JPH0717379U - 清浄装置 - Google Patents

清浄装置

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JPH0717379U
JPH0717379U JP4907093U JP4907093U JPH0717379U JP H0717379 U JPH0717379 U JP H0717379U JP 4907093 U JP4907093 U JP 4907093U JP 4907093 U JP4907093 U JP 4907093U JP H0717379 U JPH0717379 U JP H0717379U
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cleaned
cleaning
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Application number
JP4907093U
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Inventor
寛人 藤田
Original Assignee
株式会社エムアンドピー
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 グレーチング板のような被洗浄物を効率よく
洗浄できる。 【構成】 移動用車輪2を有する台枠3に設けた洗浄箱
体1に被洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5とを前後面
に相対向して形成する。洗浄箱体1内には被洗浄物6を
送出す駆動コンベア7と洗浄箱体1内に支持された被洗
浄物6の上下面に空気を吹付ける多数の空気ノズル8,
9とを設ける。洗浄箱体1内に空気を吹き込む給気ファ
ン10と洗浄箱体1内の空気を排気するブロワー11とを設
ける。ブロワー11の排気側にフィルタ12を設ける。被洗
浄物受入口4と被洗浄物受出口5とにそれぞれ開閉自在
のシャッタ14,15を設ける。台枠3の前後に連結した台
車16,17に搬入または搬出する駆動コンベア19,20を設
ける。 【効果】 被洗浄物6を洗浄箱体1内にて空気を吹付け
て洗浄できる。クリーンルーム内にても洗浄ができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、例えばクリーンルームのグレーチング板などの多孔板、またはクリ ーンルームに搬入される部品などを洗浄する清浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、クリーンルームのグレーチング板の洗浄は、床面から外した被洗浄板を クリーンルームの外方に運び出し、この被洗浄板に吸込みノズルまたは吹き付け ノズルを当てて被洗浄板に付着した塵埃を吸引または吹き飛ばして除去する方法 が採られていた。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
上記従来の被洗浄板にノズルを当て被洗浄板に付着した塵埃を除去する方法で はクリーンルーム内での作業ができず、作業性が悪く、能率が低い問題があった 。
【0004】 本考案は上記問題点に鑑みなされたもので、被洗浄箱体内に送込まれた被洗浄 物に空気を吹付けて洗浄でき、被洗浄物を効率よく洗浄できる清浄装置を提供す るものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の考案の清浄装置は、移動用車輪を有する台枠に設けられ被洗浄 物受入口と被洗浄物受出口とを前後面に相対向して形成した洗浄箱体と、この洗 浄箱体内において前記被洗浄物受入口と被洗浄物受出口との間に被洗浄物を送込 むとともにこの被洗浄物を送出す駆動コンベアと、前記洗浄箱体内の前記被洗浄 物受入口と被洗浄物受出口との間において支持された被洗浄物の上下面に空気を 吹付ける多数の空気ノズルと、前記洗浄箱体の一側面に設けられこの洗浄箱体内 に空気を吹き込む給気ファンと、前記洗浄箱体の給気ファンを設けた一側面と対 向する他側面に設けられこの洗浄箱体内の空気を排気するブロワーと、このブロ ワーの排気側に設けられたフィルタと、前記洗浄箱体の被洗浄物受入口と被洗浄 物受出口とにそれぞれ設けられこの被洗浄物受入口と被洗浄物受出口とを閉塞す る開閉自在のシャッタとを具備したものである。
【0006】 請求項2記載の考案の清浄装置は、請求項1記載の清浄装置において、台枠の 前後にそれぞれ連結された台車と、この一方の台車に設けられ前記洗浄箱体の被 洗浄物受入口に被洗浄物を搬入する駆動コンベアと、他方の台車に設けられ前記 被洗浄物受出口から導出される被洗浄物を搬出する駆動コンベアとを具備したも のである。
【0007】
【作用】
請求項1記載の考案の清浄装置は、台枠を移動用車輪にて移動させて洗浄位置 に運び、洗浄箱体の被洗浄物受入口のシャッタを開き、被洗浄物受入口から被洗 浄物を洗浄箱体内に送込むと、被洗浄物は駆動コンベアの駆動で被洗浄物受入口 と被洗浄物受出口との間に送込み支持される。そして、被洗浄物受入口と被洗浄 物受出口とのシャッタを閉じて洗浄箱体内に支持された被洗浄物の上下面に多数 の空気ノズルから空気を吹付け、被洗浄物に付着した塵埃を遊離させる。この被 洗浄物から遊離された塵埃は洗浄箱体の一側面に設けられた給気ファンによって 給気される空気流と他側面に設けられたブロワーの排気によって生じる空気流に よってブロワーの排気側に設けられたフィルタに送込まれ、塵埃はフィルタによ って捕捉され、濾過された空気が洗浄箱体から排出される。洗浄された被洗浄物 は、被洗浄物受入口と被洗浄物受出口とのシャッタを開き、駆動コンベアの駆動 で洗浄した被洗浄物を被洗浄物受出口から送出すとともに被洗浄物受入口から次 の被洗浄物を洗浄箱体内に送込み、この洗浄作動を反復して順次被洗浄物を洗浄 できる。
【0008】 請求項2記載の考案の清浄装置は、台枠の前後にそれぞれ連結された台車の駆 動コンベアを駆動することにより、洗浄箱体の被洗浄物受入口側の一方の台車の 駆動コンベアに載置された被洗浄物は洗浄箱体内に搬入され、他方の台車に設け られた駆動コンベアにて被洗浄物受出口から導出される被洗浄物を搬出できる。
【0009】
【実施例】
次に本考案の一実施例の構成を図面について説明する。
【0010】 1は洗浄箱体で、この洗浄箱体1は移動用車輪2を有する台枠3に設けられて いる。この洗浄箱体1には前面に被洗浄物受入口4が開口され、後面には被洗浄 物受出口5が前記前面の被洗浄物受入口4と相対向して形成されている。
【0011】 また、前記洗浄箱体1内には、前記被洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5との 間に位置して被洗浄物6を送込むとともにこの被洗浄物6を送出す搬送速度調整 可能な電動機で駆動される複数の駆動コンベア7が設けられている。
【0012】 さらに、前記洗浄箱体1内の前記被洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5との間 において、前記駆動コンベア7上に支持された被洗浄物6の上下面に空気を吹付 ける多数の空気ノズル8,9が前記駆動コンベア7上に支持された被洗浄物6に 向けて設けられている。この空気ノズル8,9は電磁弁を介してコンプレッサに 接続されている。
【0013】 前記洗浄箱体1の前面と直交する一側面にこの洗浄箱体1内に開口から空気を 吹き込む給気ファン10が設けられ、この給気ファン10を設けた一側面と対向する 他側面にこの洗浄箱体1内の空気を開口から排気するブロワー11が設けられてい る。
【0014】 また、前記ブロワー11の排気側に高密度高効率のフィルタ12を装着したフィル タケース13が設けられている。
【0015】 さらに、前記洗浄箱体1の被洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5とにはそれぞ れこの被洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5とを閉塞する開閉自在の電動機で駆 動されるシャッタ14,15が設けられている。
【0016】 さらに、前記台枠3の前後にはそれぞれ台車16,17が着脱自在の連結器18にて 連結され、この一方の台車16には前記洗浄箱体1の被洗浄物受入口4に被洗浄物 6を搬入する電動機で駆動される複数の駆動コンベア19が設けられ、他方の台車 17には前記被洗浄物受出口5から導出される被洗浄物6を搬出する電動機で駆動 される複数の駆動コンベア20が設けられている。そして、他方の台車17には前記 複数の駆動コンベア20にて搬出される被洗浄物6を停止させるストッパ21が出没 自在に設けられている。
【0017】 さらに、前記一方の台車16には駆動コンベア19によって搬入される被洗浄物6 を検出されるセンサ23が設けられている。このセンサ23の検出動作で前記被洗浄 物受入口4のシャッタ14を開放するとともに洗浄箱体1内の駆動コンベア7を作 動させかつ空気ノズル8,9に空気を供給する信号を出力する。
【0018】 また、前記洗浄箱体1内に被洗浄物6を検出するセンサ24が設けられている。 このセンサ24は被洗浄物6を検出してから所定時間後に被洗浄物受入口4のシャ ッタ14を閉じ被洗浄物受出口5のシャッタ15を開くとともに他方の台車17の駆動 コンベア20を駆動する信号を出力する。
【0019】 さらに、他方の台車17には被洗浄物6を検出するセンサ25が設けられ、このセ ンサ25は前記被洗浄物受出口5のシャッタ15を閉じるとともに洗浄箱体1内の駆 動コンベア7を停止させる信号を出力する。
【0020】 また、前記台車16,17には駆動コンベア19,20を覆うカバー26,27が設けられ 、一方の台車16の台車カバー26の被洗浄物6を搬入する受入部と、他方の台車17 の台車カバー27の被洗浄物6を搬出する受出部にはそれぞれ密閉を保持するシャ ッタ30,31が開閉自在に設けられている。
【0021】 次に、この実施例の作用を説明する。
【0022】 台車16,17を連結した台枠3を移動用車輪2にて移動させて洗浄箱体1をクリ ーンルームなどの洗浄場所に運び、シャッタ30を開いて駆動コンベア19に被洗浄 物6を載置し、駆動コンベア19を駆動すると、被洗浄物6の移動でセンサ23が被 洗浄物6を検知し、洗浄箱体1の被洗浄物受入口4のシャッタ14を開き、駆動コ ンベア7が駆動される。被洗浄物6は駆動コンベア19にて被洗浄物受入口4に搬 送され、被洗浄物6は被洗浄物受入口4から洗浄箱体1内に送込り込まれる。
【0023】 そして、洗浄箱体1内に送込りまれた被洗浄物6は駆動コンベア7の駆動で被 洗浄物受入口4と被洗浄物受出口5との間に位置したとき、センサ24が被洗浄物 6を検出し、所定時間経過後に、被洗浄物受入口4のシャッタ14を閉じ、被洗浄 物受出口5のシャッタ15を開き、所定時間後に洗浄箱体1内に支持された被洗浄 物6の上下面に多数の空気ノズル8,9から空気を吹付け、また、台車17の駆動 コンベア20を駆動する。この空気ノズル8,9からの空気流で被洗浄物6に付着 した塵埃は遊離される。この被洗浄物6から遊離された塵埃は洗浄箱体1の一側 面に設けられた給気ファン10によって給気される空気流と他側面に設けられたブ ロワー11の排気によって生じる空気流によってブロワー11の排気側に設けられた フィルタ12に送込まれ、塵埃はフィルタ12によって捕捉され、濾過された空気が 洗浄箱体1から排出される。
【0024】 また、洗浄された被洗浄物6は、駆動コンベア7の駆動で洗浄した被洗浄物6 を被洗浄物受出口5から送出す。
【0025】 そして、駆動コンベア7にて被洗浄物受出口5から導出される被洗浄物6は台 枠3の後部に連結された台車17の駆動コンベア20により搬出され、この台車17上 に設けられたカバー27のシャッタ31を開いてストッパ21にて所定位置に保持され る。
【0026】 また、被洗浄物6の汚損度に応じて駆動コンベア7の搬送速度を調整するとと もに空気ノズル8,9からの吹出し量を調整する。
【0027】 なお、この清浄装置を搬送するときは、必要に応じて台車16,17を分離し、搬 送を容易にする。
【0028】 また、前記空気ノズル8,9は順次に空気を吹出すようにし、空気の吹付け量 を節減できるようにすることもできる。
【0029】 さらに、部品などの洗浄に際しては、部品を多孔パレットに載置して洗浄する 。
【0030】
【考案の効果】
本考案によれば、例えばクリーンルームのグレーチング板などの多孔板または 、クリーンルームに搬入される部品などを被洗浄箱体内に送込り込み、この被洗 浄物に空気を吹付けて洗浄でき、クリーンルーム内でも洗浄できる。被洗浄物か ら遊離した塵埃を吸込みファンとブロワーによって生じる空気流でフィルタに送 込み、塵埃を捕捉して濾過した空気を洗浄箱体から排出できる。効率よく洗浄で き、適宜の位置に台枠の車輪で洗浄箱体を搬送でき、作業性を向上できる。
【0031】 また、台枠の前後にそれぞれ連結された台車に駆動コンベアを設けたため、台 車の駆動コンベアにて被洗浄物の搬入、搬出が容易にでき、また、装置の移送は 台車を台枠から外すことにより、小形で軽量搬送が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す清浄装置の説明側面図
である。
【図2】同上清浄装置の説明平面図である。
【図3】同上清浄装置の洗浄箱体部の説明正面図であ
る。
【符号の説明】
1 洗浄箱体 2 移動用車輪 3 台枠 4 被洗浄物受入口 5 被洗浄物受出口 6 被洗浄物 7 駆動コンベア 8,9 空気ノズル 10 給気ファン 11 ブロワー 12 フィルタ 14,15 シャッタ 16,17 台車 19,20 駆動コンベア

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 移動用車輪を有する台枠に設けられ被洗
    浄物受入口と被洗浄物受出口とを前後面に相対向して形
    成した洗浄箱体と、 この洗浄箱体内において前記被洗浄物受入口と被洗浄物
    受出口との間に被洗浄物を送込むとともにこの被洗浄物
    を送出す駆動コンベアと、 前記洗浄箱体内の前記被洗浄物受入口と被洗浄物受出口
    との間において支持された被洗浄物の上下面に空気を吹
    付ける多数の空気ノズルと、 前記洗浄箱体の一側面に設けられこの洗浄箱体内に空気
    を吹き込む給気ファンと、 前記洗浄箱体の給気ファンを設けた一側面と対向する他
    側面に設けられこの洗浄箱体内の空気を排気するブロワ
    ーと、 このブロワーの排気側に設けられたフィルタと、 前記洗浄箱体の被洗浄物受入口と被洗浄物受出口とにそ
    れぞれ設けられこの被洗浄物受入口と被洗浄物受出口と
    を閉塞する開閉自在のシャッタとを具備したことを特徴
    とした清浄装置。
  2. 【請求項2】 台枠の前後にそれぞれ連結された台車
    と、この一方の台車に設けられ前記洗浄箱体の被洗浄物
    受入口に被洗浄物を搬入する駆動コンベアと、他方の台
    車に設けられ前記被洗浄物受出口から導出される被洗浄
    物を搬出する駆動コンベアとを具備したことを特徴とし
    た請求項1記載の清浄装置。
JP4907093U 1993-09-09 1993-09-09 清浄装置 Pending JPH0717379U (ja)

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JP4907093U JPH0717379U (ja) 1993-09-09 1993-09-09 清浄装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100831293B1 (ko) * 2000-02-24 2008-05-22 엘지디스플레이 주식회사 드라이 세정기 인라인 반송 시스템

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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