JPH06120186A - ウエハキャリア洗浄方法 - Google Patents
ウエハキャリア洗浄方法Info
- Publication number
- JPH06120186A JPH06120186A JP29783892A JP29783892A JPH06120186A JP H06120186 A JPH06120186 A JP H06120186A JP 29783892 A JP29783892 A JP 29783892A JP 29783892 A JP29783892 A JP 29783892A JP H06120186 A JPH06120186 A JP H06120186A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- carrier
- brush
- wafer
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハキャリアを能率よく自動洗浄する。ウ
エハキャリアに突き刺さったウエハの破片も除去する。 【構成】 キャリアをロボットＡでブラシ洗浄装置２０
に運ぶ。ブラシ洗浄装置２０は、キャリアの内外面をブ
ラッシングする。ブラッシングを終えたキャリアをロボ
ットＡで超音波洗浄槽３０へ運び、超音波が発振された
温純水に浸漬する。超音波洗浄を終えたキャリアをロボ
ットＡで仕上げ洗浄槽４０に運び、純水で仕上げ洗浄す
る。
エハキャリアに突き刺さったウエハの破片も除去する。 【構成】 キャリアをロボットＡでブラシ洗浄装置２０
に運ぶ。ブラシ洗浄装置２０は、キャリアの内外面をブ
ラッシングする。ブラッシングを終えたキャリアをロボ
ットＡで超音波洗浄槽３０へ運び、超音波が発振された
温純水に浸漬する。超音波洗浄を終えたキャリアをロボ
ットＡで仕上げ洗浄槽４０に運び、純水で仕上げ洗浄す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの搬送に
使用されるウエハキャリアの洗浄方法に関する。
使用されるウエハキャリアの洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造においては、半導体ウエハ
の搬送に、ウエハキャリアと呼ばれる収納具が使用され
る。このウエハキャリアは、内面に設けた多数の溝によ
って、多数枚の半導体ウエハを整列保持させるようにな
っており、使用の繰り返しにより内外面が汚れる。汚れ
たキャリアは、半導体ウエハの汚染の原因になるので、
その洗浄が行われる。そして、ウェハキャリアの洗浄
は、これまで、高圧ジェットやメカソニック等による自
動洗浄、もしくは有機溶剤を併用したハンドブラシ洗浄
により行われていた。
の搬送に、ウエハキャリアと呼ばれる収納具が使用され
る。このウエハキャリアは、内面に設けた多数の溝によ
って、多数枚の半導体ウエハを整列保持させるようにな
っており、使用の繰り返しにより内外面が汚れる。汚れ
たキャリアは、半導体ウエハの汚染の原因になるので、
その洗浄が行われる。そして、ウェハキャリアの洗浄
は、これまで、高圧ジェットやメカソニック等による自
動洗浄、もしくは有機溶剤を併用したハンドブラシ洗浄
により行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
自動洗浄では、キャリアに突き刺さったウエハの破片ま
で除去するのは困難である。その点、ハンドブラシ洗浄
では、入念な作業さえ行えばウエハの破片も除去でき
る。しかし、ハンドブラシによる洗浄では、能率が低
く、洗浄度のバラツキも大きい。更に、使用する溶剤に
よっては、人体への悪影響も問題になる。
自動洗浄では、キャリアに突き刺さったウエハの破片ま
で除去するのは困難である。その点、ハンドブラシ洗浄
では、入念な作業さえ行えばウエハの破片も除去でき
る。しかし、ハンドブラシによる洗浄では、能率が低
く、洗浄度のバラツキも大きい。更に、使用する溶剤に
よっては、人体への悪影響も問題になる。
【０００４】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
で、ウエハキャリアを高能率に、且つ高洗浄度で安定に
自動洗浄できるウエハキャリア洗浄方法を提供すること
を目的とする。
で、ウエハキャリアを高能率に、且つ高洗浄度で安定に
自動洗浄できるウエハキャリア洗浄方法を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハキャリア
洗浄方法は、半導体ウエハの搬送に使用されるキャリア
の内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した後、
そのキャリアを温純水中に浸漬して超音波洗浄し、更
に、純水により仕上げ洗浄することを特徴とする。
洗浄方法は、半導体ウエハの搬送に使用されるキャリア
の内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した後、
そのキャリアを温純水中に浸漬して超音波洗浄し、更
に、純水により仕上げ洗浄することを特徴とする。
【０００６】
【作用】機械ブラシによる洗浄は、ウエハキャリアに突
き刺さったウエハの破片を除去できる。しかも、これを
自動化しているので、能率が高く、洗浄度のバラツキも
少ない。更に、純水による超音波洗浄および仕上げ洗浄
も簡単に自動化でき、これらの洗浄により、機械ブラシ
による洗浄で除去できなかった汚れも除去される。
き刺さったウエハの破片を除去できる。しかも、これを
自動化しているので、能率が高く、洗浄度のバラツキも
少ない。更に、純水による超音波洗浄および仕上げ洗浄
も簡単に自動化でき、これらの洗浄により、機械ブラシ
による洗浄で除去できなかった汚れも除去される。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。
【０００８】本実施例は、機械ブラシによる粗洗浄、超
音波洗浄、純水による仕上げ洗浄および乾燥を全て自動
で行う。その自動洗浄装置の全体構成を図１に示し、自
動化されたブラシ洗浄装置を図２および図３に示す。
音波洗浄、純水による仕上げ洗浄および乾燥を全て自動
で行う。その自動洗浄装置の全体構成を図１に示し、自
動化されたブラシ洗浄装置を図２および図３に示す。
【０００９】自動洗浄装置は、図１に示すように、ロー
ダ１０、ブラシ洗浄装置２０、超音波洗浄槽３０、仕上
げ洗浄槽４０、乾燥装置５０およびアンローダ６０を縦
列配置し、これに２つのロボットＡ，Ｂを組み合わせた
構成になっている。
ダ１０、ブラシ洗浄装置２０、超音波洗浄槽３０、仕上
げ洗浄槽４０、乾燥装置５０およびアンローダ６０を縦
列配置し、これに２つのロボットＡ，Ｂを組み合わせた
構成になっている。
【００１０】洗浄すべきウエハキャリアは、ローダ１０
により洗浄装置に搬入される。搬入されたウエハキャリ
アは、ロボットＡによりブラシ洗浄装置２０に運ばれ
る。
により洗浄装置に搬入される。搬入されたウエハキャリ
アは、ロボットＡによりブラシ洗浄装置２０に運ばれ
る。
【００１１】ブラシ洗浄装置２０は、洗浄槽２１と、こ
れに付設された洗浄ロボット２３，２６とを有する。洗
浄槽２１には、底部から、純水と中性洗剤の混合液等よ
りなる洗浄液が導入される。洗浄槽２１に導入された洗
浄液は、角筒状の堰２１ａをオーバーフローして液面が
一定に保たれる。洗浄槽２１の底部には、回転テーブル
２２が設けられている。回転テーブル２２は、洗浄すべ
きキャリア７０を、開口部を上に向け且つ洗浄液に浸漬
する状態で槽内に支持し、更に、これを鉛直軸の回りに
回転させる。
れに付設された洗浄ロボット２３，２６とを有する。洗
浄槽２１には、底部から、純水と中性洗剤の混合液等よ
りなる洗浄液が導入される。洗浄槽２１に導入された洗
浄液は、角筒状の堰２１ａをオーバーフローして液面が
一定に保たれる。洗浄槽２１の底部には、回転テーブル
２２が設けられている。回転テーブル２２は、洗浄すべ
きキャリア７０を、開口部を上に向け且つ洗浄液に浸漬
する状態で槽内に支持し、更に、これを鉛直軸の回りに
回転させる。
【００１２】洗浄ロボット２３は、水平軸回りに回転す
る回転ブラシ２４を有する。回転ブラシ２４は、昇降機
構２５ａに取り付けられ、昇降機構２５ａは水平方向の
駆動機構２５ｂに取り付けられている。これらの機構に
より、回転ブラシ２４は、洗浄槽２１内に保持されたキ
ャリア７０の内部に挿入され、その特定の内側面に圧接
された状態でキャリア７０内を上下する。他の洗浄ロボ
ット２６は、外面洗浄ロボットで、回転ブラシ２７を昇
降機構２８ａおよび水平方向の駆動機構２８ｂで駆動す
ることにより、キャリア７０の特定の外側面を回転ブラ
シ２７によりブラッシングする。
る回転ブラシ２４を有する。回転ブラシ２４は、昇降機
構２５ａに取り付けられ、昇降機構２５ａは水平方向の
駆動機構２５ｂに取り付けられている。これらの機構に
より、回転ブラシ２４は、洗浄槽２１内に保持されたキ
ャリア７０の内部に挿入され、その特定の内側面に圧接
された状態でキャリア７０内を上下する。他の洗浄ロボ
ット２６は、外面洗浄ロボットで、回転ブラシ２７を昇
降機構２８ａおよび水平方向の駆動機構２８ｂで駆動す
ることにより、キャリア７０の特定の外側面を回転ブラ
シ２７によりブラッシングする。
【００１３】ロボットＡは、ブラシ洗浄装置２０の洗浄
槽２１内にキャリア７０を運ぶ。洗浄膜２１内に運ばれ
たキャリア７０は、回転テーブル２２に保持され、更
に、一対のクランプ２９，２９により固定される。洗浄
槽２１内にキャリア７０が固定されると、洗浄槽２１内
に洗浄液を供給しながら、キャリア７０の特定の内側面
および外側面を洗浄ロボット２３，２６によりブラッシ
ングする。このブラッシングが終わると、クランプ２
９，２９を一旦解放状態にし、回転テーブル２２を作動
させてキャリア７０を鉛直軸の回りに９０度回転させ
る。そして、次の内側面および外側面をブラッシングす
る。これを４回繰り返すことにより、キャリア７０の全
ての内側面および外側面がブラシ洗浄される。このブラ
シ洗浄により、キャリア７０の内外面にこびり付いた異
物が除去され、キャリア７０に突き刺さったウエハの破
片も除去される。
槽２１内にキャリア７０を運ぶ。洗浄膜２１内に運ばれ
たキャリア７０は、回転テーブル２２に保持され、更
に、一対のクランプ２９，２９により固定される。洗浄
槽２１内にキャリア７０が固定されると、洗浄槽２１内
に洗浄液を供給しながら、キャリア７０の特定の内側面
および外側面を洗浄ロボット２３，２６によりブラッシ
ングする。このブラッシングが終わると、クランプ２
９，２９を一旦解放状態にし、回転テーブル２２を作動
させてキャリア７０を鉛直軸の回りに９０度回転させ
る。そして、次の内側面および外側面をブラッシングす
る。これを４回繰り返すことにより、キャリア７０の全
ての内側面および外側面がブラシ洗浄される。このブラ
シ洗浄により、キャリア７０の内外面にこびり付いた異
物が除去され、キャリア７０に突き刺さったウエハの破
片も除去される。
【００１４】キャリア７０のブラシ洗浄が終了すると、
そのキャリア７０をロボットＡにて超音波洗浄槽３０に
運ぶ。超音波洗浄槽３０は、４０〜６０℃に加熱された
温純水を収容しており、その温純水中に発振された超音
波によりキャリア７０を洗浄する。超音波洗浄を終えた
キャリア７０は、ロボットＡにて仕上げ洗浄槽４０に運
ばれる。仕上げ洗浄槽４０には純水が収容されている。
この純水は槽底部から層流状態で常時供給されオーバー
フローされている。キャリア７０はこの純水に浸漬され
て仕上げ洗浄される。そして超音波洗浄および仕上げ洗
浄により、キャリア７０の表面に残存していた微細な異
物、汚れが除去される。仕上げ洗浄を終えたキャリア７
０は、ロボットＡにより乾燥装置５０に運ばれる。乾燥
装置５０は、キャリア７０を1,０００rpm 程度で回転さ
せてスピン乾燥する。乾燥を終えたキャリア７０は、別
のロボットＢにより乾燥装置５０から取り出され、アン
ローダ６０に運ばれて収納される。
そのキャリア７０をロボットＡにて超音波洗浄槽３０に
運ぶ。超音波洗浄槽３０は、４０〜６０℃に加熱された
温純水を収容しており、その温純水中に発振された超音
波によりキャリア７０を洗浄する。超音波洗浄を終えた
キャリア７０は、ロボットＡにて仕上げ洗浄槽４０に運
ばれる。仕上げ洗浄槽４０には純水が収容されている。
この純水は槽底部から層流状態で常時供給されオーバー
フローされている。キャリア７０はこの純水に浸漬され
て仕上げ洗浄される。そして超音波洗浄および仕上げ洗
浄により、キャリア７０の表面に残存していた微細な異
物、汚れが除去される。仕上げ洗浄を終えたキャリア７
０は、ロボットＡにより乾燥装置５０に運ばれる。乾燥
装置５０は、キャリア７０を1,０００rpm 程度で回転さ
せてスピン乾燥する。乾燥を終えたキャリア７０は、別
のロボットＢにより乾燥装置５０から取り出され、アン
ローダ６０に運ばれて収納される。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のウエハキャリア洗浄方法は、ブラシ洗浄、超音波洗浄
および仕上げ洗浄を組み合わせた複合自動洗浄により、
従来の自動洗浄では除去できなかったウエハの突き刺さ
り片まで取り除くことができる。また、ハンドリング洗
浄で問題となった洗浄度のバラツキ、有機溶剤による人
体への悪影響も解消される。
のウエハキャリア洗浄方法は、ブラシ洗浄、超音波洗浄
および仕上げ洗浄を組み合わせた複合自動洗浄により、
従来の自動洗浄では除去できなかったウエハの突き刺さ
り片まで取り除くことができる。また、ハンドリング洗
浄で問題となった洗浄度のバラツキ、有機溶剤による人
体への悪影響も解消される。
【図１】本発明に使用する洗浄装置の概略構成図であ
る。
る。
【図２】自動化されたブラシ洗浄装置の平面図である。
【図３】ブラシ洗浄装置の縦断側面図である。
２０ ブラシ洗浄装置 ３０ 超音波洗浄槽 ４０ 仕上げ洗浄槽 ５０ 乾燥装置 ７０ ウエハキャリア
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハの搬送に使用されるキャリ
アの内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した
後、そのキャリアを温純水中に浸漬して超音波洗浄し、
更に、純水により仕上げ洗浄することを特徴とするウエ
ハキャリア洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29783892A JPH06120186A (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | ウエハキャリア洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29783892A JPH06120186A (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | ウエハキャリア洗浄方法 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32018298A Division JP3229952B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | ウエハキャリア洗浄装置 |
| JP32018198A Division JP3229951B2 (ja) | 1998-11-11 | 1998-11-11 | ウエハキャリア洗浄装置 |
| JP2001158945A Division JP3448630B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | ウエハキャリア洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120186A true JPH06120186A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17851814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29783892A Pending JPH06120186A (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | ウエハキャリア洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06120186A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7021323B1 (en) * | 2000-06-01 | 2006-04-04 | Dainichi Shoji Kabushiki Kaisha | Dust-incompatible article transfer container cleaner |
| WO2008152552A1 (en) * | 2007-06-13 | 2008-12-18 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Led lighting device |
| JP2018133447A (ja) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 株式会社Sumco | Ｆｏｓｂ型出荷用ウェーハ収容容器の洗浄方法 |
-
1992
- 1992-10-08 JP JP29783892A patent/JPH06120186A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7021323B1 (en) * | 2000-06-01 | 2006-04-04 | Dainichi Shoji Kabushiki Kaisha | Dust-incompatible article transfer container cleaner |
| WO2008152552A1 (en) * | 2007-06-13 | 2008-12-18 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Led lighting device |
| JP2018133447A (ja) * | 2017-02-15 | 2018-08-23 | 株式会社Sumco | Ｆｏｓｂ型出荷用ウェーハ収容容器の洗浄方法 |
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