JP6728735B2 - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
JP6728735B2
JP6728735B2 JP2016022046A JP2016022046A JP6728735B2 JP 6728735 B2 JP6728735 B2 JP 6728735B2 JP 2016022046 A JP2016022046 A JP 2016022046A JP 2016022046 A JP2016022046 A JP 2016022046A JP 6728735 B2 JP6728735 B2 JP 6728735B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power
traveling
unit
cleaning
storage device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016022046A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017140553A (ja
Inventor
龍也 村上
龍也 村上
潤次 柴田
潤次 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP2016022046A priority Critical patent/JP6728735B2/ja
Priority to KR1020170015514A priority patent/KR102606306B1/ko
Priority to TW106103781A priority patent/TWI706902B/zh
Priority to US15/426,114 priority patent/US9902565B2/en
Priority to CN201710069414.3A priority patent/CN107042210B/zh
Publication of JP2017140553A publication Critical patent/JP2017140553A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6728735B2 publication Critical patent/JP6728735B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10Cleaning devices
    • B08B1/20
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L5/00Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles
    • B60L5/005Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles without mechanical contact between the collector and the power supply line
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L5/00Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles
    • B60L5/38Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles for collecting current from conductor rails
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61CLOCOMOTIVES; MOTOR RAILCARS
    • B61C13/00Locomotives or motor railcars characterised by their application to special systems or purposes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61CLOCOMOTIVES; MOTOR RAILCARS
    • B61C3/00Electric locomotives or railcars
    • B61C3/02Electric locomotives or railcars with electric accumulators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00Type of vehicles
    • B60L2200/26Rail vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00Type of vehicles
    • B60L2200/40Working vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Description

本発明は、物品を搬送する物品搬送設備に関する。
例えば各種製品の製造設備等において、材料や中間製品、完成品等を搬送するのに、物品搬送設備が用いられる。一般に、物品搬送設備は、搬送経路に沿って配設された走行レール上を走行する走行部と、当該走行部に連結され、搬送対象箇所との間で物品の移載作業を行う移載ユニットとを含む物品搬送装置を備えている。かかる物品搬送設備が例えばクリーンルーム等で用いられる場合には、物品搬送装置に加え、走行部と、当該走行部に連結されて清掃対象箇所に対して清掃作業を行う清掃ユニットとを含む清掃装置が、物品搬送設備に備えられる場合がある。このような清掃機能を備える物品搬送設備が、例えば特許第5495070号公報(特許文献1)に開示されている。
特許文献1の物品搬送設備では、物品搬送装置〔2〕や清掃装置〔2A〕の走行部〔42F,42R〕に対する駆動電力は、非接触式の給電部〔24,25〕から供給される(特許文献1の段落0087及び0109を参照)。一方、清掃ユニット〔G,41〕に対する駆動電力は、当該清掃ユニットに搭載された蓄電装置から供給されるものとされている(段落0113を参照)。
しかし、清掃ユニットに対する駆動電力を蓄電装置から供給する場合には、清掃ユニットの駆動状態が蓄電装置の蓄電状態に依存する。このため、実際に清掃作業を行うことができる時間には限界があり、蓄電装置の交換等のために清掃作業を中断する必要があった。
特許第5495070号公報
清掃機能を備えた物品搬送設備において、極力絶え間なく清掃作業を行うことを可能とすることが望まれる。
本発明に係る物品搬送設備は、
物品を搬送する物品搬送設備であって、
搬送経路に沿って配設された走行レール上を走行する走行部と、
前記走行部に連結され、前記走行レールを含む清掃対象箇所に対して清掃作業を行う清掃ユニットと、
前記走行レール側に設けられた給電線と、前記走行部側に設けられて前記給電線から電磁誘導によって非接触で受電する受電コイルと、を有し、前記走行部に対する走行駆動電力と前記清掃ユニットに対する清掃駆動電力とを供給する給電部と、
電及び放電可能であり、前記給電部からの電力を受け取って充電可能なように前記給電部に対して電気的に接続されているとともに、放電した電力を前記清掃ユニットに供給可能なように前記清掃ユニットに対しても電気的に接続された蓄電装置と、
前記走行部の駆動状態と前記搬送経路に沿った前記走行部の位置とに応じた電力で前記蓄電装置を充電するとともに、前記給電部からの受電電力が前記走行駆動電力と前記清掃駆動電力との合計電力に対して不足する場合に、前記給電部からの電力供給に加えて前記蓄電装置からも前記清掃ユニットに電力を供給するべく前記蓄電装置を放電させる電力制御部と、を備える。
この構成によれば、給電部から供給される電力によって走行部及び清掃ユニットを駆動して、搬送経路に沿って清掃ユニットを移動させながら、走行レールを含む清掃対象箇所の清掃作業を自動で行うことができる。清掃ユニットの駆動電力が主に給電部から供給されるので、蓄電装置だけから供給される場合とは異なり、持続可能時間の制約を受けることなく清掃作業を行うことができる。
その一方で、給電部の給電能力には限界があるため、給電部からの電力が走行部及び清掃ユニットの両方に供給されると、走行部に対する走行駆動電力と清掃ユニットに対する清掃駆動電力との合計電力に対して、給電部からの電力が不足するような事態も生じ得る。このような場合でも、蓄電装置が放電されて、当該蓄電装置からの放電電力が清掃ユニットに供給されるので、清掃作業を継続させることができる。蓄電装置は、走行部の走行中や停止中に、当該走行部の駆動状態と位置とに応じた電力で充電されるので、蓄電装置には一定量以上の蓄電量が確保されやすい。よって、必要性が生じたときには、適切に放電電力を清掃ユニットに供給することができる。
以上より、極力絶え間なく清掃作業を行うことが可能な物品搬送設備を実現することができる。
以下、本発明の好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。
一態様によれば、
前記走行部を制御する走行制御部を備え、
前記走行制御部は、前記走行部の走行中に前記蓄電装置の蓄電量が予め定められた基準量まで低下した場合に、その時点で前記走行部を停止させ、
前記電力制御部は、前記走行部が停止している状態で、前記走行部が走行している状態で充電する場合の電力以上の電力で前記蓄電装置を充電することが好ましい。
従来、蓄電装置の蓄電量がなくなった場合又は残り少なくなった場合には、清掃ユニットを非駆動状態として保守ステーションまで移動させ、当該保守ステーションで蓄電装置の交換又は充電を行っていた。このため、物品搬送設備における作業者にとって、清掃作業の完了区間と未完了区間とを把握しにくいという問題もあった。
この点、上記の構成によれば、蓄電装置の蓄電量が基準量まで低下した場合にはその時点で走行部を停止させてその場で蓄電装置を充電するので、充電中、清掃ユニットは清掃作業を中断した位置から移動することがない。そして、走行部が停止している状態で、当該走行部が走行している状態での電力以上の電力で蓄電装置を急速に充電することができる。蓄電装置の蓄電量が上昇すれば、蓄電装置からの放電電力によって清掃ユニットを駆動させつつ、給電部からの電力によって走行部を駆動して、清掃作業を再開させることができる。よって、走行部及び清掃ユニットが既に移動した区間と清掃作業の完了区間とを一致又は略一致させることができるので、作業者に、清掃作業の完了区間と未完了区間とを容易に知得させることができる。
一態様によれば、
前記搬送経路が、直線区間とカーブ区間とを含むループ状に形成され、
前記電力制御部は、前記走行部が前記直線区間に位置している状態で、前記走行部が前記カーブ区間に位置している状態で充電する場合の電力以上の電力で前記蓄電装置を充電することが好ましい。
直線区間に走行部が位置している状態では、カーブ区間に比べて給電部での受電効率が高い場合が多い。このため、上記の構成によれば、単位時間当たり、相対的に多くの電荷を蓄電装置に蓄えることができる。よって、搬送経路中の各区間の形状に基づく受電可能電力の大小関係に応じて、蓄電装置を効率的に充電することができる。
一態様によれば、
前記電力制御部は、
前記走行部が前記カーブ区間を走行している状態で、予め設定された第一設定電力で前記蓄電装置を充電し、
前記走行部が前記カーブ区間で停止している状態又は前記走行部が前記直線区間を走行している状態で、前記第一設定電力よりも大きい値に予め設定された第二設定電力で前記蓄電装置を充電し、
前記走行部が前記直線区間で停止している状態で、前記第二設定電力よりも大きい値に予め設定された第三設定電力で前記蓄電装置を充電することが好ましい。
この構成によれば、走行部の駆動状態(走行中/停止中)と搬送経路に沿った走行部の位置(直線区間/カーブ区間)との組み合わせ(4通り)に対して、蓄電装置が、3段階に設定されたいずれかの設定電力で充電される。走行部の駆動状態と搬送経路に沿った走行部の位置との全ての組み合わせに対して個々に充電時の電力が設定されるような構成に比べて、制御の簡素化を図ることができる。走行部が直線区間に位置している状態での充電電力がカーブ区間に位置している状態での充電電力よりも大きく設定され、且つ、走行部の停止状態での充電電力が走行状態での充電電力よりも大きく設定されるので、走行部の駆動状態と位置との組み合わせに応じて蓄電装置を効率的に充電することができる。
一態様によれば、
前記電力制御部は、
前記走行部が前記カーブ区間を走行している状態で、前記蓄電装置を充電させず、
前記走行部が前記カーブ区間で停止している状態又は前記走行部が前記直線区間を走行している状態で、ゼロよりも大きい値に予め設定された第二設定電力で前記蓄電装置を充電し、
前記走行部が前記直線区間で停止している状態で、前記第二設定電力よりも大きい値に予め設定された第三設定電力で前記蓄電装置を充電することが好ましい。
走行部がカーブ区間に位置している状態では、直線区間に位置している状態に比べて給電部での受電効率が低い場合が多く、給電部からの受電電力の多くが走行部及び清掃ユニットを駆動するのに消費されてしまう場合が多い。このような場合にさらに蓄電装置を強制的に充電させると、給電部からの受電電力が、走行駆動電力と清掃駆動電力と充電電力との合計電力(総消費電力)に対して不足してしまう場合が生じ得る。
この点、上記の構成によれば、カーブ区間において走行部が走行している状態では、蓄電装置を充電させない(蓄電装置への充電が禁止される。よって、総消費電力が給電部からの受電電力を超えるような事態を回避しやすく、電力不足による動作不良等のエラーの発生を回避することができる。また、蓄電装置への充電が禁止された状態でも当該蓄電装置からの放電は許容されるので、仮に走行駆動電力と清掃駆動電力との合計電力が給電部からの受電電力を超えるような場合にも、蓄電装置からの放電電力によって清掃作業を継続させることができる。
一態様によれば、
記走行レールは、幅方向に離間して設けられた一対のレール体と、一対の前記レール体のそれぞれから幅方向内向きに延出して前記給電線を支持する一対の支持体と、を含み、
前記走行部又は前記清掃ユニットが、被検知体としての幅方向両側の一対の前記給電線又は一対の前記支持体に対してそれぞれ検知作用する少なくとも計2つの検知部を含み、
前記カーブ区間におけるカーブ内側の前記支持体の長さが、前記直線区間における前記支持体の長さよりも短く設定されており、
前記電力制御部は、全ての前記検知部によって前記被検知体が検知されている場合に前記走行部が前記直線区間に位置していると判定し、いずれかの前記検知部によって前記被検知体が検知されていない場合に前記走行部が前記カーブ区間に位置していると判定することが好ましい。
この構成によれば、カーブ区間における支持体の長さ設定及びそれに伴う給電線の配設位置との関係で、少なくとも2つの検知部による検知結果に基づいて、走行部が直線区間及びカーブ区間のどちらに位置しているかを的確に判定することができる。走行部又は清掃ユニットに設置される検知部を利用してより直接的に走行部の位置を判定するので、例えば物品搬送設備の制御装置で取得可能な搬送制御用の走行区間情報に基づいて位置判定を行う場合に比べて、位置判定精度を高めることができる。よって、蓄電装置の充電効率をさらに高めることができる。
一態様によれば、
前記清掃ユニットに、前記給電部及び前記蓄電装置のそれぞれの電圧、又は、前記蓄電装置の蓄電量を表示する表示部が設けられていることが好ましい。
この構成によれば、物品搬送設備における作業者に、清掃作業中に蓄電装置の蓄電量が低下しつつあることや、蓄電装置の充電中に蓄電量が回復しつつあること等を容易に知得させることができる。
本発明のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
物品搬送設備における搬送経路を示す模式図 物品搬送装置の側面図 物品搬送装置の正面図 搬送経路の分岐点での物品搬送装置の状態を示す平面図 清掃装置の側面図 清掃装置の斜視図 清掃装置の正面図 図7の要部拡大図 清掃装置に対する給電システムのブロック図 各制御モードと設定充電電力との関係を示す説明図 第一制御モードでの給電状態を示す模式図 第二制御モードでの給電状態を示す模式図 第三制御モード及び第四制御モードでの給電状態を示す模式図 直線区間での走行レールと清掃装置との位置関係を示す模式図 カーブ区間での走行レールと清掃装置との位置関係を示す模式図 分岐点での走行レールと清掃装置との位置関係を示す模式図
物品搬送設備の実施形態について説明する。本実施形態では、一例として、例えば各種製品の製造設備等で用いられる物品搬送設備1について説明する。本実施形態の物品搬送設備1は、例えば半導体製品等の製造プロセスにおいて、材料や中間製品、完成品等を搬送するために用いられる。以下、本実施形態の物品搬送設備1について、詳細に説明する。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備1は、搬送経路Rに沿って配設された走行レール10と、走行レール10に沿って走行して物品Aを搬送する物品搬送装置2とを備えている。物品Aとしては、例えば半導体基板を収容する容器(Front Opening Unified Pod;FOUP)等が例示される。また、本実施形態の物品搬送設備1は、図5〜図8に示すように、物品搬送装置2と共通の走行レール10に沿って走行して、予め定められた清掃対象箇所Tに対して清掃作業を行う清掃装置3をさらに備えている。
図1に示すように、搬送経路R(物品搬送装置2の走行経路)は、複数の物品処理部9を経由するように形成されている。また、搬送経路Rは、直線区間Isとカーブ区間Icとを含むループ状に形成されている。なお、ここで言う直線区間Isやカーブ区間Icや、当該区間の形状に注目した概念であり、搬送制御用の設定走行区間とは異なる概念である。例えば1つの直線区間Isに、連続する複数の設定走行区間が含まれる場合があり得るし、1つのカーブ区間Icに、連続する複数の設定走行区間が含まれる場合もあり得る。もちろん、1つの直線区間Is又はカーブ区間Icに、1つの設定走行区間だけが含まれるような構成であっても良い。
図示は省略しているが、図1に示すサブユニットが複数個集まって、それらが全体としてループ状に形成されている。さらに、複数のサブユニットからなるユニットが複数個集まって、それらがさらに全体としてループ状に形成されても良い。このように、搬送経路Rは、直線区間Isとカーブ区間Icとを組み合わせて構成され、物品搬送装置2及び清掃装置3が一定方向(図中矢印にて示す方向)に向かって走行可能なように無端状に形成されている。以下では、物品搬送装置2及び清掃装置3が走行する方向を“前後方向”と言い、その走行方向に対して平面視で直交する方向を“幅方向(又は左右方向)”と言う場合がある。
図3に示すように、走行レール10は、物品搬送設備1が設置された建築物の天井S付近に配設されている。走行レール10は、幅方向に離間して設けられた一対のレール体11を備えている。走行レール10(レール体11)は、天井Sから吊設された吊下支持部材18によって吊下支持されている。一対のレール体11は、左右対称状に配置されている。左右一対のレール体11は、それぞれ、物品搬送装置2の走行部21が有する走行輪22や清掃装置3の走行部30が有する走行輪32を下方から支持する走行輪支持面11aと、物品搬送装置2の走行部21が有する案内輪23や清掃装置3の走行部30が有する案内輪33に対して幅方向外側から当接する案内輪当接面11bとを有する。
本実施形態では、走行レール10は、一対のレール体11のそれぞれから幅方向内向きに延出する一対の支持体12をさらに備えている。各支持体12は、対応するレール体11の下端部に固定されている。一対の支持体12は、延出先端部どうしが所定間隔を隔てて互いに向かい合うように配置されている。そして、それぞれの支持体12の延出先端部に、給電部50を構成する給電線51が下方から支持されている。こうして、左右一対の給電線51が、走行レール10と同様に、搬送経路Rに沿って配設されている。
本実施形態では、支持体12の延出長さ(幅方向の長さ)は、搬送経路R中の位置に応じて異なり得るものとされている。具体的には、搬送経路Rのカーブ区間Icにおけるカーブ内側の支持体12の長さが、直線区間Isにおける支持体12の長さよりも短く設定されている(図15を参照)。そして、それに応じて、カーブ区間Icにおけるカーブ内側の給電線51が、カーブ内側に偏って配設されている。このため、カーブ区間Icにおける一対の支持体12の離間幅が、直線区間Isにおける一対の支持体12の離間幅よりも長くなっている。
図3に示すように、物品搬送設備1は、搬送経路Rの分岐点Bにおいて物品搬送装置2や清掃装置3の進行向きを案内するための案内レール15をさらに備えている。案内レール15は、走行レール10の上方で、一対のレール体11に亘って固定されたU字状の枠体19に固定されている。案内レール15は、幅方向の中央位置において、枠体19の下面に固定されている。案内レール15は、縦断面形状がT字状の案内片16で構成されている。案内レール15(案内片16)は、物品搬送装置2の走行部21が有する案内ローラ24や清掃装置3の走行部30が有する案内ローラ34に対して幅方向一方側から当接するローラ第一当接面16aと、案内ローラ24,34に対して幅方向他方側から当接するローラ第二当接面16bをと有する。案内レール15は、搬送経路Rの分岐点Bにおいて二股に分岐している。
図2〜図4に示すように、物品搬送装置2は、走行レール10上を走行する走行部21と、搬送対象箇所である物品処理部9の支持台91(図1を参照)との間で物品Aの移載作業を行う移載ユニット27とを備えている。本実施形態では、物品搬送装置2は、前後一対の走行部21を備えており、これら一対の走行部21が、それぞれ連結軸26を介して移載ユニット27に連結されている。各走行部21は、移載ユニット27に対して、上下方向に沿う連結軸26の軸心周りに相対回転可能となっている。
一対の走行部21は、それぞれ、電動式の駆動モータで回転駆動される左右一対の走行輪22を備えている。走行輪22は、レール体11の走行輪支持面11a上を転動する。また、一対の走行部21は、それぞれ、上下方向に沿う軸心周りに自由回転可能な左右一対の案内輪23を備えている。この左右一対の案内輪23は、前後方向に並ぶ状態で2つずつ(前後一対の走行部21のそれぞれについて4つずつ)設けられている。案内輪23は、レール体11の案内輪当接面11bに当接する。また、一対の走行部21は、それぞれ、上下方向に沿う軸心周りに自由回転可能な案内ローラ24と、この案内ローラ24の軸心の幅方向位置を切り換える切換機構25とを備えている。案内ローラ24は、切換機構25によって、案内レール15(案内片16)のローラ第一当接面16aに当接する状態と、ローラ第二当接面16bに当接する状態とに切り換えられる。切換機構25の状態は、搬送経路Rの分岐点Bにおける物品搬送装置2の進行向きに応じて制御される。
一対の走行部21に吊下支持される移載ユニット27は、ケーシング内に収容された物品保持部28を備えている。物品保持部28は、物品Aの上部に形成されたフランジ部を把持する一対の把持爪29を備えている。一対の把持爪29は、把持用モータによって駆動されて、物品Aを把持する把持姿勢と物品Aの把持を解除する解除姿勢とに切替可能となっている。なお、移載ユニット27は、上下方向に沿って物品保持部28を移動させる昇降機構と、幅方向に沿って物品保持部28を移動させるスライド機構と、上下方向に沿う軸心周りに物品保持部28を回転させる回転機構とを備えている。これらの昇降機構、スライド機構、回転機構、及び一対の把持爪29は、互いに協働して、搬送元及び搬送先の支持台91との間で物品Aの受け渡しを行う。
物品搬送装置2は、給電部50から供給される電力によって駆動される。本実施形態では、非接触給電方式が採用されており、給電部50は、走行レール10側に設けられた給電線51と、物品搬送装置2側に設けられた受電コイル(図示せず)とを備えている。
図5に示すように、清掃装置3は、走行レール10上を走行する走行部30と、予め定められた清掃対象箇所Tに対して清掃作業を行う清掃ユニット40とを備えている。本実施形態では、清掃装置3は、前後一対の走行部30(第一走行部30A及び第二走行部30B)を備えており、これら一対の走行部30A,30Bが、それぞれ連結軸36を介して清掃ユニット40に連結されている。各走行部30A,30Bは、清掃ユニット40に対して、上下方向に沿う連結軸36の軸心周りに相対回転可能となっている。一対の走行部30A,30Bのうちの一方である第一走行部30Aは、物品搬送装置2の走行部21と同様の構成を備えている。すなわち、第一走行部30Aは、電動式の駆動モータで回転駆動される一対の走行輪32と、一対の案内輪33と、案内ローラ34と、切換機構35とを備えている。
一対の走行部30A,30Bのうちの他方である第二走行部30Bは、一対の走行輪32と、一対の案内輪33と、案内ローラ34と、切換機構35とに加え、図6に図7に示すように、第一清掃部37と第二清掃部38と第三清掃部39とをさらに備えている。清掃ユニット40による清掃作業の対象となる部位である清掃対象箇所Tには、少なくとも走行レール10が含まれ、本実施形態では、走行レール10と案内レール15とが清掃対象箇所Tとされている。より具体的には、レール体11の走行輪支持面11aと、支持体12の上面と、案内片16のローラ第一当接面16a及びローラ第二当接面16bと、案内片16の下面とが、清掃対象箇所Tとされている。
図7に示すように、左右一対の第一清掃部37は、吸引口がそれぞれ対応するレール体11の走行輪支持面11aに対向するように設置されている。左右一対の第二清掃部38は、吸引口がそれぞれ対応する支持体12の上面に対向するように設置されている。第一清掃部37及び第二清掃部38のそれぞれの吸引口は、内部通気路及びホース43を介して、ケーシング41内に搭載された掃除機42に連通している。掃除機42が駆動されると、その吸引力によって、第一清掃部37がレール体11の走行輪支持面11aに対して吸引作用し、第二清掃部38が支持体12の上面に対して吸引作用する。
図6に示すように、第三清掃部39は、案内ローラ34に連動して幅方向に移動可能な除塵ブラシ39Aと、その除塵ブラシ39Aに対して走行方向後方側且つ下側において上向きに開口する状態で設置された受皿部39Bとを含む。本実施形態では、左右一対の除塵ブラシ39Aが設けられており、一方の除塵ブラシ39Aが案内片16のローラ第一当接面16a及びそれに連なる下面に摺接し(図7を参照)、他方の除塵ブラシ39Aが案内片16のローラ第二当接面16b及びそれに連なる下面に摺接する。除塵ブラシ39Aは、切換機構35の状態に応じて、案内片16のローラ第一当接面16a及びそれに連なる下面、又は、ローラ第二当接面16b及びそれに連なる下面に対して掻取作用する。除塵ブラシ39Aによって掻き取られた塵埃は、受皿部39Bで集塵される。受皿部39Bには吸引口が設けられており、この吸引口は内部通気路及びホース43を介して掃除機42に連通している。掃除機42が駆動されると、その吸引力によって、除塵ブラシ39Aで掻き取られて受皿部39Bに集められた塵埃が吸引除去される。
なお、第一清掃部37、第二清掃部38、及び第三清掃部39は、同時に掃除機42による吸引作用を受けるように構成されても良いし、択一的に吸引作用を受けるように構成されても良い。後者の場合には、清掃ユニット40に、各清掃部37〜39と掃除機42との連通を選択的に断続する断続機構が具備されると良い。
清掃装置3は、主に、給電部50から供給される電力によって駆動される。上述したように、本実施形態では非接触給電方式が採用されており、給電部50は、図7及び図8に示すように、走行レール10側に設けられた給電線51と、清掃装置3側に設けられた受電コイル52とを備えている。受電コイル52は、コアに巻装された2次巻線で構成され、平面視で給電線51と重なる位置に配置されている。給電部50は、1次側の給電線51を流れる高周波電流の磁界を、電磁誘導によって2次側の受電コイル52に生じる起電力に変換して、清掃装置3(走行部30及び清掃ユニット40)に直流電力を供給する。給電部50は、少なくとも、走行部30に対する走行駆動電力と清掃ユニット40に対する清掃駆動電力とを供給する。
また、本実施形態では、清掃装置3は、充電及び放電可能な蓄電装置54(図9を参照)を備えている。蓄電装置54は、外部から受け取った電力を充電可能であるとともに、電力負荷に対して放電可能となっている。蓄電装置54としては、例えば電気二重層キャパシタやリチウムイオンキャパシタ等の蓄電器や、例えばリチウムイオン二次電池やニッケル水素充電池等の蓄電池等を用いることができる。
図9を参照して清掃装置3に対する給電システムについて言及すると、給電部50に対して、走行部30と清掃ユニット40とが、並列に、電気的に接続されている。蓄電装置54は、給電部50と清掃ユニット40との間に電気的に接続されている。蓄電装置54は、コンバータ56を介して、給電部50と清掃ユニット40との間に接続されている。また、互いに並列に接続される給電部50と清掃ユニット40とは、コンタクタ57とインバータ58とを介して清掃ユニット40に接続されている。コンバータ56は、入力される直流電圧を変圧(昇圧又は降圧)する。コンタクタ57は、通電状態(オン/オフ)を切り替える。インバータ58は、入力される直流電圧を交流電圧に変換する。
図9に示すように、清掃装置3の駆動状態を制御する制御部6は、走行制御部61と電力制御部62とを備えている。走行制御部61は、走行部30の走行状態を制御する。走行制御部61は、例えば走行輪32に駆動力を伝達可能に連結された駆動モータを駆動制御することで、走行部30の走行速度(ゼロを含む)を制御する。また、走行制御部61は、切換機構25の状態を切り換えるための駆動モータを駆動制御することで、搬送経路Rの分岐点Bでの走行部30の進行方向を制御する。電力制御部62は、例えばコンバータ56の作動を制御することで、蓄電装置54を中心とする電力の流れ(充電/放電)や、入力電圧と出力電圧との間の変圧比等を制御する。また、電力制御部62は、コンタクタ57の作動を制御することで、清掃ユニット40に対する電力供給状態(通電/遮断)を制御する。
本実施形態の物品搬送設備1は、電力制御部62が、走行部30の駆動状態と搬送経路Rに沿った走行部30の位置とに応じた電力で蓄電装置54を充電する点によって特徴付けられる。本実施形態では、“走行部30の駆動状態”には、当該走行部30が走行している状態と、停止している状態とが含まれる。電力制御部62は、走行部30が停止している状態で、走行部30が走行している状態で充電する場合の電力以上の電力で蓄電装置54を充電する。
また、“搬送経路Rに沿った走行部30の位置”には、当該搬送経路Rの直線区間Isとカーブ区間Icとが少なくとも含まれる。本実施形態では、これらに加え、分岐点Bが、“搬送経路Rに沿った走行部30の位置”にさらに含まれている。なお、本実施形態では、分岐点Bは、搬送経路Rにおける走行部30の走行経路が2つに分かれる地点(通常の意味での分岐点)と、2つの走行経路が合流して1つにまとまる地点(合流点)とを包含する概念である。電力制御部62は、走行部30が直線区間Isに位置している状態で、走行部30がカーブ区間Icに位置している状態で充電する場合の電力以上の電力で蓄電装置54を充電する。また、本実施形態では、電力制御部62は、走行部30が分岐点Bに位置している状態で、走行部30がカーブ区間Icに位置している状態で充電する場合の電力に等しい電力で蓄電装置54を充電する。言い換えれば、本実施形態では、電力制御部62は、制御上、カーブ区間Icと分岐点Bとを同等の位置として扱う。
電力制御部62は、走行部30の駆動状態(走行/停止)と搬送経路Rに沿った走行部30の位置(直線区間Is/カーブ区間Ic又は分岐点B)とに応じて、第一制御モードから第四制御モードまでの4つの制御モードを切り替える。なお、走行部30の駆動状態は、例えば走行部30に対する走行制御部61からの制御信号等に基づいて判定することができる。走行部30の位置は、例えば制御部6で取得可能な搬送制御用の走行区間情報(搬送経路Rの設定走行区間毎に設けられたマーク(例えば、番地情報が付されているバーコードラベル等)を検出することによって得られる情報)等に基づいて判定することができる。より詳細な位置判定を行いたい場合には、マーク検出センサとは異なる適当なセンサを清掃装置3に装備させて、当該センサによる検出結果に基づいて位置判定を行っても良い。この点に関しては後述する。
図10に示すように、第一制御モードは、走行部30が直線区間Isを走行している状態で実行される。図11に示すように、第一制御モードでは、給電部50からの受電電力が、走行部30と清掃ユニット40とに振り分けて供給される。直線区間Isでは、給電部50において相対的に(例えばカーブ区間Icや分岐点Bに比べて)高い受電効率が実現されるので、給電部50からの受電電力が走行部30及び清掃ユニット40で消費されても、なお、十分な余剰電力が生じる場合が多い。そこで、電力制御部62は、第一制御モードにおいて、正の値に予め設定された第二設定電力W2で蓄電装置54を充電する。
ここで、直線区間Isでの給電部50からの受電電力は、演算又は実測によって予め求めることができる。走行部30を駆動するための走行駆動電力は、状況に応じて異なり得るが、例えば比較的大きな電力消費が見込まれる加速時における消費電力を演算又は実測によって予め求めて、これを直線区間Isでの想定最大走行駆動電力とすることができる。清掃ユニット40を駆動するための清掃駆動電力は、掃除機42が実現可能な最大吸引力での清掃作業時における消費電力を演算又は実測によって予め求めて、これを想定最大清掃駆動電力とすることができる。これらに基づき、第二設定電力W2は、直線区間Isでの受電電力から、想定最大走行駆動電力と想定最大清掃駆動電力と所定の余裕分(マージン)とを減算して得られる値に設定されている。
図10に示すように、第二制御モードは、走行部30がカーブ区間Ic又は分岐点Bを走行している状態で実行される。図12に示すように、第二制御モードでは、給電部50からの受電電力が、走行部30と清掃ユニット40とに振り分けて供給される。カーブ区間Icや分岐点Bでは、給電部50における受電効率が相対的に(例えば直線区間Isに比べて)低くなるので、給電部50からの受電電力が走行部30及び清掃ユニット40で消費されたときに、余剰電力はあまり期待できない。そこで、電力制御部62は、第二制御モードにおいて、第二設定電力W2でよりも小さい値に予め設定された第一設定電力W1で蓄電装置54を充電する。なお、「第一設定電力W1で充電する」とは、第一設定電力W1が“ゼロ”の場合に“充電しない”ことを含む概念であるものとする。
ここで、カーブ区間Icや分岐点Bでの給電部50からの受電電力は、演算又は実測によって予め求めることができ、それらのうちの小さい方を、カーブ区間Ic又は分岐点Bでの受電電力とすることができる。カーブ区間Icや分岐点Bでは等速走行とされる場合が多いので、走行部30を駆動するための走行駆動電力は、例えばカーブ区間Ic及び分岐点Bでの定速走行時における消費電力を演算又は実測によって予めそれぞれ求めて、それらのうちの大きい方を、カーブ区間Ic又は分岐点Bでの想定最大走行駆動電力とすることができる。清掃ユニット40を駆動するための清掃駆動電力は、上述したように掃除機42が実現可能な最大吸引力での清掃作業時における消費電力を、想定最大清掃駆動電力とすることができる。これらに基づき、第一設定電力W1は、例えばカーブ区間Ic又は分岐点Bでの受電電力から、想定最大走行駆動電力と想定最大清掃駆動電力と所定の余裕分(マージン)とを減算して得られる値に設定することができる。
本実施形態では、制御上、カーブ区間Icと分岐点Bとが厳密に区別されることなく扱われている関係で、カーブ区間Ic又は分岐点Bでの受電電力は小さく評価されがちであり、且つ、想定最大走行駆動電力は大きく評価されがちである。このため、上記のように第一設定電力W1を設定する場合において、十分な大きさの余裕分を確保しようとすれば、算出値が負の値となってしまう場合もあり得る。このような事情を考慮して、本実施形態では、蓄電装置54を充電する際の第一設定電力W1が、ゼロに設定されている。言い換えれば、電力制御部62は、第二制御モードにおいて、蓄電装置54の充電を禁止する。
さらに、カーブ区間Icや分岐点Bでは、実際に、給電部50からの受電電力が走行部30に対する走行駆動電力と清掃ユニット40に対する清掃駆動電力との合計電力に対して不足するような事態も生じ得る。このような場合には、電力制御部62は、逆に、清掃ユニット40に電力を供給するべく蓄電装置54を放電させる。つまり、電力制御部62は、第二制御モードにおいて、通常は蓄電装置54に充電も放電もさせず、給電部50からの受電電力が走行部30及び清掃ユニット40で消費されたときに電力不足が生じる場合に、蓄電装置54を放電させる。このように、本実施形態の物品搬送設備1は、電力制御部62が、給電部50からの受電電力が走行駆動電力と清掃駆動電力との合計電力に対して不足する場合に、清掃ユニット40に電力を供給するべく蓄電装置54を放電させる点によっても特徴付けられる。
第二制御モードでは、蓄電装置54は放電され得るだけで充電されることがないので、場合によっては蓄電量が大きく低下する可能性がある。蓄電量が大きく低下すると、清掃ユニット40による清掃作業を継続することができなくなってしまう。そこで本実施形態では、清掃作業の完了区間と未完了区間との容易把握性を確保することも考慮して、走行制御部61は、走行部30の走行中に蓄電装置54の蓄電量が予め定められた第一基準量まで低下した場合には、その時点で走行部30を停止させるように構成されている。第一基準量は、例えば満充電状態における蓄電量を基準とする1%〜20%程度の値に設定されると良い。本実施形態では、第一基準量が「基準量」に相当する。この場合、電力制御部62は、同時に、コンタクタ57をオフ制御して清掃ユニット40に対する電力供給を遮断する。このように、本実施形態では、第二制御モードの実行中に、カーブ区間Ic又は分岐点Bで、清掃ユニット40が駆動停止された状態で走行部30が停止する場合がある。
図10に示すように、第三制御モードは、走行部30がカーブ区間Ic又は分岐点Bで停止している状態で実行される。図13に示すように、第三制御モードでは、給電部50からの受電電力は、走行部30及び清掃ユニット40には供給されることなく、蓄電装置54に供給される。この場合、給電部50からの受電電力の全部が、蓄電装置54に供給される。上述したように、カーブ区間Icや分岐点Bでの給電部50からの受電電力は、演算又は実測によって予め求めることができ、それらのうちの小さい方を、カーブ区間Ic又は分岐点Bでの受電電力とすることができる。カーブ区間Ic又は分岐点Bでの受電電力は、経験上、直線区間Isでの受電電力から、想定最大走行駆動電力と想定最大清掃駆動電力とを減算して得られる値と近い値となることが多い。そこで、本実施形態では、制御の簡素化を図ることも考慮して、第三制御モードにおける蓄電装置54の設定充電電力と、第一制御モードにおける蓄電装置54の設定充電電力とが共通化されている。つまり、電力制御部62は、第三制御モードにおいて、第一制御モードにおける蓄電装置54の設定充電電力に等しい第二設定電力W2で、蓄電装置54を充電する。
なお、ここでは直線区間Isでの受電電力と想定最大走行駆動電力と想定最大清掃駆動電力とに基づいて第二設定電力W2が設定され、この第二設定電力W2を第一制御モード及び第三制御モードの両方で用いる例について説明したが、かかる構成に限定されない。例えば、カーブ区間Ic及び分岐点Bでのそれぞれの受電電力のうちの小さい方から所定の余裕分(マージン)を減算して得られる値に第二設定電力W2が設定され、この第二設定電力W2を第一制御モード及び第三制御モードの両方で用いても良い。或いは、上記2つの手法でそれぞれ第二設定電力W2の候補値を算出し、それらのうちの小さい方が正規の第二設定電力W2とされ、この第二設定電力W2を第一制御モード及び第三制御モードの両方で用いても良い。
カーブ区間Icや分岐点Bでの受電効率は相対的に低いが、給電部50からの受電電力は走行部30及び清掃ユニット40では消費されないので、蓄電装置54を比較的急速に充電することができる。本実施形態では、電力制御部62は、第三制御モードの実行中に、蓄電装置54の蓄電量が第一基準量よりも大きい値に予め定められた第二基準量まで上昇した場合に、コンタクタ57をオン制御して清掃ユニット40に給電部50及び蓄電装置54を接続する。これにより、給電部50又は蓄電装置54から供給される電力により、清掃ユニット40による清掃作業が再開される。これに合わせて、走行制御部61は、走行部30の走行を再開する。第二基準量は、例えば満充電状態における蓄電量を基準とする80%〜100%程度の値に設定されると良い。
図10に示すように、第四制御モードは、走行部30が直線区間Isで停止している状態で実行される。第四制御モードは、蓄電装置54の設定充電電力が異なるだけで、基本的な制御内容は第三制御モードと同じである。第四制御モードでは、給電部50からの受電電力の全部が、蓄電装置54に供給される。直線区間Isでの受電効率は相対的に高く、より多くの受電電力を蓄電装置54の充電のために供給することができる。そこで、電力制御部62は、第四制御モードにおいて、第三制御モードにおける蓄電装置54の設定充電電力である第二設定電力W2よりも大きい値に予め設定された第三設定電力W3で、蓄電装置54を充電する。
上述したように、直線区間Isでの給電部50からの受電電力は、演算又は実測によって予め求めることができる。第三設定電力W3は、例えば直線区間Isでの受電電力から、所定の余裕分(マージン)を減算して得られる値に設定されている。第四制御モードでは、第三制御モードに比べてさらに急速に蓄電装置54を充電することができる。
このように、本実施形態の電力制御部62は、第二制御モードで、第一設定電力W1をゼロとして蓄電装置54の充電を禁止し、第一制御モード及び第三制御モードで、第二設定電力W2(W2>W1)で蓄電装置54を充電し、第四制御モードで、第三設定電力W3(W3>W2)で蓄電装置54を充電する。つまり、走行部30の駆動状態(走行中/停止中)と位置(直線区間Is/カーブ区間Ic)との組み合わせに応じで定まる4つの制御モードに対して、蓄電装置54の充電(充電の禁止を含む)が、3段階に設定されたいずれかの設定電力(ゼロを含む)で実施される。制御モードの個数に比べて設定充電電力の段階数の方が小さく、各制御モードに対して個々に充電電力が設定されるような構成に比べて、制御の簡素化が図られている。
上述したように、本実施形態では第二制御モードの実行中に蓄電装置54の蓄電量が低下して走行部30が停止し、第三制御モードに移行して蓄電装置54が充電される場合がある。この蓄電装置54の充電は、通常、その蓄電量が第二基準量に達するまで継続的に実行されるが、作業者の手動操作によって強制的に第三制御モードから第二制御モードに復帰するように構成されても良い。例えば蓄電装置54の蓄電量が第二基準量にまでは達しないまでもある程度の量に達している場合には、その蓄電電力で清掃ユニット40を駆動しながら、少なくともその先にある直線区間Isまで清掃装置3を前進させることができる。直線区間Isに到達すれば、第一制御モードで蓄電装置54を充電しながらさらに清掃装置3を前進させることができるし、或いは、作業者の手動操作に基づいて走行部30を強制停止させて第四制御モードに移行させ、急速充電を行うこともできる。
かかる判断のための基礎情報を作業者に提供するため、本実施形態の清掃ユニット40には、例えば図5に示すように、蓄電装置54の充電状態に関する指標を表示する表示部45が設けられている。表示部45は、例えば給電部50における受電電力と蓄電装置54の端子間電圧とを、対比可能なように並べて表示する。或いは、表示部45は、蓄電装置54の蓄電量(例えば、満充電状態における蓄電量を基準とする百分率(%)の形態であって良い)を表示しても良い。このような表示部45が清掃ユニット40に装備されていれば、作業者に、清掃作業中に蓄電装置54の蓄電量が低下しつつあることや、蓄電装置54の充電中に蓄電量が回復しつつあること等を容易に知得させることができる。
本実施形態では、清掃装置3に、搬送経路Rに沿った自身の位置を高精度に判定するための基礎情報を収集する機能が備わっている。このような位置判定用基礎情報収集機能は、本実施形態では受電コイル52の近傍に設置された検知部48によって実現されている。図7及び図8に示すように、検知部48は、左右一対の給電線51及びそれに対応する左右一対の受電コイル52に対応させて、左右一対設けられている。また、本実施形態では、図14に示すように、左右一対の検知部48は、前後一対の走行部30と平面視で重なる位置に、それぞれ設けられている。つまり、2組の左右一対の検知部48が前後に分かれて設置されており、計4つの検知部48が設置されている。図8及び図14に示すように、各検知部48は、給電線51よりも下側において、少なくとも直線区間Isでは平面視で対応する給電線51と重なる位置に設置されている。
各検知部48は、対応する給電線51又は支持体12に対してそれぞれ検知作用する。本実施形態では、給電線51及び支持体12が「被検知体」に相当する。検知部48としては、例えば投光部と受光部とを有する拡散反射形の光電センサを用いることができる。但し、このような構成に限定されることなく、被検知体としての給電線51又は支持体12に対して検知作用してその存否を判別できるものであれば、例えば磁気センサやイメージセンサ等を、検知部48として用いることもできる。
直線区間Isでは、図14に示すように、4つ全ての検知部48が平面視で給電線51と重なり、全ての検知部48が、少なくとも被検知体としての給電線51を検知する。一方、カーブ区間Icでは、図15に示すように、カーブ外側の支持体12の長さが直線区間Isにおける支持体12の長さに等しく、且つ、カーブ内側の支持体12の長さが直線区間Isにおける支持体12の長さよりも短く設定されている。そして、それに応じて、カーブ内側の給電線51が、カーブ内側に偏って配設されている。このため、カーブ区間Icでは、カーブ外側に位置する2つ(全体の半数)の検知部48は平面視で給電線51と重なるものの、カーブ内側に位置する2つの検知部48は平面視で給電線51及び支持体12のいずれとも重ならない。よって、カーブ外側に位置する2つの検知部48は給電線51を検知するものの、カーブ内側に位置する2つの検知部48は給電線51及び支持体12のいずれをも検知しない。
また、分岐点Bでは、図16に示すように、カーブ内側の給電線51がカーブ区間Icと同様の態様で配設されているとともに、カーブ外側の給電線51が互いに非連続な状態で配設されている。カーブ外側の2本の給電線51は、分岐先(又は合流元)の直線区間Isに配設される左右一対の給電線51からそれぞれ延びている。このため、分岐点Bでは、カーブ区間Icと同様、カーブ内側に位置する2つの検知部48は平面視で給電線51及び支持体12のいずれとも重ならない。また、分岐点Bの中での具体的な位置に応じて、カーブ外側に位置する2つの検知部48のうちの少なくとも1つも、平面視で給電線51及び支持体12のいずれとも重ならない。よって、カーブ内側に位置する2つの検知部48と、カーブ外側に位置する少なくとも1つの検知部48とは、給電線51及び支持体12のいずれをも検知しない。
このような事情を考慮し、本実施形態の電力制御部62は、全ての検知部48によって被検知体が検知されている場合に、走行部30が直線区間Isに位置していると判定する。そして、電力制御部62は、走行部30の駆動状態(走行/停止)に応じて、第一制御モード又は第四制御モードを実行する。一方、電力制御部62は、いずれかの検知部48によって被検知体が検知されていない場合に、走行部30がカーブ区間Ic又は分岐点Bに位置していると判定する。そして、電力制御部62は、走行部30の駆動状態(走行/停止)に応じて、第二制御モード又は第三制御モードを実行する。
このようにすれば、複数の検知部48による検知結果(被検知体を検知している検知部48の個数ないし割合)に基づいて、走行部30が直線区間Isとカーブ区間Ic又は分岐点Bとのどちらに位置しているかを的確に判定することができる。清掃装置3に設置される検知部48を利用して、当該清掃装置3の走行部30の位置をより直接的に判定するので、高精度な位置判定を行うことができる。特に、例えば物品搬送設備1の制御部6で取得可能な搬送制御用の走行区間情報に基づいて位置判定を行う場合に比べて、位置判定精度を高めることができる。よって、蓄電装置54の充電効率をさらに高めることができる。
〔その他の実施形態〕
(1)上記の実施形態では、2組の左右一対(計4つ)の検知部48が前後に分かれて設置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、左右一対の検知部48の組数は任意である。1組の左右一対(計2つ)の検知部48だけが設けられても良いし、3組以上の左右一対(計6つ、8つ、・・・)の検知部48が設けられても良い。
(2)上記の実施形態では、検知部48が給電線51よりも下側となる清掃ユニット40側に設置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、被検知体としての給電線51又は支持体12に対して検知作用してその存否を判別できれば、例えば給電線51よりも上側となる走行部30側に検知部48が設置されても良い。
(3)上記の実施形態では、複数の検知部48による検知結果の情報を用いて高精度な位置判定を行う構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば検知部48を装備させずに、物品搬送設備1の制御部6で取得可能な搬送制御用の走行区間情報だけに基づいて位置判定を行っても良い。
(4)上記の実施形態では、清掃ユニット40に装備される表示部45が、蓄電装置54の充電状態に関する指標を数値表示する構成を主に想定して説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば表示部45が、給電部50における受電電力及び蓄電装置54の端子間電圧や蓄電装置54の蓄電量等を、各種の態様でグラフィカル表示しても良い。或いは、そのような表示部45が清掃ユニット40に装備されなくても良い。
(5)上記の実施形態では、第二制御モードにおける蓄電装置54の設定充電電力である第一設定電力W1がゼロとされている(言い換えれば、蓄電装置54の充電が禁止されている)構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば第一設定電力W1が正の値に設定されても良い。この場合には、全ての制御モードで蓄電装置54が充電されることになるので、物品搬送設備1には、突発的に生じる電力不足時にもエラーを生じさせることなく蓄電装置54を瞬時に放電状態に切り換えるため切換手段が具備されることが好ましい。
(6)上記の実施形態では、同じ区間に位置している場合どうしの比較において、電力制御部62が、走行部30が停止している状態と走行している状態とで異なる設定充電電力で蓄電装置54を充電する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば電力制御部62が、走行部30が停止している状態、定速走行している状態、加速走行している状態、及び減速走行している状態等に応じて異なる設定充電電力で蓄電装置54を充電しても良い。或いは、電力制御部62が、走行部30の走行速度、加速度、又はこれらの組み合わせ等に応じて異なる設定充電電力で蓄電装置54を充電しても良い。
(7)上記の実施形態では、制御上、カーブ区間Icと分岐点Bとが厳密に区別されることなく扱われる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、カーブ区間Icと分岐点Bとを区別して制御しても良い。この場合、例えば電力制御部62は、走行部30がカーブ区間Icに位置している状態で、走行部30が分岐点Bに位置している状態で充電する場合の電力以上、且つ、走行部30が直線区間Isに位置している状態で充電する場合の電力以下の電力で蓄電装置54を充電することが好ましい。また、走行部30が分岐点Bに位置している状態での設定充電電力が、ゼロに設定されることが好ましい。
このように、カーブ区間Icと分岐点Bとを区別して制御する場合において、検知部48を用いて高精度な位置判定を行う場合には、例えば以下のようにすることができる。すなわち、電力制御部62は、偶数個の検知部48のうち、半数の検知部48によって被検知体が検知されている(この場合、半数の検知部48によって被検知体が検知されていない)場合に、走行部30がカーブ区間Icに位置していると判定することができる。また、電力制御部62は、半数未満の検知部48によって被検知体が検知されている(この場合、半数よりも多い個数の検知部48によって被検知体が検知されていない)場合に、走行部30が分岐点Bに位置していると判定することができる。走行部30が直線区間Isに位置していることは、上記の実施形態と同様にして判定することができる。
(8)上記の実施形態では、第一制御モードから第四制御モードまでの4つの制御モードを適宜切り換えることで、清掃装置3が既に移動した区間と清掃作業の完了区間とを常時略一致させる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、場合によっては、清掃ユニット40を非駆動状態としたままで清掃装置3を移動させること(言い換えれば、清掃装置3が既に移動した区間と清掃作業の完了区間とが不一致となること)が許容されても良い。例えば清掃装置3(走行部30)が停止して蓄電装置54の充電を行っている状態で、後続の物品搬送装置2が待機を余儀なくされているような状況で、渋滞回避目的で、作業者の手動操作により、清掃作業を中断したまま清掃装置3を移動させても良い。
(9)上記の実施形態では、走行レール10(レール体11及び支持体12の両方)と案内レール15とが清掃対象箇所Tとされている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば走行レール10だけが清掃対象箇所Tとされても良い。また、案内レール15が清掃対象箇所Tに含まれるか否かによらず、レール体11及び支持体12のうちのいずれか一方だけが清掃対象箇所Tとされても良い。清掃対象箇所Tの設定に応じて、清掃装置3(走行部30)における各清掃部37〜39の設置の有無が決定される。さらに、走行レール10及び案内レール15とは異なる部位が清掃対象箇所Tとされても良く、この場合、走行部30は、当該部位に対する清掃部をさらに備えることになる。
(10)上述した各実施形態(上記の実施形態及びその他の実施形態を含む;以下同様)で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。
1 物品搬送設備
3 清掃装置
10 走行レール
11 レール体
12 支持体(被検知体)
15 案内レール
30 走行部
36 連結軸
40 清掃ユニット
42 掃除機
45 表示部
48 検知部
50 給電部
51 給電線(被検知体)
52 受電コイル
54 蓄電装置
61 走行制御部
62 電力制御部
A 物品
R 搬送経路
Is 直線区間
Ic カーブ区間
B 分岐点
T 清掃対象箇所
W1 第一設定電力
W2 第二設定電力
W3 第三設定電力

Claims (7)

  1. 物品を搬送する物品搬送設備であって、
    搬送経路に沿って配設された走行レール上を走行する走行部と、
    前記走行部に連結され、前記走行レールを含む清掃対象箇所に対して清掃作業を行う清掃ユニットと、
    前記走行レール側に設けられた給電線と、前記走行部側に設けられて前記給電線から電磁誘導によって非接触で受電する受電コイルと、を有し、前記走行部に対する走行駆動電力と前記清掃ユニットに対する清掃駆動電力とを供給する給電部と、
    電及び放電可能であり、前記給電部からの電力を受け取って充電可能なように前記給電部に対して電気的に接続されているとともに、放電した電力を前記清掃ユニットに供給可能なように前記清掃ユニットに対しても電気的に接続された蓄電装置と、
    前記走行部の駆動状態と前記搬送経路に沿った前記走行部の位置とに応じた電力で前記蓄電装置を充電するとともに、前記給電部からの受電電力が前記走行駆動電力と前記清掃駆動電力との合計電力に対して不足する場合に、前記給電部からの電力供給に加えて前記蓄電装置からも前記清掃ユニットに電力を供給するべく前記蓄電装置を放電させる電力制御部と、を備える物品搬送設備。
  2. 前記走行部を制御する走行制御部を備え、
    前記走行制御部は、前記走行部の走行中に前記蓄電装置の蓄電量が予め定められた基準量まで低下した場合に、その時点で前記走行部を停止させ、
    前記電力制御部は、前記走行部が停止している状態で、前記走行部が走行している状態で充電する場合の電力以上の電力で前記蓄電装置を充電する請求項1に記載の物品搬送設備。
  3. 前記搬送経路が、直線区間とカーブ区間とを含むループ状に形成され、
    前記電力制御部は、前記走行部が前記直線区間に位置している状態で、前記走行部が前記カーブ区間に位置している状態で充電する場合の電力以上の電力で前記蓄電装置を充電する請求項1又は2に記載の物品搬送設備。
  4. 前記電力制御部は、
    前記走行部が前記カーブ区間を走行している状態で、予め設定された第一設定電力で前記蓄電装置を充電し、
    前記走行部が前記カーブ区間で停止している状態又は前記走行部が前記直線区間を走行している状態で、前記第一設定電力よりも大きい値に予め設定された第二設定電力で前記蓄電装置を充電し、
    前記走行部が前記直線区間で停止している状態で、前記第二設定電力よりも大きい値に予め設定された第三設定電力で前記蓄電装置を充電する請求項3に記載の物品搬送設備。
  5. 前記電力制御部は、
    前記走行部が前記カーブ区間を走行している状態で、前記蓄電装置を充電させず、
    前記走行部が前記カーブ区間で停止している状態又は前記走行部が前記直線区間を走行している状態で、ゼロよりも大きい値に予め設定された第二設定電力で前記蓄電装置を充電し、
    前記走行部が前記直線区間で停止している状態で、前記第二設定電力よりも大きい値に予め設定された第三設定電力で前記蓄電装置を充電する請求項3に記載の物品搬送設備。
  6. 前記走行レールは、幅方向に離間して設けられた一対のレール体と、一対の前記レール体のそれぞれから幅方向内向きに延出して前記給電線を支持する一対の支持体と、を含み、
    前記走行部又は前記清掃ユニットが、被検知体としての幅方向両側の一対の前記給電線又は一対の前記支持体に対してそれぞれ検知作用する少なくとも計2つの検知部を含み、
    前記カーブ区間におけるカーブ内側の前記支持体の長さが、前記直線区間における前記支持体の長さよりも短く設定されており、
    前記電力制御部は、全ての前記検知部によって前記被検知体が検知されている場合に前記走行部が前記直線区間に位置していると判定し、いずれかの前記検知部によって前記被検知体が検知されていない場合に前記走行部が前記カーブ区間に位置していると判定する請求項3から5のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 前記清掃ユニットに、前記給電部及び前記蓄電装置のそれぞれの電圧、又は、前記蓄電装置の蓄電量を表示する表示部が設けられている請求項1から6のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
JP2016022046A 2016-02-08 2016-02-08 物品搬送設備 Active JP6728735B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016022046A JP6728735B2 (ja) 2016-02-08 2016-02-08 物品搬送設備
KR1020170015514A KR102606306B1 (ko) 2016-02-08 2017-02-03 물품 반송 설비
TW106103781A TWI706902B (zh) 2016-02-08 2017-02-06 物品搬送設備
US15/426,114 US9902565B2 (en) 2016-02-08 2017-02-07 Article transport facility
CN201710069414.3A CN107042210B (zh) 2016-02-08 2017-02-08 物品搬运设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016022046A JP6728735B2 (ja) 2016-02-08 2016-02-08 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017140553A JP2017140553A (ja) 2017-08-17
JP6728735B2 true JP6728735B2 (ja) 2020-07-22

Family

ID=59496762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016022046A Active JP6728735B2 (ja) 2016-02-08 2016-02-08 物品搬送設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9902565B2 (ja)
JP (1) JP6728735B2 (ja)
KR (1) KR102606306B1 (ja)
CN (1) CN107042210B (ja)
TW (1) TWI706902B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220344189A1 (en) * 2019-08-29 2022-10-27 Murata Machinery, Ltd. Traveling vehicle system
JP7400666B2 (ja) * 2020-08-31 2023-12-19 株式会社ダイフク 清掃システム

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3641618A (en) * 1970-03-11 1972-02-15 Klenco Corp Automatic rail cleaner
JPH08140331A (ja) * 1994-11-08 1996-05-31 Daifuku Co Ltd リニアモータ利用の搬送設備
JPH11215614A (ja) * 1998-01-20 1999-08-06 Shibaura Mechatronics Corp 浮上式搬送装置
JP2000271552A (ja) * 1999-03-26 2000-10-03 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置
JP4483055B2 (ja) * 2000-09-14 2010-06-16 株式会社ダイフク 搬送設備
US6629502B2 (en) 2000-09-14 2003-10-07 Daifuku Co., Ltd. Conveyance system
JP2005334836A (ja) * 2004-05-31 2005-12-08 Renesas Technology Corp 搬送台車、およびそれを用いた軌道清掃方法、走行検査方法並びに半導体装置の製造方法
JP4148194B2 (ja) * 2004-07-22 2008-09-10 村田機械株式会社 搬送台車システム
GB2417470B (en) * 2004-08-27 2007-08-15 Jensen An overhead rail cleaner
JP2008214084A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Asyst Technologies Japan Inc 搬送システム、搬送車装置、並びに自動清掃装置及び方法
JP4341712B2 (ja) * 2007-09-10 2009-10-07 トヨタ自動車株式会社 蓄電機構の充電制御装置および充電制御方法
WO2011068154A1 (ja) * 2009-12-04 2011-06-09 三洋電機株式会社 蓄電ユニット、発電システムおよび充放電システム
JP5495070B2 (ja) * 2011-06-10 2014-05-21 株式会社ダイフク 天井搬送設備の清掃装置
JP5720954B2 (ja) * 2012-03-06 2015-05-20 株式会社ダイフク 天井搬送車の清掃装置
TWI560125B (en) * 2013-10-15 2016-12-01 Inotera Memories Inc Overhead hoist transport system
US9697640B2 (en) * 2014-04-21 2017-07-04 Qualcomm Incorporated Start node determination for tree traversal in ray tracing applications
CN104061963B (zh) * 2014-06-18 2016-09-07 湖南铁道职业技术学院 一种铁道供电绝缘子污秽在线检测系统
TWM492312U (zh) * 2014-09-01 2014-12-21 Flexium Interconnect Inc 軌道清潔裝置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107042210A (zh) 2017-08-15
CN107042210B (zh) 2021-06-18
US9902565B2 (en) 2018-02-27
JP2017140553A (ja) 2017-08-17
TWI706902B (zh) 2020-10-11
US20170225904A1 (en) 2017-08-10
TW201733886A (zh) 2017-10-01
KR102606306B1 (ko) 2023-11-23
KR20170094079A (ko) 2017-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009096103A1 (ja) 搬送用自走車の充電管理方法及びシステム
JP2018128914A (ja) 物品搬送設備
TWI495578B (zh) Item handling device
JP2010228673A (ja) 物品搬送設備
JP2008510673A (ja) 搬送システム
KR102398345B1 (ko) 반송대차
US20030042114A1 (en) Conveyance system
JP5287810B2 (ja) 走行車システム
TWI781180B (zh) 物品搬送設備、及、物品搬送車
JP6728735B2 (ja) 物品搬送設備
JP4971326B2 (ja) 自動搬送車とワーク積載台車とによるワーク搬送設備システム
US10358288B2 (en) Storage system
JP5196451B2 (ja) 搬送システム
JP2011016635A (ja) 給電式荷役装置
CN109649974B (zh) 搬运系统
KR101774419B1 (ko) 이송 제어장치가 구비된 롤러테이블
JP2006052047A (ja) 搬送装置
JP6073411B2 (ja) 物品搬送設備
JP2004334724A (ja) 運行制御装置、プログラム及び方法
JP7039976B2 (ja) 搬送車システム
JP2013177217A (ja) 物品搬送設備
JP2008283739A (ja) 搬送装置
JP2006079319A (ja) 搬送車の搬送制御装置
JP7406420B2 (ja) リバースソータコンベヤ装置
JP7176458B2 (ja) 自動車部品の製造システムおよび作業機

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190212

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190415

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190903

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191101

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200615

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6728735

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250