JP2010135401A - ウェハ位置合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アライナ装置10は、第1のベルヌーイチャック12、第2のベルヌーイチャック14、昇降機構62、および回転機構64を少なくとも備える。第1のベルヌーイチャック12は、円板状を呈する。第2のベルヌーイチャック14は、第1のベルヌーイチャック12を収容可能な中空部を有する環状板状を呈する。昇降機構62は、第2のベルヌーイチャック14に対して第1のベルヌーイチャック12を昇降させるように構成される。回転機構64は、第1のベルヌーイチャック12と第2のベルヌーイチャック14とを同一方向に同一速度で回転させることが可能に構成される。
【選択図】図5
Description
12−第1のベルヌーイチャック
14−第2のベルヌーイチャック
16−センサ部
62−昇降機構
64−回転機構
124−第1の配管
126−第1のスピンドル
144−第2の配管
146−第2のスピンドル
Claims (3)
- ウェハを回転させてオリエンテーションフラットおよびノッチを含むマークを検出し、ウェハの位置合わせを行うように構成されたウェハ位置合わせ装置であって、
円板状を呈する第1のベルヌーイチャックと、
前記第1のベルヌーイチャックを収容可能な中空部を有する環状板状を呈する第2のベルヌーイチャックと、
前記第2のベルヌーイチャックに対して前記第1のベルヌーイチャックを昇降させるように構成された昇降機構であって、前記第1のベルヌーイチャックが前記第2のベルヌーイチャックと同一平面上に配置される第1の位置、および、前記第1の位置より上方であって前記第1のベルヌーイチャックに対するウェハの受け渡しが可能な第2の位置の間で前記第1のベルヌーイチャックを昇降させる昇降機構と、
前記第1のベルヌーイチャックと前記第2のベルヌーイチャックとを同一方向に同一速度で回転させることが可能な回転機構と、
を備えたウェハ位置合わせ装置。 - 前記回転機構は、前記第1のベルヌーイチャックに固定された第1のスピンドルと、前記第2のベルヌーイチャックに固定された、第1のスピンドルが挿通可能な中空部を有する筒状の第2のスピンドルとを少なくとも有しており、
前記第1のスピンドルの外周面と前記第2のスピンドルの内周面とがスプライン構造となっている請求項1に記載のウェハ位置合わせ装置。 - 前記第1のベルヌーイチャックにエアを供給する第1のエア供給部と、前記第2のベルヌーイチャックにエアを供給する第2のエア供給部とをさらに備え、
前記第1のエア供給部および前記第2のエア供給部が互いに独立して制御されるように構成される請求項1または2に記載のウェハ位置合わせ装置。
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