JPH0713211Y2 - スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、例えば、液晶カラーテレビ用カラーフィル
タ、半導体用フォトマスク、シリコンウェハ等の製造工
程において、スピン方式にて基板にレジストを塗布する
装置に関する。

［従来の技術］ この種のスピン方式レジスト塗布装置は、基板の上に耐
食皮膜を形成するためにスピンチャックに保持された基
板の上にレジストを滴下し、スピンチャックの回転を利
用して基板の表面に均一にレジストを塗布するものであ
るが、その塗布作業中にスピンチャックの表面にもレジ
ストが付着してしまう。

そのため、従来は作業者が定期的にスピンチャック表面
に付着したレジストを洗浄液を用いてガーゼ等で拭いて
いた。

［考案が解決しようとする課題］ 前記のように、従来の技術においてはスピンチャック表
面の洗浄作業は作業者に頼るため、多くの時間と労力が
かかり、またレジスト塗布装置がインライン構成の設備
である場合には、洗浄作業に当ってライン全体を止めな
ければならないため設備全体の効率の低下をきたしてい
た。

しかし、洗浄作業を怠れば、スピンチャック表面に付着
したレジストが、次の処理基板の裏面に付着し、後の工
程に悪影響を与えるという問題点があった。

［課題を解決するための手段］ 前記課題を解決するための本考案の構成を図面を用いて
説明すると、本考案のスピンチャック洗浄機能付きレジ
スト塗布装置は、導通穴を有する回転軸上端部に取付け
られ、前記導入穴と接続された基板吸着面を備えるスピ
ンチャック上面に基板を吸着保持し、スピン方式により
前記基板にレジストを塗布する装置において、前記スピ
ンチャック表面に対して移動可能なチャック洗浄ブラシ
と洗浄液供給用洗浄ノズルとを設けるとともに、前記回
転軸導通穴に三方弁を介してエアーまたはバキュームを
切換連結するよう構成し、バキュームにより吸着固定さ
れたスピンチャック上の基板にレジストを塗布し、その
基板搬出後に基板吸着面よりエアーを吹き出させなが
ら、スピンチャック表面に付着したレジストを洗浄する
ようにしたことを特徴とするものである。

［作用］ 本考案のレジスト塗付装置を用いれば、レジストを塗布
した基板を装置から搬出した後、洗浄ブラシをスピンチ
ャックの表面上の移動し、基板吸着面よりエアーを吹き
出させ、洗浄ノズルから洗浄液を供給しながら、スクラ
ブ洗浄を行ない、スピンチャック表面に付着したレジス
トを洗浄・除去し、その後しばらく洗浄液のみで仕上げ
洗浄を行なった後、スピンチャックを高速回転させて乾
燥を行なうことができる。

［実施例］ 以下、本考案の実施例について具体的に説明すると、図
面は本考案レジスト塗布装置の一実施例の断面側面図
で、１は塗布カップ、２は密閉カップである。３は密閉
カップ支持部で上下駆動ができるような機構になってお
り、密閉カップ２と洗浄ノズル４が取り付けられてい
る。５はレジスト塗布ノズルで、旋回させることによっ
てスピンチャック６の中心部まで移動できるようになっ
ている。７はスピンモータ、８は回転軸であり、エアー
・バキューム兼用の導通穴があけてあり、９の三方弁に
より、スピンチャック６の上面端部の基板吸着面10ま
で、エアーまたはバキュームが伝わるようになってい
る。11はシール材で、回転軸８が回転中でも、エアー、
バキュームがリークしないようになっている。12はナイ
ロン製等の毛を有するチャック洗浄ブラシで、ブラシ回
転モータ13より回転をベルトで与えられる。チャック洗
浄ブラシ12、ブラシ回転モータ13は、ブラシアームに取
り付けてあり、アーム移動モータ15により、チャック洗
浄時間以外は塗布カップ１の端まで移動されるようにな
っている。

次に、本考案のスピンチャック洗浄機能付きレジスト塗
布装置をインラインとして使用した場合のプロセスにつ
いて説明すると、先ず本装置で基板にレジスト塗布ノズ
ル５を利用してレジストを塗布し、次の工程へ基板を搬
出した後、密閉カップ支持部３を下方へ作動させ、密閉
カップ２を下降させて塗布カップ１の上部に嵌合させ、
被覆を行なう。また、三方弁９を介してスピンチャック
６の上面端部の基板吸着面10よりエアーを吐出させ、ス
ピンチャック６を回転をさせ始める。次に、洗浄液を洗
浄ノズル４より吐出させ、チャック洗浄ブラシ12を回転
しながら、チャック洗浄位置まで移動し、レジスト塗布
時にスピンチャック６の上面に付着したレジストをスク
ラブ洗浄する。レジストが除去できたら、塗布カップ１
の端までチャック洗浄ブラシ12を移動・退避させ、しば
らく洗浄液のみで仕上げ洗浄を行なう。次に、洗浄液を
止め、スピンチャック６を高速回転させて乾燥を行な
う。以上で１サイクルを終了し、密閉カップ支持部３を
上方へ作動させ、密閉カップ２を上昇させて塗布カップ
１の上部を開放し、次の基板が搬入されて再びレジスト
塗布工程が繰り返されることになる。

ここで、前記洗浄ブラシ12は、スピンチャック６の表面
が平面ではなく、また強く接触させても損傷を与える心
配がないので、ナイロン製の毛のやや長いもの、すなわ
ち0.1φ×20mm位のナイロンを束ねたものを使用すると
よい。またブラシ12の可動範囲は少なくともスピンチャ
ック６の外周端から15〜20mm程度内側が洗浄できればよ
く、洗浄時のスピンチャック６の回転数は200rpm、ブラ
シ12の回転数は500rpm程度にし、乾燥時のスピンチャッ
ク６の回転数は2000rpm程度にする。

なお、本考案において使用するレジストは、ポリビニー
ルアルコール、カゼインゼラチン等の水溶性樹脂が主な
ものであるが、この場合の洗浄液には40℃位の湯を使用
し、他の溶剤系のレジストの場合には専用の洗浄液また
は溶剤を使用する。

［考案の効果］ 本考案のレジスト塗布装置は、導通穴を有する回転軸上
端部に取付けられ、前記導入穴と接続された基板吸着面
を備える基板固定支持用スピンチャック表面に対して移
動可能なチャック洗浄ブラシと洗浄液供給用洗浄ノズル
とを設けるとともに、前記回転軸導通穴に三方弁を介し
てエアーまたはバキュームを切換連結するよう構成した
ことにより、スピンチャック洗浄の際に基板吸着面より
エアーを吹き出させて、基板吸着面より洗浄液が回転軸
導入穴に流入するのを防止するとともに、スピンチャッ
ク表面に付着したレジストを洗浄することができるの
で、従来スピンチャックの表面に付着したレジストを作
業者が定期的に洗浄液を用いてガーゼ等で拭いていた作
業を除くことができ、またインラインで構成された設備
中にレジスト塗布装置がある場合にはラインを止めるこ
ともなく、スピンチャック表面に付着したレジストを洗
浄する作業を効率よく行なうことができる。

そして、本考案の装置によってスピンチャックの洗浄作
業を行えば、従来スピンチャック表面に付着したレジス
トが次の基板へのレジスト塗布時に基板裏面に再付着
し、後の工程に悪影響を与えていた問題をなくすことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案のスピンチャック洗浄機能付きレジス
ト塗布装置の断面側面図である。 １……塗布カップ、２……密閉カップ、３……密閉カッ
プ支持部、４……洗浄ノズル、５……レジスト塗布ノズ
ル、６……スピンチャック、10……基板吸着面、12……
チャック洗浄ブラシ、13……ブラシ回転モータ、14……
ブラシアーム、15……アーム移動モータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】導通穴を有する回転軸上端部に取付けら
   れ、前記導入穴と接続された基板吸着面を備えるスピン
   チャック上面に基板を吸着保持し、スピン方式により前
   記基板にレジストを塗布する装置において、前記スピン
   チャック表面に対して移動可能なチャック洗浄ブラシと
   洗浄液供給用洗浄ノズルとを設けるとともに、前記回転
   軸導通穴に三方弁を介してエアーまたはバキュームを切
   換連結するよう構成し、バキュームにより吸着固定され
   たスピンチャック上の基板にレジストを塗布し、その基
   板搬出後に基板吸着面よりエアーを吹き出させながら、
   スピンチャック表面に付着したレジストを洗浄するよう
   にしたことを特徴とするスピンチャック洗浄機能付きレ
   ジスト塗布装置。