JPH06321351A - 無接触ピックアップ装置 - Google Patents
無接触ピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH06321351A JPH06321351A JP13655693A JP13655693A JPH06321351A JP H06321351 A JPH06321351 A JP H06321351A JP 13655693 A JP13655693 A JP 13655693A JP 13655693 A JP13655693 A JP 13655693A JP H06321351 A JPH06321351 A JP H06321351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- contact
- pickup device
- guide
- holding tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ケースにチップを収納あるいは取り出す場合
に、チップを無接触状態にて懸垂保持可能な無接触ピッ
クアップ装置を用いることにより、チップを汚したり損
傷することを防ぐ。 【構成】 気体を噴出することによりチップ９を空中に
浮遊した無接触状態にて懸垂保持する無接触保持具Ａに
上下移動可能なガイド７を装着して構成される。
に、チップを無接触状態にて懸垂保持可能な無接触ピッ
クアップ装置を用いることにより、チップを汚したり損
傷することを防ぐ。 【構成】 気体を噴出することによりチップ９を空中に
浮遊した無接触状態にて懸垂保持する無接触保持具Ａに
上下移動可能なガイド７を装着して構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ケースに収納された半
導体ウエハのチップ、ディスクヘッド等の傷や汚れの付
着を極端に嫌う微小チップを収納するケースから取り出
したりまた、ケースに収納したりする時に使用する無接
触ピックアップ装置に関する。
導体ウエハのチップ、ディスクヘッド等の傷や汚れの付
着を極端に嫌う微小チップを収納するケースから取り出
したりまた、ケースに収納したりする時に使用する無接
触ピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来ケースの仕切りの上面がチップの高
さより高いケースにチップを収納あるいは取り出す場合
は、小型の真空吸着具を用いてチップを吸着していた。
さより高いケースにチップを収納あるいは取り出す場合
は、小型の真空吸着具を用いてチップを吸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながらチップ
が真空吸着具に吸着されることにより、チップが汚れた
り破損したりまた、チップが真空吸着具に固着するため
ケースに収納する時に仕切りに当たり破損するという欠
点があった。
が真空吸着具に吸着されることにより、チップが汚れた
り破損したりまた、チップが真空吸着具に固着するため
ケースに収納する時に仕切りに当たり破損するという欠
点があった。
【０００４】
【問題を解決するための手段】上記の欠点は、本発明の
気体を噴出することにより空中に浮遊した無接触状態に
てチップを懸垂保持する無接触保持具に、移動可能なガ
イドを装着したことを特徴とする無接触ピックアップ装
置により解決できる。
気体を噴出することにより空中に浮遊した無接触状態に
てチップを懸垂保持する無接触保持具に、移動可能なガ
イドを装着したことを特徴とする無接触ピックアップ装
置により解決できる。
【０００５】
【作用】ケースに収納されているチップを取り出す場
合、無接触ピックアップ装置が下降してくると、まずガ
イドの先端がケースの仕切り上面に接触して停止し、無
接触保持具のみが更に下降する。
合、無接触ピックアップ装置が下降してくると、まずガ
イドの先端がケースの仕切り上面に接触して停止し、無
接触保持具のみが更に下降する。
【０００６】無接触保持具の下端に形成されている作動
面がチップの吸引可能な距離にまで下降すると、無接触
ピックアップ装置は下降を停止し、無接触保持具より気
体を噴出することにより、無接触保持具の内部に形成さ
れているクッション室及び作動面とチップとの空間の圧
力は低下し、チップを無接触状態にて吸引保持する。
面がチップの吸引可能な距離にまで下降すると、無接触
ピックアップ装置は下降を停止し、無接触保持具より気
体を噴出することにより、無接触保持具の内部に形成さ
れているクッション室及び作動面とチップとの空間の圧
力は低下し、チップを無接触状態にて吸引保持する。
【０００７】この状態にて無接触ピックアップ装置を上
昇させ、無接触保持具が仕切り上面より上にくれば、ガ
イドはバネにより無接触保持具に保持されているチップ
の端面に接触する位置にまで押し下げられ、チップの水
平方向の自由移動を規制し、従って無接触ピックアップ
装置の移動にともない、所定の位置に移動することが可
能である。
昇させ、無接触保持具が仕切り上面より上にくれば、ガ
イドはバネにより無接触保持具に保持されているチップ
の端面に接触する位置にまで押し下げられ、チップの水
平方向の自由移動を規制し、従って無接触ピックアップ
装置の移動にともない、所定の位置に移動することが可
能である。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の無接触ピックアップ装置Ｂの
側面断面図を、図２はその下平面図を、図３は使用時の
図を示す。
側面断面図を、図２はその下平面図を、図３は使用時の
図を示す。
【０００９】気体供給口１を備えたホルダー１０の下端
に無接触保持具Ａを装着し、無接触保持具Ａの上方部２
に、バネ８により上下移動が可能なガイド７を取り付け
たガイド板１１を気体噴出口５に勘合させて装着し、無
接触ピックアップ装置Ｂを形成する。
に無接触保持具Ａを装着し、無接触保持具Ａの上方部２
に、バネ８により上下移動が可能なガイド７を取り付け
たガイド板１１を気体噴出口５に勘合させて装着し、無
接触ピックアップ装置Ｂを形成する。
【００１０】無接触保持具Ａは、気体噴出口５を設けた
上方部２の周囲に下方に向く周壁部６を形成し、周壁部
６の下端に広幅な作動面３を設け、周壁部６の内部をク
ッション室４となし、無接触保持具Ａを形成する。
上方部２の周囲に下方に向く周壁部６を形成し、周壁部
６の下端に広幅な作動面３を設け、周壁部６の内部をク
ッション室４となし、無接触保持具Ａを形成する。
【００１１】気体供給口１には、気体圧縮機が管路（図
示せず）を介して接続されている。
示せず）を介して接続されている。
【００１２】図３に示されているようにケース１３に収
納されたチップ９を取り出す場合、無接触ピックアップ
装置Ｂがケース１３に向かって下降していき、ガイド７
の先端が仕切り上面１４に接触すると、ガイド７の先端
はそれ以上下降せず、無接触保持具Ａは更にチップ９の
吸引可能距離まで下降する。
納されたチップ９を取り出す場合、無接触ピックアップ
装置Ｂがケース１３に向かって下降していき、ガイド７
の先端が仕切り上面１４に接触すると、ガイド７の先端
はそれ以上下降せず、無接触保持具Ａは更にチップ９の
吸引可能距離まで下降する。
【００１３】この時点で、気体供給口１に高圧流体Ｃ
（矢印）が供給される。
（矢印）が供給される。
【００１４】高圧流体Ｃは、ホルダー１０内部の無接触
保持具Ａの気体噴出口５に通じる管路を通り、気体噴出
口５よりクッション室４を通り、作動面３に近接したチ
ップ９に向かって噴出し、作動面３とチップ９との間隙
を通って外部に排出する。
保持具Ａの気体噴出口５に通じる管路を通り、気体噴出
口５よりクッション室４を通り、作動面３に近接したチ
ップ９に向かって噴出し、作動面３とチップ９との間隙
を通って外部に排出する。
【００１５】作動面３とチップ９とで形成される空間及
びクッション室４は、それぞれエゼクタのディフューザ
及び真空室の機能をなすため、無接触保持具Ａはエゼク
タとして機能し、クッション室４は負圧になり、同時に
作動面３とチップ９の空間を通る気流が増速され、ベル
ヌ−イ効果により前記空間の圧力も低下し、ともにチッ
プ９の吸引力となりチップ９を吸引する。
びクッション室４は、それぞれエゼクタのディフューザ
及び真空室の機能をなすため、無接触保持具Ａはエゼク
タとして機能し、クッション室４は負圧になり、同時に
作動面３とチップ９の空間を通る気流が増速され、ベル
ヌ−イ効果により前記空間の圧力も低下し、ともにチッ
プ９の吸引力となりチップ９を吸引する。
【００１６】チップ９が吸引され、作動面３との距離が
小になると、クッション室４は圧力室型エアクッション
効果によりクッション室４の圧力は上昇する。
小になると、クッション室４は圧力室型エアクッション
効果によりクッション室４の圧力は上昇する。
【００１７】同時に、前記空間を通る気流もクッション
効果を生じ、ともにチップ９に対して反発力となり、チ
ップ９が作動面３に接触するのを阻止する。
効果を生じ、ともにチップ９に対して反発力となり、チ
ップ９が作動面３に接触するのを阻止する。
【００１８】かようにして無接触保持具Ａは、チップ９
を空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持する。
を空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持する。
【００１９】この状態にて無接触ピックアップ装置Ｂを
引き上げ、作動面３が仕切り上面１４より上昇すれば、
ガイド７の先端は作動面３に懸垂されているチップ９上
面より下に押し下げられチップ９の端面に接触し、チッ
プ９の水平移動を規制し、無接触ピックアップ装置Ｂの
移動とともに任意の場所に移送することが可能になる。
引き上げ、作動面３が仕切り上面１４より上昇すれば、
ガイド７の先端は作動面３に懸垂されているチップ９上
面より下に押し下げられチップ９の端面に接触し、チッ
プ９の水平移動を規制し、無接触ピックアップ装置Ｂの
移動とともに任意の場所に移送することが可能になる。
【００２０】またチップ９をケース１３に収納する場合
も前述の取り出す場合の逆の操作を行なうことにより可
能である。
も前述の取り出す場合の逆の操作を行なうことにより可
能である。
【００２１】本発明に用いている無接触保持具Ａは、本
発明の発明者に係る特許第１５６３９４８号と同じもの
であるが、この他に本発明の発明者に係る特公平５−１
２１１３号あるいは、平板に気体噴出口を設けたもの、
気体を噴出及び吸引することによりワ−クを吸着するも
の、他にベルヌ−イチャックといわれるものでもよい。
発明の発明者に係る特許第１５６３９４８号と同じもの
であるが、この他に本発明の発明者に係る特公平５−１
２１１３号あるいは、平板に気体噴出口を設けたもの、
気体を噴出及び吸引することによりワ−クを吸着するも
の、他にベルヌ−イチャックといわれるものでもよい。
【００２２】またガイドは、図４に示すごとくガイド１
２がバネあるいはアクチュエータ等により水平方向に移
動し位置決めが可能なものもよくまた、自由移動可能な
弾性体にて形成してもよい。
２がバネあるいはアクチュエータ等により水平方向に移
動し位置決めが可能なものもよくまた、自由移動可能な
弾性体にて形成してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように本発明により、仕切り
上面がチップの高さより高いケースに収納されたチップ
を、空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持するため汚
したり損傷することなく取り出すことができまた、収納
することが可能な無接触ピックアップ装置を提供するこ
とが可能になった。
上面がチップの高さより高いケースに収納されたチップ
を、空中に浮遊した無接触状態にて懸垂保持するため汚
したり損傷することなく取り出すことができまた、収納
することが可能な無接触ピックアップ装置を提供するこ
とが可能になった。
【図１】無接触ピックアップ装置の側面断面図である。
【図２】無接触ピックアップ装置の下平面図である。
【図３】無接触ピックアップ装置の操作時の図面であ
る。
る。
【図４】他の方式のガイドの図である。
１ 気体供給口 ２ 上方部 ３ 作動面 ４ クッション室 ５ 気体噴出口 ６ 周壁部 ７ ガイド ８ バネ ９ チップ １１ ガイド板 １３ ケース １４ 仕切り上面 Ａ 無接触保持具 Ｂ 無接触ピックアップ装置 Ｃ 高圧流体 bb@@@@ｂウウャャフフ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｈ 3/14 8712−3Ｆ
Claims (1)
- 【請求項１】 気体を噴出することにより空中に浮遊し
た無接触状態にてチップを懸垂保持する無接触保持具
に、移動可能なガイドを装着したことを特徴とする無接
触ピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13655693A JPH06321351A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 無接触ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13655693A JPH06321351A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 無接触ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06321351A true JPH06321351A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=15177992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13655693A Pending JPH06321351A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 無接触ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06321351A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3920520A1 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Fuji Heavy Ind Ltd | Vorrichtung und verfahren zum berechnen der einlassluft einer brennkraftmaschine |
| DE10259252A1 (de) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Übergabeeinrichtung für Mikrosysteme |
| US7138614B2 (en) | 2003-12-10 | 2006-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-contact feeder system |
| DE102007047600A1 (de) * | 2007-10-05 | 2009-04-23 | Scolomatic Gmbh | Greifersystem |
| JP2010263010A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Fujitsu Ltd | 搬送装置および搬送方法 |
| CN103889876A (zh) * | 2011-10-25 | 2014-06-25 | 谢雷克斯公司 | 用于在真空动力工具中非线性压缩/伸展的波纹管的插入件 |
| WO2014106870A1 (ja) * | 2013-01-04 | 2014-07-10 | リンク・パワー株式会社 | 小物ワーク用 保持・搬送装置 |
| WO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 株式会社新川 | 搬送装置 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP13655693A patent/JPH06321351A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3920520A1 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Fuji Heavy Ind Ltd | Vorrichtung und verfahren zum berechnen der einlassluft einer brennkraftmaschine |
| DE10259252A1 (de) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Übergabeeinrichtung für Mikrosysteme |
| DE10259252B4 (de) * | 2002-12-17 | 2005-06-23 | Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg | Arbeitseinheit für Reinraumsysteme |
| US7138614B2 (en) | 2003-12-10 | 2006-11-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Non-contact feeder system |
| DE102007047600A1 (de) * | 2007-10-05 | 2009-04-23 | Scolomatic Gmbh | Greifersystem |
| JP2010263010A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Fujitsu Ltd | 搬送装置および搬送方法 |
| CN103889876A (zh) * | 2011-10-25 | 2014-06-25 | 谢雷克斯公司 | 用于在真空动力工具中非线性压缩/伸展的波纹管的插入件 |
| WO2014106870A1 (ja) * | 2013-01-04 | 2014-07-10 | リンク・パワー株式会社 | 小物ワーク用 保持・搬送装置 |
| WO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 株式会社新川 | 搬送装置 |
| JPWO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 |
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