KR100958577B1 - 박리 장치 및 방법 - Google Patents

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KR100958577B1
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Abstract

본 발명은 스트리퍼의 유출량을 감시할 수 있도록 한 박리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 박리 장치는 제 1탱크에 저장된 제 1스트리퍼를 이용하여 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 1 및 제 2박리부와, 제 2탱크에 저장된 제 2스트리퍼를 이용하여 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 3박리부와, 기판에 잔존하는 스트리퍼를 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol)로 희석시키기 위한 이소프로필알코올 모듈과, 제 2박리부로부터 제 3박리부로 공급되는 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 1감시부와, 제 3박리부로부터 이소프로필알코올 모듈로 공급되는 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 2감시부를 구비한다.

Description

박리 장치 및 방법{Apparatus and Method of Striping}
도 1은 통상적인 박막 트랜지스터를 나타내는 단면도.
도 2는 종래의 박리 장치를 나타내는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 박리부들에서 스트리퍼가 분출되는 과정을 나타내는 도면.
도 4는 도 2에 도시된 박리부들에 스트리퍼 액을 공급하기 위한 탱크들을 나타내는 도면.
도 5는 도 2에 도시된 제 2박리부로부터 제 3박리부로 스트리퍼 액이 유입되는 과정을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 박리 장치를 나타내는 도면.
도 7은 도 6에 도시된 감시부들의 구성을 나타내는 도면.
도 8a 내지 도 8c는 도 6에 도시된 감시부들의 동작과정을 나타내는 도면.
도 9는 수광부에 접속된 제어부 및 알람부를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
18 : 유리기판 20 : 게이트전극
22 : 게이트 절연막 24 : 반도체층
26 : 오믹접촉층 28 : 소오스전극
30 : 드레인전극 32 : 보호막
34 : 화소전극 50,100 : 로더/언로더부
51,101 : 아암 52,54,56,102,104,106 : 박리부
58,108 : IPA 모듈 60,110 : 세정부
62,112 : 반입부 64,114 : 건조부
66,116 : 반출부 70 : 파이프
72,122 : 기판 74,76 : 탱크
118,120 : 감시부 130 : 발광부
132 : 수광부 134,136 : 발광센서
140,142,144 : 스트리퍼 150 : 제어부
152 : 알람부
본 발명은 박리 장치 및 방법에 관한 것으로 특히, 스트리퍼의 유출량을 감시할 수 있도록 한 박리 장치 및 방법에 관한 것이다.
액정 표시장치는 소형 및 박형화와 저 전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위칭 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.
액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소매트릭스(Picture Element Matrix 또는 Pixel Matrix)에 텔레비전 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과 광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인들의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 된다.
도 1은 일반적인 종래의 박막 트랜지스터를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 TFT는 유리기판(18)(즉, 하부기판) 위에 형성된다. TFT의 제조공정은 다음과 같다. 먼저, 게이트전극(20)과 게이트라인이 Al, Mo, Cr 등의 금속으로 유리기판(18) 상에 증착된 후, 사진식각법에 의해 패터닝된다.
게이트전극(20)이 형성된 유리기판(18) 상에는 SiNx 등의 무기막으로 된 게이트절연막(22)이 형성된다. 게이트절연막(22) 위에는 비정질 실리콘(amorphous-Si : 이하 "a-Si"이라 함)으로 된 반도체층(24)과 n+ 이온이 도핑된 a-Si으로 된 오믹접촉층(26)이 연속 증착된다.
오믹접촉층(26)과 게이트절연막(22) 위에는 Mo, Cr 등의 금속으로 된 소오스전극(28)과 드레인전극(30)이 형성된다. 이 소오스전극(28)은 데이터라인과 일체 로 패터닝된다. 소오스전극(28)과 드레인전극(30) 사이의 개구부를 통하여 노출된 오믹접촉층(26)은 건식에칭 또는 습식에칭에 의해 제거된다.
그리고 유리기판(18) 상에 SiNx 또는 SiOx로 된 보호막(32)이 전면 증착되어 TFT를 덮게 된다. 이어서, 보호막(32) 위에는 콘택홀이 형성된다. 이 콘택홀을 통하여 드레인전극(30)에 접속되게끔 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide)로 된 화소전극(34)이 증착된다. 실제로, TFT는 사용되는 마스크에 따라 4마스크 공정, 5마스크 공정 또는 6마스크 공정 등에 의하여 형성된다.
이와 같은 TFT를 형성하는 공정은 전극층(20,28,30)의 패터닝이나 콘택홀 형성시 포터 레지스터(Photo Resister : 이하 "PR"이라 함) 패턴형성공정, 에칭공정, PR 패턴 제거(Strip)공정 등이 수행되고 있다. 여기서, PR 패턴 제거공정은 도 2에 도시된 박리장치에 의해서 이루워진다.
도 2는 종래의 박리장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 종래의 박리장치는 다수의 기판들이 담기거나 담길 수 있는 카세트들이 적재되는 로더/언로더부(50)와, 기판상에 형성된 PR을 스트리퍼를 이용하여 제거하기 위한 박리부들(52,54,56)과, 스트리퍼를 중화시키기 위한 IPA(Isopropyl alcohol) 모듈(58)과, 기판을 세정하기 위한 세정부(60)와, 기판을 건조하기 위한 건조부(64)를 구비한다.
로더/언로더부(50)에는 도시되지 않은 카세트들이 적재된다. 여기서, 특정 카세트에는 제 1박리부(52)로 투입될 기판(PR이 형성된)이 적재된다. 그리고, 나머지 카세트에는 반출부(66)로부터 반출된 기판(PR이 제거된)이 적재된다. PR이 형성된 기판은 로봇암(51)에 의하여 제 1박리부(52)로 반입된다.
제 1박리부(52)는 도 3과 같이 다수의 노즐이 형성된 파이프(70)들을 이용하여 스트리퍼를 기판(72)으로 분사한다. 여기서, 스트리퍼는 기판(72)에 형성된 PR이 제거될 수 있도록 H3PO4, CH3COOH, HNO3의 혼합물이 이용된다. 따라서, 기판(72)에 형성된 PR은 제 1박리부(52)에서 일부 제거된다. 제 2박리부(54)도 다수의 노들이 형성된 파이프(70)들을 이용하여 스트리퍼를 분사함으로써 기판(72)에 형성된 PR을 제거하게 된다.
여기서, 제 1박리부(52) 및 제 2박리부(54)에서 사용되는 스트리퍼에 포함된 PR의 농도는 동일하게 설정된다. 다시 말하여, 제 1박리부(52) 및 제 2박리부(54)는 도 4와 같이 제 1탱크(74)에 저장된 스트리퍼를 기판(72)에 분사함으로써 기판(72)에 형성된 PR을 제거한다.
제 3박리부(56)는 다수의 노즐이 형성된 파이프(70)들을 이용하여 스트리퍼를 기판(72)으로 분사함으로써 기판(72) 상에 잔류한 PR을 제거한다. 여기서, 제 3박리부(56)는 제 2탱크(76)에 저장된 스트리퍼를 기판(72)에 분사함으로써 기판(72)에 잔존하는 PR을 제거한다.
한편, 제 1탱크(74)에 저장되는 스트리퍼에 포함되는 PR의 농도는 제 2탱크(76)에 저장되는 스트리퍼에 포함되는 PR의 농도보다 높게 설정된다. 다시 말하여, 제 1 및 제 2박리부(52,54)는 높은 농도의 PR을 함유한 스트리퍼를 이용하여 기판(72) 상에 형성된 PR을 제거하고, 제 3박리부(56)는 낮은 농도의 PR을 함유 한 스트리퍼를 이용하여 기판(72) 상에 잔존하는 PR을 제거한다.
IPA 모듈(58)은 IPA(Isopropyl alcohol)액을 기판(72) 상에 분사한다. IPA액는 기판(72)에 분사된 스트리퍼를 희석시킨다. 실제로, 세정부(60)에서 분사되는 DI(Deionize Water)가 스트리퍼와 혼합되면 전극물질(예를 들면 알루미늄)이 부식되게 된다. 따라서, IPA 모듈(58)은 기판(72)에 분사된 스트리퍼를 희석시킴으로써 전극물질이 부식되는 것을 방지한다.
세정부(60)는 DI를 기판상에 분사함으로써 기판을 세정한다.
반입부(62)는 세정부(60)에서 세정된 기판을 건조부(64)로 이동시킨다. 이를 위해, 반입부(62)에는 도시되지 않은 아암등이 설치된다.
건조부(64)는 기판(72)을 소정 rpm(예를 들면 1800 내지 2200)의 원심력으로 회전시켜 기판상의 DI를 제거한다. 즉, 건조부(64)에서는 기판(72)을 소정속도로 회전시키면서 기판(72)을 건조한다.
반출부(66)는 건조부(64)에서 건조된 기판(72)을 로더/언로더부(50)로 반출시킨다. 반출부(66)에서 반출된 기판(72)은 도시되지 않은 카세트에 적재되어 다음 공정으로 이송된다.
하지만, 이와같은 종래의 박리장치에서는 제 2박리부(54)로부터 제 3박리부(56)로 공급되는 스트리퍼의 양을 정확히 감지할 수 없는 문제점이 있다. 이를 상세히 설명하면, 기판(72)은 도 5와 같이 도시되지 않은 롤러(또는 컨베어)들을 통하여 제 2박리부(54)로부터 제 3박리부(56)로 이송된다. 여기서, 제 2박리부(54)로부터 분사된 소정의 스트리퍼가 제 3박리부(56)로 공급되게 된다. 이때, 제 2박리부(54)로부터 적은 양의 스트리퍼가 제 3박리부(56)로 공급되는 경우 제 3박리부(56)의 스트리퍼의 PR농도에 큰 영향을 주지 않는다.
하지만, 제 2박리부(54)로부터 많은 양의 스트리퍼가 기판(72)을 통하여 제 3박리부(56)로 공급되면 제 2탱크(76)의 PR농도가 올라가는 문제점이 있다. 다시 말하여, 기판(72)을 통하여 제 3박리부(56)로 공급되는 많은 양의 스트리퍼는 제 2탱크(76)로 유입되게 되고, 이에 따라 제 2탱크(76)에 저장되는 스트리퍼의 PR농도가 높아지게 된다. 이와 같이 제 2탱크(76)의 PR농도가 높아지면 잔존하는 PR이 기판(72)상에 재부착되어 불량을 발생시키게 된다.
또한, 종래의 박리장치에서는 제 3박리부(56)로부터 IPA 모듈(58)로 공급도는 스트리퍼의 양을 정확히 감지할 수 없다. 따라서, 제 3박리부(56)에서 분사된 많은 양의 스트리퍼가 기판(72)을 통하여 IPA 모듈(58)로 공급될 수 있다. 여기서, 많은 양의 스트리퍼가 기판(72)에 잔존하게 되면 IPA 모듈(58)에서 기판(72)에 잔존하는 스트리퍼를 충분히 희석시키지 못하게 된다. 따라서, 스트리퍼가 기판(72)과 함께 세정부(60)로 공급되고, 이에 따라 기판(72)에 잔존하는 스트리퍼가 DI와 혼합되게 된다. 여기서, 스트리퍼와 DI가 혼합되게 되면 전극물질이 부식되는 문제점이 발생된다.
따라서, 본 발명의 목적은 스트리퍼의 유출량을 감시할 수 있도록 한 박리 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 박리 장치는 제 1탱크에 저장된 제 1스트리퍼를 이용하여 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 1 및 제 2박리부와, 제 2탱크에 저장된 제 2스트리퍼를 이용하여 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 3박리부와, 기판에 잔존하는 스트리퍼를 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol)로 희석시키기 위한 이소프로필알코올 모듈과, 제 2박리부로부터 제 3박리부로 공급되는 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 1감시부와, 제 3박리부로부터 이소프로필알코올 모듈로 공급되는 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 2감시부를 구비한다.
상기 제 1감시부 및 제 2감시부는 빛을 공급하기 위한 발광부와, 발광부로부터 공급되는 빛을 수광하기 위한 수광부를 구비한다.
상기 발광부는 제 1높이에 설치되어 기판에 원하는 스트리퍼 양보다 많은 양의 스트리퍼가 잔존하는지를 감시하기 위한 제 1발광센서와, 제 1높이보다 낮은 높이인 제 2높이에 설치되어 기판에 원하는 스트리퍼 양보다 낮은 양의 스트리퍼가 잔존하는지를 감시하기 위한 제 2발광센서를 구비한다.
상기 수광부에 접속되어 수광부로 수광되는 광을 이용하여 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 체크하기 위한 제어부와, 제어부의 제어에 의하여 소정의 알람을 송출하는 알람부를 추가로 구비한다.
상기 제어부는 수광부로 제 1발광센서의 빛이 수광됨과 아울러 제 2발광센서 의 빛이 수광되지 않을 때 알람부에서 알람이 송출되지 않도록 제어하고, 그 이외의 경우에는 알람부에서 알람이 송출되도록 제어한다.
본 발명의 박리 방법은 제 1탱크에 저장된 스트리퍼를 기판에 분사하여 포토 레지스터를 제거하는 제 1단계와, 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하는 제 2단계와, 제 2탱크에 저장된 스트리퍼를 기판에 분사하여 기판에 잔존하는 포토 레지스터를 제거하는 제 3단계와, 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하는 제 4단계와, 기판에 잔존하는 스트리퍼를 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol)로 희석시키는 제 5단계를 포함한다.
상기 제 2단계 및 제 4단계는 기판상에 상이한 높이로 빛을 공급하는 단계와, 상이한 높이로 공급되는 광의 수광여부를 이용하여 기판상에 원하는 스트리퍼 양이 잔존하는 지를 판단하는 단계를 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하 도 6 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 박리장치를 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 박리장치는 다수의 기판들이 담기거나 담길 수 있는 카세트들이 적재되는 로더/언로더부(100)와, 기판에 형성된 PR을 스트리퍼를 이용하여 제거하기 위한 박리부들(102,104,106)과, 기판에 잔류하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 감시부들(118,120)과, 스트리퍼를 중화시키기 위 한 IPA 모듈(108)과, 기판을 세정하기 위한 세정부(110)와, 기판을 건조하기 위한 건조부(114)를 구비한다.
로더/언로더부(100)에는 도시되지 않은 카세트들이 적재된다. 여기서, 특정 카세트에는 제 1박리부(102)로 투입될 기판(PR이 형성된)이 적재된다. 그리고, 나머지 카세트에는 반출부(116)로부터 반출된 기판(PR이 제거된)이 적재된다. PR이 형성된 기판은 로봇암(101)에 의하여 제 1박리부(102)로 반입된다.
제 1박리부(102)는 다수의 노즐이 형성된 파이프들을 이용하여 스트리퍼를 기판으로 분사한다. 여기서, 스트리퍼는 기판에 형성된 PR이 제거될 수 있도록 H3PO4, CH3COOH, HNO3의 혼합물이 이용된다. 따라서, 기판에 형성된 PR은 제 1박리부(102)에서 일부 제거된다. 제 2박리부(104)에서도 제 1박리부(102)에서 사용되는 스트리퍼와 동일한 PR농도를 가지는 스트리퍼를 기판에 분사함으로써 기판에 형성된 PR을 제거한다.
제 3박리부(106)는 제 1 및 제 2박리부(102,104)에서 사용되는 스트리퍼보다 낮은 PR농도를 가지는 스트리퍼를 기판에 분사함으로써 기판 상에 잔류되는 PR을 제거한다.
제 1감시부(118)는 기판상에 잔존하는 스트리퍼 양을 체크하면서 제 2박리부(104)로부터 제 3박리부(106)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시한다. 제 2감시부(120)는 기판상에 잔존하는 스트리퍼 양을 체크하면서 제 3박리부(106)로부터 IPA 모듈(108)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시한다. 이와 같은 제 1감시부(118) 및 제 2감시부(120)의 상세한 동작과정은 후술하기로 한다.
IPA 모듈(또는 중화부)(108)은 IPA(Isopropyl alcohol)액을 기판에 분사한다. 여기서, IPA액은 기판 상에 잔존하는 스트리퍼를 희석시키게 된다. 실제로, 세정부(110)에서 분사되는 DI가 스트피러와 혼합되면 기판상에 패터닝된 전극물질이 부식되게 된다. 따라서, IPA 모듈(108)에서는 기판상에 잔존하는 스트리퍼를 희석시킴으로써 전극물질이 부식되는 것을 방지한다.
세정부(110)는 DI를 기판상에 분사함으로써 기판을 세정한다.
반입부(112)는 세정부(110)에서 세정된 기판을 건조부(114)로 공급한다. 건조부(114)는 기판을 소정 rpm(예를 들면 1800 내지 2200)으로 회전시키면서 기판을 건조한다. 건조부(114)에서 건조된 기판을 반출부(116)에 의하여 로더/언로더부(100)로 공급된다.
이와 같은 본 발명의 박리장치에는 기판상에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 감시부들(118,120)이 설치된다. 감시부들(118,120)은 도 7과 같이 빛을 공급하기 위한 발광부(130)와 빛을 수광하기 위한 수광부(132)를 구비한다.
발광부(130)는 서로 다른 높이로 설정되는 제 1 및 제 2발광센서(134,136)를 구비한다. 제 1발광센서(134)는 높은 높이에 설치되어 기판상에 잔존하는 스트리퍼가 원하는 양보다 많은지를 체크한다. 제 2발광센서(136)는 낮은 높이에 설치되어 기판상에 잔존하는 스트리퍼가 원하는 양보다 낮은지를 체크한다.
이를 상세히 설명하면, 먼저 제 1 및 제 2발광센서(134,136)는 소정의 빛을 수광부(132)쪽으로 공급한다. 여기서, 도 8a와 같이 기판(122) 상에 많은 양의 스 트리퍼(140)가 잔존하면 제 1 및 제 2발광센서(134,136)로부터 공급되는 빛은 스트리퍼(140)에 의하여 차단되게 된다. 따라서, 수광부(132)는 빛을 수광하지 못하고, 이에 따라 기판(122)에 많은 양의 스트리퍼가 잔존함을 알 수 있게 된다.
그리고, 도 8b와 같이 기판(122) 상에 적은 양의 스트리퍼(142)가 잔존하면 제 1 및 제 2발광센서(134,136)로부터 공급되는 빛은 모두 수광부(132)로 공급된다. 여기서, 수광부(132)로 제 1 및 제 2발광센서(134,136)의 빛이 모두 공급되면 기판(122) 상에 적은 양의 스트리퍼(142)가 잔존함으로 알 수 있다. 실제로, 기판(122) 상에 원하는 양보다 적은 양의 스트리퍼(142)가 잔존되면 기판(122)이 건조되어 불량이 발생될 확률이 증가된다.(아울러 기판(122) 상에 PR이 잔존할 확률이 증가된다.)
아울러, 도 8c와 같이 기판(122) 상에 원하는 양의 스트리퍼(144)가 잔존하면 제 1발광센서(134)로부터의 빛은 수광부(132)로 공급되고, 제 2발광센서(136)로부터의 빛은 스트리퍼(144)에 의하여 차단된다. 여기서, 수광부(132)로 제 1발광센서(134)의 빛만이 공급되면 기판(122) 상에 원하는 양의 스트리퍼(144)가 잔존됨을 알 수 있다.
즉, 제 1감시부(118)는 제 2박리부(104)로부터 제 3박리부(106)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 제 2감시부(120)는 제 3박리부(106)로부터 IPA 모듈(108)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 다시 말하여, 본 발명에서는 제 2박리부(104)로부터 제 3박리부(106)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 제 3박리부(106)에서 사용되는 스트리퍼의 PR농도가 높아지는 것을 방지할 수 있고, 제 3박리부(106)로부터 IPA 모듈(108)로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 스트리퍼가 DI와 혼합되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명에서는 도 9와 같이 수광부(132)에 접속되는 제어부(150) 및 알람부(152)를 추가로 구비하게 된다. 제어부(150)는 수광부(132)로부터 수광되는 광을 이용하여 기판(122) 상에 잔존하는 스트리퍼 양을 체크하게 된다. 예를 들어, 제어부(152)는 수광부(132)로 제 1발광센서(134) 및 제 2발광센서(136)의 빛이 모두 수광될 때 알람부(152)를 제어하여 알람을 발생시킴으로써 기판(122) 상에 적은 양의 스트리퍼가 잔존함을 운영자에게 통보하게 된다. 그리고, 제어부(150)는 수광부(132)로 제 1발광센서(134) 및 제 2발광센서(136)의 빛이 모두 수광되지 않을 때 알람부(152)를 제어하여 알람을 발생시킴으로써 기판(122) 상에 많은 양의 스트리퍼가 잔존함을 운영자에게 통보하게 된다. 한편, 제어부(150)는 수광부(132)로 제 1발광센서(134)의 빛만이 수광될 때 알람이 발생되지 않도록 알람부(152)를 제어한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 박리 장치 및 방법에 의하면 제 2박리부로부터 제 3박리부로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 많은 양의 스트리퍼가 제 3박리부로 공급되는 것을 방지한다. 따라서, 제 3박리부에서 사용되는 스트리퍼의 PR농도가 높게 올라가는 것이 방지되고, 이에 따라 포토 레지스터의 스트립 양을 정확히 제어함과 아울러 PR이 기판상에 재부착되는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 본 발명에서는 많은 양의 스트리퍼가 제 3박리부로 공급되는 것을 방지함으로써 포토 레지스터가 기판에 재부착되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 본 발명에서는 제 3박리부로부터 IPA 모듈로 공급되는 스트리퍼 양을 감시함으로써 많은 양의 스트리퍼가 IPA 모듈로 공급되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 기판상에 잔존하는 스트리퍼가 IPA 모듈에서 모두 희석될 수 있고, 이에 따라 기판에 형성된 전극물질이 부식되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 기판상의 잔존하는 스트리퍼 양을 감시함으로써 적은 양의 스트리퍼에 의하여 기판이 건조되거나 PR이 충분히 제거되지 않는 것을 방지 할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (7)

  1. 기판상에 형성된 포토 레지스터를 제거하기 위한 장치에 있어서,
    제 1탱크에 저장된 제 1스트리퍼를 이용하여 상기 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 1 및 제 2박리부와,
    제 2탱크에 저장된 제 2스트리퍼를 이용하여 상기 포토 레지스터를 제거하기 위한 제 3박리부와,
    상기 기판에 잔존하는 상기 스트리퍼를 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol)로 희석시키기 위한 이소프로필알코올 모듈과,
    상기 제 2박리부로부터 상기 제 3박리부로 공급되는 상기 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 1감시부와,
    상기 제 3박리부로부터 상기 이소프로필알코올 모듈로 공급되는 상기 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 감시하기 위한 제 2감시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1감시부 및 제 2감시부는
    빛을 공급하기 위한 발광부와,
    상기 발광부로부터 공급되는 빛을 수광하기 위한 수광부를 구비하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 발광부는
    제 1높이에 설치되어 상기 기판에 원하는 스트리퍼 양보다 많은 양의 스트리퍼가 잔존하는지를 감시하기 위한 제 1발광센서와,
    상기 제 1높이보다 낮은 높이인 제 2높이에 설치되어 상기 기판에 원하는 스트리퍼 양보다 낮은 양의 스트리퍼가 잔존하는지를 감시하기 위한 제 2발광센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 수광부에 접속되어 상기 수광부로 수광되는 광을 이용하여 상기 기판에 잔존하는 스트리퍼 양을 체크하기 위한 제어부와,
    상기 제어부의 제어에 의하여 소정의 알람을 송출하는 알람부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 수광부로 상기 제 1발광센서의 빛이 수광됨과 아울러 상기 제 2발광센서의 빛이 수광되지 않을 때 상기 알람부에서 알람이 송출되지 않도록 제어하고, 그 이외의 경우에는 상기 알람부에서 알람이 송출되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  6. 기판상에 형성된 포토 레지스터를 제거하기 위한 방법에 있어서,
    제 1탱크에 저장된 스트리퍼를 상기 기판에 분사하여 상기 포토 레지스터를 제거하는 제 1단계와,
    상기 기판에 잔존하는 상기 스트리퍼 양을 감시하는 제 2단계와,
    제 2탱크에 저장된 스트리퍼를 상기 기판에 분사하여 상기 기판에 잔존하는 포토 레지스터를 제거하는 제 3단계와,
    상기 기판에 잔존하는 상기 스트리퍼 양을 감시하는 제 4단계와,
    상기 기판에 잔존하는 상기 스트리퍼를 이소프로필알코올(Isopropyl alcohol)로 희석시키는 제 5단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 2단계 및 제 4단계는
    상기 기판상에 상이한 높이로 빛을 공급하는 단계와,
    상기 상이한 높이로 공급되는 광의 수광여부를 이용하여 상기 기판상에 원하는 스트리퍼 양이 잔존하는 지를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박리 방법.
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