JP2010042437A - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010042437A JP2010042437A JP2008210091A JP2008210091A JP2010042437A JP 2010042437 A JP2010042437 A JP 2010042437A JP 2008210091 A JP2008210091 A JP 2008210091A JP 2008210091 A JP2008210091 A JP 2008210091A JP 2010042437 A JP2010042437 A JP 2010042437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- processing
- laser
- nozzle
- support mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】被加工面を上にした基板0を動かないよう保定する保定機構2と、Y軸方向に走行して基板0の被加工面にレーザ光を照射しかつX軸方向にも移動可能な加工ノズル3と、基板0を下方から支持しながらこの基板0に対してX軸方向に相対移動可能な支持機構4とを具備するレーザ加工機1を構成した。本レーザ加工機1では、レーザ加工時に基板0は動かさず、加工ノズル3を動かして所要部位にレーザ光を照射する。加工ノズル3をX軸方向に移動させる際には、支持機構4をもX軸方向に移動させて、支持機構4とレーザ光軸との干渉を回避する。
【選択図】図1
Description
2…保定機構
3…加工ノズル
4…支持機構
45…転動体
X…加工ノズルのピッチ送り方向
Y…加工ノズルの走行方向
Claims (7)
- レーザ加工が施される被加工面を上にした基板を動かないよう保定する保定機構と、
所定の走行方向に走行して前記基板の被加工面にレーザ光を照射しかつその走行方向とは交差したピッチ送り方向にも移動可能な加工ノズルと、
前記基板を下方から支持しながらこの基板に対して前記ピッチ送り方向に相対移動可能な支持機構と
を具備するレーザ加工機。 - 前記支持機構に回転可能な複数個の転動体を設け、これら転動体の上に前記基板の下面を載置する請求項1記載のレーザ加工機。
- 前記加工ノズルを前記基板の下方に設置し、レーザ光を上向きに発射して基板を透過させて前記被加工面に照射する請求項1または2記載のレーザ加工機。
- 前記支持機構に前記加工ノズルを前記走行方向に走行可能に支持させることでこれらをユニット化し、そのユニットを前記ピッチ送り方向に移動可能としている請求項3記載のレーザ加工機。
- 前記ユニットを前記ピッチ送り方向に沿って複数配列している請求項4記載のレーザ加工機。
- 前記支持機構に前記走行方向に沿って延伸した開口を開設し、この開口に前記加工ノズルの光軸を通す請求項3記載のレーザ加工機。
- 前記開口及び前記加工ノズルを前記ピッチ送り方向に沿って複数配列している請求項6記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008210091A JP4616373B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008210091A JP4616373B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010042437A true JP2010042437A (ja) | 2010-02-25 |
JP4616373B2 JP4616373B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=42014243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008210091A Active JP4616373B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4616373B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012061504A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
JP2012066281A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
JP2012066280A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
JP2013013925A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0596329A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-04-20 | Amada Co Ltd | レーザアシスト曲げ加工方法およびその装置 |
JPH07214366A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-08-15 | Amada Co Ltd | 熱切断加工用パレット装置 |
JPH1197824A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 回路板の製造方法 |
JPH11129132A (ja) * | 1997-10-28 | 1999-05-18 | Amada Eng Center Co Ltd | 板材加工複合機における防塵装置 |
JP2001170727A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-26 | Murata Mach Ltd | 板材加工機のテーブル構造 |
JP2002160079A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-04 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 薄膜アブレーション加工方法及び装置 |
JP2003255552A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-10 | Nec Corp | レーザ照射装置並びに走査レーザ光を用いた露光方法及び走査レーザ光を用いたカラーフィルタの製造方法 |
JP2003313739A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Oike Tec Co Ltd | スリット糸及びスリット糸の製造方法、並びに該スリット糸の製造に用いるレーザ裁断装置 |
-
2008
- 2008-08-18 JP JP2008210091A patent/JP4616373B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0596329A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-04-20 | Amada Co Ltd | レーザアシスト曲げ加工方法およびその装置 |
JPH07214366A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-08-15 | Amada Co Ltd | 熱切断加工用パレット装置 |
JPH1197824A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 回路板の製造方法 |
JPH11129132A (ja) * | 1997-10-28 | 1999-05-18 | Amada Eng Center Co Ltd | 板材加工複合機における防塵装置 |
JP2001170727A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-26 | Murata Mach Ltd | 板材加工機のテーブル構造 |
JP2002160079A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-04 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 薄膜アブレーション加工方法及び装置 |
JP2003255552A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-10 | Nec Corp | レーザ照射装置並びに走査レーザ光を用いた露光方法及び走査レーザ光を用いたカラーフィルタの製造方法 |
JP2003313739A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Oike Tec Co Ltd | スリット糸及びスリット糸の製造方法、並びに該スリット糸の製造に用いるレーザ裁断装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012061504A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
JP2012066281A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
JP2012066280A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
JP2013013925A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Kataoka Seisakusho:Kk | レーザ加工機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4616373B2 (ja) | 2011-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4563491B1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP4231538B1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP5155034B2 (ja) | ガラス基板のレーザ切断装置 | |
US20090050610A1 (en) | Method and apparatus for scribing brittle material board and system for breaking brittle material board | |
JP4935488B2 (ja) | 板材搬送装置 | |
US20120031147A1 (en) | Method and Apparatus for Machining Thin-Film Layer of Workpiece | |
JP4616373B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP6223873B2 (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
WO2011033647A1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP2018161661A (ja) | レーザ加工装置、及び板材加工システム | |
JP5633487B2 (ja) | ガラス板の両サイド加工装置 | |
KR20110068630A (ko) | 레이저를 이용한 유리 기판 절단 가공 장치 | |
JP5076697B2 (ja) | 薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法 | |
JP5145368B2 (ja) | 積層基板のパターニング装置 | |
JP2012055966A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2010157640A (ja) | 基板受渡し装置およびその方法 | |
JP7402081B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2013013926A (ja) | 搬送装置 | |
JP5091998B2 (ja) | レーザ加工機 | |
CN101154543A (zh) | 显示板排气孔加工装置 | |
JP5731779B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
TWI553423B (zh) | Exposure device | |
JP2013013925A (ja) | レーザ加工機 | |
JP2009045625A (ja) | レーザ加工装置 | |
CN116352292B (zh) | 一种多功能自助打印机机柜生产用激光切割装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100531 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101021 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4616373 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |