KR100834167B1 - 글래스 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 파손을 방지하도록 한 글래스 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 글래스 이송장치는 글래스를 이송시키기 위하여 모터로부터 전달되는 회전력에 의해 회전하는 다수의 구동축과, 적어도 하나 이상의 구동축에 설치되어 구동축의 회전을 감지하기 위한 회전 감지부를 구비한다.

Description

글래스 이송 장치{GLASS TRANSFER APPARATUS}
도 1은 액정표시장치의 박막트랜지스터를 나타내는 단면도.
도 2는 에칭장치를 나타내는 평면도.
도 3은 종래의 글래스 이송 장치를 나타내는 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 설치된 부시를 나타내는 도면.
도 5는 부시에 마모가 발생되었을 때 글래스의 이송과정을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 회전 감지부를 나타내는 도면.
도 7은 도 6에 도시된 감지부를 상세히 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2 : 카세트 4 : 글래스
6 : 로봇암 8 : 글래스 이송장치
10 : 에칭 진행부 12 : 구동축
14 : 중간롤러 16 : 부시
18 : 롤러 20 : 구동 롤러부
22 : 벨트 24 : 모터
26,34 : 홀 30 : 감지부
32 : 회전부 36 : 발광소자
38 : 수광소바 39 : 몸체
40 : 회전 감지부 218 : 기판
220 : 게이트전극 222 : 게이트절연막
224 : 반도체층 226 : 오믹접촉층
228 : 소오스전극 230 : 드레인전극
232 : 보호막 234 : 화소전극
본 발명은 글래스 이송장치에 관한 것으로 특히, 기판의 파손을 방지하도록 한 글래스 이송장치에 관한 것이다.
액티브 매트릭스(Active Matrix) 구동방식의 액정표시장치는 스위칭 소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)를 이용하여 자연스러운 화상을 표시하고 있다. 이러한 액정표시장치는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하여 휴대용 텔레비전(Television)이나 랩탑(Lap-Top)형 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer) 등의 모니터로서 상품화되고 있다.
이러한, 엑티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소매트릭스(Picture Element Matrix 또는 Pixel Matrix)에 텔레비전 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과 광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인들의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 된다.
도 1을 참조하면, 기판(218) 위에 형성된 TFT가 도시되어 있다. TFT의 제조공정은 다음과 같다. 먼저, 게이트전극(220)과 게이트라인이 Al, Mo, Cr 등의 금속으로 기판(218) 상에 증착된 후, 사진식각법에 의해 패터닝된다. 게이트전극(220)이 형성된 기판(218) 상에는 SiNx 등의 무기막으로 된 게이트절연막(222)이 형성된다. 게이트절연막(222) 위에는 비정질 실리콘(amorphous-Si : 이하 "a-Si"이라 함)으로 된 반도체층(224)과 n+ 이온이 도핑된 a-Si으로 된 오믹접촉층(226)이 연속 증착된다. 오믹접촉층(226)과 게이트절연막(222) 위에는 Mo, Cr 등의 금속으로 된 소오스전극(228)과 드레인전극(230)이 형성된다.
소오스전극(228)은 데이터라인과 일체로 패터닝된다. 소오스전극(228)과 드레인전극(230) 사이의 개구부를 통하여 노출된 오믹접촉층(226)은 건식에칭 또는 습식에칭에 의해 제거된다. 그리고 기판(218) 상에 SiNx 또는 SiOx로 된 보호막(232)이 전면 증착되어 TFT를 덮게 된다. 이어서, 보호막(232) 위에는 콘택홀이 형성된다. 이 콘택홀을 통하여 드레인전극(230)에 접속되게끔 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide)로 된 화소전극(234)이 증착된다.
이와 같은 TFT는 포토레지스트(Photo Resister : 이하 "PR"이라 함) 패턴공정, 에칭공정 및 PR 패턴 제거(Strip)공정등 다양한 공정에 의하여 제조된다.
도 2는 액정표시장치의 제조장치 중 에칭장치를 나타내는 평면도이다.
도 2를 참조하면, 에칭장치는 글래스(4)가 적층되어 있는 카세트(2)와, 카세트(2)에서 하나의 글래스(4)를 인출하여 글래스 이송장치(8)로 로딩시키기 위한 로봇암부(6)와, 로딩된 글래스(4)를 이송시키기 위한 글래스 이송장치(8)와, 이송되는 글래스(4)에 대해 에칭공정을 수행하기 위한 에칭진행부(10)를 구비한다.
카세트(2)에는 에칭공정이 진행될 다수의 글래스(4)가 적층되어 있다. 로봇암부(6)는 카세트(2)에서 하나의 글래스(4)를 인출하여 글래스 이송장치(8)에 로딩한다. 에칭 진행부(10)는 소정의 액을 분사하여 글래스(4)를 에칭한다. 글래스 이송장치(8)는 로봇암부(6)에서 로딩된 글래스(4)를 에칭진행부(10) 내에서 서서히 이동시킨다. 이와 같은 글래스 이송장치(8)는 에칭공정 뿐만 아니라 TFT를 형성하기 위한 패턴공정, PR 제거공정등 다양한 공정에서 이용되고 있다.
도 3은 종래의 글래스 이송장치를 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 종래의 글래스 이송장치(8)는 글래스(4)를 이송시키기 위한 다수의 구동 롤러부(20)를 구비한다.
구동 롤러부(20)는 구동축(12)과, 구동축(12)의 중심부에 형성되어 글래스(4)를 이송시키는 중간롤러(14)와, 구동축(12)을 고정하는 부시(BUSH : 16)와, 소정의 회전력을 발생하는 모터(24)와, 모터(24)의 회전력에 의하여 회전하는 벨트(22)와, 구동축(12)으로부터 신장되어 벨트(또는 체인)(22)와 접속되는 롤러(18)을 구비한다.
모터(24)는 소정의 회전력을 벨트(22)로 전달한다. 벨트(22)는 모터(24)로부터 공급된 회전력에 의하여 회전한다. 이때, 벨트(22)와 접속되는 롤러(18)는 벨트(22)의 회전력에 의하여 구동축(12)을 회전시킨다. 글래스(4)는 구동축(12)의 회전속도에 대응하여 소정속도로 이송된다. 부시(16)는 구동축(12)을 고정하여 구동축(12)이 유동없이 회전하게 한다.
다시 말하여, 부시(16)에는 도 4a와 같은 홀(26)이 형성되고, 구동축(12)이 홀(26)을 관통하게 된다. 이때, 부시(16)는 구동축(12)이 상,하,좌,우로 유동되지 않도록 구동축(12)을 고정한다. 이와 같이 부시(16)가 구동축(12)을 상,하,좌,우로 유동되지 않도록 고정하므로써 글래스(4)가 원하는 방향으로 이동되게 된다.
하지만, 부시(16)가 소정시간 이상 사용되면,즉 구동축(12)이 소정이상 회전하면 구동축(12)의 마찰등에 의하여 도 4b와 같이 부시(16)에 마모가 발생된다. 이와 같이 부시(16)가 마모되면 구동축(12)이 홀(26) 사이에서 유동하게 된다. 구동축(12)이 홀(26) 사이에서 유동되면 구동축(12)의 회전속도가 상이해지고, 이에 따라 도 5와 같이 글래스(4) 진행방향이 변하게 된다. 아울러, 부시(16)가 마모되면 구동축(12)이 헛도는 경우가 발생되고, 이에 따라 글래스(4)의 진행방향이 변하게 된다.
다시 말하여, 부시(16)가 마모되면 도 5와 같이 글래스(4)가 원하는 방향으로 이송되지 못한다. 따라서, 도 5와 같이 글래스(4)와 글래스 이송장치(8)간에 충돌이 발생되어 글래스(4)가 파손되게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판의 파손을 방지하도록 한 글래스 이송장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 글래스 이송장치는 글래스를 이송시키기 위하여 모터로부터 전달되는 회전력에 의해 회전하는 다수의 구동축과, 적어도 하나 이상의 구동축에 설치되어 구동축의 회전을 감지하기 위한 회전 감지부를 구비한다.
상기 회전 감지부는, 구동축의 일측단에 설치됨과 아울러 다수의 홀들이 소정간격으로 형성되는 회전부와, 홀들과 중첩되도록 "ㄷ"자 형태로 형성된 몸체와, 몸체의 일측단에 설치되어 광을 발생하는 발광소자와, 몸체의 다른측 일측단에 설치되어 홀들을 통과한 광을 수광하는 수광소자와, 수광소자로부터 수광되는 광의 간격을 이용하여 구동축들의 이상여부를 판단하기 위한 제어부를 구비한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하 도 6 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 회전 감지부를 나타내는 도면이다.
회전 감지부(40)는 도 3에 도시된 글래스 이송장치(8)에 설치되어 글래스 이송장치(8)의 동작상태를 감지한다. 한편, 도 6에 도시된 회전 감지부(40)를 설명할 때 도 3에 도시된 글래스 이송장치를 참조하기로 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 회전 감지부(40)는 적어도 하나 이상의 구동 롤러부(20)에 설치된다. 이러한, 회전 감지부(40)는 구동 롤러부(20)들의 회전을 감지한다.
회전 감지부(40)는 구동축(12)의 일측단에 형성되는 회전부(32)와, 회전부(32)의 회전상태를 감지하기 위한 감지부(30)를 구비한다. 회전부(32)는 구동축(12)의 일측단에 원형으로 형성되어 구동축(12)의 회전에 의해 회전한다. 회전부(32)에는 다수의 홀(34)들이 형성된다.
감지부(30)는 회전부(32)의 회전상태를 감지한다. 이를 위하여, 감지부(30)는 도 7과 같이 회전부(32)에 형성된 홀(34)들을 양측에서 감쌀수 있도록 "ㄷ"자 형태로 형성되는 몸체(39)와, 몸체(39)의 일측 끝단에 설치되는 발광소자(36)와, 몸체(39)의 다른측 끝단에 설치되는 수광소자(38)를 구비한다.
발광소자(36)는 소정의 광을 회전부(32)로 공급한다. 수광소자(38)는 회전부(32)의 홀(34)을 통과하는 광을 수광한다. 다시 말하여, 수광소자(38)에는 소정간격(구동축(12)의 회전속도)으로 발광소자(36)에서 발광된 광을 수광된다. 수광소자(38)에 수광된 광의 간격은 도시되지 않은 제어부로 공급되고, 제어부는 수광소자(38)에 수광되는 광이 일정간격으로 입력되는지를 판단하게 된다.
동작과정을 상세히 설명하면, 먼저, 다수의 구동 롤러부(20)들은 일정속도로 회전하면서 글래스(4)를 소정방향으로 이송시킨다. 이때, 회전 감지부(40)는 회전부(32)의 이동속도를 체크하면서 구동 롤러부(20)들의 동작상태를 감지한다.
만약, 특정 구동 롤러부(20)의 부시(16)가 마모되어 구동축(12)이 유동 및/또는 헛돌게 되면 구동 롤러부들(20)의 회전속도가 변하게 된다. 이와 같이 구동 롤러부들(20)의 회전속도가 변하게 되면 수광소자(38)에 입력되는 광의 간격도 변하게 된다. 이때, 수광소자(38)에서 입력되는 광의 간격을 체크하는 제어부는 소정의 알람을 발생시키게 된다. 아울러, 제어부는 글래스 이송장치(8)의 동작을 제어하여 글래스(4)의 파손을 방지한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 글래스 이송장치에 의하면 적어도 하나 이상의 구동 롤러부의 일측단에 회전 감지부를 설치함으로써, 부시의 마모에 의한 글래스의 파손을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (3)

  1. 글래스를 이송시키기 위하여 모터로부터 전달되는 회전력에 의해 회전하는 다수의 구동축과,
    상기 구동축에 형성되어 상기 글래스를 이송시키는 중간 롤러와,
    상기 적어도 하나 이상의 구동축에 설치되어 상기 구동축의 회전을 감지하기 위한 회전 감지부를 구비하며,
    상기 회전 감지부는,
    상기 구동축의 일측단에 설치됨과 아울러 다수의 홀들이 소정간격으로 형성되는 회전부와,
    상기 회전부의 회전상태를 감지하기 위한 감지부와,
    상기 감지부로부터 전송되는 감지정보에 따라 상기 구동측들의 이상여부를 판단하기 위한 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 글래스 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 회전부의 홀들과 중첩되도록 "ㄷ"자 형태로 형성된 몸체와,
    상기 몸체의 일측단에 설치되어 광을 발생하는 발광소자와,
    상기 몸체의 다른측 일측단에 설치되어 상기 홀들을 통과한 상기 광을 수광하는 수광소자를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 수광소자로부터 수광되는 상기 광의 간격을 이용하여 상기 구동축들의 이상여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 글래스 이송 장치.
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KR0185469B1 (ko) * 1995-04-29 1999-04-15 배순훈 체인 컨베이어의 모션 감지시스템

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