殼體內。
  2. 如申請專利範圍第1項之清掃裝置，其中，在前述區劃體配備有風扇過濾器單元，該風扇過濾器單元係具備有：吸入前述遮蔽空間內的空氣而排出至前述遮蔽空間外的風扇、及將該排出的空氣淨化的過濾器。
  3. 如申請專利範圍第2項之清掃裝置，其中，在前述區劃體設有：供前述天花板搬送車進入至前述遮蔽空間的進 入口、及供前述天花板搬送車由前述遮蔽空間退出的退出口，且具備有：可將前述進入口自由切換成進行開放的開狀態與進行閉鎖的閉狀態的進入口開閉裝置；可將前述退出口自由切換成進行開放的開狀態與進行閉鎖的閉狀態的退出口開閉裝置；控制前述進入口開閉裝置、前述退出口開閉裝置的開閉作動以及前述空氣噴出裝置的清掃作動的控制裝置；及計測前述遮蔽空間中的塵埃濃度的塵埃濃度計測裝置，前述控制裝置構成為：控制前述進入口開閉裝置及前述退出口開閉裝置的作動，俾於前述天花板搬送車停止於前述遮蔽空間的狀態下將前述進入口開閉裝置及前述退出口開閉裝置形成為前述閉狀態後，控制前述空氣噴出裝置的作動，使前述空氣噴出裝置的清掃作動開始，並且前述控制裝置在使前述空氣噴出裝置的清掃作動開始之後，根據前述塵埃濃度計測裝置的計測資訊，判別出前述遮蔽空間中的塵埃濃度降低至設定塵埃濃度時，控制前述空氣噴出裝置的作動，使前述空氣噴出裝置的清掃作動結束。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之清掃裝置，其中，前述空氣噴出裝置構成為具有複數個噴出空氣的管嘴，且該等管嘴呈可自由變更噴出對象處的狀態。
TW102107622A 2012-03-06 2013-03-05 清掃裝置 TWI610868B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012049502A JP5720954B2 (ja) 2012-03-06 2012-03-06 天井搬送車の清掃装置
JP2012-049502 2012-03-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201400387A TW201400387A (zh) 2014-01-01
TWI610868B true TWI610868B (zh) 2018-01-11

Family

ID=49116606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102107622A TWI610868B (zh) 2012-03-06 2013-03-05 清掃裝置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9687889B2 (zh)
JP (1) JP5720954B2 (zh)
KR (1) KR102025209B1 (zh)
CN (1) CN104159838B (zh)
SG (1) SG11201405516VA (zh)
TW (1) TWI610868B (zh)
WO (1) WO2013133124A1 (zh)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101866201B1 (ko) * 2011-04-12 2018-06-12 삼성전자주식회사 세정 장치
US9574399B2 (en) * 2014-07-16 2017-02-21 Abatement Technologies, Inc. Maintenance cart with air filtration
KR101646932B1 (ko) * 2014-11-19 2016-08-09 주식회사 태진 오버헤드 트롤리 콘베어 세척시스템
JP6358142B2 (ja) * 2015-03-26 2018-07-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6304122B2 (ja) * 2015-05-13 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6414525B2 (ja) * 2015-09-02 2018-10-31 株式会社ダイフク 保管設備
JP6728735B2 (ja) * 2016-02-08 2020-07-22 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20190057053A (ko) * 2016-09-21 2019-05-27 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 공기 전달 장치의 위치를 동력을 이용하여 조정 가능한 에어 블로우 오프 시스템
CN109843751B (zh) * 2016-10-18 2021-06-08 村田机械株式会社 高架输送车以及输送系统
KR101890160B1 (ko) * 2016-11-23 2018-08-21 주식회사 에스에프에이 반송대차 메인트 리프터
KR101866775B1 (ko) * 2016-12-07 2018-06-19 주식회사 에스에프에이 반송대차 이송 시스템
CN107062488A (zh) * 2017-05-19 2017-08-18 肇庆市智高电机有限公司 一种室内客厅空气进化一体化设备
KR102283382B1 (ko) * 2017-06-26 2021-07-29 세메스 주식회사 비히클 유지 보수용 승강 장치
KR101990620B1 (ko) * 2017-09-27 2019-06-18 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 운반용 비히클을 위한 세차 리프트
KR102020235B1 (ko) * 2017-10-30 2019-11-04 세메스 주식회사 반도체 이송 장치용 세정 장치
CN107876266B (zh) * 2017-11-23 2019-10-29 中材江苏太阳能新材料有限公司 一种用于智能管廊喷涂及净化空气的监测设备
CN108746073B (zh) * 2018-05-31 2020-09-29 重庆荣爵摩托车有限公司 摩托车包装用清洁装置
KR102169581B1 (ko) * 2018-08-07 2020-10-23 세메스 주식회사 비히클 유지 보수용 승강 장치
CN108819916A (zh) * 2018-08-08 2018-11-16 宁波艺造电子科技有限公司 一种可升降调节的汽车清洗装置
KR102190639B1 (ko) * 2018-09-27 2020-12-14 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템
KR102172066B1 (ko) * 2018-12-06 2020-10-30 세메스 주식회사 비히클 유지 보수용 승강 장치
US11819965B2 (en) * 2019-05-17 2023-11-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Device maintenance in semiconductor manufacturing environment
CN114269668B (zh) * 2019-08-29 2023-04-18 村田机械株式会社 行驶车系统
CN111121528B (zh) * 2019-12-25 2021-03-23 河南省森电智能装备有限公司 一种应于变电站变压器散热器的智能清扫装置及清扫方法
JP7400666B2 (ja) * 2020-08-31 2023-12-19 株式会社ダイフク 清掃システム
TWI769514B (zh) * 2020-09-01 2022-07-01 家登精密工業股份有限公司 光罩盒潔淨設備
CN114435306B (zh) * 2020-10-19 2023-06-27 中铁第四勘察设计院集团有限公司 一种用于城轨车车辆的智能吹扫机器人系统
TWI751919B (zh) * 2021-02-26 2022-01-01 印能科技股份有限公司 接觸式電軌高架搬運車（ｏｈｔ）集塵系統
WO2023047454A1 (ja) * 2021-09-21 2023-03-30 株式会社Fuji 配送システム、配送方法及び自動移動装置
KR102654726B1 (ko) * 2021-12-02 2024-04-04 세메스 주식회사 이송 차량 세정 장치 및 이를 포함하는 물품 이송 설비
CN117894725B (zh) * 2024-03-15 2024-05-14 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 自动化物料传输系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS584747Y2 (ja) * 1978-09-12 1983-01-27 日本国有鉄道 鉄道車両用台車の清掃装置
US5303482A (en) * 1991-01-29 1994-04-19 Shinko Electric Co., Ltd. Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof
US5522412A (en) * 1993-08-11 1996-06-04 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Vacuum treatment apparatus and a cleaning method therefor
US6089811A (en) * 1998-12-25 2000-07-18 Fujitsu Limited Production line workflow and parts transport arrangement
TW200528202A (en) * 2002-11-25 2005-09-01 Kawajyu Plant Kabushiki Kaisha Sheet material washing equipment
JP2008214084A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム、搬送車装置、並びに自動清掃装置及び方法
TW200902169A (en) * 2007-03-07 2009-01-16 Gas Turbine Efficiency Sweden Transportable integrated wash unit

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS584655B2 (ja) * 1977-03-30 1983-01-27 日本化機工業株式会社 気吹装置
JPS6223492A (ja) * 1985-07-19 1987-01-31 松下精工株式会社 エアシヤワ−室制御装置
JPS6226318A (ja) 1985-07-27 1987-02-04 Sanden Corp 気化器式デイ−ゼルエンジン
JPH0169601U (zh) 1987-10-24 1989-05-09
JP2538315B2 (ja) 1988-07-06 1996-09-25 株式会社ダイフク 移動体清掃設備
JPH0310139U (zh) * 1989-06-14 1991-01-30
US5363867A (en) 1992-01-21 1994-11-15 Shinko Electric Co., Ltd. Article storage house in a clean room
DE4210960C2 (de) 1992-04-02 1994-03-31 Ibm Reinrauminsel und Verfahren zur reinraumgerechten Handhabung von in Behältern gelagerten Gegenständen
JPH072063A (ja) * 1993-05-28 1995-01-06 Sintokogio Ltd 軌動車輌台車ユニットの清掃装置
JPH0885695A (ja) 1994-09-19 1996-04-02 Toyota Autom Loom Works Ltd レールの連結構造及びレール連結用ピン
TW463207B (en) 1999-03-17 2001-11-11 Fujitsu Ltd Double-sealed work conveying and transferring apparatus and container inspecting method
US6832680B1 (en) 2001-09-03 2004-12-21 Hirata Corporation Work conveying system and traveling path sealing structure in the work conveying system
JP4253150B2 (ja) * 2001-11-26 2009-04-08 シャープ株式会社 搬送システムと搬送方法
US20030173189A1 (en) 2002-03-18 2003-09-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker conveyor particle removing system
DE102004057445A1 (de) 2004-11-24 2006-06-01 Hauni Maschinenbau Ag Vorrichtung zum kontaktlosen Reinigen eines Förderelementes und Anordnung zum Transportieren und/oder Speichern stabförmiger Artikel mit einer Vorrichtung zum kontaktlosen Reinigen eines Förderelementes
CN201351049Y (zh) * 2008-11-28 2009-11-25 陕西彩虹电子玻璃有限公司 玻璃基板输送车自动清洁装置
JP3153574U (ja) 2009-06-29 2009-09-10 フロイント産業株式会社 コンテナ昇降機構及びコンテナ洗浄装置
JP5585236B2 (ja) 2010-06-23 2014-09-10 村田機械株式会社 有軌道台車システム

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS584747Y2 (ja) * 1978-09-12 1983-01-27 日本国有鉄道 鉄道車両用台車の清掃装置
US5303482A (en) * 1991-01-29 1994-04-19 Shinko Electric Co., Ltd. Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof
US5522412A (en) * 1993-08-11 1996-06-04 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Vacuum treatment apparatus and a cleaning method therefor
US6089811A (en) * 1998-12-25 2000-07-18 Fujitsu Limited Production line workflow and parts transport arrangement
TW200528202A (en) * 2002-11-25 2005-09-01 Kawajyu Plant Kabushiki Kaisha Sheet material washing equipment
JP2008214084A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム、搬送車装置、並びに自動清掃装置及び方法
TW200902169A (en) * 2007-03-07 2009-01-16 Gas Turbine Efficiency Sweden Transportable integrated wash unit

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140138126A (ko) 2014-12-03
US20150020343A1 (en) 2015-01-22
US9687889B2 (en) 2017-06-27
CN104159838B (zh) 2016-01-13
SG11201405516VA (en) 2014-11-27
WO2013133124A1 (ja) 2013-09-12
TW201400387A (zh) 2014-01-01
JP2013184762A (ja) 2013-09-19
CN104159838A (zh) 2014-11-19
JP5720954B2 (ja) 2015-05-20
KR102025209B1 (ko) 2019-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI610868B (zh) 清掃裝置
TWI503265B (zh) 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法
TWI381982B (zh) 基板處理方法
JP4953010B2 (ja) 基板収納用の収納容器
TWI282139B (en) Carrying vehicle, manufacturing apparatus, and carrying system
TWI511912B (zh) 物品搬送裝置
JP2008064403A (ja) エアシャワー装置
KR101592390B1 (ko) 하역차량용 건식 세륜기
JP2015107880A (ja) 天井搬送車の清掃装置
TWI406804B (zh) Plate-type goods with a van
US20230178402A1 (en) Transport vehicle cleaning device and article transport equipment including the same
TW202210395A (zh) 清掃系統
JP3861534B2 (ja) クリーンルーム用無人搬送車
JP2003146429A (ja) キャリア受け渡し方法及びキャリア受け渡し装置
JP2003158164A (ja) キャリア受け渡し方法及びクリーンルームのキャリア搬入搬出部
JP4829553B2 (ja) 無人搬送車
JPH03158302A (ja) 塵芥処理システム
JPH0717379U (ja) 清浄装置
JPS60165446A (ja) クリ−ンル−ム用搬送設備