JP3210528U

JP3210528U - 研磨装置

Info

Publication number: JP3210528U
Application number: JP2017001044U
Authority: JP
Inventors: 白井　明; 明白井; 岩男川合; 裕慈宮本
Original assignee: 株式会社シライテック
Priority date: 2017-03-09
Filing date: 2017-03-09
Publication date: 2017-05-25
Anticipated expiration: 2027-03-09
Also published as: TWM560974U; CN208584372U

Abstract

【課題】ミストやカレットの飛散を抑える研磨装置を提供する。【解決手段】吸引機能付きのテーブルＡと、テーブルＡの前方に突出する基板ａのエッジを研磨する回転砥石４と、回転砥石４の外側を覆い基板ａの研磨エッジ部分が嵌入する開口７を有するカバー６と、カバー６内を吸引する排出口３１と、テーブルＡ或いはカバー６の片方を左右方向に進退走行させるように設けた走行手段Ｂと、カバー６側に支持させて基板ａの研磨エッジの上下に配置した基材１１、１２と、基材１１、１２内に設けた左右方向の中空溜まり部１３、１４、１５と、各中空溜まり部１３、１４、１５の両端に流入端を連通させて、流出吐出口が基板ａの研磨縁に向かう上側洗滌ノズル２９及び下側洗滌ノズル３０と、上下の溜まり部１４、１５の中間に洗滌水とエアーとの混合流体を供給するように設けた上側供給路及び下側供給路と、カバー６側に支持させて研磨部位に研削水とエアーとの混合流体を噴射するノズル２８とからなる。【選択図】図１

Description

この考案は、ガラス基板・セラミック板などの基板のエッジを研磨する装置に関する。

各種基板のエッジ（縁の面や縁両面コーナの面取り）の研磨加工は、前後に並ぶ吸引保持機能付きのテーブルと回転砥石とを用い、前記テーブル上に基板を供給載置したのち、上記テーブル或いは回転砥石のいずれか片方を左右に移動させながら走行時に回転砥石によりテーブル上の基板のエッジを研磨する。

この研磨の際、ノズルから研磨部分にクーラント水を噴射する。
勿論、クーラント水（ミストも）は、回転砥石の外側を覆う吸引機能付きのカバー（ボックス）内に回収し、またクーラント水以外に研磨にともない飛散するカレットも回収するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特許第４７４５７４６号公報

ところで、特許文献１の研磨方式によると、開口からボックス内にワーク（基板）の辺縁を嵌入させて、ボックス内のワーク辺縁をボックス内の回転砥石により研磨し、ボックス内のノズルからクーラント水を研磨部位に噴射し、噴射クーラント水や研磨にともなうカレットをボックス内に吸引するようにしてある。

上記のような方式によると、供給パイプの途中から先端迄の範囲に直列状に並ぶノズルを設けて、各ノズルからクーラント水を噴射するようにしてあるので、各ノズルからの噴射クーラント水の噴射流速にバラツキができ、このバラツキにより研磨部位に対する各ノズルからの均一なクーラント水の噴射ができない。

仮に、供給パイプに対するクーラント液の供給圧を高くすると、ポンプが大型化してコストアップになり、必要圧以上の圧力上昇にともないクーラント液の飛散範囲が広範囲になるので、カレットの飛散も広範囲になって基板板面の汚れも広がる問題があった。

特に圧力上昇にともないミストの分散が広範囲になり、広範囲の分散にともないミストに含有するカレットの分散も広範囲になって、含有カレットの基板板面への付着も広がって、後工程で洗滌してカレットを除去すると、基板の板面に処理してある成膜面に不都合が起生する。
そこで、この考案は、上述の各種不都合を解消した研磨装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、この考案は、上面に供給載置した基板を保持する吸引機能付きのテーブルと、このテーブルの前方に前記テーブルの前縁から突出する上記基板のエッジを研磨するように設けた回転砥石と、この回転砥石の外側を覆うと共に、上記テーブル側周壁に上記保持基板の研磨エッジ部分が嵌入するように設けた開口を有するカバーと、上記カバー内を吸引するように接続する排出口と、上記テーブル或いはカバーの片方を左右方向に進退走行させるように設けた走行手段と、上記カバー側に支持させて上記基板の研磨エッジの上下に配置した左右方向に長い基材と、この上下の基材内に設けた左右方向の中空溜まり部と、中空溜まり部の両端に流入端を連通させて流出吐出口が上記基板の研磨縁に向かう上側洗滌ノズル及び下側洗滌ノズルと、上記上下の溜まり部の中間に洗滌水とエアーとの混合流体を供給するように設けた上側供給路及び下側供給路と、上記カバー側に支持させて上記回転砥石と上記基板との研磨部位に研削水とエアーとの混合流体を噴射するノズルとからなる構成を採用する。

以上のように、この考案の研磨装置によれば、テーブル上に供給載置してある吸引保持基板の研磨エッジを開口からカバー内に嵌入し、この状況下でテーブルと共に基板を走行（テーブルの走行に代えて回転砥石の組み込みカバーを走行することも可）させる。

この走行にともないノズルから研削水と水との混合流体を研磨部位に噴射し、研削にともなう研削水とエアーの混合流体のミスト及びこのミストに混入するカレットも吸引ボックス内から排出口に向かうので、ボックス内全体にカレット及びカレットの混入ミストが飛散し、この飛散にともない開口外側の基板の板面に付着することによる不都合、すなわち、汚れや研削後の付着物の洗滌除去作業などが簡素化される。

一方、研削状況下に基板の上下の上側洗滌ノズル及び下側洗滌ノズルから洗滌水をエアーの混合流体を基板の板面からカバーの開口に向けて噴射しているので、洗滌水やミスト（研磨にともなうカレットの混入したもの）が、吸引ボックスに極めて良好に吸引回収される。

このため、ミストやカレットの付着による基板の板面の汚れがない。すなわち、研磨処理された基板の汚れをなくする後処理作業が簡素化される。

特に、基板の上下に配置してある左右方向の基材内に左右方向の溜まり部を設けて、この各溜まり部の中央内に洗滌水とエアーとの混合流体を圧入するので、溜まり部内に上記混合流体が充満し、この充満した混合流体を溜まり部の中間、両端の複数部位に連通させて研磨縁に向かう上側洗滌ノズル及び下側洗滌ノズルに均一に圧送しながら噴射するので、カバーの開口に洗滌水を強制的に流入させる。

このため、カバー内のミストや研削カレットの流出やカバー外での飛散を抑え、ボックス内に吸引することにより研磨水の飛散及びミストの飛散も解消される。

また、上側ノズル及び下側ノズルの洗滌水の噴射に水とエアーとの混合流体を使用し、さらにカバー内の基板のエッジと回転砥石との研磨部位にノズルから研磨水とエアーとの混合流体を使用しているので、強力な流速の混合流体を安定よく噴射することができる。
そして、上側ノズル及び下側ノズルは、洗滌、乾燥ノズルとしての役目もする。

特に、高圧の洗滌水とエアーの混合流体を上側洗滌ノズル及び下側洗滌ノズルから基板の板面に噴射してカバーの板面を洗い流して流入するようにしてあるので、板面の洗滌と同時に板面上のミストやカレットも良好に開口からカバー内に流入させることができる。

この考案の実施形態を示す一部切欠側面図である。同上の要部を示す一部切欠拡大側面図である。同上の研削水とエアーの供給部位を示す一部切欠拡大正面図である。洗滌水とエアーの混合供給部分を示す縦断拡大正面図である。研磨部分の縦断拡大側面図である。洗滌水と研削水との流入部分を示す横断平面図である。洗滌水とエアーの流入部分を示す横断平面図である。

以下、この考案の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
この考案の実施形態では、図１から図７に示すように、Ａは、上面に供給載置した基板ａを保持する吸引機能付きのテーブルである。

このテーブルＡは、図１、２に示すように、中空ボックス１と、このボックス１の下面に設けた吸引口に吸引ホースを（いずれも図示省略）接続してボックス１内を吸引し、ボックス１の頂壁に設けてある吸引保持機能の連通する小孔２群によりボックス１上に基板ａを保持させるようになっている。

なお、テーブルＡ上に保持する基板ａの研磨辺縁（図示右前方）は、テーブルＡの辺縁からはみ出すように前方に突出させておく。

また、テーブルＡの前方には、基板ａの辺縁を研磨するようにモーター３によりドライブされる回転砥石４が配置され、この回転砥石４は、支持部材５により支持されたカバー６により覆われている。

勿論、カバー６のテーブルＡに対向する周壁には、テーブルＡに保持している基板ａの研磨前縁を回転砥石４の周面に当接するため、基板ａの前縁部を嵌入する開口７が設けてある。
なお上記の回転砥石４の軸受及びモーター３は、カバー６上に据え付けてある。

さらに、テーブルＡ或いはカバー６のいずれか片方を進退走行手段Ｂにより左右方向に往復走行させるようになっている。

上記の進退走行手段Ｂは、図１で図示する場合、テーブルＡを走行させるようにしたが、限定されず、カバー６側を走行させてもよい。

そして、進退走行手段Ｂとしては、図示の場合、左右方向のレール８にボックス１の下面に設けてあるスライダ９をスライド自在に係合すると共に、レール８とスライダ９との滑走面に設けてあるリニアモーター１０により進退走行するようにしたが、限定されず、その他の構成によって走行することもできる。

また、カバー６側に支持させて基板ａの研磨辺縁の上下には、左右方向に長い基材１１、１２が設けてある。

この上側の基材１１内の上下に左右方向に長い中空の前側溜まり部１３及び後側溜まり部１４を、下側の基材１２内に左右方向に長い下側溜まり部１５を設ける。

上記前側溜まり部１３の中間上方から連通する第１通路１６には、研削水の流入口１７と、第１通路１６に斜め上方から連通させたエアー流入口１８とが設けてあり、上記後側溜まり部１４の中間上方から連通する第２通路１９には、洗滌水の流入口２０と第２通路１９に斜め上方から連通させたエアー流入口２１が設けてあり、上記下側溜まり部１５の中間下方から連通する第３通路２２の下端に洗滌水の流入口２３と、第３通路２２に斜め下方から連通させたエアー流入口２４が設けてある。

上記の研削水にエアーを混入する、また洗滌水にエアーを混入する要因は、研削水や洗滌水に流体圧を高めて、噴出力を大幅に向上させることを目的とする。

上記の各溜まり部１３、１４、１５を、図示のように左右方向に長い小判形として、第１通路１６から流入する混合研削水とエアーを、第２、第３通路１９、２２から流入する混合洗滌水とエアーを充満さえる。

その際、各溜まり部１３、１４、１５の両端を弧状にし、かつ両端の面を弧状のテーパーとしておくと、各溜まり部１３、１４、１５内の流動がスムーズに（後述の分配のため）なる。

そして、各溜まり部１３、１４、１５の両端に流入端を連通させた分配通路２５、２６、２７をそれぞれ二条ずつ設けるが、図示の二条に限定されず、各溜まり部１３、１４、１５の両端及び中間の三条としてもよく、更に、四条以上設けることもできる。

上記分配通路２５、２６、２７のそれぞれの吐出端をノズル２８、２９、３０とし、このノズル２８の吐出口から混合研削水とエアーを基板ａのエッジと回転砥石４との研削部に噴射し、ノズル２９の吐出口から混合洗浄水とエアーを基板ａの上側面から開口７内に流入するように噴射し、ノズル３０の吐出口から混合洗滌水とエアーを基板ａの下面から開口７内に流入するように噴射し、ノズル２９、３０の噴射洗滌水とエアーとで基板ａの板面の汚れを洗い流し、開口７からカバー６外に向かうミストや研磨にともなうカレットの飛散を阻止してカバー６内に流入させる。

このため、エアーと研削水との混合、エアーと洗滌水との混合流体圧を低下することなく噴射して目的を達成することができる。

勿論、カバー６内に流入した研削水や洗滌水及びカレットの混入ミストは、カバー６の底面に連通して設けた吸引排出口３１から吸引して回収する。

なお、各ノズル２８、２９、３０の吐出口端を、図１、２、５に示すよう、噴射口に向けて弧状に加工しておくと、流体の流出抵抗を少なくして、流体圧を低下させることなく噴射することができる。

Ａテーブル
ａ基板
Ｂ進退走行手段
１ボックス
２小孔
３モーター
４回転砥石
５支持部材
６カバー
７開口
８レール
９スライダ
１０リニアモーター
１１基材
１２基材
１３溜まり部
１４溜まり部
１５溜まり部
１６第１通路
１７流入口
１８流入口
１９第２通路
２０流入口
２１流入口
２２第３通路
２３流入口
２４流入口
２５通路
２６通路
２７通路
２８ノズル
２９ノズル
３０ノズル
３１排出口

上記分配通路２５、２６、２７のそれぞれの吐出端をノズル２８、２９、３０とし、このノズル２８の吐出口から混合研削水とエアーを基板ａのエッジと回転砥石４との研削部に噴射し、ノズル２９の吐出口から混合洗浄水とエアーを基板ａの上側面から開口７内に流入するように噴射し、ノズル３０の吐出口から混合洗滌水とエアーを基板ａの下面から開口７内に流入するように噴射し、ノズル２９、３０の噴射洗滌水とエアーとで基板ａの板面の汚れを洗い流し、開口７からカバー６外に向かうミストや研磨にともなうカレットの飛散を阻止してカバー６内に流入させる以外に、回転砥石４を洗滌することもできる。

Claims

上面に供給載置した基板を保持する吸引機能付きのテーブルと、このテーブルの前方に前記テーブルの前縁から突出する上記基板のエッジを研磨するように設けた回転砥石と、この回転砥石の外側を覆うと共に、上記テーブル側周壁に上記保持基板の研磨エッジ部分が嵌入するように設けた開口を有するカバーと、上記カバー内を吸引するように接続する排出口と、上記テーブル或いはカバーの片方を左右方向に進退走行させるように設けた走行手段と、上記カバー側に支持させて上記基板の研磨エッジの上下に配置した左右方向に長い基材と、この上下の基材内に設けた左右方向の中空溜まり部と、中空溜まり部の両端に流入端を連通させて流出吐出口が上記基板の研磨縁に向かう上側洗滌ノズル及び下側洗滌ノズルと、上記上下の溜まり部の中間に洗滌水とエアーとの混合流体を供給するように設けた上側供給路及び下側供給路と、上記カバー側に支持させて上記回転砥石と上記基板との研磨部位に研削水とエアーとの混合流体を噴射するノズルとからなる研磨装置。