JP2003093978A - キャリヤプレートの洗浄方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 円板形のキャリヤプレートを縦向き姿勢で非
回転のまま確実に洗浄することができると共に、リンス
処理と乾燥処理とを同じ槽内で効率的に行うことができ
る洗浄装置を得る。 【解決手段】 キャリヤプレートＷを縦向きにクランプ
するクランプ手段５Ａ〜５Ｃと、クランプ手段５Ｂで洗
浄液６中を縦向き姿勢で引き上げられていくキャリヤプ
レートＷの両面を、横向きに設置された一対のロールブ
ラシ１５，１５でスクラブ洗浄するように構成された第
１処理槽１と、クランプ手段５Ｃで縦向き姿勢で引き上
げられていくキャリヤプレートＷの両面を、下段位置に
設置されたシャワーノズル２２からリンス液を噴射しな
がら一対のロールブラシ２１，２１でスクラブリンスす
ると共に、上段位置に設置された一対の絞りローラー２
３，２３で水切り乾燥するように構成された第２処理槽
２とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、片面研磨機におい
てワークの貼着保持に用いられる円板形のキャリヤプレ
ートを洗浄するための技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエハによる半導体ディ
バイスの製造工程においては、ウエハの表面を極めて平
滑に形成することが要求されており、このため該ウエハ
は、その表面が片面研磨機により鏡面研磨される。この
場合に該ウエハは、溶媒により希釈したワックス等の接
着剤によりキャリヤプレートに貼り付けられ、片面研磨
機にセットされるが、この場合に、ウエハとキャリヤプ
レートとの間に接着剤が薄くかつ均一に塗布されていな
いと、研磨した際にウエハの表面に微細な凹凸が生じ、
高度な平坦度が得られない。また、キャリヤプレートの
表面に微小なごみ等が存在していても、このごみの部分
で接着剤にディンプルが発生し、ウエハの均一な貼り付
けを妨げる原因となる。そのため、研磨終了後にウエハ
を剥したキャリヤプレートは、その表面に接着剤やごみ
等が残存しないように十分に洗浄されなければならな
い。

【０００３】上記キャリヤプレートは、繰り返し使用さ
れるものであるため、化学的に安定で径時変化の少ない
セラミックやガラス等の材質で円板形に作られている。
そして、各種サイズのウエハを複数枚ずつ貼り付けるこ
とができるように、直径が数十ｃｍ、厚さが２０ｍｍ程
度のものが各種用意され、それらの重さは２０〜３０ｋ
ｇ程度で、それ以上になるものも多い。

【０００４】このようなキャリヤプレートを洗浄する技
術として、従来より、例えば実用新案登録第２５６４６
６１号公報や、特開平１１−２３３４６５号公報等に記
載の技術が知られている。

【０００５】このうち前者は、キャリヤプレートを水平
に向けて回転させながら、アルカリ水溶液などの洗浄液
を使用してブラシで洗浄するようにしているが、キャリ
ヤプレートが水平を向いているため、剥離した接着剤等
の汚れがそのままキャリヤプレート上に残り易いという
欠点がある。また、洗浄後の乾燥工程では、窒素ガス等
の気体をノズルから噴射するようにしているため、乾燥
に時間がかかるといった問題もある。

【０００６】一方、後者の方法は、アルカリ液が貯留さ
れた洗浄槽内にキャリヤプレートを縦向きにして移送し
たあと、外周に接する回転ローラーで強制回転させなが
ら、その両面に円板形の回転ブラシを押し付けて揺動さ
せることにより洗浄し、その後、乾燥槽に移送し、８０
℃程度に加熱された温水中に浸漬させたあと引き上げる
ことにより、温水の蒸発により乾燥させるものである。

【０００７】ところが、このような後者の洗浄方法にお
いては、洗浄時にキャリヤプレートを回転ローラーで強
制回転させているため、この回転ローラー専用の駆動機
構が必要であるとか、円板形の回転ブラシを使用してい
るため、この回転ブラシをキャリヤプレートの全面に押
し付けるにはそれを揺動させる必要があり、そのための
揺動機構が必要になるといったような問題があり、装置
の構造が複雑化してコストが高くなる。また、複数の洗
浄槽の他に乾燥だけを行う専用の乾燥槽を備えているた
め、多くの槽が必要で装置が大形化かつ高コスト化し、
しかも、この乾燥槽においては温水による乾燥を行って
いるため、温水を作る設備が必要になるといったような
問題点もある

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、円板形のキャリヤプレートを縦向き姿勢で非回転の
まま確実に洗浄することができると共に、リンス処理と
乾燥処理とを同じ槽内で効率的に行うことができる、低
コストで合理的なキャリヤプレート洗浄のための技術を
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明によれば、円板形をしたキャリヤプレートを、第
１処理槽内の加温された洗浄液中に縦向き姿勢で浸漬さ
せるステップ、上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のま
ま徐々に引き上げながら、上記洗浄液中に横向きに設置
されて駆動回転される一対のロールブラシを両面に押し
付けてスクラブ洗浄するステップ、横向きに設置された
一対のロールブラシとシャワーノズルとを下段に有する
と共に、横向きに設置された一対の絞りローラーを上段
に有する第２処理槽内に、上記第１処理槽から取り出さ
れたキャリヤプレートを縦向き姿勢のまま収容するステ
ップ、上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に
引き上げながら、このキャリヤプレートに、下段位置に
おいて上記シャワーノズルからリンス液を噴射して上記
ロールブラシによるスクラブリンスを施すと共に、上段
位置において上記絞りローラーによる水切り乾燥を行う
ステップ、を有することを特徴とするキャリヤプレート
の洗浄方法が提供される。

【００１０】このような本発明の方法によれば、キャリ
ヤプレートを縦向き姿勢で非回転のまま確実に洗浄する
ことができると共に、リンス処理と乾燥処理とを同じ槽
内で効率的に行うことができる。

【００１１】上記洗浄及びリンスを行うに当たっては、
各処理槽内のロールブラシをキャリヤプレートの引き上
げ方向とは逆方向に回転させることが望ましい。

【００１２】また、上記方法を実施するため、本発明に
よれば、円板形のキャリヤプレートを縦向きにクランプ
して搬送する複数のクランプ手段と、加温された洗浄液
が収容されると共に、該洗浄液中に浸漬する位置に、上
記キャリヤプレートの直径と同等以上の長さを持つ一対
のロールブラシが水平軸線の回りに駆動回転自在なるよ
うに配設され、上記クランプ手段で洗浄液中を縦向き姿
勢で引き上げられていくキャリヤプレートの両面をこれ
らのロールブラシでスクラブ洗浄するように構成された
第１処理槽と、水平軸線の回りに駆動回転自在の一対の
ロールブラシとリンス液を噴射するためのシャワーノズ
ルとを下段位置に備えると共に、水平軸線の回りに回転
自在の一対の絞りローラーを上段位置に備え、上記クラ
ンプ手段で槽内を縦向き姿勢で引き上げられていくキャ
リヤプレートに、下段位置において上記シャワーノズル
からリンス液を噴射しながらロールブラシでリンス処理
を施すと共に、上段位置において上記絞りローラーで水
切り乾燥処理を施すように構成された第２処理槽と、を
有することを特徴とする洗浄装置が提供される。

【００１３】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
第１処理槽及び第２処理槽の内部にそれぞれ、上記クラ
ンプ手段で供給されたキャリヤプレートを、各処理が開
始されるまで縦向きに支持するための支持部材が設けら
れている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るキャリヤプレ
ート用洗浄装置の好ましい実施形態を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。図１に概略的に示すようにこの洗浄
装置は、キャリヤプレートＷにスクラブ洗浄処理を施す
ための第１処理槽１と、スクラブ洗浄されたキャリヤプ
レートＷにリンス処理と乾燥処理とを施すための第２処
理槽２と、未処理のキャリヤプレートＷを上記第１処理
槽１に隣接する位置まで搬送するための入口側コンベア
３と、上記第２処理槽２から取り出された処理済のキャ
リヤプレートＷを次工程に送るための出口側コンベア４
と、上記キャリヤプレートＷをクランプして搬送するた
めの複数（図示の例では３つ）のクランプ手段５Ａ，５
Ｂ，５Ｃとを備えている。なお、このクランプ手段につ
いては、それらを区別して表現するとき以外は、それら
を共通の符号「５」で表すものとする。

【００１５】上記各クランプ手段５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、
円板形をした上記キャリヤプレートＷを縦向きにクラン
プするように構成されていて、クランプに関して互いに
同一の構成を有するものである。即ち、このクランプ手
段５は、キャリヤプレートＷの直径よりやや大きい間隔
をおいて相対する一対のクランプアーム１０，１０を有
していて、これらのクランプアーム１０，１０の下端に
は、断面Ｖ字形又はＵ字形の支持溝１１ａを内側に有す
る爪部材１１が、キャリヤプレートＷの直径よりやや小
さい間隔を保って相対するように取り付けられ、これら
一対の爪部材１１，１１の支持溝１１ａ，１１ａ内にキ
ャリヤプレートＷの外周部を嵌合させることにより、該
キャリヤプレートＷを縦向き姿勢でクランプできるよう
になっている。この場合に上記キャリヤプレートＷは、
中心よりやや低位置で上記爪部材１１，１１に支持され
ることになる。

【００１６】上記各クランプ手段５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、
図示しない駆動機構によって図１の上下方向と左右方向
と前後方向（紙面に垂直な方向）とにそれぞれが独立し
て移動させられるようになっている。そして、上記各処
理槽１，２の内部や入口側コンベア３上等に置かれたキ
ャリヤプレートＷをクランプするときには、図６及び図
７に示すように、支持部材８上に縦向きに支持されてい
るキャリヤプレートＷの後ろのやや離れた位置をクラン
プアーム１０，１０が下降し、先端の爪部材１１，１１
がクランプ位置よりも十分に低い実線の位置に達したと
ころで一旦停止し、そのあと、クランプアーム１０，１
０がキャリヤプレートＷと重なる位置まで前進し、その
位置で上昇することにより、図６に鎖線で示すように、
爪部材１１，１１がキャリヤプレートＷの外周部に係止
してそのクランプが行われる。そして、この状態でクラ
ンプ手段５がさらに上昇することにより、キャリヤプレ
ートＷが持ち上げられる。クランプしたキャリヤプレー
トＷを解放するときは、上述した場合とは逆の動作が行
われる。

【００１７】また、上記第１処理槽１は、図１及び図２
から分かるように、上面が開放する平面視矩形の箱形を
していて、前面壁１ａが後面壁１ｂより低く形成され、
該前面壁１ａの上端部前面に回収溝１ｃが形成されてい
る。そして、該処理槽１の内部には前面壁１ａの上端近
くまで洗浄液６が収容され、この前面壁１ａをオーバー
フローした洗浄液６が上記回収溝１ｃで回収されるよう
になっている。上記洗浄液６としては、例えばアルカリ
水溶液や純水あるいは市水等が使用される。上記第１処
理槽１の内部にはヒーター１３が設けられていて、この
ヒーター１３によって洗浄液６が、例えば４０〜６０℃
程度の温度に加熱されるようになっている。

【００１８】上記第１処理槽１の内部にはまた、上記洗
浄液６中に浸漬する位置に、キャリヤプレートＷの直径
と同等以上の長さを持つ一対のロールブラシ１５，１５
が、水平軸線の回りに回転自在なるように設置されてい
る。これらのロールブラシ１５，１５は、硬質の円柱形
をした芯材の回りにナイロン（登録商標）等の合成繊維
やその他の繊維を放射状に植設することにより円柱状に
形成したもので、互いに同じ直径を有し、槽内の相対す
る位置に個別の支持アーム１６，１６によって回転自在
なるように支持され、図示しないモーターに連結されて
個別に駆動回転されるようになっている。また、上記各
支持アーム１６，１６の上端はそれぞれ個別の移動機構
１７，１７に連結され、これらの移動機構１７，１７に
よって２つのロールブラシ１５，１５が、相互に接近及
び離反する方向に移動自在となっている。上記各移動機
構１７は、処理槽１の上縁部にロールブラシ１５の軸線
と直交する向きに取り付けられたレール１７ａと、この
レール１７ａに沿って移動自在の移動テーブル１７ｂと
を有し、この移動テーブル１７ｂに上記支持アーム１６
が取り付けられており、この移動テーブル１７ｂを、図
示しないエアシリンダーやモーター駆動されるボールね
じ等の推進手段で前後進させることにより、上記一対の
ロールブラシ１５，１５が相互に接離する方向に移動す
るようになっている。

【００１９】上記第１処理槽１の内底部には、搬入され
たキャリヤプレートＷを一旦縦向きに支持させておくた
めの支持部材１２が設けられている。この支持部材１２
は、プレートを縦向きに立設したような形をしていて、
その上面に、断面がＶ字形又はＵ字形をして円弧状に湾
曲する支持溝１２ａを有し、この支持溝１２ａ内にキャ
リヤプレートＷの下端部を嵌合させることによって縦向
きに支持するものである。

【００２０】いま、入口側コンベア３上に上記支持部材
１２と同様の支持部材３ａにより支持されているキャリ
ヤプレートＷが、第１のクランプ手段５Ａによって上述
した方法によりクランプされ、図２に示すように上記第
１処理槽１内の支持部材１２上に供給、載置されると、
この第１のクランプ手段５Ａは入口側コンベア３側に復
帰し、第２のクランプ手段５Ｂがこの第１処理槽１まで
移動して上記支持部材１２上のキャリヤプレートＷをク
ランプする。続いて、図３に示すように、一対のロール
ブラシ１５，１５が回転しながら相互に接近し、上記キ
ャリヤプレートＷの両面に接触すると共に、上記第２の
クランプ手段５Ｂが上昇を開始し、キャリヤプレートＷ
を徐々に引き上げていく。これにより該キャリヤプレー
トＷは、上記第２のクランプ手段５Ｂに縦向きかつ非回
転状態に支持されたまま、上記ロールブラシ１５，１５
によりその両面が洗浄液６中でスクラブ洗浄されること
になる。上記各ロールブラシ１５，１５は、図３に示す
ように、キャリヤプレートＷの引き上げ方向とは逆方向
に回転させることが望ましい。

【００２１】スクラブ洗浄が終わって図２に鎖線で示す
ように洗浄液６から引き上げられたキャリヤプレートＷ
は、そのまま後段の第２処理槽２まで搬送され、その内
底部に設置された支持部材２０上に載置される。このと
き、キャリヤプレートＷが取り出された上記第１処理槽
１には、上記第１のクランプ手段５Ａによって入口側コ
ンベア３から新たなキャリヤプレートＷが搬入される。
また、第３のクランプ手段５Ｃは、出口側コンベア４の
位置に移動している。

【００２２】上記第２処理槽２は、図１及び図４から分
かるように、第１処理槽１と同様に上面が開放する平面
視矩形の箱形をしているが、第１処理槽１と違って内部
にリンス液を貯留しないため、前面壁２ａと後面壁２ｂ
とは同じ高さに形成され、第１処理槽１のようなオーバ
ーフローする液を回収するための回収溝１ｃは形成され
ていない。

【００２３】上記第２処理槽２の内部には、水平軸線の
回りに駆動回転自在の一対のロールブラシ２１，２１
と、純水や市水等のリンス液を噴射するための複数のシ
ャワーノズル２２とが設けられると共に、それらの上段
位置に、水平軸線の回りに回転自在の一対の絞りローラ
ー２３，２３が設けられている。

【００２４】上記ロールブラシ２１，２１は、上記第１
処理槽１内のロールブラシ１５，１５と同様の構成を有
するもので、個別の支持アーム２５，２６によって相対
する位置に回転自在なるように支持され、図示しないモ
ーターに連結されて個別に駆動回転されるようになって
いる。また、上記各支持アーム２５，２５の上端はそれ
ぞれ個別の移動機構２６，２６に連結され、これらの移
動機構２６，２６によって２つのロールブラシ２１，２
１が、相互に接近及び離反する方向に移動自在となって
いる。上記各移動機構２６は、処理槽１の上縁部にロー
ルブラシ２１の軸線と直交する向きに取り付けられたレ
ール２６ａと、このレール２６ａに沿って移動自在の移
動テーブル２６ｂとを有し、この移動テーブル２６ｂに
上記支持アーム２５が取り付けられており、この移動テ
ーブル２６ｂを図示しないエアシリンダーやモーター駆
動されるボールねじ等の推進手段で前後進させることに
より、上記一対のロールブラシ２１，２１が相互に接離
する方向に移動するようになっている。

【００２５】また、上記シャワーノズル２２は、一対の
ロールブラシ２１，２１のそれぞれの側に、各ロールブ
ラシ２１，２１の上面に沿って複数配設され、対応する
ロールブラシ２１，２１と一緒に接離方向に移動するよ
うになっている。

【００２６】一方、上記絞りローラー２３，２３は、硬
質の芯材の回りにスポンジ体を取り付けることによって
円柱状に形成したもので、互いに同じ直径を有している
が、上記ロールブラシ２１，２１よりは小径かつ長尺に
形成され、槽内の相対する位置に個別の支持アーム２
８，２８によって回転自在なるように支持されている。
そして、上記各支持アーム２８，２８の上端がそれぞれ
個別の移動機構２９，２９に連結され、これらの移動機
構２９，２９によって２つの絞りローラー２３，２３
が、相互に接近及び離反する方向に移動自在となってい
る。上記移動機構２９，２９は、上記ロールブラシ２
１，２１の移動機構２６，２６上に設けられている。即
ち、上記各移動機構２６における移動テーブル２６ｂ上
には、絞りローラー２３，２３の軸線と直交する向きに
レール２９ａが設けられると共に、このレール２９ａに
沿って摺動テーブル２９ｂが移動自在に設置され、この
移動テーブル２９ａに上記支持アーム２８，２８が取り
付けられており、この移動テーブル２９ａを図示しない
エアシリンダー等の推進手段で前後進させることによ
り、上記一対の絞りローラー２３，２３が、上記ロール
ブラシ２１，２１の接離動作とは別に相互に接離する方
向に移動できるようになっている。なお、上記絞りロー
ラー２３，２３とロールブラシ２１，２１との大きさや
長さの関係は、図示したようなものに限定されない。例
えば、絞りローラー２３，２３がロールブラシ２１，２
１と同径かそれより大径であっても、あるいは、ロール
ブラシ２１，２１と同長かそれより短尺であっても良
い。

【００２７】上記第２処理槽２の内底部には、第１処理
槽１と同様に、供給されたキャリヤプレートＷを、洗浄
が開始されるまでのあいだ縦向きに支持しておくための
上記支持部材２０が設けられている。この支持部材２０
は、プレートを縦向きに立設したような形をしていて、
その上面に断面Ｖ字形又はＵ字形の支持溝２０ａを有
し、この支持溝２０ａ内にキャリヤプレートＷの下端部
を嵌合させることによって縦向きに支持するものであ
る。

【００２８】そして、上述したように、第１処理槽１で
スクラブ洗浄されたキャリヤプレートＷが第２のクラン
プ手段５Ｂによって第２処理槽２に搬入され、支持部材
２０上に載置されると、第３のクランプ手段５Ｃがこの
第２処理槽２まで移動して上記支持部材２０上のキャリ
ヤプレートＷをクランプする。続いて、図５に示すよう
に、上記ロールブラシ２１，２１が回転しながら相互に
接近して上記キャリヤプレートＷの両面に接触すると共
に、シャワーノズル２２からリンス液が噴射され、更
に、一対の絞りローラー２３，２３も相互に近接する位
置に移動する。そして、上記第３のクランプ手段５Ｃが
上昇を開始し、キャリヤプレートＷを徐々に引き上げて
いく。これにより該キャリヤプレートＷは、上記第３の
クランプ手段５Ｃに縦向きかつ非回転状態に支持された
まま、下段位置において上記シャワーノズル２２からリ
ンス液を噴射されながら上記ロールブラシ２１，２１に
よるスクラブリンスが施されると共に、上段位置におい
て、上記絞りローラー２３，２３により両側から圧搾さ
れて水切り乾燥される。このときこれらの絞りローラー
２３，２３は、引き上げられるキャリヤプレートＷの動
きに追随して従動回転する。

【００２９】第２処理槽２から引き上げられたキャリヤ
プレートＷは、そのまま出口側コンベア４上に搬出され
て次工程に送られ、キャリヤプレートＷを解放した上記
第３のクランプ手段５Ｃは、上記第２処理槽２内に復帰
して上記動作を繰り返す。なお、上記実施例において
は、第１及び第２の処理槽１，２内に設置されているロ
ールブラシ１５，２１が繊維製のブラシであるが、芯材
の回りに合成樹脂製のスポンジ体を取り付けることによ
り構成されたスポンジ製のブラシであっても良い。

【００３０】

【発明の効果】このように本発明によれば、キャリヤプ
レートを縦向き姿勢で非回転のままロールブラシにより
確実に洗浄することができると共に、リンス処理と乾燥
処理とを同じ槽内で効率的に行うことができる。従っ
て、従来のようなキャリヤプレートを回転させるための
機構や、ロールブラシを揺動させるための機構等を必要
とせず、また、乾燥だけを行う専用の乾燥槽も必要とし
ないため、装置の構成が簡単でコストも安くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施形態を簡略的に
示す断面図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線での断面図で、非処理状
態を示すものである。

【図３】図１におけるＡ−Ａ線での断面図で、処理状態
を示すものである。

【図４】図１におけるＢ−Ｂ線での断面図で、非処理状
態を示すものである。

【図５】図１におけるＢ−Ｂ線での断面図で、処理状態
を示すものである。

【図６】クランプ手段によるキャリヤプレートのクラン
プ方法を説明するための断面図である。

【図７】図６の側断面図である。

【符号の説明】

Ｗ キャリヤプレート １ 第１処理槽 ２ 第２処理槽 ５Ａ，５Ｂ，５Ｃ クランプ手段 ６ 洗浄液 １２ 支持部材 １５ ロールブラシ ２０ 支持部材 ２１ ロールブラシ ２２ シャワーノズル ２３ 絞りローラー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA03 AB08 AB39 AB42 BA02 BA08 BA15 BB03 BB22 BB82 CC01 CC03 3B201 AA03 AB08 AB40 AB42 BA02 BA08 BA15 BB04 BB22 BB82 CC01 CC14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円板形をしたキャリヤプレートを、第１処
   理槽内の加温された洗浄液中に縦向き姿勢で浸漬させる
   ステップ、 上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に引き上
   げながら、上記洗浄液中に横向きに設置されて駆動回転
   される一対のロールブラシを両面に押し付けてスクラブ
   洗浄するステップ、 横向きに設置された一対のロールブラシとシャワーノズ
   ルとを下段に有すると共に、横向きに設置された一対の
   絞りローラーを上段に有する第２処理槽内に、上記第１
   処理槽から取り出されたキャリヤプレートを縦向き姿勢
   のまま収容するステップ、 上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に引き上
   げながら、このキャリヤプレートに、下段位置において
   上記シャワーノズルからリンス液を噴射して上記ロール
   ブラシによるスクラブリンスを施すと共に、上段位置に
   おいて上記絞りローラーによる水切り乾燥を行うステッ
   プ、を有することを特徴とするキャリヤプレートの洗浄
   方法。
2. 【請求項２】上記各処理槽内のロールブラシを、キャリ
   ヤプレートの引き上げ方向とは逆方向に回転させること
   を特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
3. 【請求項３】円板形のキャリヤプレートを縦向きにクラ
   ンプして搬送する複数のクランプ手段と、 加温された洗浄液が収容されると共に、該洗浄液中に浸
   漬する位置に、上記キャリヤプレートの直径と同等以上
   の長さを持つ一対のロールブラシが水平軸線の回りに駆
   動回転自在なるように配設され、上記クランプ手段で洗
   浄液中を縦向き姿勢で引き上げられていくキャリヤプレ
   ートの両面をこれらのロールブラシでスクラブ洗浄する
   ように構成された第１処理槽と、 水平軸線の回りに駆動回転自在の一対のロールブラシと
   リンス液を噴射するためのシャワーノズルとを下段位置
   に備えると共に、水平軸線の回りに回転自在の一対の絞
   りローラーを上段位置に備え、上記クランプ手段で槽内
   を縦向き姿勢で引き上げられていくキャリヤプレート
   に、下段位置において上記シャワーノズルからリンス液
   を噴射しながら上記ロールブラシでリンス処理を施すと
   共に、上段位置において上記絞りローラーで水切り乾燥
   処理を施すように構成された第２処理槽と、を有するこ
   とを特徴とするキャリヤプレートの洗浄装置。
4. 【請求項４】上記第１処理槽及び第２処理槽の内部にそ
   れぞれ、上記クランプ手段で供給されたキャリヤプレー
   トを、各処理が開始されるまで縦向きに支持するための
   支持部材が設けられていることを特徴とする請求項３に
   記載の洗浄装置。