JP6758066B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
10a 研磨面
12 研磨テーブル
14 トップリング
20 ドレッサ
42 制御部
50a〜50d、82、83a〜83c、84a〜84c 気体噴射ノズル
52、66、86 チャンバ
52a、86a 天井壁
52b、86b 周壁
54,56,58,60 噴射ノズル
70a〜70d バルブ
Claims (5)
- 研磨パッドを支持する研磨テーブルと、研磨対象物を保持して前記研磨パッドに押し付けるための移動可能な保持部と、前記研磨パッドに研磨液を供給する研磨液供給ノズルと、前記研磨テーブル及び前記保持部を収容するチャンバとを備えた研磨装置であって、
前記チャンバは天井壁と当該天井壁に接続される周壁からなる内壁を備えており、前記研磨装置は、
研磨液が前記チャンバの内壁に付着することを抑制するために、前記内壁に向けて洗浄液を噴射する液体噴射ノズルと、
前記天井壁に付着した余剰の洗浄液が前記研磨パッドに滴下するのを防止するために、前記天井壁に向けて気体を噴射することで、前記天井壁に付着した余剰の洗浄液を前記周壁に向けて流出させる気体噴射ノズルとを有し、
前記気体噴射ノズルは、前記保持部の上面に設けられていることを特徴とする研磨装置。 - 前記天井壁は傾斜面を有することを特徴とする、請求項1記載の研磨装置。
- 前記天井壁には、付着した洗浄液を前記周壁部に向けて案内する複数のガイド溝が形成されていることを特徴とする、請求項2記載の研磨装置。
- 前記保持部は、外部との間で前記研磨対象物の受け渡しを行う受渡位置と、前記研磨テーブル上に位置する研磨位置との間で移動可能とされており、前記気体噴射ノズルは、前記保持部が前記受渡位置と前記研磨位置との間で移動する間に気体を噴射することを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記気体噴射ノズルは複数設けられており、前記保持部が前記受渡位置と前記研磨位置との間で移動する方向に応じて、駆動する前記気体噴射ノズルが切り替えられることを特徴とする、請求項4記載の研磨装置。
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