KR20060000966A - 유기물 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판과 석영창 사이의 갭 확인이 용이한 유기물 세정장치를 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 유기물 세정장치는 기판을 지지 및 이동시키기 위해 복수개의 롤러가 구비된 롤러부와; 상기 롤러부 상부에서 자외선을 발생하기 위한 자외선(UV) 램프와, 상기 자외선을 상기 기판 쪽으로 투과시키기 위한 석영창으로 구성된 램프 하우스와; 상기 램프 하우스 내에 설치되어 상기 기판과 상기 석영창 사이의 갭을 자동으로 감지하기 위한 오토 갭 측정부와; 상기 오토 갭 측정부에 일단이 연결되어 상기 기판의 진행방향에 따라 기울어져서 경사각(θ)을 갖는 센서바를 포함함을 특징으로 한다.

갭, 센서바, 기판, 석영창, 오토 갭 측정

Description

유기물 세정장치{system of cleaning organic substance}

도 1은 종래의 유기물 세정장치를 나타내는 단면도

도 2는 도 1에 도시된 스테이지 구동부를 상세히 나타내는 단면도

도 3a와 도 3b는 도 1에 도시된 유기물 세정장치의 동작을 단계적으로 나타내는 단면도

도 4는 종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치의 단면도

도 5a 내지 도 5c는 종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치의 갭측정 동작을 나타낸 순서도

도 6은 본 발명에 따른 유기물 세정장치를 나타낸 단면도

도 7은 도 6의 오토 갭 측정 장치의 갭 측정을 나타낸 개념도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

60 : 기판 61 : 롤러

62 : 롤러부 70 : UV 램프

71 : 반사판 72 : 석영창

73 : 오토 갭 측정부 74 : 센서바

본 발명은 유기물 세정장치에 관한 것으로, 특히 기판과 석영창 사이의 갭 확인이 용이한 유기물 세정장치에 관한 것이다.

통상적으로, 액정표시장치와 메모리는 일련의 반도체 제조공정에 의해 제조되고 있다. 이러한 제조공정에는 유기물을 세정하기 위한 공정이 수차례 포함된다. 이를 액정표시장치를 예로 들어 설명하면 다음과 같다.

액정표시장치는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절하여 화상을 표시하게 된다. 액정셀마다 스위칭소자가 형성된 액티브 매트릭스(Active Matrix) 타입의 액정표시장치는 동영상을 표시하기에 적합하다. 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치에 사용되는 스위칭소자로는 주로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 " TFT" 라 함)가 이용되고 있다. 이러한 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하며, 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer)와 노트북 컴퓨터(Note Book Computer)는 물론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.

액티브 매트릭스 구동방식의 액정표시장치의 제조공정은 기판 세정, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정 및 테스트 공정으로 나뉘어진다.

기판세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. 이 기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나뉘어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되 고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성된다. 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에는 화소전극이 형성된다. 이 패터닝 공정에 있어서, 각 층의 패터닝은 포토레지스트(Photoresist)를 이용한 사진식각법(Photolithography)이 일반적으로 이용되고있다. 여기서, 기판 상에 포토레지스트가 도포되기 전과 패터닝 후에는 기판 상에 잔류하는 유기물이 완전히 세정되지 않게 되면, 패턴 불량이나 층간 막분리를 유발하기 때문에 유기물 세정장치에 의해 기판 상에 잔류하는 유기물이나 포토레지스트가 완전히 제거되어야 한다.

유기물 세정장치에 대하여는 후술하기로 한다.

기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)을 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지공정이 순차적으로 이루어진다.

실장공정에서는 게이트 드라이브 집적회로 및 데이터 드라이브 집적회로 등의 집적회로가 실장된 테이프 케리어 패키지(Tape Carrier Package : TCP)를 기판 상의 패드부에 접속시키게 된다. 한편, 칩온글라스(Chip On Glass ; COG) 방식으로 드라이브 회로가 실장되는 경우에는 기판 패터닝 공정에서 폴리실리콘 기판 상에 회로패턴이 직접실장된다.

도 1을 참조하면, 유기물 세정장치는 자외선을 발생하는 UV 램프(3)와, 자외선을 투과시키는 석영창(1)과, 기판(11)을 감지하기 위한 기판 센서(9)와, 세정공정 중에 기판(11)을 지지하기 위한 리프트핀(5)이 설치되는 스테이지(4)와, 로딩시와 언로딩시에 기판을 지지하기 위한 서포트핀(10)과, 스테이지(4)를 상승 및 하강 시키기 위한 스테이지 구동부(12)를 구비한다.

UV 램프(3)는 하우징(2)의 내부에 설치되어 172nm의 자외선을 발생하게 된다. 석영창(1)은 단결정의 석영으로 제작되며, 하우징(2)의 저면에 마련된 개구부(2a)에 설치되어 UV 램프(3)로부터의 자외선을 기판(11) 쪽으로 투과시킴으로써 기판(11) 쪽으로 진행하는 광의 광효율을 높이게 된다. 기판 센서(9)는 기판(11)의 아래 쪽에 설치되어 기판(11)의 유무를 감지하게 된다. 리프트핀(5)은 스테이지(4)의 상부에 다수 설치되며, 세정시 기판(11)을 아래에서 지지하는 역할을 한다. 서포트핀(10)은 기판(11)의 로딩과 언로딩시 기판(11)을 아래에서 지지하는 역할을 한다.

스테이지 구동부(12)는 링크바(14)를 경유하여 스테이지(4)와 연결되며, 도 2와 같이 회전력을 발생하기 위한 모터(13)와, 모터(13)의 구동에 의해 회전하는 볼스크류(6)와, 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 가이드블럭(7a,7b) 및 롤러(8)를 구비한다.

모터(13)는 볼스크류(6)와 연결되어 볼스크류(6)를 회전시키는 역할을 한다. 이 모터(13)의 구동 펄스 신호가 공급될 때, 수 mm씩 스테이지(4)가 상승 및 하강하게 된다. 볼스크류(6)는 도시하지 않은 볼너트를 경유하여 하부 가이드 블록(7a)과 연결되어 모터(13)로부터의 회전력에 의해 회전 운동하게 된다. 하부 가이드블록(7a)은 단면이 삼각형으로 제작되어 볼스크류(6)의 회전운동에 연동하여 볼스크류(6)를 따라 직선운동하게 된다. 상부 가이드블록(7b)은 링크바(14)를 경유하여 스테이지(4)의 하부에 고정되며, 하부 가이드블록(7a)의 경사면과 롤러(8)를 사이 에 두고 자신의 경사면이 대면되도록 단면이 삼각형으로 제작되어 하부 가이드블록(7a)의 수평방향 직선운동에 의해 수직방향으로 직선운동하게 된다. 롤러(8)는 가이드블록들(7a,7b) 간의 직선운동을 원활하게 하는 역할을 하게 된다. 이 유기물 세정장치에는 도시되어 있지 않지만 유기물을 분해하기 위하여 챔버 내에 반응가스(O2)를 유입하기 위한 반응가스 유입구와 세정에 의해 생성된 유기가스를 챔버 외부로 배출하기 위한 배기구가 설치된다.

유기물 세정장치의 동작을 도 3a와 도 3b를 결부하여 단계적으로 설명하기로 한다.

도 3a와 같이 로봇암(Robot arm)(21)에 의해 챔버 내부로 로딩(loading)되는 기판(11)이 서포트핀(10) 상에 안착된다. 기판(11)의 로딩이 완료되면 모터(13)에 구동 펄스가 인가되어 모터(13)가 정회전하게 된다. 그러면 모터(13)의 구동에 의해 스테이지(4)는 구동 펄스에 비례하여 상승하게 된다.

스테이지(4)의 상승에 의해 기판(11)은 서포트핀(10)으로부터 분리됨과 동시에, 스테이지(4) 상의 리프트핀(5)에 의해 지지된다.

스테이지(4)와 석영창(1) 사이의 거리가 도 3b와 같이 2mm 정도의 갭(G)이 될 때, 모터(13)는 멈추게 되고 세정이 시작된다. 이렇게 갭(G)이 2mm로 유지될 때, UV 램프(3)는 발광하게 되고 도시하지 않은 반응가스 유입구를 통하여 산소(O2)가 챔버 내에 유입된다. 이 산소(O2)와 172nm의 자외선에 의해 기판(11) 상의 유기물(C, H, O)이 분해된다. 각각의 유기물의 분해과정은 아래의 화학식 1 내지 3과 같다. 유기물의 분해에 의해 생성된 가스 및 수분은 도시하지 않은 배기 구를 통해 챔버의 외부로 배출된다.

유기물이 세정된 후에, 모터(13)가 역회전하게 된다. 그 결과, 도 3a와 같이 스테이지(4)가 하강하고 로봇암(21)에 의해 기판(11)이 챔버 외부로 언로딩된다.

그러나 종래의 유기물 세정장치는 석영창(1)과 기판(11) 사이의 갭(G)을 모니터링할 수 없는 문제점이 있다. 석영창(1)과 기판(11) 사이의 갭(G)이 크게 되면 기판(11) 상에 조사되는 자외선양이 작아지게 되어 유기물 세정 효과가 현저히 떨어지게 된다. 따라서, 석영창(1)과 기판(11) 사이의 갭(G)이 운영자에 의해 주기적으로 측정된다.

그 측정방법은 스테이지(4) 상에 소정의 기준판을 올려 놓고 램프 하우징을 개방한 후 석영창(1) 상에 센서를 부착한 다음, 모터(13)의 구동 펄스를 운영자가 수동으로 입력하여 스테이지를 상승시키면서 갭(G)을 육안으로 확인하는 과정을 포함하게 된다. 이러한 갭 측정과정은 생선성을 떨어 뜨리는 요인으로 작용하고 있다. 더욱이, 그 갭 측정과정에서 모터(13)의 구동 펄스신호를 오입력하는 경우에 스테이지(4)가 과도하게 상승하여 석영창(1)과 충돌될 수 있다. 석영창(1)은 단결정 구조를 가지기 때문에 작은 충격에도 파손된다. 따라서, 갭 측정과정에서 고가의 석영창(1)이 파손되는 경우가 흔히 발생하고 있다.

상기 유기물 세정장치는 스테이지 업/다운(Up/Down) 방식에 의한 것으로, 이하에서는 종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치 및 이의 갭측정 동작에 대하여 설명한다.

도 4는 종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치의 단면도이고, 도 5a 내지 도 5c는 종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치의 갭측정 동작을 나타낸 순서도이다.

종래의 다른 기술에 따른 유기물 세정장치는, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(50)을 로딩, 언로딩 및 지지하기 위해 복수개의 롤러(51)를 구비한 롤러부(52)와, 상기 기판(50)이 안착되는 롤러부(52) 상부에 자외선을 발생하는 복수개의 UV 램프(40)와, UV 램프(40)의 상부에 지그재그 형상으로 구비되어 상기 롤러부(52)방향으로 빛을 반사시키는 반사판(41)과, 상기 UV 램프(40)에서 발생된 자외선을 투과시키는 석영창(42)으로 구성되었다.

이때 UV 램프(40)는 램프 하우스(미도시)의 내부에 설치되어 172nm의 자외선을 발생하게 된다. 그리고 석영창(42)은 단결정의 석영으로 제작되며, 램프 하우스의 저면에 마련된 개구부에 설치되어 UV 램프(40)로부터의 자외선을 기판(50) 쪽으로 투과시킴으로써 기판(50) 쪽으로 진행하는 광의 광효율을 높이게 된다.

상기 구성을 갖는 유기물 세정장치는 석영창(42)과 기판(50) 사이의 갭(G) 조절이 유기물 세정에 중요한 역할을 하며, 상기 석영창과 기판의 갭 측정은 먼저, 도 5a에 도시한 바와 같이, 램프 하우스내의 반사판(41)과 UV 램프(40)를 석영창(42)과 일측만 접촉되도록 상승시킨다.

이후에 도 5b에 도시한 바와 같이, 램프 하우스 내에 있는 석영창(42)을 탈착한다. 석영창 탈착시 주변 장비와 간섭되지 않게 주의가 요구되며, 석영창이 고가이므로 파손시 손해가 크다.

다음에 램프 하우스틀과 기판(50)과의 갭 측정을 위해 스케일('눈금 자')(53)을 넣은 상태에서 작업자가 스케일('눈금 자')(53)을 보면서 직접 수동으로 갭을 측정한다.

상기와 같은 갭 측정방법은 기판(50)이 대형화됨에 의해 석영창(42)과 램프 하우스의 대형화가 요구됨에 따라 수동으로 갭을 측정하는 작업이 어려우며 작업시간도 오래 걸려서 생산성이 저하되는 문제가 있다.

또한, 석영창(42)의 장착/탈착시 석영창 파손 및 안전 사고가 발생할 확률이 높다.

그리고, 스케일('눈금 자')(53)을 이용하여 갭을 측정함으로 갭 측정의 정확도 및 신뢰도가 떨어진다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 기판과 석영창 사이의 갭 확인이 용이한 유기물 세정장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기물 세정장치는 기판을 지지 및 이동시키기 위해 복수개의 롤러가 구비된 롤러부와; 상기 롤러부 상부에서 자외선을 발생하기 위한 자외선(UV) 램프와, 상기 자외선을 상기 기판 쪽으로 투과시키기 위한 석영창으로 구성된 램프 하우스와; 상기 램프 하우스 내에 설치되어 상기 기판과 상기 석영창 사이의 갭을 자동으로 감지하기 위한 오토 갭 측정부와; 상기 오토 갭 측정부에 일단이 연결되어 상기 기판의 진행방향에 따라 기울어져서 경사각(θ)을 갖는 센서바를 포함함을 특징으로 한다.

상기 램프 하우스에는 상기 자외선(UV) 램프의 상부에 지그재그 형상으로 구비되어 상기 롤러부 방향으로 빛을 반사시키는 반사판이 더 구비됨을 특징으로 한다.

상기에서 오토 갭 측정부는 상기 기판이 안착되는 상기 롤러부의 끝부분에서 대략 5mm정도 떨어진 지점에 구성됨을 특징으로 한다.

상기 센서바는 상기 기판이 안착되어 이동하는 롤러부의 상부에 인접한 부분까지 연장되어 있고, 상기 기판이 진행하는 방향과 수직으로 구성되어 있음을 특징으로 한다.

상기 센서바는 그 길이는 고정된 값을 갖음을 특징으로 한다.

상기 오토 갭 측정부와 센서바는 삼각함수의 원리에 따르도록 구성되고,

상기 기판 진행시 상기 센서바가 상기 기판 진행 방향에 의해 밀리면서 틀어진 각도를 측정하고 상기 각도(θ)를 이용해서 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap) 을 측정하도록 구성됨을 특징으로 한다.

상기 삼각함수 원리에 따르는 상기 오토 갭 측정부는 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap)이 X=L×cosθ에 의해 구해지도록 구성됨을 특징으로 한다.

상기 오토 갭 측정부는 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap)이 상기 갭 측정 값에다가 상기 롤러부의 반송속도와 상기 롤러의 평탄도차에 의해 발생 가능한 보정계수(α)를 곱한 X=L×cosθ×α에 의해 구해지도록 구성됨을 특징으로 한다.

상기 'X'는 상기 석영창과 기판의 갭(gap)이고, 상기 'L'은 상기 센서바의 길이이고, 상기 'θ'는 상기 기판이 진행함에 의해 상기 센서바가 기울어진 각도임을 특징으로 한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기물 세정장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명에 따른 유기물 세정장치를 나타낸 단면도이고, 도 7은 도 6의 오토 갭 측정 장치의 갭 측정 방법을 나타낸 개념도이다.

본 발명의 실시예에 따른 유기물 세정장치는, 도 6에 도시한 바와 같이, 기판(60)을 로딩, 언로딩 및 지지하기 위해 복수개의 롤러(61)를 구비한 롤러부(62)와, 상기 기판(60)이 안착되는 롤러부(62) 상부에 자외선을 발생하는 복수개의 UV 램프(70)와, UV 램프(70)의 상부에 지그재그 형상으로 구비되어 상기 롤러부(62) 방향으로 빛을 반사시키는 반사판(71)과, 상기 UV 램프(70)에서 발생된 자외선을 투과시키는 석영창(72)과, UV 램프(70)와 반사판(71)과 석영창(72)으로 구성된 램프 하우스 내에 구비된 오토 갭 측정부(73)와, 상기 오토 갭 측정부(73)의 일측에 접속된 센서바(74)로 구성되어 있다.

상기에서 오토 갭 측정부(73)는 기판(60)이 안착되는 롤러부(62)의 끝부분에서 대략 5mm정도 떨어진 지점에 구성되어 있다.

그리고 상기 센서바(74)는 기판(60)이 안착되어 이동하는 롤러부(62)의 상부에 인접한 부분까지 연장되어 있고, 기판(60)이 진행하는 방향과 수직방향으로 구성되어 있으며, 그 길이는 고정된 값을 갖는다.

또한, 상기 센서바(74)는 기판(60)이 진행함에 의해서 기판(60)과 센서바(74)와의 간섭에 의해 센서바(74)가 기울어지게 되고, 이에 따라 각도(θ)가 생기게 된다.

상기 오토 갭 측정부(73)와 상기 센서바(74)는 삼각함수 원리에 의해서 갭값이 산출된다.

상기 UV 램프(70)는 램프 하우스(미도시)의 내부에 설치되어 172nm의 자외선을 발생하게 된다. 그리고 석영창(72)은 단결정의 석영으로 제작되며, 램프 하우스의 저면에 마련된 개구부에 설치되어 UV 램프(70)로부터의 자외선을 기판(60) 쪽으로 투과시킴으로써 기판(60) 쪽으로 진행하는 광의 광효율을 높이게 된다.

상기 구성을 갖는 유기물 세정장치는 석영창(72)과 기판(60) 사이의 갭(G) 조절이 유기물 세정에 중요한 역할을 한다. 이에 상기 석영창(72)과 기판(60)의 갭 측정은 중요하다.

상기 오토 갭 측정부와 센서바를 이용한 석영창과 기판의 갭 측정은, 도 6, 도 7에 도시한 바와 같이, 기판(60) 진행시 센서바(74)가 기판(60) 진행 방향에 의 해 밀리면서 틀어진 각도를 측정하고 측정한 각도(θ)를 이용해서 석영창(72)과 기판(60)의 갭(gap)을 측정하는 것이다.

상기에서 석영창(72)과 기판(60) 사이의 갭은 계속적으로 변하는 것이 아니고, 갭은 유기물을 세정하기에 알맞은 값(대략 2mm)으로 셋팅되어 있는데, 상기 셋팅된 갭값보다 크거나 작으면 유기물 세정을 알맞게 할 수 없음으로, 상기 오토 갭 측정부를 이용해서 어느 정도의 갭차를 갖고 있는지를 측정하는 것이다.

상기 석영창(72)과 기판(60)의 갭은 도 7에 나타난 바와 같이, X=L×cosθ와 같은 삼각함수 법칙에 의해 산출된다.

이때, 'X'는 석영창(72)과 기판(60)의 갭(gap)이고, 'L'은 센서바(74)의 길이이고, 'θ'는 기판이 진행함에 의해 센서바(74)가 기울어진 각도이다. 상기에서 센서바(74)의 길이 'L'은 고정된 값이다.

상기 갭 측정 값에다가 롤러부(62)의 반송속도와 롤러(61)의 평탄도차에 의해 발생 가능한 보정계수(α)를 곱하면 좀더 정확한 석영창과 기판의 갭을 측정할 수 있다. 이에 의해 구하는 식은 X=L×cosθ×α이다.

상기에서 센서바가 2mm이고 기울어지는 각도(θ)가 30°와 60°일 경우 갭값을 비교하면, 각도가 30°일 때는 cos30°가

이므로 갭값은 2×cos30°=root3mm이 되고, 각도가 60°일 때는 cos60°가 1/2이므로 갭값은 2×cos60°=1mm가 된다.

상기 비교에서와 같이 갭값은 각도가 작을수록 크고, 각도가 클수록 작다는 것을 알 수 있다. 상기와 같은 원리 및 개념을 이용한 오토 갭 측정부와 센서바를 이용해서 석영창과 기판의 갭을 자동으로 산출할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

상기와 같은 본 발명의 유기물 세정장치는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 오토 갭 측정부와 이에 부착된 센서바를 이용해서 석영창과 기판 사이의 갭을 자동으로 측정할 수 있음으로, 종래에 수동으로 갭을 측정할 때보다 생산성 향상 및 작업 손실(loss)을 개선시킬 수 있다.

둘째, 오토 갭 측정부와 이에 부착된 센서바를 이용해서 석영창과 기판 사이의 갭을 자동으로 측정할 수 있음으로, 갭 틀어짐(멀어짐)에 의한 유기물 세정력의 저하를 미연에 방지할 수 있다.

셋째, 오토 갭 측정부와 이에 부착된 센서바를 이용해서 석영창과 기판 사이의 갭을 자동으로 측정할 수 있음으로, 기판이 대형화됨에 의해 종래에 수동으로 갭을 측정할 때 발생할 수 있었던 사고를 방지할 수 있다.

Claims (9)

1. 기판을 지지 및 이동시키기 위해 복수개의 롤러가 구비된 롤러부와;

   상기 롤러부 상부에서 자외선을 발생하기 위한 자외선(UV) 램프와, 상기 자외선을 상기 기판 쪽으로 투과시키기 위한 석영창으로 구성된 램프 하우스와;

   상기 램프 하우스 내에 설치되어 상기 기판과 상기 석영창 사이의 갭을 자동으로 감지하기 위한 오토 갭 측정부와;

   상기 오토 갭 측정부에 일단이 연결되어 상기 기판의 진행방향에 따라 기울어져서 경사각(θ)을 갖는 센서바를 포함함을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 램프 하우스에는 상기 자외선(UV) 램프의 상부에 지그재그 형상으로 구비되어 상기 롤러부 방향으로 빛을 반사시키는 반사판이 더 구비됨을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기에서 오토 갭 측정부는 상기 기판이 안착되는 상기 롤러부의 끝부분에서 대략 5mm정도 떨어진 지점에 구성됨을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서바는 상기 기판이 안착되어 이동하는 롤러부의 상부에 인접한 부분까지 연장되어 있고, 상기 기판이 진행하는 방향과 수직으로 구성되어 있음을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 센서바는 그 길이는 고정된 값을 갖음을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 오토 갭 측정부와 센서바는 삼각함수의 원리에 따르도록 구성되고,

   상기 기판 진행시 상기 센서바가 상기 기판 진행 방향에 의해 밀리면서 틀어진 각도를 측정하고 상기 각도(θ)를 이용해서 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap)을 자동으로 측정하도록 구성됨을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 삼각함수 원리에 따르는 상기 오토 갭 측정부는 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap)이 X=L×cosθ에 의해 자동으로 구해지도록 구성됨을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 오토 갭 측정부는 상기 석영창과 상기 기판의 갭(gap)이 상기 갭 측정 값에다가 상기 롤러부의 반송속도와 상기 롤러의 평탄도차에 의해 발생 가능한 보정계수(α)를 곱한 X=L×cosθ×α에 의해 자동으로 구해지도록 구성됨을 특징으로 하는 유기물 세정장치.
9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,

   상기 'X'는 상기 석영창과 기판의 갭(gap)이고, 상기 'L'은 상기 센서바의 길이이고, 상기 'θ'는 상기 기판이 진행함에 의해 상기 센서바가 기울어진 각도임을 특징으로 하는 유기물 세정장치.

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