KR100883298B1 - 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치는 일 단부는 프레임본체에 힌지고정되고 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프와 상기 자외선 조사램프의 냉각 및 자외선에 의하여 발생된 유기물 사슬을 파괴하여 상기 자외선 조사램프와 글라스 사이의 산소(O₂)발생을 막아 주기 위한 질소공급부를 구비하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 회동작동가능한 유기물세정용 자외선 조사유닛과,
상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛과 달리 승강프레임상에 상하로 승강가능하도록 설치되며, 상기 산소와 질소와 오존의 유입을 차단하는 제1에어커튼과, 상기 제1 에어커튼에 이어 배치되며 글라스에 부착된 잔존하는 유기물과 파티클을 글라스에서 분리시키는 롤브러쉬와, 상기 롤브러쉬에 의하여 분리된 파티클을 강제로 흡입하여 제거하는 석션 유닛과, 액체와 기체가 함께 혼합된 2유체를 분사하여 글라스를 세정하는 버블젯과, 상기 버블젯에 인접설치되어 글라스의 마지막 세정을 수행하도록 린스가 분사되는 파이널린스부와, 상기 파이널린스부를 통과한 글라스에 잔존하는 DI water(Deionized water)를 건조제거할 수 있는 에어나이프 유닛과, 상기 에어나이프 유닛을 통과한 글라스내의 다른 물질의 유입을 차단하는 제2에어커튼이 순차적으로 승강프레임상에 설치되고 상기 승강프레임을 상하로 승강구동시키는 승강세정부와,
상기 승강세정부에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 상기 이송되는 글라스의 표면에 잔존하는 습기를 완전히 건조시키는 IR 드라이 히터 유닛을 포함하므로,
글라스의 세정작업후에는 평판 디스플레이 세정부를 3부분으로 분할가능하게 되어 양측의 유기물세정용 자외선 조사유닛과 IR 드라이 히터 유닛의 일단부가 힌지고정되어 회동작동하므로 open/close작동이 가능하게 되고 중앙의 승강세정부는 상하로 승강구동가능하게 작동되므로서 평판 디스플레이 세정장치의 유지보수가 원활하게 되어 장기간의 사용이 가능하다.
Description
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치의 사시도
도 2는 도 1의 I-I선을 따라 취한 개략적인 주요부분의 개략적인 종단면도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치의 개방상태가 도시된 사시도
도 4는 도 3에 도시된 세정장치의 개방상태가 도시된 측면도
도 5은 도 3에 도시된 세정장치의 정면도
도 6은 도 3의 II-II선을 따라 취한 개략적인 주요부분의 개략적인 종단면도
도 7은 종래의 디스플레이 세정장치의 개략도
도 8은 종래의 다른 디스플레이 세정장치의 개략단면도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1. 프레임본체 2. 자외선 조사유닛
3. 상부세정유닛 4. IR드라이히터유닛
5. 이송롤러 20. 힌지고정부
21. 자외선 조사램프(EW Lamp) 22. 질소 공급부
30. 세정수단 31. 승강프레임
32. 제1에어커튼 33. 롤브러쉬
34. 석션유닛(Suction Unit) 35. 버블젯
36. 파이널린스부(Final Rince) 37. 에어나이프 유닛(Air Knife Unit)
38. 제2에어커튼 39. 승강구동수단
41. 열풍젯 42. 적외선 건조부
본 발명은 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 설명하면, 평판 디스플레이 세정장치를 3부분으로 분할가능하게 되어 양측에 설치된 유기물세정용 자외선 조사유닛과 IR 드라이 히터 유닛의 일단부가 힌지고정되어 회동작동 하므로 open/close작동이 가능하게 되고 중앙의 상부세정유닛은 상하로 승강구동가능하게 작동되므로서 평판 디스플레이 세정장치의 유지보수가 원활하게 되어 장기간의 사용이 가능한 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 세정장치는, 도 7에 도시된 바와 같이, 세정 기능별 장치가 각각 구성되어 롤러를 통해 이송하는 글라스를 자외선 조사장치에 의해 유기세정을 하고, 상기 자외선 조사장치에 의해 유기 세정된 글라스에 브러쉬, 고유속 샤워기 등의 Wet 세정장치에 의해 Wet 세정을 실시하며, 상기 유기세정과 Wet 세정을 마친 글라스를 건조장치에 의해 건조하여 상기 글라스를 세정한다.
그러나, 상기와 같은 종래의 세정장치는 각각의 세정장치가 별도의 바디에 의해 구성되어 상기 세정장치의 설치면적이 크고, 상기 설치면적이 큼에 따라 다른 공정과 연계하여 연속공정이 어려워 생산효율이 저하되는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 본출원인은 대한민국 특허등록번호 제 10-0710886호로 '평판 디스플레이의 일체형 세정장치'를 발명하여 위와 같은 문제점을 해결한 바 있으나, 상기의 발명은, 도 8에 도시된 바와 같이, 자외선 조사와 같은 유기세정부와, 블러쉬나 고유속 샤워기와 같은 Wet 세정부와, 상기 유기세정과 Wet 세정을 마친 글라스를 건조세정부가 일체로 형성된 장치가 제안된바 있으나, 상기 장치에서는 각 세정부가 고정되게 설치되므로 각 세정부를 유지보수하는 과정이 대단히 어렵게 되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평판 디스플레이 세정부를 3부분으로 분할가능하게 되어 양측의 유기물세정용 자외선 조사유닛과 IR 드라이 히터 유닛의 일단부가 힌지고정되어 회동작동하므로 open/close작동이 가능하게 되고 중앙의 상부세정유닛은 상하로 승강구동가능하게 작동되므로서 평판 디스플레이 세정장치의 유지보수가 원활하게 되어 장기간의 사용이 가능한 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 이러한 목적은 일 단부는 프레임본체에 힌지고정되고 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프와 상기 자외선 조사램프의 냉각 및 자외선에 의하여 발생된 유기물 사슬을 파괴하며 상기 자외선 조사램프와 글라스 사이의 산소발생을 막아주기 위한 질소공급부를 구비하여 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 힌지작동가능한 유기물세정용 자외선 조사유닛과,
상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛과 달리 승강프레임상에 상하로 승강가능하도록 설치되며, 상기 산소와 질소와 오존의 유입을 차단하는 제1에어커튼과, 상기 제1 에어커튼에 이어 배치되며 글라스에 부착된 잔존하는 유기물과 파티클을 글라스에서 분리시키는 롤브러쉬와, 상기 롤브러쉬에 의하여 분리된 파티클을 강제로 흡입하여 제거하는 석션 유닛과, 액체와 기체가 함께 혼합된 2유체를 분사하여 글라스를 세정하는 버블젯과, 상기 버블젯에 인접설치되어 글라스의 마지막 세정을 수행하도록 린스가 분사되는 파이널린스부와, 상기 파이널린스부를 통과한 글라스에 잔존하는 DI water(Deionized water)를 건조제거할 수 있는 에어나이프 유닛과, 상기 에어나이프 유닛을 통과한 글라스내의 다른 물질의 유입을 차단하는 제2에어커튼이 순차적으로 승강프레임상에 설치되고 상기 승강프레임을 상하로 승강구동시키는 상부세정유닛과,
상기 상부세정유닛에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 상기 이송되는 글라스의 표면을 다시 건조시키는 IR 드라이 히터 유닛을 포함하는 본 발명에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정 장치에 의하여 달성된다.
본 발명에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치는 첨부된 도면을 참고로 하여 이하에 상세히 기술되는 실시예에 의하여 그 특징 및 장점들을 보다 명백하게 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치(A)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되고 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프(21)가 설치된 힌지작동되는 유기물세정용 자외선 조사유닛(2)과, 상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)과 달리 승강프레임(31)상에 상하로 승강가능하도록 설치되고 다수의 세정수단(30)이 순차적으로 승강프레임(31)상에 설치되고 상기 승강프레임(31)을 상하로 승강구동시키는 승강구동수단이 설치된 상부세정유닛(3)과, 상기 상부세정유닛(3)에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 상기 이송되는 글라스의 표면을 다시 건조시키는 IR 드라이 히터 유닛(4)을 포함한다.
상기 프레임본체(1)는 세정되는 글라스(G)의 세정되는 세정액과 세정물질이 용이하게 흐르도록 약 5도 정도 경사지게 형성되어 있으나, 그 외의 글라스(G)의 중량과 크기에 따라서 경사각도는 변화할 수 있게 되어 있다.
상기 자외선 조사유닛(2)은 하부의 일측모서리의 단부에는 상기 프레임본체(1)상에 회동가능하게 힌지고정되는 힌지고정부(20)가 형성되고, 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프(21)가 설치되며, 상기 자외선 조사램프(21)의 냉각 및 자외선에 의하여 발생된 유기물사슬을 파괴하며 상기 자외선 조사램프(21)와 글라스(G)사이의 산소발생을 막아주기 위한 질소공급부(22)가 상기 자외선 조사램프(21)의 양단부에 설치되어 있어, 글라스(G)의 표면에 부착된 유기물을 제거하는 구조를 갖는다.
상기 자외선 조사유닛(2)의 상기 힌지고정부(20)는 일측은 프레임본체(1)상에 고정되고 타측은 자외선 조사유닛(2)의 모서리에 고정된 다수의 경첩(201)과, 일단은 상기 프레임본체(1)상에 고정되고 타단은 자외선 조사유닛(2)에 고정된 가스실린더(202)로 구성되어 있다.
상기 자외선 조사램프(21)는 본 실시예에서는 총 6개의 자외선 조사램프(21)가 설치되어 있으나 그 수는 증감변동할 수 있으며, 상기 각 자외선 조사램프(21)의 상부에는 질소공급부(22)가 설치되어 있으며, 상기 각 자외선 조사램프(21)의 단부에는 처리된 질소와 오존을 흡입하는 흡입구(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
상기 상부세정유닛(3)은 상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)에 인접하게 설치되며, 상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)이 힌지고정부(20)에 의하여 회동작동되는 것과는 달리 승강프레임(31)상에 상하로 승강가능하도록 설치되어 있다.
상기 상부세정유닛(3)은 세정수단(30)이 상기 승강프레임(31)상에 순차적으로 설치되며, 상기 세정수단(30)은 상기 자외선 조사유닛(2)에서 발생된 산소와 질소와 오존의 유입을 차단하는 제1에어커튼(32)과, 상기 제1 에어커튼(32)에 이어 배치되며 글라스(G)에 부착된 잔존하는 유기물과 파티클을 글라스(G)에서 분리시키 는 롤브러쉬(33)와, 상기 롤브러쉬(33)에 의하여 분리된 파티클을 강제로 흡입하여 제거하는 석션 유닛(34)과, 액체와 기체가 함께 혼합된 2유체를 분사하여 글라스(G)를 세정하는 버블젯(35)과, 상기 버블젯(35)에 인접설치되어 글라스(G)의 마지막 세정을 수행하도록 DI water가 분사되는 파이널린스부(36)와, 상기 파이널린스부(36)를 통과한 글라스(G)에 잔존하는 DI water(Deionized water)를 건조제거할 수 있는 에어나이프 유닛(37)과, 상기 에어나이프 유닛(37)을 통과한 글라스(G)내의 다른 물질의 유입을 차단하는 제2에어커튼(38)이 순차적으로 상기 승강프레임(31)상에 설치되어 있다.
상기 상부세정유닛(3)의 세정수단(30)은 건조공기와 DI water(Deionized water,탈이온수)로 세정되는 wet 세정부로 이루어져 있다.
상기 제1 에어커튼(32)은 글라스(G)가 유입되는 초입에 위치하고 CDA(clean dry air)를 상하로 분사하는 구조이다.
상기 롤브러쉬(33)는 나일론사로 제조된 롤본체(331)와 상기 롤본체(331)의 양측에 위치되며 DI water를 분사하는 DI water 분사구(332)가 구비되어 있다.
상기 석션 유닛(34)은 상기 롤브러쉬(33)에서 분사된 DI water와 파티클을 강제로 흡입하는 구조로서 상부에 배기관(341)이 설치되어 있다.
상기 버블젯(35)은 기체로 CDA가 분사되는 제1분사젯(351)과 액체로 DI water가 분사되는 제2분사젯(352)으로 구성되어 2류체가 분사되고, 상하 양면에서 글라스(G)상으로 분사되는 구조이다.
상기 파이널린스부(36)는 가장 미세한 여과망을 통하여 여과된 미세한 DIwater가 분사되는 구조이다.
상기 에어나이프 유닛(37)은 상기 글라스(G)에 잔존하는 DIwater를 건조제거하는 것으로, 글라스(G)의 이송방향과 반대방향으로 배치된 장방형 노즐(371)의 CDA의 분사로 인하여 DIwater를 건조 제거하며, 상기 장방형 노즐(371)은 글라스(G)와 2 ~ 5mm의 공간을 형성하며, 45도까지 각도 조절이 가능하다.
상기 상부세정유닛(3)의 하부에는 상기 승강프레임(31)을 상하로 승강구동시키는 승강구동수단(39)이 설치되어 있다. 상기 승강구동수단(39)은 상기 승강프레임(31)의 4부분의 모서리상에 설치되며 승하강되는 스크류(391)에 의하여 승하강 작되되게 되어 있다. 상기 스크류(391)는 구동모터(392)의 회전에 의하여 승하강 구동되는 구조이다.
IR 드라이 히터 유닛(4)은 상기 상부세정유닛(3)에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 열풍젯(41)을 통하여 뜨거운 열기를 공급하고 적외선건조부(42)를 통하여 가열시키면서 통과되는 글라스(G)의 표면을 건조시킨다.
상기 열풍젯(41)을 통과하는 공기는 도시되지 않은 히터에 의하여 가열되어 약 섭시 100도의 온도로 방출되게 설계되어 있다. 상기 적외선건조부(42)는 분위기 온도가 약 섭시 150도로 가열되게 되나, 섭시 200 ~ 250도의 온도로도 가열될 수 있음은 물론이다.
미설명 부호 5는 이송롤러이다.
이와 같은 구조를 갖는 본 발명에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세 정장치(A)의 작용효과를 이하에 상세히 설명한다.
글라스(G)가 세정되기 위해서는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치(A)는 서로 밀착된 상태에서 글라스의 세정을 수행한다. 이러한 글라스(G)의 세정에 대하여는 상세한 설명은 생략한다. 이와 같이 본 발명의 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치(A)에 의하여 글라스(G)의 세정작업이 종료된 후, 도 3에 도시된 바와 같이, 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)을 힌지구동시킨다. 즉 자외선 조사유닛(2)의 상기 힌지고정부(20)의 가스실린더(202)를 작동시키면 가스실린더(202)의 축이 연장되면서 자외선 조사유닛(2)의 일측이 들리면서 힌지작동되게 되어 자외선 조사유닛(2)이 회동작동되게 되는 것이며, 이와 같은 작동은 다른 가장자리에 힌지고정된 IR 드라이 히터 유닛(4)의 회동작동도 동일하게 수행하게 되어 양측으로 힌지작동되어 회동되게 들리게 되며, 중간의 상부세정유닛(3)은 하부에 설치된 승강구동수단(39)에 의하여 달성된다. 즉, 상기 승강구동수단(39)은 상기 승강프레임(31)의 4부분의 모서리상에 설치되며 승하강되는 스크류(391)에 의하여 승하강 작동되는 구조로서, 구동모터(392)가 온되면 구동모터(392)가 회전되면서, 스크류(391)가 회전되므로, 상기 스크류(391)의 회전에 의하여 승강프레임(31)이 상승하게 되면서 서로 상하로 인접한 세정수단(30)이 서로 충분한 사이로 벌어지게 되므로, 세정수단(30)의 세척이나 유지보수작업이 대단히 용이하게 수행될 수 있게 되는 것이다. 마찬가지로, 자외선 조사유닛(2)이나 IR 드라이 히터 유닛(4)도 회동작동되어 일부가 들어올려져 있으므로 세척이나 유지보수작업이 용이하게 수행될 수 있게 되는 것이다.
이상과 같이 본 발명에 따른 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치는 일 단부는 프레임본체에 힌지고정되고 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프와 상기 자외선 조사램프에서 발생된 자외선에 의하여 발생된 오존을 차단하기 위한 질소공급으로 산소의 양을 최소로 하고, 글라스의 표면에 부착된 유기물을 제거하며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 회동작동가능한 유기물세정용 자외선 조사유닛과,
상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛과 달리 승강프레임상에 상하로 승강가능하도록 설치되며, 상기 산소와 질소와 오존의 유입을 차단하는 제1에어커튼과, 상기 제1 에어커튼에 이어 배치되며 글라스에 부착된 잔존하는 유기물과 파티클을 글라스에서 분리시키는 롤브러쉬와, 상기 롤브러쉬에 의하여 분리된 파티클을 강제로 흡입하여 제거하는 석션 유닛과, 액체와 기체가 함께 혼합된 2유체를 분사하여 글라스를 세정하는 버블젯과, 상기 버블젯에 인접설치되어 글라스의 마지막 세정을 수행하도록 린스가 분사되는 파이널린스부와, 상기 파이널린스부를 통과한 글라스에 잔존하는 DI water(Deionized water)를 건조제거할 수 있는 에어나이프 유닛과, 상기 에어나이프 유닛을 통과한 글라스내의 다른 물질의 유입을 차단하는 제2에어커튼이 순차적으로 승강프레임상에 설치되고 상기 승강프레임을 상하로 승강구동시키는 상부세정유닛과,
상기 상부세정유닛에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 상기 이송되는 글라스의 표면을 다시 건조시키는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛을 포함하므로,
글라스의 세정작업후에는 평판 디스플레이 세정부를 3부분으로 분할가능하게 되어 양측의 유기물세정용 자외선 조사유닛과 IR 드라이 히터 유닛은의 일단부가 힌지고정되어 회동작동 하므로 open/close작동이 가능하게 되고 중앙의 상부세정유닛은 상하로 승강구동가능하게 작동되므로서 평판 디스플레이 세정장치의 유지보수가 원활하게 되어 장기간의 사용이 가능하다는 우수한 효과가 있는 발명이다.
Claims (5)
- 평판 디스플레이 세정장치(A)에 있어서,상기 평판 디스플레이 세정장치(A)는 일 단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되고 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프(21)가 설치된 힌지작동되는 유기물세정용 자외선 조사유닛(2)과,상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)과 달리 승강프레임(31)상에 상하로 승강가능하도록 설치되고 다수의 세정수단(30)이 순차적으로 승강프레임(31)상에 설치되고 상기 승강프레임(31)을 상하로 승강구동시키는 승강구동수단이 설치된 상부세정유닛(3)과,상기 상부세정유닛(3)에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 이송되는 글라스의 표면을 건조시키는 IR(infra red) 드라이 히터 유닛(4)을 포함하는 것을 특징으로 하는 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치
- 제1항에 있어서,상기 자외선 조사유닛(2)은 하부의 일측모서리의 단부에는 상기 프레임본체(1)상에 회동가능하게 힌지고정되는 힌지고정부(20)가 형성되고, 내부에는 자외선을 조사하기 위한 자외선 조사램프(21)가 설치되며, 상기 자외선 조사램프(21)에 서 발생된 자외선에 의하여 발생된 오존을 차단하기 위한 질소공급부(22)가 상기 자외선 조사램프(21)의 양단부에 설치되어 있고,상기 자외선 조사유닛(2)의 상기 힌지고정부(20)는 일측은 프레임본체(1)상에 고정되고 타측은 자외선 조사유닛(2)의 모서리에 고정된 다수의 경첩(201)과, 일단은 상기 프레임본체(1)상에 고정되고 타단은 자외선 조사유닛(2)에 고정된 가스실린더(202)로 구성된 것을 특징으로 하는 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치
- 제1항에 있어서,상기 상부세정유닛(3)은 상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)에 인접하게 설치되며, 상기 유기물 세정용 자외선 조사유닛(2)이 힌지고정부(20)에 의하여 힌지작동되는 것과는 달리 승강프레임(31)상에 상하로 승강가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치
- 제3항에 있어서,상기 상부세정유닛(3)은 세정수단(30)이 상기 승강프레임(31)상에 순차적으로 설치되며, 상기 세정수단(30)은 상기 자외선 조사유닛(2)에서 발생된 산소와 질소와 오존의 유입을 차단하는 제1에어커튼(32)과, 상기 제1에어커튼(32)에 이어 배 치되며 글라스(G)에 부착된 잔존하는 유기물과 파티클을 글라스(G)에서 분리시키는 롤브러쉬(33)와, 상기 롤브러쉬(33)에 의하여 분리된 파티클을 강제로 흡입하여 제거하는 석션 유닛(34)과, 액체와 기체가 함께 혼합된 2유체를 분사하여 글라스(G)를 세정하는 버블젯(35)과, 상기 버블젯(35)에 인접설치되어 글라스(G)의 마지막 세정을 수행하도록 DI water가 분사되는 파이널린스부(36)와, 상기 파이널린스부(36)를 통과한 글라스(G)에 잔존하는 DI water(Deionized water)를 건조제거할 수 있는 에어나이프 유닛(37)과, 상기 에어나이프 유닛(37)을 통과한 글라스(G)내의 다른 물질의 유입을 차단하는 제2에어커튼(38)이 순차적으로 설치된 것을 특징으로 하는 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치
- 제1항에 있어서,IR 드라이 히터유닛(4)은, 상기 상부세정유닛(3)에 인접하게 설치되며 일단부는 프레임본체(1)에 힌지고정되어 회동작동되고 내부에는 열풍젯(41)을 통하여 뜨거운 열기를 공급하고 적외선 건조부(42)를 통하여 가열시키면서 통과되는 글라스(G)의 표면을 건조시키는 것을 특징으로 하는 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치
Priority Applications (1)
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| KR1020070055987A KR100883298B1 (ko) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 상하 분리가능한 평판 디스플레이 세정장치 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20080107772A KR20080107772A (ko) | 2008-12-11 |
| KR100883298B1 true KR100883298B1 (ko) | 2009-02-11 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103090653A (zh) * | 2011-11-07 | 2013-05-08 | 纳恩科技有限公司 | 平板显示面板干燥装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020087637A (ko) * | 2001-05-15 | 2002-11-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 수직형 세정장치 |
| JP2004012609A (ja) | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Toray Ind Inc | カラーフィルター基板の残渣除去装置およびこれを用いたカラーフィルター基板の製造方法 |
| KR20070041320A (ko) * | 2005-10-14 | 2007-04-18 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 |
-
2007
- 2007-06-08 KR KR1020070055987A patent/KR100883298B1/ko not_active IP Right Cessation
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