JP2567320B2 - ウエハキャリア洗浄方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの搬送に
使用されるウエハキャリアの洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造においては、半導体ウエハ
の搬送に、ウエハキャリアと呼ばれる収納具が使用され
る。このウエハキャリアは、内面に設けた多数の溝によ
って、多数枚の半導体ウエハを整列保持させるようにな
っており、使用の繰り返しにより内外面が汚れる。汚れ
たキャリアは、半導体ウエハの汚染の原因になるので、
その洗浄が行われる。そして、ウェハキャリアの洗浄
は、これまで、高圧ジェットやメカソニック等による自
動洗浄、もしくは有機溶剤を併用したハンドブラシ洗浄
により行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
自動洗浄では、キャリアに突き刺さったウエハの破片ま
で除去するのは困難である。その点、ハンドブラシ洗浄
では、入念な作業さえ行えばウエハの破片も除去でき
る。しかし、ハンドブラシによる洗浄では、能率が低
く、洗浄度のバラツキも大きい。更に、使用する溶剤に
よっては、人体への悪影響も問題になる。

【０００４】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
で、ウエハキャリアを高能率に、且つ高洗浄度で安定に
自動洗浄できるウエハキャリア洗浄方法を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のウエハキャリア
洗浄方法は、半導体ウエハの搬送に使用されるキャリア
の内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した後、
そのキャリアを、不活性ガスをバブリングさせた純水中
に浸漬してバブリング洗浄し、更に、純水に有機溶剤を
混合して加熱した加熱混合液により仕上げ洗浄すること
を特徴とする。

【０００６】

【作用】機械ブラシによる洗浄は、ウエハキャリアに突
き刺さったウエハの破片を除去できる。しかも、これを
自動化しているので、能率が高く、洗浄度のバラツキも
少ない。更に、バブリング洗浄および加熱液による仕上
げ洗浄も簡単に自動化でき、これらの洗浄により、機械
ブラシによる洗浄で除去できなかった汚れも除去され
る。

【０００７】

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。

【０００８】本実施例は、機械ブラシによる粗洗浄、バ
ブリング洗浄、加熱液による仕上げ洗浄を全て自動で行
う。その自動洗浄装置の全体構成を図１に示し、自動化
されたブラシ洗浄装置を図２および図３に示す。

【０００９】自動洗浄装置は、図１に示すように、ロー
ダ１０、ブラシ洗浄装置２０、バブリング槽３０、仕上
洗浄兼乾燥槽４０およびアンローダ５０を縦列し、これ
に２つのロボットＡ，Ｂを組み合わせた構成になってい
る。

【００１０】洗浄すべきウエハキャリアは、ローダ１０
により洗浄装置に搬入される。搬入されたウエハキャリ
アは、ロボットＡにより、ブラシ洗浄装置２０に運ばれ
る。

【００１１】ブラシ洗浄装置２０は、洗浄槽２１と、こ
れに付設された洗浄ロボット２３，２６とを有する。洗
浄槽２１には、底部から、純水と中性洗剤の混合液等よ
りなる洗浄液が導入される。洗浄槽２１に導入された洗
浄液は、角筒状の堰２１ａをオーバーフローして液面が
一定に保たれる。洗浄槽２１の底部には、回転テーブル
２２が設けられている。回転テーブル２２は、洗浄すべ
きキャリア６０を、開口部を上に向け且つ洗浄液に浸漬
する状態で槽内に支持し、更に、これを鉛直軸の回りに
回転させる。

【００１２】洗浄ロボット２３は、水平軸回りに回転す
る回転ブラシ２４を有する。回転ブラシ２４は、昇降機
構２５ａに取り付けられ、昇降機構２５ａは水平方向の
駆動機構２５ｂに取り付けられている。これらの機構に
より、回転ブラシ２４は、洗浄槽２１内に保持されたキ
ャリア６０の内部に挿入され、その特定の内側面に圧接
された状態でキャリア６０内を上下する。他の洗浄ロボ
ット２６は、外面洗浄ロボットで、回転ブラシ２７を昇
降機構２８ａおよび水平方向の駆動機構２８ｂで駆動す
ることにより、キャリア６０の特定の外側面を回転ブラ
シ２７によりブラッシングする。

【００１３】ロボットＡは、ブラシ洗浄装置２０の洗浄
槽２１内にキャリア６０を運ぶ。洗浄膜２１内に運ばれ
たキャリア６０は、回転テーブル２２に保持され、更
に、一対のクランプ２９，２９により固定される。洗浄
槽２１内にキャリア６０が固定されると、洗浄槽２１内
に洗浄液を供給しながら、キャリア６０の特定の内側面
および外側面を洗浄ロボット２３，２６によりブラッシ
ングする。このブラッシングが終わると、クランプ２
９，２９を一旦解放状態にし、回転テーブル２２を作動
させてキャリア６０を鉛直軸の回りに９０度回転させ
る。そして、次の内側面および外側面をブラッシングす
る。これを４回繰り返すことにより、キャリア６０の全
ての内側面および外側面がブラシ洗浄される。このブラ
シ洗浄により、キャリア６０の内外面にこびり付いた異
物が除去され、キャリア６０に突き刺さったウエハの破
片も除去される。

【００１４】キャリア６０のブラシ洗浄が終了すると、
そのキャリア６０をロボットＡにてバブリング槽３０に
運ぶ。バブリング槽３０には、純水が収容され、その純
水中にはＮ₂ ガスがバブリングされている。バブリング
洗浄を終えたキャリア６０は、別のロボットＢにて仕上
げ洗浄業乾燥槽４０に運ばれる。この槽には、純水に数
％のイソプロピルアルコール等の有機溶剤を混合し、且
つ、９２℃程度に加熱された加熱混合液が収容されてお
り、これにキャリア６０が浸漬されて仕上げ洗浄され
る。バブリング洗浄および仕上げ洗浄により、キャリア
６０の表面に残存していた微細な異物、汚れが除去され
る。加熱混合液による仕上げ洗浄を終えたキャリア６０
は、ロボットＢにより仕上げ洗浄兼乾燥槽４０内から引
き上げられて乾燥された後、アンローダ５０に運ばれて
収納される。

【００１５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のウエハキャリア洗浄方法は、自動化が容易で、その自
動洗浄により、従来の自動洗浄では除去できなかったウ
エハの突き刺さり片まで取り除くことができる。また、
ハンドリング洗浄で問題となった洗浄度のバラツキ、有
機溶剤による人体への悪影響も解消される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に使用する洗浄装置の概略構成図であ
る。

【図２】自動化されたブラシ洗浄装置の平面図である。

【図３】ブラシ洗浄装置の縦断側面図である。

【符号の説明】 ２０ ブラシ洗浄装置 ３０ バブリング洗浄槽 ４０ 仕上洗浄兼乾燥槽 ６０ ウエハキャリア

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハの搬送に使用されるキャリ
   アの内面および外面を機械ブラシにより自動洗浄した
   後、そのキャリアを、不活性ガスをバブリングさせた純
   水中に浸漬してバブリング洗浄し、更に、純水に有機溶
   剤を混合して加熱した加熱混合液により仕上げ洗浄する
   ことを特徴とするウエハキャリア洗浄方法。