JPH091089A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 板状の被洗浄物Ａの洗浄を効率的に行なう。 【構成】 車輪３を有する台車2a，2bを備える。台車2
a，2b上に、被洗浄物Ａを立位姿勢で搬送するコンベヤ5
a，5bを設けるとともに、被洗浄物Ａが通過可能とする
洗浄室カバー12を設ける。洗浄室カバー12内の搬送方向
の両側に、被洗浄物Ａに洗浄液を吹き付ける複数の洗浄
液ノズル20を設ける。複数の洗浄液ノズル20に洗浄液を
送る洗浄液供給部を設ける。洗浄室カバー12の下方に、
洗浄液ノズル20から被洗浄物Ａに吹き付けた洗浄液を回
収する洗浄液回収タンク23a を設ける。 【効果】 台車2a，2bによって洗浄場所に移動し、洗浄
室カバー12内で複数の洗浄液ノズル20から洗浄液を被洗
浄物Ａに吹き付け、被洗浄物Ａの洗浄を効率的に行なえ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばクリーンルーム
で使用されるグレーチング板などの板状の被洗浄物を洗
浄する洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、板状の被洗浄物としては、クリー
ンルームで使用されるグレーチング板などがある。この
グレーチング板の洗浄を行なうには、床面から外したグ
レーチング板をクリーンルームの外に運び出し、このグ
レーチング板に吸込ノズルまたは吹付ノズルを当ててグ
レーチング板に付着した塵埃を吸引または吹き飛ばして
除去する洗浄方法が採られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、クリーンルームで使用されるグレーチング
板では、グレーチング板をクリーンルームの外に運び出
して洗浄する必要があり、クリーンルーム内での洗浄が
できず、グレーチング板の洗浄作業を効率的に行なえな
い問題がある。

【０００４】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、板状の被洗浄物の洗浄を効率的に行なえる洗浄装
置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の洗浄装置
は、板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、移動
用の車輪を有する台車と、この台車上に設けられ、前記
被洗浄物を立位姿勢でかつ搬送方向に板縁を向けた姿勢
で通過可能とする洗浄室入口および洗浄室出口を有する
洗浄室カバーと、前記洗浄室入口から洗浄室カバー内に
前記姿勢の被洗浄物を搬入するとともに洗浄室出口から
搬出するコンベヤと、前記洗浄室カバー内の搬送方向の
両側に設けられ、前記被洗浄物に洗浄液を吹き付ける複
数の洗浄液ノズルと、この複数の洗浄液ノズルに洗浄液
を送る洗浄液供給部と、前記洗浄室カバーの下方に設け
られ、洗浄液ノズルから被洗浄物に吹き付けられた洗浄
液を回収する洗浄液回収タンクとを備えたものである。

【０００６】請求項２記載の洗浄装置は、板状の被洗浄
物を洗浄する洗浄装置において、移動用の車輪を有する
台車と、この台車上に設けられ、前記被洗浄物を立位姿
勢でかつ搬送方向に板縁を向けた姿勢で搬送するコンベ
ヤと、前記台車上に設けられ、前記コンベヤで搬送され
る被洗浄物が通過する洗浄室入口および洗浄室出口を有
する洗浄室カバーと、この洗浄室カバー内の搬送方向の
両側に設けられ、前記被洗浄物に洗浄液を吹き付ける複
数の洗浄液ノズルと、この複数の洗浄液ノズルに洗浄液
を送る洗浄液供給部と、前記洗浄室カバーの下方に設け
られ、洗浄液ノズルから被洗浄物に吹き付けられた洗浄
液を回収する洗浄液回収タンクと、前記台車上に設けら
れ、前記洗浄室カバー内を通過した被洗浄物が通過する
乾燥室入口および乾燥室出口を有する乾燥室カバーと、
この乾燥室カバー内の搬送方向の両側に設けられ、前記
被洗浄物にエアを吹き付ける複数のエアノズルとを具備
しているものである。

【０００７】請求項３記載の洗浄装置は、請求項２記載
の洗浄装置において、台車は、洗浄室カバーを配設する
第１の台車と、乾燥室カバーを配設する第２の台車を具
備しているものである。

【０００８】請求項４記載の洗浄装置は、請求項２また
は３記載の洗浄装置において、エアノズルのエア吹付方
向を可変するエアノズル駆動手段を具備しているもので
ある。

【０００９】請求項５記載の洗浄装置は、請求項１ない
し４いずれか記載の洗浄装置において、洗浄液供給部
は、移動用の車輪を有する供給部側台車と、この供給部
側台車上に設けられ洗浄液を溜める洗浄液タンクと、こ
の洗浄液タンク内の洗浄液を洗浄液ノズルへ送るポンプ
とを具備しているものである。

【００１０】

【作用】請求項１記載の洗浄装置では、車輪を有する台
車によって洗浄場所に移動可能とされる。板状の被洗浄
物の洗浄時には、コンベヤにより被洗浄物を立位姿勢で
かつ搬送方向に板縁を向けた姿勢で洗浄室入口から洗浄
室カバー内に搬入される。洗浄室カバー内では、洗浄液
供給部から供給される洗浄液が複数の洗浄液ノズルから
被洗浄物に吹き付けられ、被洗浄物に付着している塵埃
などが遊離される。被洗浄物に吹き付けられた洗浄液お
よび遊離された塵埃などは洗浄液回収タンクに回収され
る。洗浄室カバー内で洗浄された被洗浄物は洗浄室出口
から搬出される。

【００１１】請求項２記載の洗浄装置では、車輪を有す
る台車によって洗浄場所に移動可能とされる。板状の被
洗浄物の洗浄時には、コンベヤにより被洗浄物を立位姿
勢でかつ搬送方向に板縁を向けた姿勢で洗浄室入口から
洗浄室カバー内に搬入される。洗浄室カバー内では、洗
浄液供給部から供給される洗浄液が複数の洗浄液ノズル
から被洗浄物に吹き付けられ、被洗浄物に付着している
塵埃などが遊離される。被洗浄物に吹き付けられた洗浄
液および遊離された塵埃などは洗浄液回収タンクに回収
される。洗浄室カバー内で洗浄された被洗浄物は、洗浄
室出口から搬出されるとともに、乾燥室入口から乾燥室
カバー内に搬入される。乾燥室カバー内では、複数のエ
アノズルからエアが被洗浄物に吹き付けられ、被洗浄物
に付着している洗浄液が吹き飛ばされて遊離される。乾
燥室カバー内で乾燥された洗浄物は乾燥室出口から搬出
される。

【００１２】請求項３記載の洗浄装置では、請求項２記
載の洗浄装置の作用に加えて、台車の移動時には、洗浄
室カバーを配設する第１の台車と乾燥室カバーを配設す
る第２の台車とを分離して移動させられる。

【００１３】請求項４記載の洗浄装置では、請求項２ま
たは３記載の洗浄装置の作用に加えて、エアノズル駆動
手段によってエアノズルによるエア吹付方向が可変さ
れ、被洗浄物の広い範囲にエアが吹き付けられる。

【００１４】請求項５記載の洗浄装置では、請求項１な
いし４いずれか記載の洗浄装置の作用に加えて、洗浄液
供給部も車輪を有する供給部側台車によって洗浄場所に
移動可能とされる。台車上の洗浄液タンクに洗浄液が溜
められ、この洗浄液がポンプによって洗浄液ノズルへ送
られる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の洗浄装置の一実施例の構成を
図面を参照して説明する。

【００１６】図１ないし図３には洗浄装置本体１を示
し、例えばクリーンルームで使用されるグレーチング板
などの板状の被洗浄物Ａの洗浄を行なう。

【００１７】洗浄装置本体１は、図２の左側を前面側と
するとともに右面側を後側とし、その前後に第１および
第２の台車2a，2bを有し、各台車2a，2bの下面に取り付
けられた複数の車輪３によって移動可能になっている。
一対の台車2a，2bは両側の接続金具４で分離可能に連結
されている。

【００１８】各台車2a，2bの上面には前後に２分割され
たコンベヤ5a，5bがそれぞれ取り付けられており、コン
ベヤ5aの前端およびコンベヤ5bの後端は台車2aの前方お
よび台車2bの後方にそれぞれ突出して、それらの先端が
アーム６で支持されている。

【００１９】コンベヤ5a，5bは、両側にコンベヤフレー
ム７を有し、この両コンベヤフレーム７間に沿って複数
のローラ８，９が架設され、これらローラ８，９の上面
で被搬送物Ａの搬送面10が形成されている。ローラ８
は、ローラ９より大径で、モータを内蔵していて回転駆
動され、搬送面10上の被洗浄物Ａを搬送方向（前方から
後方であり、図１および図２に矢印で示す）に搬送す
る。ローラ９は、ローラ８より小径で、回転自在になっ
ている。

【００２０】第１の台車2a上には、洗浄室11を形成する
箱状の洗浄室カバー12が取り付けられている。この洗浄
室カバー12の前面および後面には、２枚の被洗浄物Ａを
立位姿勢でかつ搬送方向に板縁を向けた姿勢で通過可能
とする洗浄室入口13および洗浄室出口14が形成され、こ
れら洗浄室入口13および洗浄室出口14には洗浄液が散出
するのを防止するゴム板からなる防液カバー13a ，14a
がそれぞれ取り付けられている。防液カバー13a ，14a
には被洗浄物Ａが通過可能とするスリットが形成されて
いる。洗浄室カバー12の天板の内面には、洗浄室カバー
12内を両側の空間に仕切る仕切板15が搬送方向に沿って
取り付けられている。

【００２１】洗浄室カバー12の洗浄室入口13の手前に
は、縦に３本のローラブラシ16がそれぞれ回転自在に配
設されている。

【００２２】洗浄室カバー12内には、洗浄液ノズルユニ
ット17が配設されている。この洗浄液ノズルユニット17
は、両コンベヤフレーム７に両端を閉止したＵ形配管18
が取り付けられるとともに、両Ｕ形配管18の上端間が接
続配管19で接続されており、各Ｕ形配管18の対向する内
側に洗浄液を噴出する複数の洗浄液ノズル20が取り付け
られている。接続配管19の一端は洗浄室カバー12の外側
に突出され、その先端にバルブ21を介して耐圧性を有す
るゴムホース22の一端が接続されている。

【００２３】第１の台車2a内には、洗浄液ノズル20から
被洗浄物Ａに吹き付けられた洗浄液を受け入れて回収す
る洗浄液回収タンク23a が配設されている。

【００２４】また、第２の台車2b上には、乾燥室31を形
成する箱状の乾燥室カバー32が取り付けられている。こ
の乾燥室カバー32の前面および後面には、２枚の被洗浄
物Ａを立位姿勢でかつ搬送方向に板縁を向けた姿勢で通
過可能とする乾燥室入口33および乾燥室出口34が形成さ
れている。乾燥室カバー32の上部には排気ダクト部35が
形成され、この排気ダクト部35の内側に排気ファン36が
取り付けられているとともに、排気ダクト部35の端面に
フィルタ36a が取り付けられている。なお、乾燥室入口
33および乾燥室出口34には、被洗浄物Ａが通過可能とす
るスリットを有するゴム板からなるカバーを取り付けて
もよく、乾燥室入口33の手前にブラシを回転自在に配設
してもよい。

【００２５】乾燥室カバー32内には、エアノズルユニッ
ト37が配設されている。このエアノズルユニット37は、
コンベヤフレーム７の両側に立設された一対の枠体38を
有し、この各枠体38の後面にはエアを噴出する複数のエ
アノズル39が回動可能に取り付けられている。図２およ
び図４に示すように、枠体38の下部にはエアノズル駆動
手段としてのモータ40が取り付けられており、そして、
このモータ40の駆動により、枠体38の内部に配設された
連動機構を介して、被洗浄物Ａの搬送域に臨む各エアノ
ズル39が角度θの範囲で上下に揺動（スイング）され
る。枠体38の下部には図示しないエアコンプレッサなど
のエア供給源と接続されるコネクタ41が取り付けられ、
このコネクタ41から各エアノズル39にエアが供給され
る。

【００２６】第２の台車2b内には、被洗浄物Ａからエア
で吹き飛ばされて落下する洗浄液を受け入れて回収する
洗浄液回収タンク23b が配設されている。

【００２７】各コンベヤ5a，5b上には被洗浄物Ａの両側
をガイドするガイドレール41a ，41b がそれぞれ取り付
けられている。なお、ガイドレール41b の前端は、両台
車2a，2bの合体時に洗浄室カバー12内に進入してコンベ
ヤ5a上に取り付けられるようになっている。

【００２８】なお、コンベヤ5bの後端部には、図示しな
いが、回転自在のローラを備えた短いコンベヤが連結さ
れる。

【００２９】図５ないし図７には、洗浄装置本体１に洗
浄液を送る洗浄液供給部51を示す。この洗浄液供給部51
は、供給部側台車52を有し、この供給部側台車52の下面
に取り付けられた移動用の車輪53によって移動可能にな
っている。

【００３０】供給部側台車52の上部には、洗浄液を溜め
る洗浄液タンク54が取り付けられている。この洗浄液タ
ンク54の上面には蓋体55がヒンジ56を介して開閉可能に
取り付けられ、この蓋体55の上面に、開閉用のハンドル
57、蓋体55を洗浄液タンク54に密閉する密閉ハンドル5
8、洗浄液の液面を検知するレベルスイッチ59、予備ノ
ズル60が取り付けられている。

【００３１】供給部側台車52内には、吐出圧力の高い高
液圧用のポンプ61が配設されている。このポンプ61の吸
込側と洗浄液タンク54の下部とが連結配管62で接続さ
れ、その連結配管62の途中にバルブ63が設けられてい
る。ポンプ61の側部にはポンプ61の吐出側に接続された
吐出配管64が突設され、この吐出配管64にバルブ65が接
続され、このバルブ65にゴムホース22の他端が接続され
ている。

【００３２】次に、本実施例の作用を説明する。

【００３３】洗浄装置は、洗浄装置本体１および洗浄液
供給部51とも車輪３，53を備えているため、洗浄場所に
自由に移動させることができる。しかも、洗浄装置本体
１は第１の台車2aと第２の台車2bに分離できるため、移
動時に小型にできる。

【００３４】例えばクリーンルームで使用されるグレー
チング板などの被洗浄物Ａの洗浄を行なう場合には、ク
リーンルーム内に洗浄装置本体１および洗浄液供給部51
を搬入し、洗浄液供給部51の洗浄液タンク54には純水な
どの洗浄液を入れる。

【００３５】そして、図１および図３に示すように、２
枚の被洗浄物Ａを保持する略コ字形のホルダ71に立位姿
勢に装着し、コンベヤ5a上の両側のガイドレール41a 間
に配置する。

【００３６】図示しない操作部の洗浄スタートボタンを
操作することにより、モータを内蔵したローラ８が回転
駆動され、被洗浄物Ａが洗浄室カバー12の洗浄室入口13
（防液カバー13a ）へ向けて搬送される。搬送される各
被洗浄物Ａは、隣接するローラブラシ16の間を通過し、
防液カバー13a を通じて洗浄室11内に進入し、仕切板15
の両側を搬送される。

【００３７】このとき、洗浄液供給部51のポンプ61が駆
動され、洗浄液タンク54内の洗浄液がポンプ61に吸い込
まれるとともに高液圧に高められて吐出される。ポンプ
61から吐出される洗浄液がゴムホース22を通じて洗浄液
ノズルユニット17に送られ、複数の洗浄液ノズル20から
高圧の洗浄液が吹き出す。

【００３８】したがって、洗浄室11内を搬送される被洗
浄物Ａに複数の洗浄液ノズル20から洗浄液が吹き付けら
れ、被洗浄物Ａに付着していた塵埃などが遊離され、洗
浄される。被洗浄物Ａに吹き付けられた洗浄液および遊
離された塵埃は、下方に落下して洗浄液回収タンク23a
内に回収される。

【００３９】また、洗浄室11内で洗浄された被洗浄物Ａ
は、洗浄室カバー12の洗浄室出口14から防液カバー14a
を通じて搬出され、コンベヤ5b上に乗り移り、乾燥室カ
バー32の乾燥室入口33を通じて乾燥室31内に搬送され
る。

【００４０】このとき、排気ファン36が作動されて乾燥
室31内の空気が排気され、また、図示しないエア供給源
から供給される高圧のエアが複数のエアノズル39から吹
き出すとともに、モータ40の駆動によって各エアノズル
39が上下にスイングされる。

【００４１】したがって、乾燥室31内を搬送される被洗
浄物Ａに複数のエアノズル39からエアが吹き付けられ、
被洗浄物Ａに付着していた洗浄液が吹き飛ばされて遊離
され、乾燥される。被洗浄物Ａから遊離された洗浄液
は、下方に落下して洗浄液回収タンク23b に回収され
る。

【００４２】そして、乾燥室31内で乾燥された被洗浄物
Ａは、乾燥室カバー32の乾燥室出口34から搬出される。
その搬出されたコンベヤ5b上の２枚の被洗浄物Ａを取り
出す。

【００４３】また、洗浄を行なう被洗浄物Ａがコンベヤ
5aで洗浄室11内に搬入されれば、続けて洗浄を行なう被
洗浄物Ａをコンベヤ5a上に配置することができ、被洗浄
物Ａの洗浄を連続して効率的に行なえる。しかも、被洗
浄物Ａを立位姿勢で洗浄することにより、２枚の被洗浄
物Ａを同時に洗浄でき、洗浄を効率的に行なえる。

【００４４】また、被洗浄物Ａを立位姿勢で洗浄するこ
とにより、洗浄装置本体１の両側方向（搬送方向と直交
する方向）の幅を小さくすることができ、小形化でき
る。

【００４５】なお、被洗浄物Ａの汚損度などに応じてコ
ンベヤ5a，5bの搬送速度を調整するとともに、洗浄液ノ
ズル20からの洗浄液の吐出圧力および吐出量を調整す
る。

【００４６】また、洗浄装置本体１を搬送する場合に
は、必要に応じて台車2a，2bを分離することにより、搬
送を容易にできる。

【００４７】

【発明の効果】請求項１記載の洗浄装置によれば、車輪
を有する台車によって洗浄場所に移動させ、洗浄室カバ
ー内で板状の被洗浄物に複数の洗浄液ノズルから洗浄液
を吹き付けて洗浄することができ、被洗浄物の洗浄を効
率的に行なえる。しかも、被洗浄物を立位姿勢で洗浄す
るため、被洗浄物の搬送方向と直交する両側の幅を小さ
くして、小形化できる。

【００４８】請求項２記載の洗浄装置によれば、車輪を
有する台車によって洗浄場所に移動させ、洗浄室カバー
内で板状の被洗浄物に複数の洗浄液ノズルから洗浄液を
吹き付けて洗浄することができるとともに、乾燥室カバ
ー内で被洗浄物に複数のエアノズルからエアを吹き付け
て乾燥させることができ、被洗浄物の洗浄から乾燥まで
を効率的に行なえる。しかも、被洗浄物を立位姿勢で洗
浄および乾燥するため、被洗浄物の搬送方向と直交する
両側の幅を小さくして、小形化できる。

【００４９】請求項３記載の洗浄装置によれば、請求項
２記載の洗浄装置の効果に加えて、台車の移動時に、洗
浄室カバーを配設する第１の台車と乾燥室カバーを配設
する第２の台車とを分離して、容易に移動させることが
できる。

【００５０】請求項４記載の洗浄装置によれば、請求項
２または３記載の洗浄装置の効果に加えて、エアノズル
駆動手段によってエアノズルによるエア吹付方向を可変
し、被洗浄物の広い範囲にエアを吹き付けて、乾燥効率
を向上させることができる。

【００５１】請求項５記載の洗浄装置によれば、請求項
１ないし４いずれか記載の洗浄装置の効果に加えて、洗
浄液を供給する洗浄液供給部も車輪を有する台車によっ
て洗浄場所に移動させることができるとともに、洗浄液
タンクを備えることによって洗浄液の供給が難しい場所
でも洗浄液を供給できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の一実施例を示す洗浄装置本
体の一部を切り欠いた正面図である。

【図２】同上実施例の洗浄装置本体の一部を切り欠いた
平面図である。

【図３】同上実施例の洗浄装置本体の一部を切り欠いた
断面図である。

【図４】同上実施例のエアノズルユニットの側面図であ
る。

【図５】同上実施例の洗浄液供給部の正面図である。

【図６】同上実施例の洗浄液供給部の側面図である。

【図７】同上実施例の洗浄液供給部の平面図である。

【符号の説明】

2a 第１の台車 2b 第２の台車 ３ 車輪 5a，5b コンベヤ 12 洗浄室カバー 13 洗浄室入口 14 洗浄室出口 20 洗浄液ノズル 23a 洗浄液回収タンク 32 乾燥室カバー 33 乾燥室入口 34 乾燥室出口 39 エアノズル 40 エアノズル駆動手段としてのモータ 51 洗浄液供給部 52 供給部側台車 53 車輪 54 洗浄液タンク 61 ポンプ Ａ 被洗浄物

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置にお
   いて、 移動用の車輪を有する台車と、 この台車上に設けられ、前記被洗浄物を立位姿勢でかつ
   搬送方向に板縁を向けた姿勢で通過可能とする洗浄室入
   口および洗浄室出口を有する洗浄室カバーと、 前記洗浄室入口から洗浄室カバー内に前記姿勢の被洗浄
   物を搬入するとともに洗浄室出口から搬出するコンベヤ
   と、 前記洗浄室カバー内の搬送方向の両側に設けられ、前記
   被洗浄物に洗浄液を吹き付ける複数の洗浄液ノズルと、 この複数の洗浄液ノズルに洗浄液を送る洗浄液供給部
   と、 前記洗浄室カバーの下方に設けられ、洗浄液ノズルから
   被洗浄物に吹き付けられた洗浄液を回収する洗浄液回収
   タンクとを具備していることを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 板状の被洗浄物を洗浄する洗浄装置にお
   いて、 移動用の車輪を有する台車と、 この台車上に設けられ、前記被洗浄物を立位姿勢でかつ
   搬送方向に板縁を向けた姿勢で搬送するコンベヤと、 前記台車上に設けられ、前記コンベヤで搬送される被洗
   浄物が通過する洗浄室入口および洗浄室出口を有する洗
   浄室カバーと、 この洗浄室カバー内の搬送方向の両側に設けられ、前記
   被洗浄物に洗浄液を吹き付ける複数の洗浄液ノズルと、 この複数の洗浄液ノズルに洗浄液を送る洗浄液供給部
   と、 前記洗浄室カバーの下方に設けられ、洗浄液ノズルから
   被洗浄物に吹き付けられた洗浄液を回収する洗浄液回収
   タンクと、 前記台車上に設けられ、前記洗浄室カバー内を通過した
   被洗浄物が通過する乾燥室入口および乾燥室出口を有す
   る乾燥室カバーと、 この乾燥室カバー内の搬送方向の両側に設けられ、前記
   被洗浄物にエアを吹き付ける複数のエアノズルとを具備
   していることを特徴とする洗浄装置。
3. 【請求項３】 台車は、洗浄室カバーを配設する第１の
   台車と、乾燥室カバーを配設する第２の台車を具備して
   いることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 エアノズルのエア吹付方向を可変するエ
   アノズル駆動手段を具備していることを特徴とする請求
   項２または３記載の洗浄装置。
5. 【請求項５】 洗浄液供給部は、移動用の車輪を有する
   供給部側台車と、この供給部側台車上に設けられ洗浄液
   を溜める洗浄液タンクと、この洗浄液タンク内の洗浄液
   を洗浄液ノズルへ送るポンプとを具備していることを特
   徴とする請求項１ないし４いずれか記載の洗浄装置。