JP2003093978A - Method and apparatus for cleaning carrier plate - Google Patents
Method and apparatus for cleaning carrier plateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、片面研磨機におい
てワークの貼着保持に用いられる円板形のキャリヤプレ
ートを洗浄するための技術に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for cleaning a disc-shaped carrier plate used for sticking and holding a work in a single-side polishing machine.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体ウエハによる半導体ディ
バイスの製造工程においては、ウエハの表面を極めて平
滑に形成することが要求されており、このため該ウエハ
は、その表面が片面研磨機により鏡面研磨される。この
場合に該ウエハは、溶媒により希釈したワックス等の接
着剤によりキャリヤプレートに貼り付けられ、片面研磨
機にセットされるが、この場合に、ウエハとキャリヤプ
レートとの間に接着剤が薄くかつ均一に塗布されていな
いと、研磨した際にウエハの表面に微細な凹凸が生じ、
高度な平坦度が得られない。また、キャリヤプレートの
表面に微小なごみ等が存在していても、このごみの部分
で接着剤にディンプルが発生し、ウエハの均一な貼り付
けを妨げる原因となる。そのため、研磨終了後にウエハ
を剥したキャリヤプレートは、その表面に接着剤やごみ
等が残存しないように十分に洗浄されなければならな
い。2. Description of the Related Art For example, in the process of manufacturing a semiconductor device using a semiconductor wafer, it is required to form the surface of the wafer to be extremely smooth. Therefore, the surface of the wafer is mirror-polished by a single-side polishing machine. It In this case, the wafer is attached to a carrier plate with an adhesive such as wax diluted with a solvent and set on a single-side polishing machine. In this case, the adhesive is thin between the wafer and the carrier plate. If it is not applied uniformly, fine unevenness will occur on the surface of the wafer when polishing,
High flatness cannot be obtained. Further, even if minute dust or the like exists on the surface of the carrier plate, dimples are generated in the adhesive at the dust portion, which hinders the uniform attachment of the wafer. For this reason, the carrier plate from which the wafer has been peeled off after the completion of polishing must be sufficiently washed so that no adhesive, dust or the like remains on its surface.
【０００３】上記キャリヤプレートは、繰り返し使用さ
れるものであるため、化学的に安定で径時変化の少ない
セラミックやガラス等の材質で円板形に作られている。
そして、各種サイズのウエハを複数枚ずつ貼り付けるこ
とができるように、直径が数十ｃｍ、厚さが２０ｍｍ程
度のものが各種用意され、それらの重さは２０〜３０ｋ
ｇ程度で、それ以上になるものも多い。Since the carrier plate is repeatedly used, it is made of a disk material made of a material such as ceramic or glass which is chemically stable and has little change with time.
Various kinds of wafers having a diameter of several tens of cm and a thickness of about 20 mm are prepared so that a plurality of wafers of various sizes can be attached to each other, and their weight is 20 to 30 k.
It is about g, and there are many that exceed it.
【０００４】このようなキャリヤプレートを洗浄する技
術として、従来より、例えば実用新案登録第２５６４６
６１号公報や、特開平１１−２３３４６５号公報等に記
載の技術が知られている。As a technique for cleaning such a carrier plate, for example, a utility model registration No. 25646 has been conventionally used.
The techniques described in JP-A-61-61, JP-A-11-233465 and the like are known.
【０００５】このうち前者は、キャリヤプレートを水平
に向けて回転させながら、アルカリ水溶液などの洗浄液
を使用してブラシで洗浄するようにしているが、キャリ
ヤプレートが水平を向いているため、剥離した接着剤等
の汚れがそのままキャリヤプレート上に残り易いという
欠点がある。また、洗浄後の乾燥工程では、窒素ガス等
の気体をノズルから噴射するようにしているため、乾燥
に時間がかかるといった問題もある。In the former, the carrier plate is rotated horizontally and is cleaned with a brush using a cleaning solution such as an alkaline aqueous solution. However, since the carrier plate is oriented horizontally, the carrier plate is peeled off. There is a drawback that stains such as adhesive are likely to remain on the carrier plate as they are. Further, in the drying step after cleaning, since gas such as nitrogen gas is sprayed from the nozzle, there is a problem that it takes time to dry.
【０００６】一方、後者の方法は、アルカリ液が貯留さ
れた洗浄槽内にキャリヤプレートを縦向きにして移送し
たあと、外周に接する回転ローラーで強制回転させなが
ら、その両面に円板形の回転ブラシを押し付けて揺動さ
せることにより洗浄し、その後、乾燥槽に移送し、８０
℃程度に加熱された温水中に浸漬させたあと引き上げる
ことにより、温水の蒸発により乾燥させるものである。On the other hand, in the latter method, the carrier plate is transferred vertically into the cleaning tank in which the alkaline solution is stored, and then the rotating roller in contact with the outer periphery is forcibly rotated while the disk-shaped rotation is performed on both sides of the carrier plate. Wash by pressing and shaking the brush, then transfer to a drying tank,
By immersing in warm water heated to about 0 ° C. and then pulling it up, it is dried by evaporation of warm water.
【０００７】ところが、このような後者の洗浄方法にお
いては、洗浄時にキャリヤプレートを回転ローラーで強
制回転させているため、この回転ローラー専用の駆動機
構が必要であるとか、円板形の回転ブラシを使用してい
るため、この回転ブラシをキャリヤプレートの全面に押
し付けるにはそれを揺動させる必要があり、そのための
揺動機構が必要になるといったような問題があり、装置
の構造が複雑化してコストが高くなる。また、複数の洗
浄槽の他に乾燥だけを行う専用の乾燥槽を備えているた
め、多くの槽が必要で装置が大形化かつ高コスト化し、
しかも、この乾燥槽においては温水による乾燥を行って
いるため、温水を作る設備が必要になるといったような
問題点もあるHowever, in the latter cleaning method, since the carrier plate is forcibly rotated by the rotating roller at the time of cleaning, a drive mechanism dedicated to this rotating roller is required, or a disk-shaped rotating brush is used. Since it is used, there is a problem that it is necessary to rock this rotating brush in order to press it against the entire surface of the carrier plate, and there is a problem that a rocking mechanism for that is required, which complicates the structure of the device. High cost. Also, in addition to multiple cleaning tanks, a dedicated drying tank that only performs drying is provided, so a large number of tanks are required, and the device becomes large and costly.
Moreover, since this drying tank is dried by hot water, there is a problem that equipment for producing hot water is required.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、円板形のキャリヤプレートを縦向き姿勢で非回転の
まま確実に洗浄することができると共に、リンス処理と
乾燥処理とを同じ槽内で効率的に行うことができる、低
コストで合理的なキャリヤプレート洗浄のための技術を
提供することにある。DISCLOSURE OF THE INVENTION The technical problem of the present invention is that a disc-shaped carrier plate can be reliably cleaned in a vertical position while not rotating, and the rinse treatment and the drying treatment are performed in the same tank. It is an object of the present invention to provide a technique for low-cost and rational carrier plate cleaning, which can be efficiently performed in-house.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明によれば、円板形をしたキャリヤプレートを、第
１処理槽内の加温された洗浄液中に縦向き姿勢で浸漬さ
せるステップ、上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のま
ま徐々に引き上げながら、上記洗浄液中に横向きに設置
されて駆動回転される一対のロールブラシを両面に押し
付けてスクラブ洗浄するステップ、横向きに設置された
一対のロールブラシとシャワーノズルとを下段に有する
と共に、横向きに設置された一対の絞りローラーを上段
に有する第２処理槽内に、上記第１処理槽から取り出さ
れたキャリヤプレートを縦向き姿勢のまま収容するステ
ップ、上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に
引き上げながら、このキャリヤプレートに、下段位置に
おいて上記シャワーノズルからリンス液を噴射して上記
ロールブラシによるスクラブリンスを施すと共に、上段
位置において上記絞りローラーによる水切り乾燥を行う
ステップ、を有することを特徴とするキャリヤプレート
の洗浄方法が提供される。In order to solve the above problems, according to the present invention, a step of immersing a disc-shaped carrier plate in a warmed cleaning liquid in a first processing tank in a vertical orientation. While gradually pulling up the carrier plate in a vertical position, a step of scrub cleaning by pressing a pair of roll brushes horizontally installed in the cleaning liquid and driven and rotated on the both sides, a pair of rolls installed horizontally A carrier plate taken out from the first processing tank is accommodated in a vertical orientation in a second processing tank having a brush and a shower nozzle in the lower stage and a pair of horizontally arranged squeezing rollers in the upper stage. Step, while gradually raising the carrier plate in the vertical position, attach the carrier plate to the carrier plate at the lower position. By spraying a rinsing liquid from the nozzle is performed with a scrubbing rinsing with the roll brush, carrier plate cleaning method characterized by having a step of performing a draining dry by the squeezing rollers at the upper position is provided.
【００１０】このような本発明の方法によれば、キャリ
ヤプレートを縦向き姿勢で非回転のまま確実に洗浄する
ことができると共に、リンス処理と乾燥処理とを同じ槽
内で効率的に行うことができる。According to the method of the present invention as described above, the carrier plate can be reliably washed in the vertical position without rotating, and the rinse treatment and the drying treatment can be efficiently performed in the same tank. You can
【００１１】上記洗浄及びリンスを行うに当たっては、
各処理槽内のロールブラシをキャリヤプレートの引き上
げ方向とは逆方向に回転させることが望ましい。In performing the above-mentioned cleaning and rinsing,
It is desirable to rotate the roll brush in each processing tank in the direction opposite to the direction in which the carrier plate is pulled up.
【００１２】また、上記方法を実施するため、本発明に
よれば、円板形のキャリヤプレートを縦向きにクランプ
して搬送する複数のクランプ手段と、加温された洗浄液
が収容されると共に、該洗浄液中に浸漬する位置に、上
記キャリヤプレートの直径と同等以上の長さを持つ一対
のロールブラシが水平軸線の回りに駆動回転自在なるよ
うに配設され、上記クランプ手段で洗浄液中を縦向き姿
勢で引き上げられていくキャリヤプレートの両面をこれ
らのロールブラシでスクラブ洗浄するように構成された
第１処理槽と、水平軸線の回りに駆動回転自在の一対の
ロールブラシとリンス液を噴射するためのシャワーノズ
ルとを下段位置に備えると共に、水平軸線の回りに回転
自在の一対の絞りローラーを上段位置に備え、上記クラ
ンプ手段で槽内を縦向き姿勢で引き上げられていくキャ
リヤプレートに、下段位置において上記シャワーノズル
からリンス液を噴射しながらロールブラシでリンス処理
を施すと共に、上段位置において上記絞りローラーで水
切り乾燥処理を施すように構成された第２処理槽と、を
有することを特徴とする洗浄装置が提供される。Further, in order to carry out the above method, according to the present invention, a plurality of clamping means for vertically clamping and transporting the disc-shaped carrier plate, and the warmed cleaning liquid are contained, and A pair of roll brushes having a length equal to or larger than the diameter of the carrier plate are disposed at a position to be immersed in the cleaning liquid so as to be rotatable about a horizontal axis, and the clamping means vertically extends the cleaning liquid. A first processing tank configured to scrub and wash both surfaces of a carrier plate that is pulled up in a facing posture with these roll brushes, and a pair of roll brushes that can be driven and rotated around a horizontal axis and a rinse liquid are sprayed. And a shower nozzle for lowering, and a pair of squeezing rollers rotatable around the horizontal axis are provided at the upper position, and the clamping means is used to move the inside of the tank. The carrier plate which is pulled up in the facing posture is configured to perform a rinsing process with a roll brush while spraying a rinsing liquid from the shower nozzle at a lower position, and a draining and drying process with the squeezing roller at an upper position. A second treatment tank is provided, and a cleaning device is provided.
【００１３】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
第１処理槽及び第２処理槽の内部にそれぞれ、上記クラ
ンプ手段で供給されたキャリヤプレートを、各処理が開
始されるまで縦向きに支持するための支持部材が設けら
れている。According to a specific embodiment of the present invention, the carrier plate supplied by the clamping means is placed inside each of the first processing tank and the second processing tank in a vertical direction until each processing is started. Is provided with a support member.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るキャリヤプレ
ート用洗浄装置の好ましい実施形態を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。図１に概略的に示すようにこの洗浄
装置は、キャリヤプレートＷにスクラブ洗浄処理を施す
ための第１処理槽１と、スクラブ洗浄されたキャリヤプ
レートＷにリンス処理と乾燥処理とを施すための第２処
理槽２と、未処理のキャリヤプレートＷを上記第１処理
槽１に隣接する位置まで搬送するための入口側コンベア
３と、上記第２処理槽２から取り出された処理済のキャ
リヤプレートＷを次工程に送るための出口側コンベア４
と、上記キャリヤプレートＷをクランプして搬送するた
めの複数（図示の例では３つ）のクランプ手段５Ａ，５
Ｂ，５Ｃとを備えている。なお、このクランプ手段につ
いては、それらを区別して表現するとき以外は、それら
を共通の符号「５」で表すものとする。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a carrier plate cleaning apparatus according to the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. As schematically shown in FIG. 1, the cleaning apparatus includes a first processing tank 1 for performing a scrub cleaning process on a carrier plate W, and a rinse process and a drying process for the scrub cleaned carrier plate W. A second processing tank 2, an inlet side conveyor 3 for transporting an unprocessed carrier plate W to a position adjacent to the first processing tank 1, and a processed carrier plate taken out from the second processing tank 2. Exit side conveyor 4 for sending W to the next process
And a plurality (three in the illustrated example) of clamping means 5A, 5 for clamping and transporting the carrier plate W.
And B and 5C. It should be noted that this clamp means is represented by a common reference numeral "5" except when it is expressed separately.
【００１５】上記各クランプ手段５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、
円板形をした上記キャリヤプレートＷを縦向きにクラン
プするように構成されていて、クランプに関して互いに
同一の構成を有するものである。即ち、このクランプ手
段５は、キャリヤプレートＷの直径よりやや大きい間隔
をおいて相対する一対のクランプアーム１０，１０を有
していて、これらのクランプアーム１０，１０の下端に
は、断面Ｖ字形又はＵ字形の支持溝１１ａを内側に有す
る爪部材１１が、キャリヤプレートＷの直径よりやや小
さい間隔を保って相対するように取り付けられ、これら
一対の爪部材１１，１１の支持溝１１ａ，１１ａ内にキ
ャリヤプレートＷの外周部を嵌合させることにより、該
キャリヤプレートＷを縦向き姿勢でクランプできるよう
になっている。この場合に上記キャリヤプレートＷは、
中心よりやや低位置で上記爪部材１１，１１に支持され
ることになる。The clamp means 5A, 5B, 5C are
The disk-shaped carrier plate W is configured to be clamped in the vertical direction, and has the same configuration with respect to the clamp. That is, the clamp means 5 has a pair of clamp arms 10 and 10 facing each other with an interval slightly larger than the diameter of the carrier plate W, and the lower ends of these clamp arms 10 and 10 are V-shaped in cross section. Alternatively, the claw members 11 having the U-shaped support grooves 11a inside are attached so as to face each other with a space slightly smaller than the diameter of the carrier plate W, and the inside of the support grooves 11a, 11a of the pair of claw members 11, 11 is attached. By fitting the outer peripheral portion of the carrier plate W to the carrier plate W, the carrier plate W can be clamped in a vertical orientation. In this case, the carrier plate W is
The claw members 11, 11 are supported at a position slightly lower than the center.
【００１６】上記各クランプ手段５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、
図示しない駆動機構によって図１の上下方向と左右方向
と前後方向（紙面に垂直な方向）とにそれぞれが独立し
て移動させられるようになっている。そして、上記各処
理槽１，２の内部や入口側コンベア３上等に置かれたキ
ャリヤプレートＷをクランプするときには、図６及び図
７に示すように、支持部材８上に縦向きに支持されてい
るキャリヤプレートＷの後ろのやや離れた位置をクラン
プアーム１０，１０が下降し、先端の爪部材１１，１１
がクランプ位置よりも十分に低い実線の位置に達したと
ころで一旦停止し、そのあと、クランプアーム１０，１
０がキャリヤプレートＷと重なる位置まで前進し、その
位置で上昇することにより、図６に鎖線で示すように、
爪部材１１，１１がキャリヤプレートＷの外周部に係止
してそのクランプが行われる。そして、この状態でクラ
ンプ手段５がさらに上昇することにより、キャリヤプレ
ートＷが持ち上げられる。クランプしたキャリヤプレー
トＷを解放するときは、上述した場合とは逆の動作が行
われる。The above-mentioned clamp means 5A, 5B, 5C are
By a drive mechanism (not shown), each of them can be independently moved in the up-down direction, the left-right direction, and the front-back direction (direction perpendicular to the paper surface) of FIG. When the carrier plate W placed inside the processing tanks 1 and 2 or on the entrance side conveyor 3 is clamped, it is vertically supported on the support member 8 as shown in FIGS. 6 and 7. The clamp arms 10 and 10 descend at a position slightly separated behind the carrier plate W in which the claw members 11 and 11 at the tip end are located.
Stop once at a position indicated by the solid line, which is sufficiently lower than the clamp position, and then the clamp arms 10, 1
0 advances to a position where it overlaps with the carrier plate W, and ascends at that position, as shown by the chain line in FIG.
The claw members 11, 11 are engaged with the outer peripheral portion of the carrier plate W to be clamped. Then, in this state, the clamp means 5 further rises, so that the carrier plate W is raised. When releasing the clamped carrier plate W, the reverse operation to that described above is performed.
【００１７】また、上記第１処理槽１は、図１及び図２
から分かるように、上面が開放する平面視矩形の箱形を
していて、前面壁１ａが後面壁１ｂより低く形成され、
該前面壁１ａの上端部前面に回収溝１ｃが形成されてい
る。そして、該処理槽１の内部には前面壁１ａの上端近
くまで洗浄液６が収容され、この前面壁１ａをオーバー
フローした洗浄液６が上記回収溝１ｃで回収されるよう
になっている。上記洗浄液６としては、例えばアルカリ
水溶液や純水あるいは市水等が使用される。上記第１処
理槽１の内部にはヒーター１３が設けられていて、この
ヒーター１３によって洗浄液６が、例えば４０〜６０℃
程度の温度に加熱されるようになっている。The first processing tank 1 is shown in FIGS.
As can be seen from the above, the front surface 1a has a rectangular box shape with an open top surface, and the front wall 1a is formed lower than the rear wall 1b.
A recovery groove 1c is formed on the front surface of the upper end of the front wall 1a. The cleaning liquid 6 is stored inside the processing tank 1 up to near the upper end of the front wall 1a, and the cleaning liquid 6 overflowing the front wall 1a is collected in the recovery groove 1c. As the cleaning liquid 6, for example, an alkaline aqueous solution, pure water, city water, or the like is used. A heater 13 is provided inside the first treatment tank 1, and the cleaning liquid 6 is heated by the heater 13 to, for example, 40 to 60 ° C.
It is designed to be heated to a moderate temperature.
【００１８】上記第１処理槽１の内部にはまた、上記洗
浄液６中に浸漬する位置に、キャリヤプレートＷの直径
と同等以上の長さを持つ一対のロールブラシ１５，１５
が、水平軸線の回りに回転自在なるように設置されてい
る。これらのロールブラシ１５，１５は、硬質の円柱形
をした芯材の回りにナイロン（登録商標）等の合成繊維
やその他の繊維を放射状に植設することにより円柱状に
形成したもので、互いに同じ直径を有し、槽内の相対す
る位置に個別の支持アーム１６，１６によって回転自在
なるように支持され、図示しないモーターに連結されて
個別に駆動回転されるようになっている。また、上記各
支持アーム１６，１６の上端はそれぞれ個別の移動機構
１７，１７に連結され、これらの移動機構１７，１７に
よって２つのロールブラシ１５，１５が、相互に接近及
び離反する方向に移動自在となっている。上記各移動機
構１７は、処理槽１の上縁部にロールブラシ１５の軸線
と直交する向きに取り付けられたレール１７ａと、この
レール１７ａに沿って移動自在の移動テーブル１７ｂと
を有し、この移動テーブル１７ｂに上記支持アーム１６
が取り付けられており、この移動テーブル１７ｂを、図
示しないエアシリンダーやモーター駆動されるボールね
じ等の推進手段で前後進させることにより、上記一対の
ロールブラシ１５，１５が相互に接離する方向に移動す
るようになっている。Inside the first processing tank 1, a pair of roll brushes 15, 15 having a length equal to or larger than the diameter of the carrier plate W is also provided at the position where the cleaning liquid 6 is immersed.
Is installed so that it can rotate about a horizontal axis. These roll brushes 15 and 15 are formed by arranging synthetic fibers such as nylon (registered trademark) and other fibers radially around a hard cylindrical core material to form a cylindrical shape. It has the same diameter, is rotatably supported by the individual support arms 16, 16 at opposite positions in the tank, is connected to a motor (not shown), and is individually driven and rotated. Further, the upper ends of the support arms 16 and 16 are respectively connected to individual moving mechanisms 17 and 17, and the two moving brushes 17 and 15 move in a direction in which the two roll brushes 15 and 15 approach and separate from each other. It is free. Each of the moving mechanisms 17 has a rail 17a attached to the upper edge of the processing tank 1 in a direction orthogonal to the axis of the roll brush 15, and a movable table 17b movable along the rail 17a. The support arm 16 is attached to the moving table 17b.
Is attached, and by moving the moving table 17b forward and backward by a propelling means such as an air cylinder or a ball screw driven by a motor (not shown), the pair of roll brushes 15 and 15 are moved toward and away from each other. It is designed to move.
【００１９】上記第１処理槽１の内底部には、搬入され
たキャリヤプレートＷを一旦縦向きに支持させておくた
めの支持部材１２が設けられている。この支持部材１２
は、プレートを縦向きに立設したような形をしていて、
その上面に、断面がＶ字形又はＵ字形をして円弧状に湾
曲する支持溝１２ａを有し、この支持溝１２ａ内にキャ
リヤプレートＷの下端部を嵌合させることによって縦向
きに支持するものである。At the inner bottom of the first processing tank 1, there is provided a support member 12 for temporarily supporting the carried carrier plate W vertically. This support member 12
Has the shape of a plate standing vertically,
A support groove 12a having a V-shaped or U-shaped cross section and curved in an arc shape is provided on the upper surface, and the lower end portion of the carrier plate W is fitted in the support groove 12a to support the carrier plate W vertically. Is.
【００２０】いま、入口側コンベア３上に上記支持部材
１２と同様の支持部材３ａにより支持されているキャリ
ヤプレートＷが、第１のクランプ手段５Ａによって上述
した方法によりクランプされ、図２に示すように上記第
１処理槽１内の支持部材１２上に供給、載置されると、
この第１のクランプ手段５Ａは入口側コンベア３側に復
帰し、第２のクランプ手段５Ｂがこの第１処理槽１まで
移動して上記支持部材１２上のキャリヤプレートＷをク
ランプする。続いて、図３に示すように、一対のロール
ブラシ１５，１５が回転しながら相互に接近し、上記キ
ャリヤプレートＷの両面に接触すると共に、上記第２の
クランプ手段５Ｂが上昇を開始し、キャリヤプレートＷ
を徐々に引き上げていく。これにより該キャリヤプレー
トＷは、上記第２のクランプ手段５Ｂに縦向きかつ非回
転状態に支持されたまま、上記ロールブラシ１５，１５
によりその両面が洗浄液６中でスクラブ洗浄されること
になる。上記各ロールブラシ１５，１５は、図３に示す
ように、キャリヤプレートＷの引き上げ方向とは逆方向
に回転させることが望ましい。Now, the carrier plate W supported on the entrance side conveyor 3 by the supporting member 3a similar to the supporting member 12 is clamped by the first clamping means 5A by the above-mentioned method, and as shown in FIG. When supplied and placed on the support member 12 in the first processing tank 1,
The first clamp means 5A returns to the inlet side conveyor 3 side, and the second clamp means 5B moves to the first processing tank 1 to clamp the carrier plate W on the support member 12. Subsequently, as shown in FIG. 3, the pair of roll brushes 15 and 15 approach each other while rotating, contacting both surfaces of the carrier plate W, and the second clamp means 5B start rising. Carrier plate W
Gradually increase. As a result, the carrier plate W is supported by the second clamp means 5B in the vertical direction and in the non-rotating state, and the roll brushes 15 and 15 are supported.
As a result, both surfaces thereof are scrub-cleaned in the cleaning liquid 6. As shown in FIG. 3, it is desirable that each of the roll brushes 15 and 15 be rotated in a direction opposite to the direction in which the carrier plate W is pulled up.
【００２１】スクラブ洗浄が終わって図２に鎖線で示す
ように洗浄液６から引き上げられたキャリヤプレートＷ
は、そのまま後段の第２処理槽２まで搬送され、その内
底部に設置された支持部材２０上に載置される。このと
き、キャリヤプレートＷが取り出された上記第１処理槽
１には、上記第１のクランプ手段５Ａによって入口側コ
ンベア３から新たなキャリヤプレートＷが搬入される。
また、第３のクランプ手段５Ｃは、出口側コンベア４の
位置に移動している。After the scrub cleaning is completed, the carrier plate W pulled up from the cleaning liquid 6 as shown by the chain line in FIG.
Is transported as it is to the second processing tank 2 in the subsequent stage, and is placed on the support member 20 installed on the inner bottom portion thereof. At this time, a new carrier plate W is carried into the first processing tank 1 from which the carrier plate W has been taken out from the inlet side conveyor 3 by the first clamping means 5A.
Further, the third clamp means 5C is moved to the position of the outlet side conveyor 4.
【００２２】上記第２処理槽２は、図１及び図４から分
かるように、第１処理槽１と同様に上面が開放する平面
視矩形の箱形をしているが、第１処理槽１と違って内部
にリンス液を貯留しないため、前面壁２ａと後面壁２ｂ
とは同じ高さに形成され、第１処理槽１のようなオーバ
ーフローする液を回収するための回収溝１ｃは形成され
ていない。As can be seen from FIGS. 1 and 4, the second processing tank 2 has a rectangular box shape in plan view with an open upper surface, like the first processing tank 1. Unlike the above, since the rinse liquid is not stored inside, the front wall 2a and the rear wall 2b
Are formed at the same height as, and the recovery groove 1c for recovering the overflowing liquid like the first processing tank 1 is not formed.
【００２３】上記第２処理槽２の内部には、水平軸線の
回りに駆動回転自在の一対のロールブラシ２１，２１
と、純水や市水等のリンス液を噴射するための複数のシ
ャワーノズル２２とが設けられると共に、それらの上段
位置に、水平軸線の回りに回転自在の一対の絞りローラ
ー２３，２３が設けられている。Inside the second processing tank 2, a pair of roll brushes 21 and 21 which can be driven and rotated about a horizontal axis.
And a plurality of shower nozzles 22 for injecting a rinse liquid such as pure water or city water, and a pair of squeezing rollers 23, 23 rotatable around a horizontal axis at the upper position of the shower nozzles 22. Has been.
【００２４】上記ロールブラシ２１，２１は、上記第１
処理槽１内のロールブラシ１５，１５と同様の構成を有
するもので、個別の支持アーム２５，２６によって相対
する位置に回転自在なるように支持され、図示しないモ
ーターに連結されて個別に駆動回転されるようになって
いる。また、上記各支持アーム２５，２５の上端はそれ
ぞれ個別の移動機構２６，２６に連結され、これらの移
動機構２６，２６によって２つのロールブラシ２１，２
１が、相互に接近及び離反する方向に移動自在となって
いる。上記各移動機構２６は、処理槽１の上縁部にロー
ルブラシ２１の軸線と直交する向きに取り付けられたレ
ール２６ａと、このレール２６ａに沿って移動自在の移
動テーブル２６ｂとを有し、この移動テーブル２６ｂに
上記支持アーム２５が取り付けられており、この移動テ
ーブル２６ｂを図示しないエアシリンダーやモーター駆
動されるボールねじ等の推進手段で前後進させることに
より、上記一対のロールブラシ２１，２１が相互に接離
する方向に移動するようになっている。The roll brushes 21 and 21 are the first
It has the same structure as the roll brushes 15 and 15 in the processing tank 1, and is supported by individual support arms 25 and 26 so as to be rotatable at opposite positions, and is individually driven and rotated by being connected to a motor (not shown). It is supposed to be done. Further, the upper ends of the support arms 25, 25 are respectively connected to the individual moving mechanisms 26, 26, and the two rolling brushes 21, 2 are moved by the moving mechanisms 26, 26.
1 are movable in the directions toward and away from each other. Each moving mechanism 26 has a rail 26a attached to the upper edge of the processing tank 1 in a direction orthogonal to the axis of the roll brush 21, and a movable table 26b movable along the rail 26a. The support arm 25 is attached to the moving table 26b. By moving the moving table 26b back and forth with a propelling means such as an air cylinder or a motor driven ball screw (not shown), the pair of roll brushes 21 and 21 are moved. It is designed to move in the direction of moving toward and away from each other.
【００２５】また、上記シャワーノズル２２は、一対の
ロールブラシ２１，２１のそれぞれの側に、各ロールブ
ラシ２１，２１の上面に沿って複数配設され、対応する
ロールブラシ２１，２１と一緒に接離方向に移動するよ
うになっている。A plurality of shower nozzles 22 are provided on each side of the pair of roll brushes 21 and 21 along the upper surface of each roll brush 21 and 21, and together with the corresponding roll brushes 21 and 21. It is designed to move in the approaching / separating direction.
【００２６】一方、上記絞りローラー２３，２３は、硬
質の芯材の回りにスポンジ体を取り付けることによって
円柱状に形成したもので、互いに同じ直径を有している
が、上記ロールブラシ２１，２１よりは小径かつ長尺に
形成され、槽内の相対する位置に個別の支持アーム２
８，２８によって回転自在なるように支持されている。
そして、上記各支持アーム２８，２８の上端がそれぞれ
個別の移動機構２９，２９に連結され、これらの移動機
構２９，２９によって２つの絞りローラー２３，２３
が、相互に接近及び離反する方向に移動自在となってい
る。上記移動機構２９，２９は、上記ロールブラシ２
１，２１の移動機構２６，２６上に設けられている。即
ち、上記各移動機構２６における移動テーブル２６ｂ上
には、絞りローラー２３，２３の軸線と直交する向きに
レール２９ａが設けられると共に、このレール２９ａに
沿って摺動テーブル２９ｂが移動自在に設置され、この
移動テーブル２９ａに上記支持アーム２８，２８が取り
付けられており、この移動テーブル２９ａを図示しない
エアシリンダー等の推進手段で前後進させることによ
り、上記一対の絞りローラー２３，２３が、上記ロール
ブラシ２１，２１の接離動作とは別に相互に接離する方
向に移動できるようになっている。なお、上記絞りロー
ラー２３，２３とロールブラシ２１，２１との大きさや
長さの関係は、図示したようなものに限定されない。例
えば、絞りローラー２３，２３がロールブラシ２１，２
１と同径かそれより大径であっても、あるいは、ロール
ブラシ２１，２１と同長かそれより短尺であっても良
い。On the other hand, the squeezing rollers 23, 23 are formed in a cylindrical shape by attaching a sponge body around a hard core material, and have the same diameter as each other, but the roll brushes 21, 21 Smaller in diameter and longer than the individual support arms 2 at opposite positions in the tank.
It is rotatably supported by 8, 28.
Then, the upper ends of the support arms 28, 28 are connected to the respective moving mechanisms 29, 29, and the two squeezing rollers 23, 23 are connected by these moving mechanisms 29, 29.
However, they are movable in the directions toward and away from each other. The moving mechanism 29, 29 is the roll brush 2
It is provided on the moving mechanism 26, 26 of 1, 21. That is, a rail 29a is provided on the moving table 26b in each of the moving mechanisms 26 in a direction orthogonal to the axes of the squeezing rollers 23, 23, and a sliding table 29b is movably installed along the rail 29a. The supporting arms 28, 28 are attached to the moving table 29a. By moving the moving table 29a back and forth by a propelling means such as an air cylinder (not shown), the pair of squeezing rollers 23, 23 move the rolls. Apart from the contacting / separating operation of the brushes 21 and 21, the brushes 21 and 21 can be moved in the direction of contacting / separating from each other. The size and length relationships between the squeezing rollers 23, 23 and the roll brushes 21, 21 are not limited to those shown in the figure. For example, the squeezing rollers 23, 23 are roll brushes 21, 2.
The diameter may be the same as or larger than 1 or may be the same as or shorter than the roll brushes 21 and 21.
【００２７】上記第２処理槽２の内底部には、第１処理
槽１と同様に、供給されたキャリヤプレートＷを、洗浄
が開始されるまでのあいだ縦向きに支持しておくための
上記支持部材２０が設けられている。この支持部材２０
は、プレートを縦向きに立設したような形をしていて、
その上面に断面Ｖ字形又はＵ字形の支持溝２０ａを有
し、この支持溝２０ａ内にキャリヤプレートＷの下端部
を嵌合させることによって縦向きに支持するものであ
る。Like the first treatment tank 1, the inner bottom of the second treatment tank 2 supports the supplied carrier plate W in a vertical direction until cleaning is started. A support member 20 is provided. This support member 20
Has the shape of a plate standing vertically,
A support groove 20a having a V-shaped or U-shaped cross section is provided on the upper surface thereof, and the lower end portion of the carrier plate W is fitted in the support groove 20a to support the carrier plate W vertically.
【００２８】そして、上述したように、第１処理槽１で
スクラブ洗浄されたキャリヤプレートＷが第２のクラン
プ手段５Ｂによって第２処理槽２に搬入され、支持部材
２０上に載置されると、第３のクランプ手段５Ｃがこの
第２処理槽２まで移動して上記支持部材２０上のキャリ
ヤプレートＷをクランプする。続いて、図５に示すよう
に、上記ロールブラシ２１，２１が回転しながら相互に
接近して上記キャリヤプレートＷの両面に接触すると共
に、シャワーノズル２２からリンス液が噴射され、更
に、一対の絞りローラー２３，２３も相互に近接する位
置に移動する。そして、上記第３のクランプ手段５Ｃが
上昇を開始し、キャリヤプレートＷを徐々に引き上げて
いく。これにより該キャリヤプレートＷは、上記第３の
クランプ手段５Ｃに縦向きかつ非回転状態に支持された
まま、下段位置において上記シャワーノズル２２からリ
ンス液を噴射されながら上記ロールブラシ２１，２１に
よるスクラブリンスが施されると共に、上段位置におい
て、上記絞りローラー２３，２３により両側から圧搾さ
れて水切り乾燥される。このときこれらの絞りローラー
２３，２３は、引き上げられるキャリヤプレートＷの動
きに追随して従動回転する。Then, as described above, when the carrier plate W scrubbed and cleaned in the first processing tank 1 is carried into the second processing tank 2 by the second clamp means 5B and placed on the support member 20. The third clamp means 5C moves to the second processing tank 2 and clamps the carrier plate W on the support member 20. Then, as shown in FIG. 5, while the roll brushes 21 and 21 approach each other while rotating and come into contact with both surfaces of the carrier plate W, the rinse liquid is sprayed from the shower nozzle 22, and further The squeezing rollers 23, 23 also move to positions close to each other. Then, the third clamp means 5C starts to rise, and the carrier plate W is gradually pulled up. As a result, the carrier plate W is scrubbed by the roll brushes 21 and 21 while being sprayed with the rinse liquid from the shower nozzle 22 at the lower position while being supported by the third clamp means 5C in a vertically oriented and non-rotating state. In addition to being rinsed, it is squeezed from both sides by the squeezing rollers 23, 23 at the upper position to drain and dry. At this time, these squeezing rollers 23, 23 follow the movement of the carrier plate W being pulled up and are driven to rotate.
【００２９】第２処理槽２から引き上げられたキャリヤ
プレートＷは、そのまま出口側コンベア４上に搬出され
て次工程に送られ、キャリヤプレートＷを解放した上記
第３のクランプ手段５Ｃは、上記第２処理槽２内に復帰
して上記動作を繰り返す。なお、上記実施例において
は、第１及び第２の処理槽１，２内に設置されているロ
ールブラシ１５，２１が繊維製のブラシであるが、芯材
の回りに合成樹脂製のスポンジ体を取り付けることによ
り構成されたスポンジ製のブラシであっても良い。The carrier plate W pulled up from the second processing tank 2 is directly carried out onto the outlet side conveyor 4 and sent to the next step, and the third clamp means 5C which has released the carrier plate W is the above-mentioned third clamp means 5C. 2 Return to the inside of the processing tank 2 and repeat the above operation. In the above embodiment, the roll brushes 15 and 21 installed in the first and second processing tanks 1 and 2 are fiber brushes, but a sponge body made of synthetic resin is provided around the core material. It may be a brush made of sponge configured by attaching.
【００３０】[0030]
【発明の効果】このように本発明によれば、キャリヤプ
レートを縦向き姿勢で非回転のままロールブラシにより
確実に洗浄することができると共に、リンス処理と乾燥
処理とを同じ槽内で効率的に行うことができる。従っ
て、従来のようなキャリヤプレートを回転させるための
機構や、ロールブラシを揺動させるための機構等を必要
とせず、また、乾燥だけを行う専用の乾燥槽も必要とし
ないため、装置の構成が簡単でコストも安くなる。As described above, according to the present invention, the carrier plate can be reliably cleaned by the roll brush in the vertical posture while not rotating, and the rinse treatment and the drying treatment can be efficiently performed in the same tank. Can be done. Therefore, there is no need for a conventional mechanism for rotating the carrier plate, a mechanism for swinging the roll brush, or the like, and a dedicated drying tank for only drying is not required. Is easy and the cost is cheap.
【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施形態を簡略的に
示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view schematically showing an embodiment of a cleaning apparatus according to the present invention.
【図２】図１におけるＡ−Ａ線での断面図で、非処理状
態を示すものである。2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1, showing a non-processed state.
【図３】図１におけるＡ−Ａ線での断面図で、処理状態
を示すものである。3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, showing a processing state.
【図４】図１におけるＢ−Ｂ線での断面図で、非処理状
態を示すものである。4 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1, showing a non-processed state.
【図５】図１におけるＢ−Ｂ線での断面図で、処理状態
を示すものである。5 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1, showing a processing state.
【図６】クランプ手段によるキャリヤプレートのクラン
プ方法を説明するための断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a method of clamping the carrier plate by the clamping means.
【図７】図６の側断面図である。FIG. 7 is a side sectional view of FIG.
Ｗ キャリヤプレート １ 第１処理槽 ２ 第２処理槽 ５Ａ，５Ｂ，５Ｃ クランプ手段 ６ 洗浄液 １２ 支持部材 １５ ロールブラシ ２０ 支持部材 ２１ ロールブラシ ２２ シャワーノズル ２３ 絞りローラー W carrier plate 1 First treatment tank 2 Second treatment tank 5A, 5B, 5C Clamping means 6 cleaning liquid 12 Support member 15 roll brush 20 Support member 21 roll brush 22 Shower nozzle 23 Squeezing roller
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA03 AB08 AB39 AB42 BA02 BA08 BA15 BB03 BB22 BB82 CC01 CC03 3B201 AA03 AB08 AB40 AB42 BA02 BA08 BA15 BB04 BB22 BB82 CC01 CC14 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page F term (reference) 3B116 AA03 AB08 AB39 AB42 BA02 BA08 BA15 BB03 BB22 BB82 CC01 CC03 3B201 AA03 AB08 AB40 AB42 BA02 BA08 BA15 BB04 BB22 BB82 CC01 CC14
Claims (4)
理槽内の加温された洗浄液中に縦向き姿勢で浸漬させる
ステップ、 上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に引き上
げながら、上記洗浄液中に横向きに設置されて駆動回転
される一対のロールブラシを両面に押し付けてスクラブ
洗浄するステップ、 横向きに設置された一対のロールブラシとシャワーノズ
ルとを下段に有すると共に、横向きに設置された一対の
絞りローラーを上段に有する第２処理槽内に、上記第１
処理槽から取り出されたキャリヤプレートを縦向き姿勢
のまま収容するステップ、 上記キャリヤプレートを縦向き姿勢のまま徐々に引き上
げながら、このキャリヤプレートに、下段位置において
上記シャワーノズルからリンス液を噴射して上記ロール
ブラシによるスクラブリンスを施すと共に、上段位置に
おいて上記絞りローラーによる水切り乾燥を行うステッ
プ、を有することを特徴とするキャリヤプレートの洗浄
方法。1. A step of immersing a disk-shaped carrier plate in a heated cleaning solution in a first treatment tank in a vertical position, while gradually raising the carrier plate in the vertical position, A step of scrubbing by pressing a pair of roll brushes that are horizontally installed in the cleaning liquid and driven and rotated on both sides, having a pair of horizontally installed roll brushes and a shower nozzle in the lower stage, and installed horizontally In the second processing tank having a pair of squeezing rollers in the upper stage, the first
A step of accommodating the carrier plate taken out from the processing tank in the vertical position, while gradually raising the carrier plate in the vertical position, spraying the rinse liquid from the shower nozzle at the lower position on the carrier plate. A method of cleaning a carrier plate, comprising: performing scrub rinsing with the roll brush, and draining and drying with the squeezing roller at an upper position.
ヤプレートの引き上げ方向とは逆方向に回転させること
を特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。2. The cleaning method according to claim 1, wherein the roll brush in each processing tank is rotated in a direction opposite to a direction in which the carrier plate is pulled up.
ンプして搬送する複数のクランプ手段と、 加温された洗浄液が収容されると共に、該洗浄液中に浸
漬する位置に、上記キャリヤプレートの直径と同等以上
の長さを持つ一対のロールブラシが水平軸線の回りに駆
動回転自在なるように配設され、上記クランプ手段で洗
浄液中を縦向き姿勢で引き上げられていくキャリヤプレ
ートの両面をこれらのロールブラシでスクラブ洗浄する
ように構成された第１処理槽と、 水平軸線の回りに駆動回転自在の一対のロールブラシと
リンス液を噴射するためのシャワーノズルとを下段位置
に備えると共に、水平軸線の回りに回転自在の一対の絞
りローラーを上段位置に備え、上記クランプ手段で槽内
を縦向き姿勢で引き上げられていくキャリヤプレート
に、下段位置において上記シャワーノズルからリンス液
を噴射しながら上記ロールブラシでリンス処理を施すと
共に、上段位置において上記絞りローラーで水切り乾燥
処理を施すように構成された第２処理槽と、を有するこ
とを特徴とするキャリヤプレートの洗浄装置。3. A plurality of clamping means for vertically transporting a disk-shaped carrier plate, and a plurality of clamp means for holding a warmed cleaning liquid and immersing the cleaning liquid in the cleaning liquid. A pair of roll brushes having a length equal to or larger than the diameter are arranged so as to be rotatable around a horizontal axis, and both sides of a carrier plate that is vertically lifted in the cleaning liquid by the above clamping means are used. The first treatment tank configured for scrubbing with the above roll brush, a pair of roll brushes that can be driven and rotated about the horizontal axis, and a shower nozzle for spraying the rinse liquid are provided at the lower position and A carrier plate in which a pair of squeezing rollers rotatable about an axis is provided at an upper stage position, and the inside of the tank is pulled up in a vertical posture by the clamp means. And a second treatment tank configured to perform a rinsing treatment with the roll brush while spraying a rinsing liquid from the shower nozzle at a lower stage position, and a draining and drying process with the squeezing roller at an upper stage position. A carrier plate cleaning device characterized by the above.
れぞれ、上記クランプ手段で供給されたキャリヤプレー
トを、各処理が開始されるまで縦向きに支持するための
支持部材が設けられていることを特徴とする請求項３に
記載の洗浄装置。4. A support member is provided inside each of the first processing tank and the second processing tank for vertically supporting the carrier plate supplied by the clamping means until each processing is started. The cleaning device according to claim 3, wherein the cleaning device is a cleaning device.
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|---|---|---|---|
| JP2001288836A JP2003093978A (en) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | Method and apparatus for cleaning carrier plate |
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