KR20020087637A - 수직형 세정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 기판이 수납되는 카세트들이 놓여지는 로딩/언로딩부와, 그 로딩/언로딩부의 일측에 설치된 이송 로봇과, 그 이송 로봇의 주변에 배치된 UV 유니트, 버퍼 유니트, 건조 유니트와, 수직으로 배치된 세척부로 구성된 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 세척부에는 기판을 수직방향으로 이송하기 위한 암과 리드스크류가 구비되는 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 세척부는 브러싱 유니트, 샤워 유니트, 초음파 유니트로 이루어진 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 세척부의 일측에 상기 세정된 기판을 상기 건조 유니트로 이동하기 위한 방수 로봇이 설치된 것을 특징으로 하는 수직형 세정장치.
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