JP3122750U - 昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】非接触保持具に非接触にて懸垂保持されている端部に垂れを生じる柔軟なワークを搬送する。
【解決手段】非接触保持具1に、非接触状態にて懸垂されているワーク2の端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために設けられた昇降を可能のストッパー3を付設し、ワークを懸垂時には、非接触保持具がワークの懸垂可能距離まで接近する位置にまで上昇し、懸垂保持搬送時にはワーク側面がストッパーに引っかかるまで下降する。
【選択図】図1
【解決手段】非接触保持具1に、非接触状態にて懸垂されているワーク2の端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために設けられた昇降を可能のストッパー3を付設し、ワークを懸垂時には、非接触保持具がワークの懸垂可能距離まで接近する位置にまで上昇し、懸垂保持搬送時にはワーク側面がストッパーに引っかかるまで下降する。
【選択図】図1
Description
本考案は、半導体ウエハ等のワークを非接触接触状態にて保持し、搬送するロボットの移載装置のハンドとして用いられる搬送装置に関するものである。
従来、空気を噴出することによりワークを非接触状態にて懸垂保持する非接触保持具がある。
この非接触保持具をロボットに装着しワークを搬送する場合、非接触保持具がワークを吸引保持した場合、非接触保持具とワークは空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持されているので、ワークは水平方向には自由に移動可能で、非接触保持具から外れて落下し、搬送することができない。
そのため懸垂保持されているワークの水平方向の移動を規制するために、非接触保持具の側面に付着したワーク幅の間隔よりやや大きな間隔を有し、かつ懸垂保持されているワーク端部表面より下方に突出する固定されたストッパーによりワーク端部側面に接触させ、ワークの水平移動を規制することにより搬送を可能にしている。
そのため柔軟なワークの場合は、端部が垂れ下がり端部側面がストッパー下端より下になりストッパーに接触せず、そのため水平移動が規制されず、非接触保持具から外れ搬送できなかった。
また、ワークの垂れ下がった端部に接触するようにストッパーの高さを低くすると、
テーブル上に置かれたワークを吸引するには非接触保持具とワークとの間隔が大き過ぎるため、ワークの吸引ができないという欠点がある。
テーブル上に置かれたワークを吸引するには非接触保持具とワークとの間隔が大き過ぎるため、ワークの吸引ができないという欠点がある。
また固定されたストッパーを装着している非接触保持具では、ウエハチップを収納するトレーに収納されているチップ上面が周壁上面より下にあるため、非接触保持具とチップとの間隔が大きいため吸引できず、搬送が不可能である。
特開昭62−105831号公報
解決しようとする問題点は、テーブル上の柔軟なワークの懸垂保持が可能であり、非接触懸垂保持時に垂れたワーク端部側面が接触しているストッパーを備えた非接触保持装置を提供することである。
およびトレーに収納されたワークを非接触にて取り出し、搬送する非接触搬送装置を提供することである。
本願に於いて開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以下の通りである。
気体をワーク表面に向かって噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持する非接触保持具の、非接触状態にて懸垂されているワークの端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために付設されたストッパーの昇降を可能としたことを特徴とする非接触搬送装置。
本考案の昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置は、ストッパーが非接触保持具の吸引可能な位置まで上昇するので、テーブル上の柔軟なワークを非接触にて懸垂保持可能であり、懸垂保持搬送時ではストッパーが垂れ下がったワーク端部側面より下降することによりワーク側面に接触し、ワークの逃げを防止するので搬送が可能である。
そのため柔軟なワークおよびトレーに収納されたワークの非接触搬送が可能である。
ストッパーは、ワークを懸垂時には、非接触保持具がワークの懸垂可能距離まで接近する位置にまで上昇し、懸垂保持搬送時にはワーク側面がストッパーに引っかかるまで下降することにより実現した。
図1は、本考案の一実施形態である昇降ストッパー3を装着した非接触搬送装置Aの側面1部断面図を、図2は上平面図を示す。
非接触搬送装置Aは非接触保持具1と非接触保持具1に付設した昇降ストッパー3により形成されている。
非接触保持具1は、気体をワーク2に向かって噴出することにより、非接触保持具1とワーク2との間隙を通過する高速気流により減圧作用が生じ、その間隙が負圧になりワーク2を吸引し非接触にて懸垂保持する。
昇降ストッパー3は、非接触保持具1の上部から放射状に延びたバー4の先端部にバネ5により押し降げられた状態にてボルト6により取り付けられている。
昇降ストッパー3の昇降時の下端は、非接触保持具1がワーク2の懸垂可能距離よりやや下方、ワーク2上面より下方の位置である。
昇降ストッパー3の下降時の下端は、非接触保持具1がワーク2を非接触懸垂時の、ワーク2端部側面の垂れ下がった上面より下方の位置である。
上述の構成にて、図3に示すようにテーブル19上に置かれたワーク2を搬送する場合、昇降ストッパー3の下端がテーブル8上に接触し、非接触保持具1が下降するとともにバネ5が縮まり昇降ストッパー3は上昇する。
非接触保持具1がワーク2の非接触吸引距離hまで下降接近した時に、非接触保持具1より気体をワーク2に向かって噴出する。
噴出した気体は、非接触保持具1とワーク2の間隙を通り、外部に排出する。
その間、非接触保持具1とワーク2の間隙を通る高速気流により、間隙は減圧される。
それによりワーク2は非接触保持具1に吸引され、非接触状態にて懸垂保持される。
噴出した気体は、非接触保持具1とワーク2の間隙を通り、外部に排出する。
その間、非接触保持具1とワーク2の間隙を通る高速気流により、間隙は減圧される。
それによりワーク2は非接触保持具1に吸引され、非接触状態にて懸垂保持される。
その状態にて図4に示す搬送動作に移行する。
図4に示すようにワーク2を非接触状態にて保持している非接触保持具1を上昇させると、保持されているワーク2の端部は垂れ下がる。
図4に示すようにワーク2を非接触状態にて保持している非接触保持具1を上昇させると、保持されているワーク2の端部は垂れ下がる。
昇降ストッパー3は、テーブル19を離れるとバネ5が延び垂れ下がったワーク2の端部上面より下方の位置まで下降する。
そのため垂れ下がったワーク2の端部は昇降ストッパ3に接触し水平移動が妨げられ、非接触保持具1より外れることなく、非接触搬送装置Aに非接触保持された状態にて移動し、搬送される。
図5は、本考案の別の実施例の昇降ストッパー9を備えた非接触搬送装置Bの側面断面図である。図6はその下平面図である。
非接触保持具8の側面にネジ12により取り付けられたホルダー10内に、非接触保持具8の側面を摺動し昇降可能にバネ11により押接されている昇降ストッパー9を設けて非接触搬送装置Bは形成されている。
非接触保持具8は、気体供給口14より供給された気体がワーク13に向かって噴出する。
噴出した気体は、非接触保持具8の底面とワーク18との狭い間隙を高速にて通過する。
噴出した気体は、非接触保持具8の底面とワーク18との狭い間隙を高速にて通過する。
その際、その間隙は高速気流により減圧され、ワーク18を非接触にて吸引保持する。
非接触にて吸引保持されているワーク18は、自由に水平移動するが端部側面が昇降ストッパー9に接触して移動が制限され、非接触保持具8より外れることはなく、非接触搬送装置Bの移動とともに移動する。
図7に示すように、トレー15の壁17より低い窪み16にある場合ワーク18を非接触にて取り出す場合、壁17に昇降ストッパー9を押し当て非接触保持具8を押し下げ、ワーク18の吸引可能距離にまで接近させる。
その時点で気体をワーク18に向かって気体を噴出させる。
ワーク18は非接触保持具8に非接触状態にて懸垂保持され、その状態で非接触保持具8を上昇させると、昇降ストッパー9はバネ11によりワーク18の上面より押し下げられ、ワーク18の端部側面に接触しワーク18の水平移動を規制する。
ワーク18は非接触保持具8に非接触状態にて懸垂保持され、その状態で非接触保持具8を上昇させると、昇降ストッパー9はバネ11によりワーク18の上面より押し下げられ、ワーク18の端部側面に接触しワーク18の水平移動を規制する。
この状態にて非接触搬送装置Bを移動すると、非接触保持具8より外れることはなく、非接触搬送装置Bの移動とともに移動する。
非接触保持具1は一般にベルヌーイチャックと同機構のものである。
非接触搬送装置Aの昇降ストッパー3の昇降位置を変えることにより、テーブルの窪みにあるワークの非接触吸引保持、搬送も可能である。
昇降ストッパー3の昇降位置は、上記実施例とは別に適宜設定することができる。
昇降ストッパー3は実施例に記載したバネ5機構により昇降するもの以外に自重によるもの、センサーによりアクチュエータを駆動して昇降するもの、バー4のしなりを応用する機構のもの他、ストッパーを昇降可能にする機構のものであればよい。
1、8 非接触保持具
2、18 ワーク
3、9 昇降ストッパー
4 レバー
5、11 バネ
6、 ねじ
10 ホルダー
15 トレー
19 テーブル
A、B 非接触搬送装置
2、18 ワーク
3、9 昇降ストッパー
4 レバー
5、11 バネ
6、 ねじ
10 ホルダー
15 トレー
19 テーブル
A、B 非接触搬送装置
Claims (1)
- 気体をワーク表面に向かって噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持する非接触保持具の、非接触状態にて懸垂されているワークの端側面に接触し、ワークの水平移動を規制するために付設されたストッパーの昇降を可能としたことを特徴とする非接触搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006002775U JP3122750U (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006002775U JP3122750U (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3122750U true JP3122750U (ja) | 2006-06-29 |
Family
ID=43472795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006002775U Expired - Fee Related JP3122750U (ja) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | 昇降ストッパーを付設した非接触搬送装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010263010A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Fujitsu Ltd | 搬送装置および搬送方法 |
JPWO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 |
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2006
- 2006-04-13 JP JP2006002775U patent/JP3122750U/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2010263010A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Fujitsu Ltd | 搬送装置および搬送方法 |
JPWO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | ||
WO2020213566A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 株式会社新川 | 搬送装置 |
JP7161251B2 (ja) | 2019-04-15 | 2022-10-26 | 株式会社新川 | 搬送装置 |
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