JP4347113B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
20 基板搬送ライン
21 搬送ローラ
22 チャンバー
30 直角移載機構
31 チャンバー
40 基板プッシャ
41 昇降ベース
42 回転軸
43 旋回アーム
46 サーボモータ
47 ギヤ
Claims (3)
- ガラス基板をローラ搬送する2つの基板搬送ラインが直角に交わる交差部に直角移載機構を具備しており、
該直角移載機構は、上流側の基板搬送ラインに連続する第1ローラ列上の定位置から下流側の基板搬送ラインに連続する第2ローラ列上の定位置へ、ローラ列の昇降により前記ガラス基板を移載すると共に、基板搬送のための駆動ローラを排除されており、
前記第1ローラ列の上流側には、上流側の基板搬送ラインから排出された前記ガラス基板を前記第1ローラ列上の定位置へ押し込む第1の基板プッシャが配置されており、
前記第2ローラ列の上流側には、第2ローラ列上の定位置に移載された前記ガラス基板をその定位置から下流側の基板搬送ラインへ押し出す第2の基板プッシャが配置されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記第1の基板プッシャ及び第2の基板プッシャは、基板搬送ラインの横幅方向に間隔をあけて設置され、それぞれが基板搬送面に交差する1組の回転軸と、1組の回転軸の回転中心から外周側へ対称的に延出し、各先端部が基板の後端縁に同時に当接するように構成された1組の旋回アームと、1組の旋回アームが同期して対称的な旋回動作を行なうように前記1組の回転軸を同期駆動するモータとを有する請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第1の基板プッシャは、前記基板搬送ライン上の基板と干渉しない下方の退避位置と、基板搬送ライン上の基板を押し出す上方の動作位置との間を移動させる昇降機構を装備する請求項1に記載の基板搬送装置。
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