JP2009026783A - 薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】薄板移送装置７の構成の簡略化及び薄板移送装置７の製造コストの低下を図ること。
【解決手段】前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに設けられた装置本体と、
前記装置本体に設けられ、薄板を浮上させる浮上ユニットと、
装置本体１７にＸ軸方向へ延びた複数の移送アーム３５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、各移送アーム３５のＸ軸方向の一端側に、第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）から薄板Ｗを装置本体１７側に引き出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第１吸着パッド４７がそれぞれ設けられ、各移送アーム３５のＸ軸方向の他端側に、装置本体１７から薄板Ｗを第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）に送り出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第２吸着パッド４９がそれぞれ設けられたこと。
【選択図】図１

Description

本発明は、第１処理ステーションに配設された第１薄板処理装置と、この第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設された第２薄板処理装置との間で、例えばガラス基板等の薄板を浮上させた状態で移送する薄板移送装置等に関する。

クリーン移送の分野で用いられる薄板移送装置の先行技術として特許文献１に示すものがあり、以下、先行技術に係る薄板移送装置の構成等について簡単に説明する。

即ち、第１処理ステーションと第２処理ステーションの間の移送ステーションには、装置本体が設けられており、この装置本体には、コの字形状のサポート部材がＸ軸方向へ移動可能に設けられあって、装置本体の適宜位置には、サポート部材をＸ軸方向へ移動させるサポート部材移動用モータが設けられている。また、サポート部材には、薄板を下方向から支持するハンドがＸ軸方向へ移動可能に設けられており、サポート部材の適宜位置には、ハンドをＸ軸方向へ移動させるハンド移動用モータが設けられている。

装置本体には、薄板をＸ軸方向へ移送するローラコンベアが昇降可能に設けられており、装置本体の適宜位置には、ローラコンベアを昇降させるコンベア昇降用シリンダ（コンベア昇降用アクチュエータの一例）が設けられている。また、ローラコンベアは、Ｙ軸方向に平行な軸心周りに回転可能な複数の移送ローラと、複数の移送ローラを回転させるローラ回転用モータとを備えている。

従って、サポート部材移動用モータの駆動によりサポート部材を装置本体に対してＸ軸方向の一方側へ移動させ、ハンド移動用モータの駆動によりハンドをサポート部材に対してＸ軸方向の一方側へ移動させて、ハンドによって第１薄板処理装置の所定位置に位置した薄板を下方向から支持する。そして、サポート部材移動用モータの駆動によりサポート部材を装置本体に対してＸ軸方向の他方側へ移動させ、ハンド移動用モータの駆動によりハンドをサポート部材に対してＸ軸方向の他方側へ移動させて、第１薄板処理装置から薄板を装置本体側に引き出す。

第１薄板処理装置から薄板を装置本体側に引き出した後に、コンベア昇降用シリンダの駆動により昇降フレームを上昇させて、複数の移送ローラをハンドの支持高さ位置（薄板を支持する高さ位置）に対して上方向へ突出させることにより、ハンドから薄板を複数の移送ローラへ受け渡す。そして、ローラ回転用モータの駆動により複数の移送ローラを回転させることにより、装置本体側から薄板を第２薄板処理装置に送り出すことができる。

以上により、第１薄板処理装置から第２薄板処理装置へ薄板を移送することができる。
ＷＯ２００６／１２９３８５

ところで、前述のように、先行技術に係る薄板移送装置においては、第１薄板処理装置と第２薄板処理装置との間で薄板を移送するために、ハンド、ハンド移動用アクチュエータ等の他に、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータが必要になり、薄板移送装置の構成が複雑化すると共に、薄板移送装置の製造コストが高くなるという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴は、第１処理ステーションに配設されかつ薄板に対して処理を行う第１薄板処理装置と、前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設されかつ薄板に対して処理を行う第２薄板処理装置との間で、薄板を浮上させた状態で移送する薄板移送装置において、前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに設けられた装置本体と、前記装置本体に設けられ、薄板を浮上させる浮上ユニットと、前記装置本体にＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、Ｘ軸方向へ延びた複数の移送アームと、複数の前記移送アームをＸ軸方向へ移動させるアーム移動用アクチュエータと、各移送アームのＸ軸方向の一端側にそれぞれ設けられ、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する第１吸着パッドと、各移送アームのＸ軸方向の他端側にそれぞれ設けられ、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する第２吸着パッドと、を備えたことを要旨とする。

なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「薄板の処理」とは、薄板のプロセス処理、薄板の搬送処理、薄板の保管処理等を含む意であって、プロセス処理には、エッチング処理、ＣＶＤ処理、ＰＶＤ処理等が含まれる。

第１の特徴によると、前記アーム移動用アクチュエータの駆動により複数の前記移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の前記第１吸着パッドによって前記第１薄板処理装置の所定位置に位置した薄板の裏面又は表面を吸着する。そして、前記浮上ユニットを浮上動作させつつ、前記アーム移動用アクチュエータの駆動により複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出す。

前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出した後に、複数の前記第１吸着パッドによる吸着状態を解除して、前記アーム移動用アクチュエータの駆動により複数の前記移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の前記第２吸着パッドによって薄板の裏面又は表面を吸着する。そして、前記浮上ユニットを浮上動作させつつ、前記アーム移動用アクチュエータの駆動により複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出して、複数の前記第２吸着パッドによる吸着状態を解除する。

以上により、前記第１薄板処理装置から前記第２薄板処理装置へ薄板を浮上させた状態で移送することができる。なお、薄板移送装置に前述の動作と逆の動作をさせることにより、前記第２薄板処理装置から前記第１薄板処理装置へ薄板を浮上させた状態で移送することができる。

要するに、各移送アームのＸ軸方向の一端側に、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する第１吸着パッドがそれぞれ設けられ、各移送アームのＸ軸方向の他端側に、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する前記第２吸着パッドがそれぞれ設けられているため、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータ等を用いることなく、前記第１薄板処理装置から前記第２薄板処理装置へ薄板を浮上させた状態で移送することができる。

本発明の第２の特徴は、薄板に対して処理及び移送を行う薄板処理移送システムにおいて、第１処理ステーションに配設され、薄板に対して処理を行う第１薄板処理装置と、前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設され、薄板に対して処理を行う第２薄板処理装置と、前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに配設され、第１の特徴からなる薄板移送装置と、を備えたことを要旨とする。

なお、第２の特徴においても、第１の特徴と同様の作用を奏する。

本発明の第３の特徴は、第１の特徴からなる薄板移送装置を用いて、第１処理ステーションに配設された第１薄板処理装置と、前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設された第２薄板処理装置との間で、薄板を浮上させた状態で移送する薄板移送方法において、複数の移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の第１吸着パッドによって前記第１薄板処理装置の所定位置に位置した薄板の裏面又は表面を吸着する第１ステップと、前記第１ステップの終了後に、浮上ユニットを浮上動作させつつ、複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出す第２ステップと、前記第２ステップの終了後に、複数の前記第１吸着パッドによる吸着状態を解除して、複数の前記移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の第２吸着パッドによって薄板の裏面又は表面を吸着する第３ステップと、前記第３ステップの終了後に、前記浮上ユニットを浮上動作させつつ、複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出して、複数の前記第２吸着パッドによる吸着状態を解除する第４ステップと、を備えたことを要旨とする。

第３の特徴によると、前述のように、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータ等を用いることなく、前記第１薄板処理装置から前記第２薄板処理装置へ薄板を浮上させた状態で移送することができる。

以上の如き、本発明によれば、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータ等を用いることなく、前記第１薄板処理装置から前記第２薄板処理装置へ薄板を浮上させた状態で移送することができるため、前記薄板移送装置の構成の簡略化及び前記薄板移送装置の製造コストの低下を図ることができる。

本発明の実施形態について図１から図７を参照して説明する。

ここで、図１は、図２におけるI-I線に沿った図、図２は、主に本発明の実施形態に係る薄板移送装置を示す平面図、図３（ａ）は、図２におけるIIIA-IIIA線に沿った図、図３（ｂ）は、図２におけるIIIB-IIIB線に沿った図、図４（ａ）は、図２におけるIVA-IVA線に沿った図、図４（ｂ）は、図２におけるIVB-IVB線に沿った図、図５及び図６は、本発明の実施形態に係る薄板移送方法を説明する図、図７は、本発明の実施形態に係る薄板処理移送システムの模式的な平面図である。

図７に示すように、本発明の実施形態に係る薄板処理移送システム１は、例えばガラス基板等の薄板Ｗに対して種々の処理（本発明の実施形態にあっては、プロセス処理と保管処理）及び移送を行うシステムである。そして、薄板処理移送システム１について概説すると、次のようになる。

第１処理ステーションＰＳ１には、薄板Ｗに対して処理を行う複数の第１薄板処理装置３Ａ，３Ｂ，３ＣがＹ軸方向（換言すれば、前後方向）に沿って配設されている。また、第１処理ステーションＰＳ１にＸ軸方向（換言すれば、左右方向）に離隔した第２処理ステーションＰＳ２には、薄板Ｗの処理を行う複数の第２薄板処理装置５Ａ，５Ｂ，５ＣがＹ軸方向に沿って配設されている。更に、第１処理ステーションＰＳ１と第２処理ステーションＰＳ２の間の移送ステーションＴＳには、第１薄板処理装置３Ａ，３Ｂ，３Ｃと第２薄板処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃとの間で薄板Ｗを浮上させた状態で移送する薄板移送装置７が配設されている。

ここで、第１薄板処理装置３Ａ及び第２薄板処理装置５Ａは、特開２００５−１７０６７５に示すように、薄板Ｗに対して保管処理を行う装置であって、第１薄板処理装置３Ｂ，３Ｃ及び第２薄板処理装置５Ｂ，５Ｃは、薄板Ｗに対してエッチング処理又はＣＶＤ処理等のプロセス処理を行う装置である。また、第１薄板処理装置３Ａの適宜位置、第１薄板処理装置３Ｂ，３Ｃの薄板搬入出部９、第２薄板処理装置５Ａの適宜位置、及び第２薄板処理装置５Ｂ，５Ｃの薄板搬入出部１１には、薄板Ｗをエアの圧力で浮上させる複数の浮上ユニット１３がそれぞれ設けられており、各浮上ユニット１３の上面には、エアを噴出する複数の孔状のノズル１３ｎがそれぞれ形成されている。

続いて、薄板処理移送システム１の薄板移送装置７の具体的に構成ついて説明する。

図１及び図２に示すように、移送ステーションＴＳの床面には、Ｙ軸方向へ延びた一対のガイドレール１５が設けられており、一対のガイドレール１５には、装置本体１７がＹ軸方向へ移動可能に設けられてあって、この装置本体１７は、一対のガイドレール１５に案内支持された脚フレーム１９と、この脚フレーム１９の上側に水平に設けられた支持フレーム２１とからなっている。そして、脚フレーム１９の適宜位置には、装置本体１７をＹ軸方向へ移動させる装置本体移動用モータ（装置本体移動用アクチュエータの一例）２３が設けられてあって、この装置本体移動用モータ２３の出力軸には、ピニオン２５が一体的に設けられており、移送ステーションＴＳの床面における一対のガイドレール１５の間には、ピニオン２５に噛合しかつＹ軸方向へ延びたラック２７が設けられている。

支持フレーム２１には、薄板Ｗをエアの圧力によって浮上させる複数の浮上ユニット２９がＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って設けられており、各浮上ユニット２９の上面には、エアを噴出する複数の孔状のノズル２９ｎがそれぞれ形成されている。なお、各浮上ユニット２９の上面に複数の孔状のノズル２９ｎがそれぞれ形成される代わりに、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向に対してユニット中心側へ傾斜した枠状のノズルが形成されるようにしても構わない。

支持フレーム２１には、Ｘ軸方向へ延びた一対の支持ブラケット３１（前寄りの支持ブラケット３１と後寄りの支持ブラケット３１）がＹ軸方向に間隔を置いて（Ｙ軸方向に離隔して）設けられており、各支持ブラケット３１には、スライダ３３がＸ軸方向へ移動可能にそれぞれ設けられてあって、各スライダ３３には、Ｘ軸方向へ延びた移送アーム３５が昇降ロッド３７を介して昇降可能にそれぞれ設けられている。換言すれば、支持フレーム２１には、一対の移送アーム３５が支持ブラケット３１、スライダ３３、及び昇降ロッド３７を介してＸ軸方向へ移動可能・昇降可能かつＹ軸方向に間隔を置いて設けられている。更に、各スライダ３３には、対応関係にある移送アーム３５を昇降させるアーム昇降用エアシリンダ（アーム昇降用アクチュエータの一例）３９がそれぞれ設けられている。

各支持ブラケット３１には、Ｘ軸方向へ延びたエンドレス状のタイミングベルト４１が複数のプーリ４３を介して走行可能にそれぞれ設けられており、各スライダ３３は、対応関係にあるタイミングベルト４１の適宜位置にそれぞれ連結されている。そして、前寄りの支持ブラケット３１の適宜位置には、一対の移送アーム３５をスライダ３３と一体的にＸ軸方向へ移動させるアーム移動用モータ（アーム移動用アクチュエータの一例）４５が設けられており、このアーム移動用モータ４５の出力軸（図示省略）は、連結軸等からなるアーム用連結機構（図示省略）を介して一対のタイミングベルト４１に連動連結してある。

各移送アーム３５のＸ軸方向の一端側（左端側）には、いずれかの第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）から薄板Ｗを装置本体側（浮上ユニット側）に引き出すときに薄板Ｗの裏面におけるＸ軸方向の他端側の部位を吸着する第１吸着パッド４７がそれぞれ設けられている。また、各移送アーム３５のＸ軸方向の他端側（右端側）には、装置本体側から薄板Ｗをいずれかの第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）に送り出すときに薄板Ｗの裏面におけるＸ軸方向の一端側の部位を吸着する第２吸着パッド４９がそれぞれ設けられている。

図２に示すように、薄板移送装置７は、薄板ＷのＸ軸方向の一端面（左端面）に突き当たり可能な一対のＸ軸基準ローラ５１、薄板ＷのＸ軸方向の他端面（右端面）に付勢力をもって突き当たり可能なＸ軸付勢ローラ５３、薄板ＷのＹ軸方向の一端面（前端面）に突き当たり可能な一対のＹ軸基準ローラ５５、及び薄板ＷのＹ軸方向の他端面（後端面）に付勢力をもって突き当たり可能なＹ軸付勢ローラ５７を備えている。また、一対のＸ軸基準ローラ５１及びＸ軸付勢ローラ５３は、薄板浮上高さ位置（浮上ユニット２９によって浮上させた薄板Ｗの高さ位置）に対して出没可能であって（図３（ａ）（ｂ）参照）、一対のＹ軸基準ローラ５５及びＹ軸付勢ローラ５７は、薄板浮上高さ位置に対して上方向へ突出している（図４（ａ）（ｂ）参照）。そして、Ｘ軸基準ローラ５１の周辺構成、Ｘ軸付勢ローラ５３の周辺構成、Ｙ軸基準ローラ５５の周辺構成、及び一対のＹ軸付勢ローラ５７の周辺構成は、次のようになる。

即ち、図１及び図３（ａ）に示すように、支持フレーム２１のＸ軸方向の一端部近傍（左端部近傍）には、レフトブロック５９がレフトガイド６１を介してＸ軸方向へ移動可能に設けられており、支持フレーム２１の適宜位置には、レフトブロック用基準位置（図３（ａ）において仮想線で示す位置）とレフトブロック用待避位置（レフトブロック用基準位置からＸ軸方向の一方側（図３（ａ）において左方側）に待避した位置（図３（ａ）において実線で示す位置））との間でレフトブロックをＸ軸方向へ移動させるレフトブロック移動用エアシリンダ６３が設けられている。そして、レフトブロック５９には、Ｘ軸基準ローラ５１を鉛直軸周りに回転自在に支持するローラ支持部材６５が昇降ロッド（図示省略）を介して昇降可能に設けられており、レフトブロック５９には、Ｘ軸基準ローラ５１をローラ支持部材６５と一体的に昇降させるＸ軸基準ローラ昇降用エアシリンダ６７が設けられている（Ｘ軸基準ローラ５１の周辺構成）。

図１及び図３（ｂ）に示すように、支持フレーム２１のＸ軸方向の他端部近傍（右端部近傍）には、ライトブロック６９がライトガイド７１を介してＸ軸方向へ移動可能に設けられており、支持フレーム２１の適宜位置には、ライトブロック用基準位置（図３（ｂ）において仮想線で示す位置）とライトブロック用待避位置（ライトブロック用基準位置からＸ軸方向の他方側（図３（ｂ）において右方側）に待避した位置（図３（ｂ）において実線で示す位置））との間でライトブロック６９をＸ軸方向へ移動させるライトブロック移動用エアシリンダ７３が設けられている。そして、ライトブロック６９には、Ｘ軸付勢ローラ５３を鉛直軸周りに回転自在に支持するローラ支持部材７５が中間部材７７及び昇降ロッド（図示省略）を介して昇降可能に設けられており、ライトブロック６９には、Ｘ軸付勢ローラ５３をローラ支持部材７５と一体的に昇降させるＸ軸付勢ローラ昇降用エアシリンダ７９が設けられている。更に、中間部材７７の適宜位置には、Ｘ軸付勢ローラ５３をＸ軸方向の一方側（図３（ｂ）において左方側）へ付勢するスプリング８１が設けられている（Ｘ軸付勢ローラ５３の周辺構成）。

図１及び図４（ａ）に示すように、支持フレーム２１のＹ軸方向の一端部（前端部）には、フロントブロック８３がフロントガイド８５を介してＹ軸方向へ移動可能に設けられており、支持フレーム２１の適宜位置には、フロントブロック用基準位置（図４（ａ）において仮想線で示す位置）とフロントブロック用待避位置（フロントブロック用基準位置からＹ軸方向の一方側（図４（ａ）において右方側）に待避した位置（図４（ａ）において実線で示す位置））との間でフロントブロック８３をＹ軸方向へ移動させるフロントブロック移動用エアシリンダ８７が設けられている。そして、フロントブロック８３には、Ｙ軸基準ローラ５５を鉛直軸周りに回転自在に支持するローラ支持部材８９が昇降可能に設けられている（Ｙ軸基準ローラ５５の周辺構成）。

図１及び図４（ｂ）に示すように、支持フレーム２１のＹ軸方向の他端部（後端部）には、リアブロック９１がリアガイド９３を介してＹ軸方向へ移動可能に設けられており、支持フレーム２１の適宜位置には、リアブロック用基準位置（図４（ｂ）において仮想線で示す位置）とリアブロック用待避位置（リアブロック用基準位置からＹ軸方向の他方側（図４（ｂ）において左方側）に待避した位置（図４（ｂ）において実線で示す位置））との間でリアブロック９１をＹ軸方向へ移動させるリアブロック移動用エアシリンダ９５が設けられている。そして、リアブロック９１には、Ｙ軸付勢ローラ５７を鉛直軸周りに回転自在に支持するローラ支持部材９７が中間部材９９を介して設けられており、中間部材９９の適宜位置には、Ｙ軸付勢ローラ５７をＹ軸方向の一方側（図４（ｂ）において右方側）へ付勢するスプリング１０１が設けられている（Ｙ軸付勢ローラ５７の周辺構成）。

前記構成により、一対のＸ軸基準ローラ昇降用エアシリンダ６７の駆動により一対のＸ軸基準ローラ５１を上昇させて、薄板浮上高さ位置に対して上方向へ突出させる。次に、一対のレフトブロック移動用エアシリンダ６３の駆動により一対のレフトブロック５９をレフトブロック用待避位置からレフトブロック用基準位置にまで移動させることにより、一対のＸ軸基準ローラ５１を装置本体１７側に引き出した薄板ＷのＸ軸方向の一端面に突き当てる。そして、Ｘ軸付勢ローラ５３を薄板浮上高さ位置に対して上方向へ突出させた状態で、一対のライトブロック移動用エアシリンダ７３の駆動によりライトブロック６９をライトブロック用待避位置からライトブロック用基準位置にまで移動させることにより、Ｘ軸付勢ローラ５３を薄板ＷのＸ軸方向の他端面にスプリング８１の付勢力をもって突き当てる。これにより、薄板Ｗを装置本体１７に対してＸ軸方向へ位置決めすることができる。

また、一対のフロントブロック移動用エアシリンダ８７の駆動により一対のフロントブロック８３をフロントブロック用待避位置からフロントブロック用基準位置にまで移動させることにより、一対のＹ軸基準ローラ５５を薄板ＷのＹ軸方向の一端面に突き当てる。そして、一対のリアブロック移動用エアシリンダ９５の駆動によりリアブロック９１をリアブロック用待避位置からリアブロック用基準位置にまで移動させることにより、Ｙ軸付勢ローラ５７を薄板ＷのＹ軸方向の他端面にスプリング１０１の付勢力をもって突き当てる。これにより、薄板Ｗを装置本体１７に対してＹ軸方向へ位置決めすることができる。

なお、一対のＸ軸基準ローラ５１、Ｘ軸付勢ローラ５３、Ｙ軸基準ローラ５５、一対のＹ軸付勢ローラ５７、及びこれらの周辺構成は、薄板Ｗを装置本体１７に対して位置決めする位置決め機構に相当するものである。

続いて、本発明の実施形態に係る薄板移送方法について図５及び図６を参照して説明する。

本発明の実施形態に係る薄板移送方法は、例えば第１薄板処理装置３Ａと第２薄板処理装置５Ｃとの間で薄板を浮上させた状態で移送する方法であって、次のような第１ステップから第４ステップを備えている。

(i)第１ステップ
図５（ａ）に示すように、装置本体移動用モータ２３の駆動により装置本体１７をＹ軸方向へ移動させて、装置本体１７を第１薄板処理装置３Ａに隣接する位置（換言すれば、第１薄板処理装置３Ａから装置本体１７側に薄板Ｗを引き出し可能な位置）に位置させる。次に、アーム移動用モータ４５の駆動により一対の移送アーム３５をＸ軸方向の一方側（図５及び図５において左方側）へ移動させることにより、図５（ｂ）に示すように、一対の第１吸着パッド４７を第１薄板処理装置３Ａの所定位置に位置した薄板Ｗの下方位置に位置させる。そして、一対のアーム昇降用エアシリンダ３９の駆動により一対の移送アーム３５を上昇させて、一対の第１吸着パッド４７によって薄板Ｗの裏面におけるＸ軸方向の他端側の部位を吸着する。

(ii)第２ステップ
第１ステップの終了後に、複数の浮上ユニット２９のノズル２９ｎからエアを噴出させつつ、アーム移動用モータ４５の駆動により一対の移送アーム３５をＸ軸方向の他方側（図５及び図６において右方側）へ移動させることにより、図５（ｃ）に示すように、第１薄板処理装置３Ａから薄板Ｗを装置本体１７側（浮上ユニット２９側）に引き出す。

(iii)第３ステップ
第２ステップの終了後に、前述のように、一対のＸ軸基準ローラ５１を薄板ＷのＸ軸方向の一端面に突き当て、Ｘ軸付勢ローラ５３を薄板ＷのＸ軸方向の他端面にスプリング８１の付勢力をもって突き当てる共に、一対のＹ軸基準ローラ５５を薄板ＷのＹ軸方向の一端面に突き当てて、Ｙ軸付勢ローラ５７を薄板のＹ軸方向の他端面にスプリング１０１の付勢力をもって突き当てることにより、図５（ｃ）に示すように、薄板Ｗを装置本体１７に対してＸ軸方向及びＹ軸方向へ位置決めする。次に、一対の第１吸着パッド４７による吸着状態を解除して、一対のアーム昇降用エアシリンダ３９の駆動により一対の移送アーム３５を下降させる。そして、図６（ａ）に示すように、アーム移動用モータ４５の駆動により一対の移送アーム３５をＸ軸方向の一方側へ移動させて、一対のアーム昇降用エアシリンダ３９の駆動により一対の移送アーム３５を上昇させて、一対の第２吸着パッド４９によって薄板Ｗの裏面におけるＸ軸方向の一端側の部位を吸着する。更に、一対のＸ軸基準ローラ５１及びＸ軸付勢ローラ５３を薄板浮上高さ位置に対して下方向へ没入させると共に、レフトブロック５９をレフトブロック用待避位置に、ライトブロック６９をライトブロック用待避位置に、フロントブロック８３をフロントブロック用待避位置に、リアブロック９１をリアブロック用待避位置にそれぞれ位置させる。

また、第３ステップ中に、装置本体移動用モータ２３の駆動により装置本体１７をＹ軸方向へ移動させて、装置本体１７を第２薄板処理装置５Ｃに隣接する位置（換言すれば、装置本体１７側から薄板を第２薄板処理装置５Ｃに送り出し可能な位置）に位置させる。

(iv)第４ステップ
第３ステップの終了後に、複数の浮上ユニット２９のノズル２９ｎからエアを噴出させつつ、アーム移動用モータ４５の駆動により一対の移送アーム３５をＸ軸方向の一方側へ移動させることにより、図６（ｂ）に示すように、装置本体１７側から薄板Ｗを第２薄板処理装置５Ｃに送り出す。そして、一対の第２吸着パッド４９による吸着状態を解除して、一対のアーム昇降用エアシリンダ３９の駆動により一対の移送アーム３５を下降させる。

以上により、例えば第１薄板処理装置３Ａから第２薄板処理装置５Ｃへ薄板Ｗを浮上させた状態で移送することができる。なお、薄板移送装置７に前述の動作と逆の動作をさせることにより、例えば第２薄板処理装置５Ｃから第１薄板処理装置３Ａへ薄板Ｗを浮上させた状態で移送することができる。

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

各移送アーム３５のＸ軸方向の一端側に、いずれかの第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）から薄板Ｗを装置本体１７側に引き出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第１吸着パッド４７がそれぞれ設けられ、各移送アーム３５のＸ軸方向の他端側に、装置本体１７側から薄板Ｗをいずれかの第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）に送り出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第２吸着パッド４９がそれぞれ設けられているため、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータ等を用いることなく、いずれかの第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）からいずれかの第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）へ薄板Ｗを浮上させた状態で移送することができる。

また、同じ理由により、複数の第１薄板処理装置３Ａ，３Ｂ，３Ｃに薄板Ｗを装置本体１７側に送り出す薄板送出機構を備える必要がなくなると共に、複数の第２薄板処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃに装置本体１７側から薄板Ｗを引き出す薄板引出機を備える必要がなくなる。

従って、本発明の実施形態によれば、ローラコンベア及びコンベア昇降用アクチュエータ等を用いることなく、いずれかの第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）からいずれかの第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）へ薄板Ｗを浮上させた状態で移送することができるため、薄板移送装置７の構成の簡略化及び薄板移送装置７の製造コストの低下、換言すれば、薄板処理移送システム１の構成の簡略化及び薄板処理移送システム１の製造コストの低下を図ることができる。

特に、複数の第１薄板処理装置３Ａ，３Ｂ，３Ｃに薄板Ｗを装置本体１７側に送り出す薄板送出機構を備える必要がなくなると共に、複数の第２薄板処理装置５Ａ，５Ｂ，５Ｃに装置本体１７側から薄板Ｗを引き出す薄板引出機を備える必要がなくなるため、薄板処理移送システム１の構成の簡略化及び薄板処理移送システム１の製造コストの低下をより一層図ることができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる浮上ユニット２９の代わりに、超音波を利用して薄板Ｗを浮上させる浮上ユニットを用いる等、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

図２におけるI-I線に沿った図である。 主に本発明の実施形態に係る薄板移送装置を示す平面図である。 図３（ａ）は、図２におけるIIIA-IIIA線に沿った図、図３（ｂ）は、図２におけるIIIB-IIIB線に沿った図である。 図４（ａ）は、図２におけるIVA-IVA線に沿った図、図４（ｂ）は、図２におけるIVB-IVB線に沿った図である。 本発明の実施形態に係る薄板移送方法を説明する図である。 本発明の実施形態に係る薄板移送方法を説明する図である。 本発明の実施形態に係る薄板処理移送システムの模式的な平面図である。

符号の説明

Ｗ 薄板
ＰＳ１ 第１処理ステーション
ＰＳ２ 第２処理ステーション
ＴＳ 移送ステーション
１ 薄板処理移送システム
３Ａ 第１薄板処理装置
３Ｂ 第１薄板処理装置
３Ｃ 第１薄板処理装置
５Ａ 第２薄板処理装置
５Ｂ 第２薄板処理装置
５Ｃ 第２薄板処理装置
７ 薄板移送装置
１７ 装置本体
２３ 装置本体移動用モータ
２９ 浮上ユニット
３５ 移送アーム
３９ アーム昇降用エアシリンダ
４５ アーム移動用モータ
４７ 第１吸着パッド
４９ 第２吸着パッド
５１ Ｘ軸基準ローラ
５３ Ｘ軸付勢ローラ
５５ Ｙ軸基準ローラ
５７ Ｙ軸付勢ローラ

Claims (5)

1. 第１処理ステーションに配設されかつ薄板に対して処理を行う第１薄板処理装置と、前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設されかつ薄板に対して処理を行う第２薄板処理装置との間で、薄板を浮上させた状態で移送する薄板移送装置において、
   前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに設けられた装置本体と、
   前記装置本体に設けられ、薄板を浮上させる浮上ユニットと、
   前記装置本体にＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、Ｘ軸方向へ延びた複数の移送アームと、
   複数の前記移送アームをＸ軸方向へ移動させるアーム移動用アクチュエータと、
   各移送アームのＸ軸方向の一端側にそれぞれ設けられ、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する第１吸着パッドと、
   各移送アームのＸ軸方向の他端側にそれぞれ設けられ、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出すときに薄板の裏面又は表面を吸着する第２吸着パッドと、を備えたことを特徴とする薄板移送装置。
2. 前記装置本体に設けられ、薄板を前記装置本体に対して位置決めする位置決め機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の薄板移送装置。
3. 薄板に対して処理及び移送を行う薄板処理移送システムにおいて、
   第１処理ステーションに配設され、薄板に対して処理を行う第１薄板処理装置と、
   前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設され、薄板に対して処理を行う第２薄板処理装置と、
   前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに配設され、請求項１又は請求項２に記載の発明特定事項からなる薄板移送装置と、を備えたことを特徴とする薄板処理移送システム。
4. 前記第１薄板処理装置は、前記第１処理ステーションにＹ軸方向に沿って複数配設され、前記第２薄板処理装置は、前記第２処理ステーションにＹ軸方向に沿って複数配設され、
   前記薄板移送装置における前記装置本体は、前記移送ステーションにＹ軸方向へ移動可能に設けられ、前記薄板移送装置は、前記装置本体をＹ軸方向へ移動させる装置本体移動用アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項３に記載の薄板処理移送システム。
5. 請求項１に記載の薄板移送装置を用いて、第１処理ステーションに配設された第１薄板処理装置と、前記第１処理ステーションにＸ軸方向に離隔した第２処理ステーションに配設された第２薄板処理装置との間で、薄板を浮上させた状態で移送する薄板移送方法において、
   複数の移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の第１吸着パッドによって前記第１薄板処理装置の所定位置に位置した薄板の裏面又は表面を吸着する第１ステップと、
   前記第１ステップの終了後に、浮上ユニットを浮上動作させつつ、複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記第１薄板処理装置から薄板を前記装置本体側に引き出す第２ステップと、
   前記第２ステップの終了後に、複数の前記第１吸着パッドによる吸着状態を解除して、複数の前記移送アームをＸ軸方向の一方側へ移動させて、複数の第２吸着パッドによって薄板の裏面又は表面を吸着する第３ステップと、
   前記第３ステップの終了後に、前記浮上ユニットを浮上動作させつつ、複数の前記移送アームをＸ軸方向の他方側へ移動させて、前記装置本体側から薄板を前記第２薄板処理装置に送り出して、複数の前記第２吸着パッドによる吸着状態を解除する第４ステップと、を備えたことを特徴とする薄板移送方法。

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