JP2015065227A - 基板保持機構およびそれを用いた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 ベース部
13 上面部
14 チャック部
15 気体噴出口
16 気体噴出口
17 スペーサ
18 連結部材
19 磁石
21 昇降ピン
22 支持部
23 案内部
25 支持ピン
26 支持部
29 磁石
30 昇降機構
31 当接部材
32 昇降軸
34 スライダ
35 ボールねじ
37 ロータリエンコーダ
38 モータ
40 中空モータ
42 窒素ガスの供給源
45 開閉弁
46 開閉弁
98 処理液供給ノズル
99 ハンド部
100 基板
Claims (7)
- 基板を保持する基板保持機構において、
前記基板の下面外周部と対向する上面部を有するステージと、
前記基板の下面中央部と対向する平面部を有し、この平面部に気体噴出口が形成され、前記ステージに対して昇降可能に配設され、前記基板の下面に気体を噴出することにより、前記基板と前記平面部との間に生ずる負圧を利用して基板を非接触で保持するためのチャック部と、
前記ステージに対して昇降可能に配設され、前記基板の端縁付近をその下面から支持する複数の昇降ピンと、
前記チャック部と前記複数の昇降ピンとを同期して昇降させる昇降機構と、
を備えたことを特徴とする基板保持機構。 - 請求項1に記載の基板保持機構において、
前記チャック部の平面部と前記ステージの上面部とにより、前記基板の下面全域と対向する平面が形成される基板保持機構。 - 請求項2に記載の基板保持機構において、
前記基板を、その下面が前記チャック部の平面部と前記ステージの上面部とにより形成される平面から離隔した位置に支持する複数の支持ピンを備える基板保持機構。 - 請求項3に記載の基板保持機構において、
前記ステージと対向配置された基板の下面の端縁付近に気体を吹き付けるための気体噴出口をさらに備える基板保持機構。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板保持機構において、
前記複数の昇降ピンは、基板の下面に当接する支持部と、基板の端縁に当接する案内部とを備える基板保持機構。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板保持機構において、
前記昇降機構は、前記チャック部と前記複数の昇降ピンとを連結する連結部を備え、当該連結部を昇降させることにより、前記チャック部と前記複数の昇降ピンとを同期して昇降させる基板保持機構。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板保持機構と、
前記基板保持機構を回転駆動する回転駆動源と、
前記基板保持機構に保持された基板に対して所定の処理を施す処理機構と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
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